JP4594768B2 - Tubular film inner peripheral surface processing apparatus and tube-shaped film inner peripheral surface processing method - Google Patents
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 title claims description 177
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 46
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 43
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 4
- 229920011301 perfluoro alkoxyl alkane Polymers 0.000 description 96
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 81
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 16
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 14
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 7
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 7
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- NLKNQRATVPKPDG-UHFFFAOYSA-M potassium iodide Chemical compound [K+].[I-] NLKNQRATVPKPDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- FVAUCKIRQBBSSJ-UHFFFAOYSA-M sodium iodide Chemical compound [Na+].[I-] FVAUCKIRQBBSSJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004944 Liquid Silicone Rubber Substances 0.000 description 2
- TWRXJAOTZQYOKJ-UHFFFAOYSA-L Magnesium chloride Chemical compound [Mg+2].[Cl-].[Cl-] TWRXJAOTZQYOKJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 2
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229920013653 perfluoroalkoxyethylene Polymers 0.000 description 2
- IOLCXVTUBQKXJR-UHFFFAOYSA-M potassium bromide Chemical compound [K+].[Br-] IOLCXVTUBQKXJR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N potassium nitrate Chemical compound [K+].[O-][N+]([O-])=O FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N silver(1+) nitrate Chemical compound [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L Calcium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ca+2] UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 1
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L barium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ba+2] WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001626 barium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910001629 magnesium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 235000015497 potassium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000028 potassium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011736 potassium bicarbonate Substances 0.000 description 1
- 239000001103 potassium chloride Substances 0.000 description 1
- 235000011164 potassium chloride Nutrition 0.000 description 1
- TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M potassium hydrogencarbonate Chemical compound [K+].OC([O-])=O TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940086066 potassium hydrogencarbonate Drugs 0.000 description 1
- 239000004323 potassium nitrate Substances 0.000 description 1
- 235000010333 potassium nitrate Nutrition 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 235000009518 sodium iodide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 description 1
- 229910001631 strontium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- AHBGXTDRMVNFER-UHFFFAOYSA-L strontium dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Sr+2] AHBGXTDRMVNFER-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L zinc sulfate Chemical compound [Zn+2].[O-]S([O-])(=O)=O NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000368 zinc sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229960001763 zinc sulfate Drugs 0.000 description 1
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- Fixing For Electrophotography (AREA)
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Description
本発明はチューブ状フィルム内周面処理装置およびチューブ状フィルム内周面処理方法に関し、特にPFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体)製チューブ状フィルムの内周面を効率的に処理することができるとともに内周面の処理のばらつきを低減することができるチューブ状フィルム内周面処理装置およびチューブ状フィルム内周面処理方法に関する。 The present invention relates to a tubular film inner peripheral surface processing apparatus and a tube-shaped film inner peripheral surface processing method, and in particular, efficiently processes the inner peripheral surface of a tubular film made of PFA (tetrafluoroethylene / perfluoroalkoxyethylene copolymer). The present invention relates to a tube-shaped film inner peripheral surface processing apparatus and a tube-shaped film inner peripheral surface processing method that can reduce variations in processing of the inner peripheral surface.
従来から、複写機、プリンタまたはファクシミリなどにおいて用紙にトナーを定着させるため、金属芯の外周面上にシリコーンゴムからなる弾性層およびPFA製チューブ状フィルムが順次被覆されたローラが用いられている。PFA製チューブ状フィルムはトナーとの粘着性が低いため、ローラの外周面にトナーが付着することを防止することができる。また、PFA製チューブ状フィルムは耐熱性および耐磨耗性に優れるため、金属芯を加熱した状態でローラを長時間駆動させることができる。 2. Description of the Related Art Conventionally, a roller in which an elastic layer made of silicone rubber and a PFA tubular film are sequentially coated on the outer peripheral surface of a metal core has been used to fix toner onto paper in a copying machine, a printer, or a facsimile machine. Since the PFA tubular film has low adhesiveness to the toner, it is possible to prevent the toner from adhering to the outer peripheral surface of the roller. Further, since the PFA tubular film is excellent in heat resistance and wear resistance, the roller can be driven for a long time while the metal core is heated.
このようなPFA製チューブ状フィルムを用いたローラは、たとえば、円筒状金型の内面にPFA製チューブ状フィルムを固定し、そのPFA製チューブ状フィルムの内周面で取り囲まれた空間に金属芯を挿通した後に、PFA製チューブ状フィルムと金属芯との間にシリコーンゴムを注入し、注入されたシリコーンゴムを加熱して硬化させることにより形成される。 A roller using such a PFA tube-shaped film, for example, fixes a PFA tube-shaped film to the inner surface of a cylindrical mold and has a metal core in a space surrounded by the inner peripheral surface of the PFA tube-shaped film. Is inserted between the PFA tubular film and the metal core, and the injected silicone rubber is heated and cured.
ここで、PFA製チューブ状フィルムとシリコーンゴムとは接着性が良好でないため、PFA製チューブ状フィルムの内周面の処理をすることによって、シリコーンゴムとの接着性を向上させることが行なわれている。
PFA製チューブ状フィルムの内周面を処理する方法としては、たとえば薬液を用いた方法がある(たとえば特許文献1参照)。しかしながら、この方法においては、PFA製チューブ状フィルムの一端が加圧挟持されることによって封止された後に薬液が注入されるため、処理後のPFA製チューブ状フィルムに折り目が形成されてしまうという問題があった。このように折り目が形成されたPFA製チューブ状フィルムをトナーの定着用のローラに用いた場合には、折り目付近の凹凸の存在によってトナーの定着不良が発生することがあった。また、この場合には強い線圧でトナーを用紙に定着させる必要があり、トナー定着後の用紙がローラから離れにくくなるため、PFA製チューブ状フィルムの外周面に相当量のシリコーンオイルを塗布する必要があった。 As a method for treating the inner peripheral surface of the PFA tubular film, for example, there is a method using a chemical solution (see, for example, Patent Document 1). However, in this method, since the chemical solution is injected after sealing one end of the PFA tubular film under pressure, a crease is formed in the processed PFA tubular film. There was a problem. When the PFA tubular film having the folds formed in this way is used as a toner fixing roller, toner fixing failure may occur due to the presence of irregularities in the vicinity of the folds. Further, in this case, it is necessary to fix the toner to the paper with a strong linear pressure, and the paper after the toner fixing is difficult to be separated from the roller. Therefore, a considerable amount of silicone oil is applied to the outer peripheral surface of the PFA tubular film. There was a need.
また、PFA製チューブ状フィルムに折り目が形成されないようにするため、PFA製チューブ状フィルムの外周面を薬液槽内で連続的に薬液処理した後にPFA製チューブ状フィルムを裏返す方法がある(たとえば特許文献2参照)。しかしながら、この方法においては、薬液処理した後にPFA製チューブ状フィルムを裏返す必要があるため処理効率が悪いという問題があった。 In order to prevent the folds from being formed in the PFA tube-shaped film, there is a method of turning the PFA tube-shaped film upside down after the outer peripheral surface of the PFA tube-shaped film is continuously treated in the chemical solution tank (for example, patents). Reference 2). However, this method has a problem that the processing efficiency is poor because the PFA tubular film needs to be turned over after chemical treatment.
また、PFA製チューブ状フィルムの内周面を処理する他の方法としては、PFA製チューブ状フィルムの内周面に所定の前処理液を付着させた後に紫外レーザ光を照射する方
法がある(たとえば特許文献3参照)。しかしながら、この方法においては、PFA製チューブ状フィルムの内周面の処理にばらつきが生じやすく、PFA製チューブ状フィルムとシリコーンゴムとの間の接着性が十分でないことがあった。
In addition, as another method of processing the inner peripheral surface of the PFA tubular film, there is a method in which a predetermined pretreatment liquid is attached to the inner peripheral surface of the PFA tubular film and then irradiated with ultraviolet laser light ( For example, see Patent Document 3). However, in this method, the treatment of the inner peripheral surface of the PFA tubular film is likely to vary, and the adhesion between the PFA tubular film and the silicone rubber may not be sufficient.
さらに、導電性液体中に被処理体を浸漬させて被処理体の内周面をプラズマを用いて処理することによって被処理体の内周面を均一に処理する方法がある(たとえば特許文献4参照)。しかしながら、この方法をPFA製チューブ状フィルムの内周面の処理に用いる場合には、電極となるガス導入管の設置位置によって、PFA製チューブ状フィルムの内周面処理がばらついてしまうという問題があった。 Further, there is a method for uniformly treating the inner peripheral surface of the object to be processed by immersing the object in a conductive liquid and processing the inner peripheral surface of the object to be processed using plasma (for example, Patent Document 4). reference). However, when this method is used for the treatment of the inner peripheral surface of the PFA tubular film, there is a problem that the inner peripheral surface treatment of the PFA tubular film varies depending on the installation position of the gas introduction pipe serving as an electrode. there were.
本発明の目的は、効率的に内周面処理をすることができるとともに内周面処理のばらつきを低減することができるチューブ状フィルム内周面処理装置およびチューブ状フィルム内周面処理方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a tube-shaped film inner surface processing apparatus and a tube-shaped film inner surface processing method capable of efficiently performing inner surface processing and reducing variations in inner surface processing. There is to do.
本発明は、チューブ状フィルムの内周面で取り囲まれた空間内に棒状電極を挿通し、棒状電極を挿通した状態でチューブ状フィルムを導電性液体中に浸漬させ、棒状電極と導電性液体との間で発生させたプラズマによってチューブ状フィルムの内周面を処理するために用いられる装置であって、棒状電極と、所定の間隔をあけてそれぞれ互いに向かい合っており連結部材によって連結されている第1台座および第2台座と、第1台座に設置され第2台座の方向に突出した第1凸部と、第2台座に設置され第1台座の方向に突出した第2凸部と、を含み、第1凸部には棒状電極が挿通可能な貫通孔が設けられており、棒状電極は第1凸部の貫通孔を通って第1凸部の突出方向に前進または第1凸部の突出方向と反対方向に後退することができるチューブ状フィルム内周面処理装置である。 In the present invention, a rod-shaped electrode is inserted into a space surrounded by the inner peripheral surface of the tube-shaped film, and the tube-shaped film is immersed in the conductive liquid while the rod-shaped electrode is inserted. An apparatus used to treat the inner peripheral surface of a tubular film with plasma generated between the first electrode and the second electrode, which are opposed to each other at a predetermined interval and are connected by a connecting member. Including a first pedestal and a second pedestal, a first convex portion installed on the first pedestal and projecting in the direction of the second pedestal, and a second convex portion installed on the second pedestal and projecting in the direction of the first pedestal. The first convex part is provided with a through-hole through which the rod-shaped electrode can be inserted. The rod-shaped electrode advances through the through-hole of the first convex part in the projecting direction of the first convex part or the first convex part projects. Can reverse in the opposite direction A cube-shaped film inner circumferential surface processing apparatus.
ここで、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置において、第2凸部はその先端に開口部を有しており、棒状電極の先端を開口部から第2凸部の内部に嵌入することができることができる。 Here, in the tubular film inner peripheral surface treatment apparatus of the present invention, the second convex portion has an opening at the tip thereof, and the tip of the rod-shaped electrode is fitted into the second convex portion from the opening. Can be.
また、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置において、第2凸部は、第2凸部の突出方向を回転軸方向として回転自在に設置されていることができる。 Moreover, in the tubular film inner peripheral surface treatment apparatus of the present invention, the second convex portion can be rotatably installed with the protruding direction of the second convex portion as the rotation axis direction.
また、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置において、棒状電極は中空体であって、棒状電極の一端には棒状電極の中空部にガスを導入することができるガス導入口が設置されており、棒状電極の他端には棒状電極の中空部に導入されたガスを吹き出すことができるガス吹出口が設置されていてもよい。 Moreover, in the tubular film inner peripheral surface treatment apparatus of the present invention, the rod-shaped electrode is a hollow body, and a gas inlet that can introduce gas into the hollow portion of the rod-shaped electrode is installed at one end of the rod-shaped electrode. And the gas blower outlet which can blow off the gas introduce | transduced into the hollow part of the rod-shaped electrode may be installed in the other end of the rod-shaped electrode.
また、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置においては、棒状電極、第1凸部および第2凸部の先端がそれぞれテーパ状に形成されていることが好ましい。ここで、棒状電極のテーパ面と第1凸部のテーパ面とが平行になっていることが好ましい。 Moreover, in the tubular film internal peripheral surface processing apparatus of this invention, it is preferable that the front-end | tip of a rod-shaped electrode, a 1st convex part, and a 2nd convex part is formed in the taper shape, respectively. Here, it is preferable that the taper surface of the rod-shaped electrode and the taper surface of the first convex portion are parallel to each other.
また、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置においては、第2凸部の内部に設置された支持部材と、支持部材と第2台座との間に設置された弾性部材と、を含み、棒状電極の先端と支持部材の先端との非接触時には支持部材の先端が第2凸部から露出しており、棒状電極の先端と支持部材の先端とが接触した後には棒状電極の前進により支持部材が弾性部材を圧縮して支持部材の先端を第2凸部の内部に押し込むことができ、支持部材の先端が第2凸部の内部に押し込まれた後に棒状電極が後退した際には弾性部材が伸長して支持部材を第2凸部の先端側に押し返すことができる。 Moreover, in the tubular film inner peripheral surface treatment apparatus of the present invention, including a support member installed inside the second convex portion, and an elastic member installed between the support member and the second pedestal, When the tip of the rod-shaped electrode and the tip of the support member are not in contact with each other, the tip of the support member is exposed from the second convex portion and is supported by the advance of the rod-shaped electrode after the tip of the rod-shaped electrode and the tip of the support member are in contact with each other. The member can compress the elastic member to push the tip of the support member into the second convex portion, and is elastic when the rod-like electrode is retracted after the tip of the support member is pushed into the second convex portion. The member can be extended to push the support member back toward the distal end side of the second convex portion.
また、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置においては、第2凸部のテーパ面と支持部材のテーパ面とが平行になっていることが好ましい。 Moreover, in the tubular film internal peripheral surface processing apparatus of this invention, it is preferable that the taper surface of a 2nd convex part and the taper surface of a supporting member are parallel.
また、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置においては、第1台座の第1凸部が設置されている側と反対側に設置された第1ガイドレールと、第1ガイドレール上に設置された第1ガイドレールに沿って移動自在な第1移動部材と、を含み、第1移動部材には棒状電極が固定されており、第1移動部材の移動に伴って棒状電極が前進または後退するチューブ状フィルム内周面処理装置である。 Moreover, in the tubular film internal peripheral surface processing apparatus of this invention, it installs on the 1st guide rail installed in the opposite side to the side in which the 1st convex part of the 1st base is installed, and a 1st guide rail. A first moving member movable along the first guide rail, and a rod-like electrode is fixed to the first moving member, and the rod-like electrode moves forward or backward as the first moving member moves. It is a tubular film inner peripheral surface processing apparatus.
ここで、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置において、第1ガイドレール上には第1移動部材の移動を阻止することができるストッパーが設置されており、ストッパーにより第1移動部材の移動が阻止された位置において、棒状電極のテーパ面と第1凸部のテーパ面とが直線状に配列することが好ましい。 Here, in the tubular film inner peripheral surface treatment apparatus of the present invention, a stopper capable of preventing the movement of the first moving member is installed on the first guide rail, and the movement of the first moving member is performed by the stopper. It is preferable that the taper surface of the rod-shaped electrode and the taper surface of the first convex portion are arranged in a straight line at the position where the hindrance is prevented.
また、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置においては、第1ガイドレールと所定の間隔をあけて平行に設置されている第2ガイドレールと、第1ガイドレールに固定されている第2移動部材と、を含み、第2移動部材は第2ガイドレールに沿って移動自在に第2ガイドレールに設置されており、第2移動部材の移動に伴って第1ガイドレールが第2ガイドレールに沿って移動することができる。 Moreover, in the tubular film internal peripheral surface processing apparatus of this invention, the 2nd guide rail installed in parallel with the 1st guide rail at predetermined intervals, and the 2nd fixed to the 1st guide rail. The second moving member is mounted on the second guide rail so as to be movable along the second guide rail, and the first guide rail is moved to the second guide rail along with the movement of the second moving member. Can move along.
また、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置においては、第1移動部材に設置されたガス排出口と、第1移動部材と第1台座との間に設置された伸縮自在なガス排気管と、を含み、ガス排気管は第1凸部の貫通孔に挿通された棒状電極の少なくとも一部を包囲しており、棒状電極の外周面と第1凸部の内周面との間には隙間が設けられており、隙間を通過したガスがガス排気管の内部を通ってガス排出口から排出可能であってもよい。 Moreover, in the tubular film internal peripheral surface processing apparatus of this invention, the gas exhaust port installed in the 1st moving member, and the extendable gas exhaust pipe installed between the 1st moving member and the 1st base. And the gas exhaust pipe surrounds at least a part of the rod-shaped electrode inserted through the through hole of the first convex portion, and between the outer peripheral surface of the rod-shaped electrode and the inner peripheral surface of the first convex portion. Is provided with a gap, and gas passing through the gap may be discharged from the gas outlet through the inside of the gas exhaust pipe.
また、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置は、導電性液体を収容するための容器と、導電性液体中に浸漬させてアースとするためのアース電極と、を含んでいてもよい。 Moreover, the tubular film internal peripheral surface treatment apparatus of this invention may contain the container for accommodating a conductive liquid, and the earth electrode for making it earth | ground by being immersed in a conductive liquid.
また、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置は、チューブ状フィルムの内周面処理後にチューブ状フィルムの外周面に付着した導電性液体を除去するための除去ガスを吹き付けることができるガス噴出装置を含んでいてもよい。 Moreover, the tubular film inner peripheral surface treatment apparatus of the present invention is a gas jet capable of spraying a removal gas for removing the conductive liquid adhering to the outer peripheral surface of the tubular film after the inner peripheral surface treatment of the tubular film. An apparatus may be included.
さらに、本発明は、上記のいずれかのチューブ状フィルム内周面処理装置を用いてチューブ状フィルムの内周面を処理する方法であって、第1凸部および第2凸部にチューブ状フィルムの端部をそれぞれ嵌め込む工程と、棒状電極を第1凸部の貫通孔を通して第2凸部に向かって前進させることにより棒状電極をチューブ状フィルムの内周面で取り囲まれた空間内に挿通する工程と、チューブ状フィルムを導電性液体中に浸漬させて棒状電極と導電性液体との間で発生させたプラズマによってチューブ状フィルムの内周面を処理する工程と、チューブ状フィルムを導電性液体中から引き上げる工程と、棒状電極を後退させて棒状電極をチューブ状フィルムの内周面で取り囲まれた空間内から引き抜く工程と、を含むチューブ状フィルム内周面処理方法である。 Furthermore, this invention is a method of processing the inner peripheral surface of a tube-shaped film using any one of the above-described tube-shaped film inner surface processing apparatuses, and the tube-shaped film is formed on the first and second convex portions. And inserting the rod-shaped electrode into the space surrounded by the inner peripheral surface of the tubular film by advancing the rod-shaped electrode toward the second convex portion through the through hole of the first convex portion. A step of immersing the tubular film in the conductive liquid, treating the inner peripheral surface of the tubular film with plasma generated between the rod-shaped electrode and the conductive liquid, and making the tubular film conductive A tubular film inner peripheral surface comprising: a step of pulling out from the liquid; and a step of retracting the rod-shaped electrode to pull out the rod-shaped electrode from the space surrounded by the inner peripheral surface of the tube-shaped film. It is a management method.
ここで、本発明のチューブ状フィルム内周面処理方法は、第2凸部を回転させることによってチューブ状フィルムに生じているねじれを少なくする工程を含んでいてもよい。 Here, the tubular film inner peripheral surface treatment method of the present invention may include a step of reducing twist generated in the tubular film by rotating the second convex portion.
また、本発明のチューブ状フィルム内周面処理方法においては、チューブ状フィルムを導電性液体中から引き上げた後に棒状電極の外周面とチューブ状フィルムの内周面との間に膨張用ガスを導入し、チューブ状フィルムの内周面と接触させることなく棒状電極を引き抜くことができる。 Moreover, in the tubular film inner peripheral surface treatment method of the present invention, after the tubular film is pulled out from the conductive liquid, an expansion gas is introduced between the outer peripheral surface of the rod-shaped electrode and the inner peripheral surface of the tubular film. And a rod-shaped electrode can be extracted without making it contact with the internal peripheral surface of a tubular film.
また、本発明のチューブ状フィルム内周面処理方法は、チューブ状フィルムを導電性液体中から引き上げる際にチューブ状フィルムの外周面に付着した導電性液体を除去する工程を含んでいてもよい。ここで、「導電性液体を除去する」とは、PFA製チューブ状フィルムの外周面に付着した導電性液体の少なくとも一部が除去されることを意味する。 Moreover, the tubular film inner peripheral surface treatment method of the present invention may include a step of removing the conductive liquid attached to the outer peripheral surface of the tubular film when the tubular film is pulled up from the conductive liquid. Here, “removing the conductive liquid” means that at least a part of the conductive liquid attached to the outer peripheral surface of the PFA tubular film is removed.
なお、本発明において「平行」には、完全に平行となっている場合だけでなく、実質的に平行となっている場合も含まれる。 In the present invention, “parallel” includes not only the case of being completely parallel but also the case of being substantially parallel.
また、本発明において「直線状に配列」には、完全に直線状に配列されている場合だけでなく、実質的に直線状に配列されている場合も含まれる。 Further, in the present invention, “linearly arranged” includes not only the case of being completely linearly arranged but also the case of being substantially linearly arranged.
本発明によれば、効率的に内周面処理をすることができるとともに内周面処理のばらつきを低減することができるチューブ状フィルム内周面処理装置およびチューブ状フィルム内周面処理方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the inner peripheral surface processing apparatus and the tubular film inner peripheral surface processing method which can perform the internal peripheral surface processing efficiently and can reduce the dispersion | variation in internal peripheral surface processing are provided. can do.
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。 Embodiments of the present invention will be described below. In the drawings of the present invention, the same reference numerals represent the same or corresponding parts.
図1に本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置の好ましい一例の模式的な正面図を示し、図2に図1に示す本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置の好ましい一例の模式的な側面図を示す。このチューブ状フィルム内周面処理装置は、所定の間隔をあけて互いに向かい合っており連結部材5、6によって連結されている第1台座10と第2台座9と、第1台座10に設置され第2台座9の方向に突出した中空の第1凸部1と、第2台座9に設置され第1台座10の方向に突出した中空の第2凸部2と、を含んでいる。
FIG. 1 shows a schematic front view of a preferred example of the tubular film inner peripheral surface treatment apparatus of the present invention, and FIG. 2 schematically shows a preferred example of the tubular film inner peripheral surface treatment apparatus of the present invention shown in FIG. Shows a side view. The tubular film inner peripheral surface processing apparatus is installed on a
ここで、第1凸部1には棒状電極3が挿通可能な貫通孔が設けられており、その貫通孔に中空のステンレス製の棒状電極3が挿通されている。棒状電極3の一端には棒状電極3の中空部にガスを導入することができるガス導入口27が設けられている。また、第2凸部2の内部には支持部材4が設置されて支持部材4の先端が第2凸部2から露出している。また、第1凸部1は固定基板39と一体となっており、固定基板39が2本のネジ16により脱着可能に第1台座10に連結されることにより、第1凸部1が第1台座10に設置されている。また、第2凸部2は固定基板41と一体となっており、固定基板41が2本のネジ15により脱着可能に第2台座9に連結されることにより、第2凸部2が第2台座9に設置されている。第1凸部1および第2凸部2にはチューブ状フィルムの端部がそれぞれ嵌め込まれるが、このように第1凸部1および第2凸部2が脱着可能に設置されることによって、大きさの異なる第1凸部1および第2凸部2を随時変更することができるようになるため、嵌め込まれるチューブ状フィルムのサイズの変更に対応することが可能となる。
Here, the 1st
また、第1台座10の第1凸部1が設置されている側(第1台座10の下方)の反対側となる第1台座10の上方には2本の第1ガイドレール11、12が設置されており、第1ガイドレール11、12上には第1ガイドレール11、12に沿って設置された移動自在な第1移動部材28が設置されている。また、第1移動部材28には、棒状電極3が固定されており、第1移動部材28と第1台座10との間にはジャバラ状の伸縮自在なガス排気管8が設置されている。ガス排気管8はその両端部がそれぞれ第1移動部材28と第1台座10に固定されており、棒状電極3の周囲の一部を包囲している。また、第1移動部材28にはガス排気口26が形成されており、ガス排気管8を流れてきたガスをガス排気口26から排気することができる。また、第1ガイドレール11、12にはぞれぞれ第1移動部材28の移動を阻止することができるストッパー31を設置することができる。
In addition, two
また、第1ガイドレール11、12の後方には、第1ガイドレール11、12と所定の間隔をあけて平行に第2ガイドレール30、32が設置されている。ここで、第1ガイドレール11、12には第1ガイドレール11、12を連結するように第2移動部材29が固定されており、第2移動部材29は第2ガイドレール30、32に沿って移動自在に第2ガイドレール30、32に設置されている。これにより、第2移動部材29の移動に伴って第1ガイドレール11、12が第2ガイドレール30、32に沿って上下方向に自由に移動することができるようになる。
In addition, behind the
さらに、第2台座9の下方には導電性液体21が収容された容器40が設置されており、容器40にはアース電極23が固定部材22により固定されている。また、容器40の上部には中空のガス噴出装置24が設置されている。
Further, a
図3に、図1および図2に示す第1凸部1の周辺部分の模式的な拡大側面透視図を示す。図3に示すように、第1凸部1および第1凸部1に挿通されている棒状電極3はそれぞれ第1凸部1の突出方向側の先端が先細りのテーパ状に形成されている。そして、棒状電極3のテーパ面42と第1凸部1のテーパ面43とは平行になっており、これらのテーパ面は直線状に配列されている。このような構成とすることにより、第1凸部1にチューブ状フィルムの一端を嵌め込みやすくなる。また、棒状電極3の先端には図1および図2に示すガス導入口27から導入されたガスを吹き出すことができるガス吹出口17が設置されている。そして、棒状電極3の外周面と第1凸部1の内周面との間には隙間が設けられており、ガス吹出口17から吹き出されたガスがこの隙間を通過し、ガス排気管8の内部に導くことができる。また、この隙間を設けることによって、棒状電極3は第1凸部1の貫通孔を通って第1凸部1の突出方向に前進(下方に移動)または第1凸部1の突出方向と反対方向に後退(上方に移動)することができる。すなわち、棒状電極3は、第1凸部1の貫通孔を通って上下方向に自由に移動することが可能となっている。
FIG. 3 is a schematic enlarged side perspective view of the peripheral portion of the first
また、棒状電極3の外周面はその少なくとも一部が誘電体で被覆されていることが好ましい。誘電体としては、たとえばポリテトラフルオロエチレン若しくはポリエチレンテレフタレートなどのプラスチック、ガラス、マイカ、二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、二酸化ジルコニウム若しくは二酸化チタンなどの金属酸化物またはチタン酸バリウムなどを用いることができる。また、棒状電極3の材質は、ステンレス以外にもたとえば銅若しくはアルミニウムなどの金属単体、真鍮などの合金または金属間化合物などを用いることができる。また、本発明において、棒状電極3の形状はチューブ状フィルムの内周面で取り囲まれた空間に設置することができる形状であれば特に限定されないが、チューブ状フィルムの内周面の処理のばらつきをより低減する観点から、棒状電極3の側面形状はチューブ状フィルムの内周面に平行な面を有する形状であることが好ましい。また、上述したように、棒状電極3の先端形状の好ましい形状としては先端先細りのテーパ状であって棒状電極3のテーパ面42と第1凸部1のテーパ面43とが平行になっている形状が好ましい。
Moreover, it is preferable that at least a part of the outer peripheral surface of the rod-
図4に、図1および図2に示す第2凸部2の周辺部分の模式的な拡大側面透視図を示す。図4に示すように、第2凸部2はその先端に開口部を有しており、前進してきた棒状電極3の先端をその開口部から第2凸部2の内部に嵌入することができる構造となっている。また、第2凸部2は中空となっており、第2凸部2の内部には支持部材4が設置され、支持部材4の先端は第2凸部2から露出している。また、第2凸部2および支持部材4はそれぞれ第2凸部2の突出方向側の先端が先細りのテーパ状に形成されている。そして、第2凸部2のテーパ面44と支持部材4のテーパ面45とは平行になっており、これらのテーパ面は直線状に配列されている。このような構成とすることにより、第2凸部2にチューブ状フィルムの一端を嵌め込みやすくなる。また、第2凸部2と支持部材4との間には、コイルバネからなる弾性部材13が設置されている。なお、本発明に用いられる弾性部材13としてはコイルバネ以外のバネやゴムなどからなる弾性体を用いてもよい。
FIG. 4 is a schematic enlarged side perspective view of the peripheral portion of the second
また、第2台座9にはベアリングなどからなる回転手段7が設置されており、第2凸部2は第2凸部2の突出方向を回転軸方向として回転自在となっている。第2凸部2を回転自在とすることにより、第2凸部2に嵌めこまれるチューブ状フィルムに生じるねじれを少なくすることができる。なお、本発明に用いられる回転手段7としてはベアリング以外の回転手段を用いてもよい。
The
図5に、図1および図2に示す容器40の模式的な側面図を示す。図5に示すように、容器40には導電性液体21が収容されている。また、容器40には固定部材22によってL字型のアース電極23が固定されており、アース電極23の一端は容器40の側面から外部にはみ出している。そして、容器40の上部には内周面処理後のチューブ状フィルムを導電性液体21から引き上げたときにチューブ状フィルムの外周面に付着している導電性液体21を除去するためにチューブ状フィルムの外周面に除去ガスを吹き付けることができるガス噴出装置24が設置されている。なお、本発明において、チューブ状フィルムの内周面の処理のばらつきをより低減する観点からは、棒状電極3の側面と向かい合うアース電極23の側面形状は、向かい合う棒状電極3の側面に平行な面を有する形状であることが好ましい。
FIG. 5 shows a schematic side view of the
図6に、図5に示すガス噴出装置24の模式的な上面図を示す。ガス噴出装置24はリング状に形成されており、その内周面には複数の孔が形成されている。そして、ガス噴出装置24のリング状の本体の内部に除去ガスが導入され、除去ガスはリング状の内周面に形成された複数の孔から図6に示す矢印25の方向に吹き出される。
FIG. 6 shows a schematic top view of the
以下、上述した本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置を用いてPFA製チューブ状フィルムの内周面処理を行なう方法の好ましい一例について説明する。 Hereinafter, a preferable example of a method for performing the inner peripheral surface treatment of the PFA tubular film using the above-described tubular film inner peripheral surface treatment apparatus of the present invention will be described.
まず、図7(a)の模式的正面図および図8(a)の模式的側面図に示すように、上述した本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置の第1凸部1に中空の円筒形状のPFA製チューブ状フィルム18の一方の端部を嵌め込んだ後にさらにOリング19を嵌め込んでPFA製チューブ状フィルム18を固定する。次に、PFA製チューブ状フィルム18の他方の端部を第2凸部2に嵌め込んだ後にさらにOリング20を嵌め込んでPFA製チューブ状フィルム18を固定する。ここで、PFA製チューブ状フィルム18は、たとえば図9の模式的斜視図に示すように中空の円筒形状をしており、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルコキシエチレンとの共重合体からなるPFA樹脂をたとえば押し出し成形または射出成形などによって中空状に成形したものである。
First, as shown in the schematic front view of FIG. 7 (a) and the schematic side view of FIG. 8 (a), the first
そして、図7(b)の模式的正面図および図8(b)の模式的側面図に示すように、移動部材28を第1ガイドレール11、12に沿って下方に移動させることにより、移動部材28に固定された棒状電極3を第1凸部の突出方向にガス排気管8の圧縮を伴って前進させる。これにより、棒状電極3は、PFA製チューブ状フィルム18の内周面で取り囲まれた空間内に挿通された状態となる。このとき、棒状電極3の先端は第2凸部2の内部に嵌入する。
Then, as shown in the schematic front view of FIG. 7 (b) and the schematic side view of FIG. 8 (b), the moving
図10にこのときの第1凸部1の周辺部分の状態の模式的な拡大側面透視図を示し、図11にこのときの第2凸部2の周辺部分の状態の模式的な拡大側面透視図を示す。図10に示すように、第1凸部1の周辺部分においては、棒状電極3が第1凸部1の突出方向に突出している。また、図11に示すように、第2凸部2の周辺部分においては、棒状電極3の先端と支持部材4の先端とが接触した状態で支持部材4が弾性部材13を圧縮して第2凸部2の内部に押し込まれた状態となっている。
FIG. 10 shows a schematic enlarged side perspective view of the state of the peripheral portion of the first
続いて、図12に示すように、棒状電極3の上部のガス導入口27からガスを棒状電極3の中空部14に導入し、棒状電極3の下部のガス吹出口17から吹き出させて、棒状電極3の外周面とPFA製チューブ状フィルム18の内周面との間にガスを充填させる。ここで、PFA製チューブ状フィルム18にねじれが生じている場合には、このガスの充填時に、回転自在に設置されている第2凸部2が回転することによって、このねじれを少なくすることができる。また、充填されるガスとしては、PFA製チューブ状フィルムの内周面とシリコーンゴムとの接着性を向上させる観点から、アルゴンとヘリウムと二酸化炭素とメタンとからなる混合ガス、アルゴンとアンモニアとからなる混合ガス、ヘリウムとアンモニアとからなる混合ガス、アルゴンとヘリウムとアンモニアとからなる混合ガス、アルゴンと窒素と水素とからなる混合ガス、アルゴンと二酸化炭素とメタンとからなる混合ガス、ヘリウムと二酸化炭素とメタンとからなる混合ガス、ヘリウムと窒素と水素とからなる混合ガス、またはアルゴンとヘリウムと窒素と水素とからなる混合ガスのうちいずれか1種の混合ガスであることが好ましい。ここで、上記混合ガス中のアルゴンとヘリウム以外のガスは、PFA製チューブ状フィルムの内周面の平坦性を向上させる観点から、混合ガス全体の2体積%以下であることがより好ましい。
Subsequently, as shown in FIG. 12, gas is introduced into the
そして、棒状電極3の下部のガス吹出口17から吹き出されたガスは、棒状電極3と第2凸部2との間の隙間から棒状電極3の外周面とPFA製チューブ状フィルム18の内周面との間を上方に流れ、棒状電極3と第2凸部2との間の隙間からガス排気管8の内部の中空部に流れ込み、第1移動部材28のガス排出口26から排出される。
The gas blown out from the
次いで、図7(c)の模式的正面図および図8(c)の模式的側面図に示すように、第2移動部材29を2本の第2ガイドレール30、32に沿って下方に移動させることによって、PFA製チューブ状フィルム18を容器40に収容された導電性液体21中に浸漬させて、PFA製チューブ状フィルム18の外周面を導電性液体21に接触させる。
Next, as shown in the schematic front view of FIG. 7C and the schematic side view of FIG. 8C, the second moving
続いて、棒状電極3に高周波電圧を印加することによって、棒状電極3の外周面と導電性液体21との間に交流電界を形成して、棒状電極3の外周面とPFA製チューブ状フィルム18の内周面との間に充填されたガスのプラズマを発生させる。これにより、PFA製チューブ状フィルム18の内周面処理が行なわれる。ここで、PFA製チューブ状フィルム18の内周面処理は、PFA製チューブ状フィルム18の内周面処理中の変形を抑制する観点から、PFA製チューブ状フィルム18の内周面で取り囲まれた空間の圧力を、導電性液体21がPFA製チューブ状フィルム18の外周面に与える圧力以上とした状態で行なわれることが好ましい。
Subsequently, an AC electric field is formed between the outer peripheral surface of the rod-shaped
PFA製チューブ状フィルム18の内周面の処理後は、2本の第2レール30、32に沿って第2移動部材29を上方に移動させることによって、PFA製チューブ状フィルム18を容器40に収容された導電性液体21中から引き上げる。
After the processing of the inner peripheral surface of the
このとき、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置は、図7(b)および図8(b)に示す状態となる。ここで、PFA製チューブ状フィルム18を導電性液体21中から引き上げる際に、図6に示すガス噴出装置24から除去ガスを矢印25の方向に吹き付けることによって、PFA製チューブ状フィルム18の外周面に付着した導電性液体21を除去することができる。これにより、PFA製チューブ状フィルム18の外周面に付着した導電性液体21を拭き取る手間を省くことができる。なお、導電性液体21の除去は、導電性液体21が付着したPFA製チューブ状フィルム18の外周面に除去ガスを吹き付けて、たとえば導電性液体21を蒸発させることおよび/または導電性液体21を吹き飛ばすことなどにより行なうことができる。また、除去ガスの吹き付けによってPFA製チューブ状フィルム18の外周面に与えられる圧力はPFA製チューブ状フィルム18の内部圧力よりも低いことがPFA製チューブ状フィルム18の変形を抑制することができる点で好ましい。
At this time, the tubular film inner peripheral surface treatment apparatus of the present invention is in the state shown in FIGS. 7B and 8B. Here, when the
そして、第1移動部材28を上方に移動させ、棒状電極3を第1凸部1の突出方向と反対方向に後退させることによって、PFA製チューブ状フィルム18の内周面で取り囲まれた空間に位置している棒状電極3をその空間から上方に引き抜く。このとき、本発明のチューブ状フィルム内周面処理装置は、図7(a)および図8(a)に示す状態となる。ここで、第1移動部材28を、ストッパー31によりその移動が阻止される位置まで後退させる。これにより、図3に示すように棒状電極3のテーパ面43と第1凸部1のテーパ面42とが直線状に配列するため、再度PFA製チューブ状フィルム18を第1凸部1に嵌め込むことが容易となり、処理効率が向上する。また、この棒状電極3の後退によって、図3に示すように、第2凸部2の内部に設置された弾性部材が伸長して支持部材を第2凸部2の先端側に押し返すことになる。
Then, by moving the first moving
なお、棒状電極3を引き抜く前に、棒状電極3のガス導入口27から膨張用ガスを棒状電極3の中空部に導入し、棒状電極3の下部のガス吹出口17から吹き出させて、棒状電極3の外周面とPFA製チューブ状フィルム18の内周面との間に膨張用ガスを充填させることが好ましい。これにより、PFA製チューブ状フィルム18を膨張させることができ、PFA製チューブ状フィルム18を膨張させた状態でPFA製チューブ状フィルム18の内周面で取り囲まれた空間に位置している棒状電極3をその空間から上方に引き抜くことによって、棒状電極3の上方への引き抜きの際に、上記プラズマによる処理後のPFA製チューブ状フィルム18の内周面を傷つけないようにすることができる。また、処理コストをより安価にする観点からは、膨張用ガスとして、空気および窒素の少なくとも一方のガスを用いることが好ましい。
Before pulling out the rod-shaped
最後に、第1凸部1と第2凸部2との間に固定されているPFA製チューブ状フィルム18が取り外されて、内周面が処理されたPFA製チューブ状フィルム18を得ることができる。
Finally, the
本発明のように、上記プラズマによって内周面が処理されたPFA製チューブ状フィルム18は、内周面処理をしていないPFA製チューブ状フィルムと比べてシリコーンゴムとの接着性が良好になる。その理由としては、上記のようにして生じさせたガスのプラズマを構成するイオンや原子などが官能基などの態様で導入されたPFA製チューブ状フィルムの内周面と、シリコーンゴムの表面との間に何らかの吸引力が働いているためと考えられる。
As in the present invention, the
上述したように、本発明においては、中空の第1凸部1と第2凸部2にPFA製チューブ状フィルム18を嵌め込んだ後に、棒状電極3を第1凸部1の貫通孔を通して第1凸部1の突出方向に前進させることによって棒状電極3をPFA製チューブ状フィルム18の内周面で取り囲まれた空間内に挿通することができる。したがって、本発明においては、PFA製チューブ状フィルム18の内周面に対する棒状電極3の設置位置にばらつきが少なくなるため、従来と比べて第1電極の設置位置による内周面処理のばらつきを低減することができる。また、本発明のPFA製チューブ状フィルム18の内周面処理の工程を自動化することによって、より効率的にPFA製チューブ状フィルム18の内周面処理を行なうことができるようになる。また、本発明においては、導電性液体21を用いることによって、PFA製チューブ状フィルム18の内周面全体を同時に処理することができるため効率的な内周面処理が可能になる。さらに、本発明においては、PFA製チューブ状フィルム18の内周面の処理時に折り目が形成されないため、折り目のないPFA製チューブ状フィルム18を得ることができる。このように折り目がなく、シリコーンゴムとの接着性に優れたPFA製チューブ状フィルム18をローラに適用することによって、トナーの定着不良を防止することができる。
As described above, in the present invention, the
上記のようにして内周面の処理が行なわれたPFA製チューブ状フィルム18は円筒状金型の内面に固定され、その内周面に従来から公知のシリコーン系プライマーが塗布された後に、PFA製チューブ状フィルム18の内周面で取り囲まれた空間にアルミニウムなどからなる金属芯が挿通される。そして、PFA製チューブ状フィルム18と金属芯との間に液状のシリコーンゴムを注入し、注入された液状のシリコーンゴムを加熱して硬化させることにより、金属芯の外周面上にシリコーンゴムからなる弾性層およびPFA製チューブ状フィルム18が順次被覆されたローラが形成される。ここで、本発明によって内周面が処理されているPFA製チューブ状フィルム18が用いられていることから、PFA製チューブ状フィルム18とシリコーンゴムからなる弾性層との接着性に優れたローラが形成される。なお、シリコーンゴムからなる弾性層は、シリコーンゴムを主成分とするものであれば、充填剤などの添加剤が含まれていてもよいことは言うまでもない。
The
図13に、上記のようにして形成されたローラがトナーの定着用のローラとして用いられる場合を図解した模式的な断面図を示す。このローラ33は、金属芯34と、金属芯34の外周面上に設置されたシリコーンゴムからなる弾性層35と、弾性層35の外周面上に被覆された上記の内周面の処理後のPFA製チューブ状フィルム18とを含んでいる。そして、このローラ33に対向する位置にローラ38が設置されており、これらのローラの間にトナー36が付着した用紙37が搬送される。次いで、ローラ33とローラ38との間の線圧によってトナー36が用紙37に定着して排出されることになる。
FIG. 13 is a schematic cross-sectional view illustrating the case where the roller formed as described above is used as a toner fixing roller. The
なお、本発明において、第1凸部1および第2凸部2の材質および形状は特に限定されないが、上述したように、PFA製チューブ状フィルム18を第1凸部1および第2凸部2に嵌め込みやすくする観点から、第1凸部1および第2凸部2のそれぞれの凸部の突出方向側の先端がテーパ状に形成されていることが好ましい。
In the present invention, the material and shape of the first
また、本発明において、導電性液体としては、たとえば水、塩化水素水溶液、塩化リチウム水溶液、塩化ナトリウム水溶液、塩化カリウム水溶液、塩化アンモニウム水溶液、臭化カリウム水溶液、ヨウ化ナトリウム水溶液、ヨウ化カリウム水溶液、硝酸カリウム水溶液、炭酸水素カリウム水溶液、水酸化ナトリウム水溶液、硝酸銀水溶液、塩化マグネシウム水溶液、塩化カルシウム水溶液、塩化ストロンチウム水溶液、塩化バリウム水溶液、硫酸ナトリウム水溶液、硫酸銅水溶液または硫酸亜鉛水溶液などが用いられる。 In the present invention, examples of the conductive liquid include water, aqueous hydrogen chloride, aqueous lithium chloride, aqueous sodium chloride, aqueous potassium chloride, aqueous ammonium chloride, aqueous potassium bromide, aqueous sodium iodide, aqueous potassium iodide, An aqueous potassium nitrate solution, an aqueous potassium hydrogen carbonate solution, an aqueous sodium hydroxide solution, an aqueous silver nitrate solution, an aqueous magnesium chloride solution, an aqueous calcium chloride solution, an aqueous strontium chloride solution, an aqueous barium chloride solution, an aqueous sodium sulfate solution, an aqueous copper sulfate solution or an aqueous zinc sulfate solution is used.
また、本発明において、除去ガスの種類は特に限定されないが、処理コストを低減する観点からは、除去ガスとして空気および窒素の少なくとも一方を用いることが好ましい。 In the present invention, the type of the removal gas is not particularly limited, but from the viewpoint of reducing the processing cost, it is preferable to use at least one of air and nitrogen as the removal gas.
また、本発明において、第1移動部材28の第1ガイドレール11、12への設置手段は、第1移動部材28が第1ガイドレール11、12に沿って移動自在であれば特に限定されない。また、第2移動部材29の第2ガイドレール30、32への設置手段は、第2移動部材29が第2ガイドレール30、32に沿って移動自在であれば特に限定されない。
In the present invention, the means for installing the first moving
また、本発明はPFA製チューブ状フィルムの内周面処理に限定されるものではなく、PFAに代えて、たとえばポリエステル、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルケトン、ポリフェニレンスルフィド、芳香族ポリアミド、ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレートまたはポリウレタンなどの材質からなるチューブ状フィルムの内周面処理にも用いることができる。 Further, the present invention is not limited to the treatment of the inner peripheral surface of the PFA tube-shaped film. Instead of PFA, for example, polyester, polyether ether ketone, polyimide, polyether ketone, polyphenylene sulfide, aromatic polyamide, poly It can also be used for the treatment of the inner peripheral surface of a tubular film made of a material such as arylate, polyetherimide, polyamideimide, polysulfone, polyethersulfone, polystyrene, polymethylmethacrylate or polyurethane.
また、本発明において、棒状電極3の外周面とPFA製チューブ状フィルム18の内周面との間にガスを充填させるためのガス導入口27は、棒状電極3の上部に設置することには限定されず、第1凸部1の側部に形成してもよい。
In the present invention, the
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
本発明によれば、チューブ状フィルムを効率的に内周面処理をすることができるとともにチューブ状フィルムの内周面処理のばらつきを低減することができる。 According to the present invention, it is possible to efficiently treat the inner peripheral surface of the tubular film and reduce variations in the inner peripheral surface treatment of the tubular film.
1 第1凸部、2 第2凸部、3 棒状電極、4 支持部材、5,6 連結部材、7 回転手段、8 ガス排気管、9 第2台座、10 第1台座、11,12 第1ガイドレール、13 弾性部材、14 中空部、15,16 ネジ、17 ガス吹出口、18 PFA製チューブ状フィルム、19,20 Oリング、21 導電性液体、22 固定部材、23 アース電極、24 ガス噴出装置、25 矢印、26 ガス排出口、27 ガス導入口、28 第1移動部材、29 第2移動部材、30,32 第2ガイドレール、31 ストッパー、33,38 ローラ、34 金属芯、35 弾性層、36 トナー、37 用紙、39,41 固定基板、40 容器、42,43,44,45 テーパ面。
DESCRIPTION OF
Claims (18)
前記棒状電極と、
所定の間隔をあけてそれぞれ互いに向かい合っており連結部材によって連結されている第1台座および第2台座と、
前記第1台座に設置され前記第2台座の方向に突出した第1凸部と、
前記第2台座に設置され前記第1台座の方向に突出した第2凸部と、を含み、
前記第1凸部には前記棒状電極が挿通可能な貫通孔が設けられており、
前記棒状電極は前記第1凸部の前記貫通孔を通って前記第1凸部の突出方向に前進または前記第1凸部の突出方向と反対方向に後退することができる、チューブ状フィルム内周面処理装置。 A rod-shaped electrode is inserted into a space surrounded by the inner peripheral surface of the tube-shaped film, and the tube-shaped film is immersed in a conductive liquid while the rod-shaped electrode is inserted, and the rod-shaped electrode, the conductive liquid, An apparatus used to treat the inner peripheral surface of the tubular film with plasma generated between
The rod-shaped electrode;
A first pedestal and a second pedestal facing each other at a predetermined interval and connected by a connecting member;
A first convex portion installed on the first pedestal and protruding in the direction of the second pedestal;
A second convex part installed on the second pedestal and projecting in the direction of the first pedestal,
The first convex part is provided with a through-hole through which the rod-shaped electrode can be inserted,
The rod-like electrode can be advanced through the through hole of the first convex portion in the protruding direction of the first convex portion or can be retracted in a direction opposite to the protruding direction of the first convex portion. Surface treatment device.
前記支持部材と前記第2台座との間に設置された弾性部材と、を含み、
前記棒状電極の先端と前記支持部材の先端との非接触時には前記支持部材の先端が前記第2凸部から露出しており、
前記棒状電極の先端と前記支持部材の先端とが接触した後には前記棒状電極の前進により前記支持部材が前記弾性部材を圧縮して前記支持部材の先端を前記第2凸部の内部に押し込むことができ、
前記支持部材の先端が前記第2凸部の内部に押し込まれた後に前記棒状電極が後退した際には前記弾性部材が伸長して前記支持部材を前記第2凸部の先端側に押し返すことができることを特徴とする、請求項1から6のいずれかに記載のチューブ状フィルム内周面処理装置。 A support member installed inside the second convex part;
An elastic member installed between the support member and the second pedestal,
When the tip of the rod-shaped electrode and the tip of the support member are not in contact, the tip of the support member is exposed from the second convex portion,
After the tip of the rod electrode contacts the tip of the support member, the support member compresses the elastic member by the advance of the rod electrode and pushes the tip of the support member into the second convex portion. Can
When the rod-like electrode is retracted after the tip of the support member is pushed into the second convex portion, the elastic member is extended to push the support member back toward the tip side of the second convex portion. The tubular film inner peripheral surface treatment apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the apparatus can be used.
前記第1ガイドレール上に設置された前記第1ガイドレールに沿って移動自在な第1移動部材と、を含み、
前記第1移動部材には前記棒状電極が固定されており、
前記第1移動部材の移動に伴って前記棒状電極が前進または後退することを特徴とする、請求項1から8のいずれかに記載のチューブ状フィルム内周面処理装置。 A first guide rail installed on a side opposite to the side on which the first convex portion of the first pedestal is installed;
A first moving member that is movable along the first guide rail installed on the first guide rail,
The rod-shaped electrode is fixed to the first moving member,
The tubular film inner peripheral surface processing apparatus according to any one of claims 1 to 8, wherein the rod-like electrode moves forward or backward as the first moving member moves.
前記第1ガイドレールに固定されている第2移動部材と、を含み、
前記第2移動部材は前記第2ガイドレールに沿って移動自在に前記第2ガイドレールに設置されており、
前記第2移動部材の移動に伴って前記第1ガイドレールが前記第2ガイドレールに沿って移動することを特徴とする、請求項9または10に記載のチューブ状フィルム内周面処理装置。 A second guide rail installed in parallel with the first guide rail at a predetermined interval;
A second moving member fixed to the first guide rail,
The second moving member is installed on the second guide rail so as to be movable along the second guide rail;
The tubular film inner peripheral surface processing apparatus according to claim 9 or 10, wherein the first guide rail moves along the second guide rail as the second moving member moves.
前記第1移動部材と前記第1台座との間に設置された伸縮自在なガス排気管と、を含み、
前記ガス排気管は前記第1凸部の前記貫通孔に挿通された前記棒状電極の少なくとも一部を包囲しており、
前記棒状電極の外周面と前記第1凸部の内周面との間には隙間が設けられており、
前記隙間を通過したガスが前記ガス排気管の内部を通って前記ガス排出口から排出可能であることを特徴とする、請求項9から11のいずれかに記載のチューブ状フィルム内周面処理装置。 A gas outlet installed in the first moving member;
A telescopic gas exhaust pipe installed between the first moving member and the first pedestal,
The gas exhaust pipe surrounds at least a part of the rod-like electrode inserted through the through hole of the first convex portion;
A gap is provided between the outer peripheral surface of the rod-shaped electrode and the inner peripheral surface of the first convex portion,
The tubular film inner peripheral surface treatment device according to any one of claims 9 to 11, wherein the gas that has passed through the gap can be discharged from the gas discharge port through the inside of the gas exhaust pipe. .
前記第1凸部および前記第2凸部に前記チューブ状フィルムの端部をそれぞれ嵌め込む工程と、
前記棒状電極を前記第1凸部の前記貫通孔を通して前記第2凸部に向かって前進させることにより前記棒状電極を前記チューブ状フィルムの内周面で取り囲まれた空間内に挿通する工程と、
前記チューブ状フィルムを前記導電性液体中に浸漬させて前記棒状電極と前記導電性液体との間で発生させたプラズマによって前記チューブ状フィルムの内周面を処理する工程と、
前記チューブ状フィルムを前記導電性液体中から引き上げる工程と、
前記棒状電極を後退させて前記棒状電極を前記チューブ状フィルムの内周面で取り囲まれた空間内から引き抜く工程と、を含むことを特徴とする、チューブ状フィルム内周面処理方法。 A method for processing an inner peripheral surface of a tubular film using the tubular film inner peripheral surface processing apparatus according to any one of claims 1 to 14,
Fitting the end portions of the tubular film into the first convex portions and the second convex portions,
Inserting the rod-shaped electrode into the space surrounded by the inner peripheral surface of the tubular film by advancing the rod-shaped electrode toward the second convex portion through the through hole of the first convex portion; and
Treating the inner peripheral surface of the tubular film with plasma generated by immersing the tubular film in the conductive liquid and generating between the rod-shaped electrode and the conductive liquid;
A step of pulling up the tubular film from the conductive liquid;
And a step of retracting the rod-shaped electrode and pulling out the rod-shaped electrode from the space surrounded by the inner circumferential surface of the tubular film.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005076774A JP4594768B2 (en) | 2005-03-17 | 2005-03-17 | Tubular film inner peripheral surface processing apparatus and tube-shaped film inner peripheral surface processing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005076774A JP4594768B2 (en) | 2005-03-17 | 2005-03-17 | Tubular film inner peripheral surface processing apparatus and tube-shaped film inner peripheral surface processing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006257267A JP2006257267A (en) | 2006-09-28 |
JP4594768B2 true JP4594768B2 (en) | 2010-12-08 |
Family
ID=37096877
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005076774A Expired - Fee Related JP4594768B2 (en) | 2005-03-17 | 2005-03-17 | Tubular film inner peripheral surface processing apparatus and tube-shaped film inner peripheral surface processing method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4594768B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5229886B2 (en) * | 2008-07-24 | 2013-07-03 | エア・ウォーター株式会社 | Tubular film inner peripheral surface processing apparatus and tube-shaped film inner peripheral surface processing method |
JP5773265B2 (en) * | 2011-09-21 | 2015-09-02 | グンゼ株式会社 | Tubular film inner surface treatment apparatus and inner surface treatment method |
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JP2005529455A (en) * | 2002-05-08 | 2005-09-29 | マン トーマス チャン チャック | Plasma created in fluid |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
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---|---|
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