JP4593762B2

JP4593762B2 - クリーニングシ―ト、及びこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法

Info

Publication number: JP4593762B2
Application number: JP2000349972A
Authority: JP
Inventors: 好夫寺田; 亮並河
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2000-07-31
Filing date: 2000-11-16
Publication date: 2010-12-08
Anticipated expiration: 2020-11-16
Also published as: JP2002113435A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の基板処理装置をクリーニングするシート、及びこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法に関し、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニングシート及びクリーニング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
各種基板処理装置は、各搬送系と基板とを物理的に接触させながら搬送する。
その際、基板や搬送系に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染することになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理をする必要があった。このため、稼働率低下や多大な労力が必要になるという問題があった。これらの問題を解決するため、粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法（特開平１０−１５４６８６号）や、板状部材を搬送することにより基板裏面に付着する異物を除去する方法（特開平１１−８７４５８号）が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服する有効な方法である。しかしこの方法では、搬送装置内が１００℃程度の加熱状態にある場合や高真空（１０^-7Torr）状態にある場合などにおいては、粘着性物質から多量の揮発性ガス（以下脱ガスと称する）が発生するため、装置内を汚染させたり、真空度を低下させたりするなどして、必ずしも簡便な方法ではなかった。
とりわけ、基板処理装置においては、例えばプラズマエッチング装置、スパッタエッチング装置、反応性イオンエッチング装置、ＣＶＤ（Chemical Mechanical Deposition）装置など、装置内が高真空条件下にて処理を行う場合が多く、従ってこれらの装置でクリーニングを行うと真空度を低下させてしまうという問題があった。
また、板状部材を搬送することにより異物を除去する方法は、搬送時の装置汚染の問題は生じないが、肝心の除塵性に劣るという問題があった。
本発明は、このような事情に照らし、搬送時に脱ガスによる基板処理装置内の汚染や真空度の低下などその環境を悪化させることなく、かつ装置内に付着している異物を簡便かつ確実に除去できるクリーニングシート及びクリーニング方法を提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の目的を達成するために、鋭意検討した結果、クリーニング層を有するクリーニングシートあるいはクリーニングシートを設けた基板等の搬送部材を搬送することにより、基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去するにあたり、加熱下や真空下において脱ガスとして生じるのは、クリーニング層を構成する粘着剤中に含まれる脂肪族成分、芳香族成分や汚染成分である溶剤成分、フタル酸化膜エステルなどであり、とくに主剤成分である感圧接着性ポリマー、例えばアクリルポリマーなどに起因する、オリゴマー状の低分子量体が多く含まれているために、これらの低分子量体が加熱条件下や真空条件下において揮発性ガスとなって発生していることを究明した。
【０００５】
本発明者らは、かかる究明に基づいて、さらに検討を続け、クリーニング層に含まれる低分子量体を架橋することによりクリーニング層のゲル分率を９０％以上とし、かつクリーニングシートの揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ（μｇ／ｇともいう）以下となるように設計することにより、前記問題を生じることなく、さらに異物を簡便かつ確実に除去できることを見出し、本発明を完成するに至つた。
また、本発明者らは上記究明に基づいて別途検討を続け、クリーニング層に低分子量体そのものが実質的に含まれていないように、かつクリーニングシートの揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下となるように設計することにより、前記問題を生じることなく、さらに異物を簡便かつ確実に除去できることもを見出し、本発明を完成するに至つた。
【０００６】
即ち第一の本発明は、基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであって、クリーニング層（以下、クリーニングシート単体、積層シート、もしくは支持体との積層シートなどの形態としてを含む）が、少なくとも感圧接着性ポリマーと多官能性化合物を含み、該感圧接着性ポリマーが多官能性化合物により架橋されてなり、ゲル分率が９０％以上で、かつ揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下であるクリーニングシート（請求項１）、基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであると共に、支持体の少なくとも片面にクリーニング層が設けられてなるクリーニングシートであって、該クリーニング層が、少なくとも感圧接着性ポリマーと多官能性化合物を含み、該感圧接着性ポリマーが多官能性化合物により架橋されてなり、ゲル分率が９０％以上で、かつ揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下となるように設計されているクリーニングシート（請求項２）、基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであると共に、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなるクリーニングシートであって、該クリーニング層が、少なくとも感圧接着性ポリマーと多官能性化合物を含み、該感圧接着性ポリマーが多官能性化合物により架橋されてなり、ゲル分率が９０％以上で、かつ揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下となるように設計されているクリーニングシート（請求項３）などに係るものである。
【０００７】
また第二の本発明は、基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであって、クリーニング層（以下、クリーニングシート単体、積層シート、もしくは支持体との積層シートなどの形態としてを含む）が、感圧接着性ポリマーを主成分として含み、該感圧接着性ポリマーに分子量５０００以下の低分子量体が実質的に含まれておらず、かつ揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下であるクリーニングシート（請求項４）、基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであると共に、支持体の少なくとも片面にクリーニング層が設けられてなるクリーニングシートであって、該クリーニング層が、感圧接着性ポリマーを主成分として含み、該感圧接着性ポリマーに分子量５０００以下の低分子量体が実質的に含まれておらず、かつ揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下であるクリーニングシート（請求項５）、基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであると共に、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなるクリーニングシートであって、該クリーニング層が、感圧接着性ポリマーを主成分として含み、該感圧接着性ポリマーに分子量５０００以下の低分子量体が実質的に含まれておらず、かつ揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下であるクリーニングシート（請求項６）、感圧接着性ポリマーの分子量の分散度（重量平均分子量／数平均分子量）が１０以下であることを特徴とする請求項４〜６いずれか記載のクリーニングシート（請求項７）、感圧接着性ポリマーが、貧溶媒による再沈殿処理が施されていることを特徴とする請求項４〜７いずれか記載のクリーニングシート（請求項８）などに係るものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
第一の本発明のクリーニングシートにおけるクリーニング層は、後述のゲル分率が９０％以上で、かつクリーニングシートからの揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下、より好ましくはクリーニング層のゲル分率が９５％以上で、かつクリーニングシートからの揮発性ガス量が３００ｐｐｍ以下であることが必要である。かかる揮発性ガス量は、後述の実施例の如くガスクロマトグラフィー／質量分析（ＧＣ／ＭＳ）を用いて測定した値であり、この揮発性ガス量が５００ｐｐｍより大きいと、実際に処理装置に搬送した場合、脱ガスにより装置内部を汚染してしまったり、装置内の真空度を低下させてしまうため、好ましくない。
【０００９】
かかるクリーニング層として用いられる材料は、上記ゲル分率と揮発性ガス量が特定値の範囲内であれば特に限定されないが、感圧接着性ポリマーを主成分とすることが好ましい。この感圧接着性ポリマーとしては、公知の各種重合体がいずれも使用可能であるが、なかでも（メタ）アクリル酸アルキルエステルおよび／またはメタクリル酸アルキルエステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーが好ましく用いられる。このアクリル系ポリマーは、（メタ）アクリル酸アルキルエステルおよび／またはメタクリル酸アルキルエステル、つまりアクリル酸やメタクリル酸と炭素数が通常１２以下のアルコール類とのエステル（例えば、アクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシルなど）を主モノマーとし、これに必要によりカルボキシル基ないし水酸基含有単量体（例えばアクリル酸、メタクリル酸、ヒドロキシエチルアクリレートなど）やその他の改質性モノマー（例えば、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、スチレン、アクリロニトリル、アクリルアミド、グリシジルアクリレートなど）を用いて、これらのモノマー常法により溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合などの方法で重合させることにより、得ることができる。
【００１０】
このような方法で合成される感圧接着性ポリマーは、一般には分子量の分布幅が広く、分子量数千以下のオリゴマーから数百万のものまでの混合物となっており、分子量数千以下のオリゴマーが数％〜１０％程度含まれている。これらポリマー中の低分子量成分は、それ自体で光もしくは熱エネルギーの付与による高分子化はほとんど期待できないため、粘着剤特性に悪影響を及ぼすことがある。
本発明においては、このような感圧接着性ポリマーに対して、あらかじめ多官能性化合物を配合して、支持体上にクリーニング層を設ける際、つまり塗工後の乾燥工程やその後の加熱工程において、上記の多官能性化合物と感圧接着性ポリマー分子のカルボキシル基や水酸基と反応させて架橋処理し、特に上記ポリマーに含まれる低分子量体についても上記架橋反応に十分に関与させてその高分子化をはかりことにより、ゲル分率を９０％以上となるように設計することができる。
なお、接着剤層を多官能性化合物により架橋処理すること自体は、これまでも行われているが、この架橋処理は、接着剤の凝集力を向上させることのみを目的としたものであって、本発明のように感圧接着性ポリマー中に含まれる低分子量体を高分子化することを目的としたものではなく、そのためにゲル分率はせいぜい８５％程度までであり、この程度のゲル分率では、低分子量体由来の脱ガスの発生を抑えることはできなかった。
【００１１】
第一の本発明において用いられる多官能性化合物としては、多官能エポキシ化合物、ポリイソシアネート化合物、アジリジン化合物などが挙げられ、十分な架橋反応を達成するために２種類以上を併用することも好ましい。これら多官能性化合物の使用量は、クリーニング層のゲル分率が９０％以上となるように適宜決定されるが、通常は感圧接着性ポリマー１００重量部あたり、０．１〜３０重量部、好ましくは２〜１０重量部となるようにするのがよい。
【００１２】
また第二の本発明のクリーニングシートのクリーニング層は、低分子量体が実質的に含まれておらず、かつクリーニングシートからの揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下であること、より好ましくは揮発性ガス量が３００ｐｐｍ以下であることが必要である。かかる揮発性ガス量は、後述の実施例の如くガスクロマトグラフィー／質量分析（ＧＣ／ＭＳ）を用いて測定した値であり、この揮発性ガス量が５００ｐｐｍより大きいと、実際に処理装置に搬送した場合、脱ガスにより装置内部を汚染してしまったり、装置内の真空度を低下させてしまうため、好ましくない。
【００１３】
かかるクリーニング層として用いられる材料は、それ自体に低分子量体が実質的に含まれず、かつ揮発性ガス量が特定値の範囲内であれば特に限定されないが、感圧接着性ポリマーを主成分とすることが好ましい。かかる場合には、この感圧接着性ポリマーに分子量５０００以下、さらに好ましくは分子量１００００以下の低分子量体が実質的に含まれていないことが望ましい。
また、この感圧接着性ポリマーの分子量の分散度（重量平均分子量／数平均分子量）が１０以下、好ましくは８以下、さらに好ましくは５以下（通常２まで）であるような分子量分布が狭いポリマーが望ましい。その重量平均分子量は、通常５０万〜５００万の範囲、数平均分子量が３０万〜３００万の範囲にあるのが好ましい。これらの平均分子量および分子量の分散度は、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー）法によるポリスチレン換算の値である。また、ポリマー中の分子量５０００以下の低分子量体は、その分子量分布曲線により、その有無を検出できる。
【００１４】
この感圧接着性ポリマーとしては、公知の各種重合体がいずれも使用可能であるが、なかでも（メタ）アクリル酸アルキルエステルおよび／またはメタクリル酸アルキルエステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーが好ましく用いられる。このアクリル系ポリマーは、（メタ）アクリル酸アルキルエステルおよび／またはメタクリル酸アルキルエステル、つまりアクリル酸やメタクリル酸と炭素数が通常１２以下のアルコール類とのエステル（例えば、アクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシルなど）を主モノマーとし、これに必要によりカルボキシル基ないし水酸基含有単量体（例えばアクリル酸、メタクリル酸、ヒドロキシエチルアクリレートなど）やその他の改質性モノマー（例えば、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、スチレン、アクリロニトリル、アクリルアミド、グリシジルアクリレートなど）を用いて、これらのモノマー常法により溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合などの方法で重合させることにより、得ることができる。
【００１５】
このような方法で合成される感圧接着性ポリマーは、一般には分子量の分布幅が広く、分子量数千以下のオリゴマーから数百万のものまでの混合物となっており、分子量数千以下のオリゴマーが数％〜１０％程度含まれている。これらポリマー中の低分子量成分は、それ自体で光もしくは熱エネルギーの付与による高分子化はほとんど期待できないため、粘着剤特性に悪影響を及ぼすことがある。
【００１６】
よって第二の本発明において用いる感圧接着性ポリマーは、前記感圧接着性ポリマーから公知の方法を用いて低分子量体を低減することにより得られるが、特に以下の貧溶媒による再沈殿処理を施すことにより、分子量５０００以下、好ましくは１００００以下の低分子量体が実質的に含まれないようにしたものが好適に用いられる。
かかる再沈殿処理は、例えばアクリル系ポリマーの場合は、貧溶媒としてこのポリマーの溶解性の小さい溶剤、一般にはメタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール系溶剤やヘキサン、石油エーテル等の脂肪族炭化水素系溶剤を用い、これに上記ポリマーを溶解させた後、室温又は低温下で放置して上記ポリマーを再沈殿させ、この沈殿ポリマーを乾燥回収する処理方法である。
かかる低分子量体は、このような再沈殿処理に限らず、その他公知の方法、例えば分離膜を用いて低分子量体を除く方法などにより低減することもできる。
【００１７】
上記の第一および第二の本発明におけるクリーニング層は、さらに分子内に不飽和二重結合を１個以上有する重合性不飽和化合物、および重合開始剤を含む硬化型接着剤層が、紫外線や熱などの活性エネルギー源により硬化された接着剤層を用いることもできる。かかる硬化接着剤層を用いることにより、搬送時にクリーニング層が被クリーニング部位と強く接着することがなく、より確実に搬送できるので好ましい。
【００１８】
ここで、重合性不飽和化合物としては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以下の低分子量体であるのがよく、特に硬化時のクリーニング層の三次元網状化が効率よくなされるように、５０００以下の分子量を有しているのが好ましい。このような重合性不飽和化合物の具体例としては、例えば、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、オリゴエステル（メタ）アクリレートなどが挙げられ、これらの中から、１種または２種以上が用いられる。
【００１９】
また、クリーニング層に添加される重合開始剤は、特に限定されず公知のものを使用でき、例えば活性エネルギー源に熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキサイド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始剤、また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエチルエーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンクロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロヒキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノンなどの光重合開始剤が挙げられる。
【００２０】
またクリーニング層の厚さは特に限定されないが、通常５〜１００μｍ程度である。
【００２１】
またかかるクリーニング層が支持体に設けられる場合（請求項２又は４）の支持体としては特に限定されないが、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリカルボジイミドなどのプラスチックフィルムなどが挙げられる。その厚みは通常１０〜１００μｍ程度が好ましい。特にクリーニング層が光硬化型接着剤層の場合は、紫外線などの光を透過するプラスチックフィルムが選択使用される。
【００２２】
本発明はさらに、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート（請求項３又は６）も提供する。この通常の粘着剤層は、粘着機能を満たす限りその材質などは特に限定されず、通常の粘着剤（例えばアクリル系、ゴム系など）を用いることができる。

かかる構成とすることにより、クリーニングシートを通常の粘着剤層により各種基板や他のテープ・シートなどの搬送部材に貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材として装置内に搬送して、被洗浄部位に接触させてクリーニングすることができる。
また、上記の基板などの搬送部材を再利用するために、クリーニング後に基板をかかる粘着剤層から剥がす場合は、かかる通常の粘着剤層の粘着力は再剥離できる範囲であれば特に限定されないが、かかる粘着力は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力が０．２０〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ、特に０．４０〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ程度であれば、搬送中に剥離することなく、かつクリーニング後に容易に再剥離できるので好ましい。
【００２３】
クリーニングシートが貼り付けられる搬送部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウエハ、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ用基板、その他コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどの基板などが挙げられる。
【００２４】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、以下、部とあるのは重量部を、Ｍｗは重量平均分子量を、Ｍｎは数平均分子量を、Ｍｗ／Ｍｎはポリマーの分子量の分散度をそれぞれ意味するものとする。
実施例１
アクリル酸−２−エチルヘキシル３０部、アクリル酸メチル７０部、及びアクリル酸１０部からなるモノマ―混合液から得たアクリルポリマーＡ（重量平均分子量が２８０万、重量平均分子量／数平均分子量が２２）の２７重量％トルエン溶液１００ｇに対して、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）を３ｇ、ポリエポキシ化合物（三菱瓦斯化学製、商品名：テトラッドＣ）を３ｇを、均一に混合して粘着剤溶液Ａを調整した。
次に、アクリル酸−２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチル２０部、及びアクリル酸５部からなるモノマ―混合液から得たアクリルポリマーＢ（重量平均分子量７０万）１００ｇに対して、ポリエチレングリコ―ル２００ジメタクリレ―ト（新中村化学製：商品名：ＮＫエステル４Ｇ）を５０ｇ、ウレタンアクリレ―ト（新中村化学製：商品名：Ｕ−Ｎ−０１）を５０ｇ、およびポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）を３ｇを、均一に混合し、粘着剤溶液を調整した。
【００２５】
この粘着剤溶液を、幅２５０ｍｍ、厚み２５μｍのポリエステル製支持体フィルムの片面に乾燥後の厚みが１０μｍになるように塗布して、通常の粘着剤層を設け、その表面に厚み３８μｍのポリエステル系剥離フィルムを貼った。次に支持体フィルムのもう一方の側に、前記の粘着剤溶液Ａを乾燥後の厚みが４０μｍになるように塗布してクリーニング層としての粘着剤層を設け、その表面に同様の剥離フィルムを貼り、クリーニングシートＡを作製した。
【００２６】
このクリーニングシートＡのクリーニング層のゲル分率を以下の方法で測定した。まず、クリーニング層としての粘着剤層１５．０ｇを酢酸エチル５００ｍｌ中に入れ、６０℃で１０時間攪拌したのち、不溶分をフィルターで濾過した。ロータリーエバポレーターによりろ液を濃縮後、さらに減圧乾燥（１ｍｍＨｇ、１時間）させ、酢酸エチルを完全に取り除いた。この濃縮物の重量を測ったところ、０．３ｇであった。したがってフィルターによって濾過された粘着剤重量は１３．５ｇであることから、ゲル分率は９０％と算出した。
【００２７】
またこのクリーニングシートＡのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、１００℃下での加熱発生ガス量分析をガスクロマトグラフィー／質量分析（ＧＣ／ＭＳ）を用いて行った。測定はパージアンドトラップヘッドスペースサンプラー（日本分析工業製：ＪＨＳ−１００Ａ）にてクリーニングシートを１００℃下で１０分間加熱し、発生した全加熱ガスをコールド・トラップし、このトラップ成分についてガスクロマトグラフ（ＨＥＷＬＥＴＴＰＡＣＫＡＲＤ製：ＨＰ６８９０）／質量分析計（日本電子製：ＪＭＳ−ＡＭII１５０）を用いて行った。なお、定量標準の測定については標準液（ｎ−デカン）をパージアンドヘッドスペースサンプラーに注入し、加熱条件を２００℃×１０分とし測定し、トータルイオンクロマトグラフ（ｍ／ｚ＝１０〜６１４）において検出されたピーク面積を用いて、ｎ−デカン換算により算出した。その結果、クリーニングシートＡの揮発性ガス発生量は３８１ｐｐｍであった。（表１参照）
【００２８】
このクリーニングシートの通常の粘着剤層側の剥離フィルムを剥がし、８ｉｎｃｈのシリコンウエハの裏面（ミラー面）にハンドローラで貼り付け、クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハＡを作製した。
【００２９】
一方、レーザー式異物測定装置で、新品の８ｉｎｃｈシリコンウエハ４枚のミラー面の０．２μｍ以上の異物を測定したところ、１枚目は１１個、２枚目は１３個、３枚目は６個、４枚目は１２個であった。これらのウエハを別々の静電吸着機構を有し、装置内の真空度が１０^-7Torrであるドライエッチング装置にミラー面を下側に向けて搬送した後、レーザー式異物測定装置でミラー面の０．２μｍ以上の異物を測定したところ、８ｉｎｃｈウエハサイズのエリア内でそれぞれ２５３４３個、３０２３０個、２９５４１個、２８９９４個であった。
次いで前記で得た搬送用クリーニングウエハＡのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記の２５３４３個の異物が付着していたウエハステージをもつドライエッチング装置に搬送したところ、支障なく搬送できた。その後に０．２μｍ以上の異物が１１個のっていた新品の８ｉｎｃｈシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で０．２μｍ以上の異物を測定した。この処理を５回実施し、その結果を表２に示した。
【００３０】
実施例２
粘着剤溶液として、実施例１と同様のアクリルポリマーＡ１００ｇに対して、多官能ウレタンアクリレート（日本合成化学社製：商品名：ＵＶ１７００Ｂ）を１５０ｇ、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）を３ｇ、ポリエポキシ化合物（三菱瓦斯化学製：商品名：テトラッドＣ）を３ｇ、および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・スペシャリティケミカルズ製：商品名：イルガキュアー６５１）を１０ｇを均一に混合して、紫外線硬化型粘着剤溶液Ｂを調整した。
上記紫外線硬化型粘着剤溶液Ｂを用いた以外は、実施例１と同様な方法で得たクリーニングシートに、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ²照射して、本発明のクリーニングシートＢを得た。このクリーニング層についてゲル分率を中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ²照射して用いた以外は実施例１と同様にして測定したところ、９９％であった。
またこのクリーニングシートＢのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、実施例１と同様にして測定した揮発性ガス発生量は、２１２ｐｐｍであった。（表１参照）
【００３１】
このクリーニングシートＢの通常の粘着剤層側の剥離フィルムを剥がし、８ｉｎｃｈのシリコンウエハの裏面（ミラー面）にハンドローラで貼り付け、クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハＢを作製した。
【００３２】
次いで前記で得た搬送用クリーニングウエハＢのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記の３０２３０個の異物が付着していたウエハステージを持つドライエッチング装置内に搬送したところ、装置内の真空度は１０^-7Torrを保っており、問題なく搬送できた。その後に０．２μm以上の異物が１３個のっていた新品の８ｉｎｃｈシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で０．２μｍ以上の異物を測定した。この処理を５回実施し、その結果を表２に示した。
【００３３】
比較例１
クリーニング層用の粘着剤溶液として、実施例１と同様のアクリルポリマーＡ１００ｇに対して、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）を３ｇを均一に混合して調整した粘着剤溶液Ｃを用いた以外は、実施例１と同様にしてクリーニングシートＣとクリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハＣを作製した。
このクリーニング層について、実施例１と同様に測定したゲル分率は８５％、クリーニングシートＣの揮発性ガス発生量は１４１７ｐｐｍであった。（表１参照）
【００３４】
この搬送用クリーニングウエハＣを、実施例１と同様に、２９５４１個の異物が付着していたウエハステージを持つドライエッチング装置内に搬送したところ、１枚目で装置内の真空度が１０^-7Torrから１０^-1Torrへ低下していまい、２枚目以降のクリーニングを中止した。
【００３５】
比較例２
クリーニング層用の粘着剤溶液として、実施例１と同様のアクリルポリマーＡ１００ｇに対して、多官能ウレタンアクリレート（日本合成化学社製：商品名：ＵＶ１７００Ｂ）を１５０ｇ、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）を３ｇ、および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・スペシャリティケミカルズ製：商品名：イルガキュアー６５１）を１０ｇを均一に混合して調整した紫外線硬化型粘着剤溶液Ｄを用いた以外は、実施例２と同様にしてクリーニングシートＤとクリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハＤを作製した。
このクリーニング層について、実施例２と同様に測定したゲル分率は８８％、クリーニングシートＤの揮発性ガス発生量は９４７ｐｐｍであった。（表１参照）
【００３６】
この搬送用クリーニングウエハＤを、実施例１と同様に、２８９９４個の異物が付着していたウエハステージを持つドライエッチング装置内に搬送したところ、１枚目で装置内の真空度が１０^-7Torrから１０^-1Torrへ低下していまい、２枚目以降のクリーニングを中止した。
【００３７】
【表１】

【００３８】
【表２】

【００３９】
実施例３
実施例１と同様にして得たアクリルポリマーＡ（重量平均分子量が２８０万、重量平均分子量／数平均分子量が２２）の２７重量％トルエン溶液１０００ｇを、メタノール７０ｋｇと混合し、１５分間室温で攪拌した。攪拌停止後１５分間放置したのち、沈殿物を取り出し、溶剤を乾燥させることにより、飴状白色ポリマー１９０ｇ（収率７０％）を得た（以後アクリルポリマーＥという）。こうして得られた再沈殿後のポリマーＥの分子量をＧＰＣにて分析したところ、ポリスチレン換算による分子量は、Ｍｗ＝３８０万、Ｍｗ／Ｍｎ＝３．０であった。また分子量分布曲線からは、Ｍｗ＝５万以下の成分はまったく検出されなかった。このアクリルポリマーＥ１００ｇに対して、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）を３ｇを均一に混合して、粘着剤溶液Ｅを調整した。
【００４０】
次に前記粘着剤溶液Ｅをクリーニング層として用いた以外は実施例１と同様にして、クリーニングシートＥとクリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハＥを作製した。
このクリーニングシートＥについて、実施例１と同様に測定した揮発性ガス発生量は２５８ｐｐｍであった。（表３参照）
【００４１】
一方、レーザー式異物測定装置で、新品の８ｉｎｃｈシリコンウエハ４枚のミラー面の０．２μｍ以上の異物を測定したところ、１枚目は１３個、２枚目は６個、３枚目は８個、４枚目は１１個であった。これらのウエハを別々の静電吸着機構を有し、装置内の真空度が１０^-7Torrであるドライエッチング装置にミラー面を下側に向けて搬送した後、レーザー式異物測定装置でミラー面の０．２μｍ以上の異物を測定したところ、８ｉｎｃｈウエハサイズのエリア内でそれぞれ３３３１０個、２６５４８個、２７８８５個、２６９５８個であった。
次いで前記で得た搬送用クリーニングウエハＥのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記の３３３１０個の異物が付着していたウエハステージをもつドライエッチング装置に搬送したところ、装置内の真空度は１０^-7Torrを保っており、問題なく搬送できた。その後に０．２μｍ以上の異物が１３個のっていた新品の８ｉｎｃｈシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で０．２μｍ以上の異物を測定した。この処理を５回実施し、その結果を表４に示した。
【００４２】
実施例４
粘着剤溶液として、実施例３と同様のアクリルポリマーＥ１００ｇに対して、多官能ウレタンアクリレート（日本合成化学社製：商品名：ＵＶ１７００Ｂ）を１５０ｇ、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）を３ｇ、および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・スペシャリティケミカルズ製：商品名：イルガキュアー６５１）を１０ｇを均一に混合して、紫外線硬化型粘着剤溶液Ｆを調整した。
上記紫外線硬化型粘着剤溶液Ｆをクリーニング層用として用いた以外は、実施例３と同様な方法で得たクリーニングシートに、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ²照射して、本発明のクリーニングシートＦを得た。このクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、実施例１と同様にして測定した揮発性ガス発生量は、１８４ｐｐｍであった。（表３参照）
【００４３】
このクリーニングシートの通常の粘着剤層側の剥離フィルムを剥がし、８ｉｎｃｈのシリコンウエハの裏面（ミラー面）にハンドローラで貼り付け、クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハＦを作製した。
【００４４】
次いで前記で得た搬送用クリーニングウエハＦのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記の２６５４８個の異物が付着していたウエハステージを持つドライエッチング装置内に搬送したところ、装置内の真空度は１０^-7Torrを保っており、問題なく搬送できた。その後に０．２μm以上の異物が６個のっていた新品の８ｉｎｃｈシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で０．２μｍ以上の異物を測定した。この処理を５回実施し、その結果を表４に示した。
【００４５】
比較例３
クリーニング層用の粘着剤溶液として、実施例３のアクリルポリマーＥの代りにアクリルポリマーＡを用いた以外は、実施例３と同様にしてクリーニングシートＧとクリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハＧを作製した。
このクリーニングシートＧについて、実施例１と同様に測定した揮発性ガス発生量は、１３５３ｐｐｍであった。（表３参照）
【００４６】
この搬送用クリーニングウエハＧを、実施例３と同様に、２７８８５個の異物が付着していたウエハステージを持つドライエッチング装置内に搬送したところ、１枚目で装置内の真空度が１０^-7Torrから１０^-1Torrへ低下していまい、２枚目以降のクリーニングを中止した。
【００４７】
比較例４
クリーニング層用の粘着剤溶液として、実施例４のアクリルポリマーＥの代りにアクリルポリマーＡを用いた以外は、実施例４と同様にしてクリーニングシートＨとクリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハＨを作製した。
このクリーニングシートＨについて、実施例１と同様に測定した揮発性ガス発生量は、８６６ｐｐｍであった。（表３参照）
【００４８】
この搬送用クリーニングウエハＨを、実施例４と同様に、２６９５８個の異物が付着していたウエハステージを持つドライエッチング装置内に搬送したところ、１枚目で装置内の真空度が１０^-7Torrから１０^-1Torrへ低下していまい、２枚目以降のクリーニングを中止した。
【００４９】
【表３】

【００５０】
【表４】

【００５１】
【発明の効果】
以上のように本発明のクリーニングシートによれば、搬送時に基板処理装置の環境を悪化させることなく、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に除去できる。

Claims

基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであって、クリーニング層が、少なくとも感圧接着性ポリマーと多官能性化合物を含み、該感圧接着性ポリマーが多官能性化合物により架橋されてなり、ゲル分率が９０％以上で、かつ揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下であるクリーニングシート。
基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであると共に、支持体の少なくとも片面にクリーニング層が設けられてなるクリーニングシートであって、該クリーニング層が、少なくとも感圧接着性ポリマーと多官能性化合物を含み、該感圧接着性ポリマーが多官能性化合物により架橋されてなり、ゲル分率が９０％以上で、かつ揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下となるように設計されているクリーニングシート。
基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであると共に、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなるクリーニングシートであって、該クリーニング層が、少なくとも感圧接着性ポリマーと多官能性化合物を含み、該感圧接着性ポリマーが多官能性化合物により架橋されてなり、ゲル分率が９０％以上で、かつ揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下となるように設計されているクリーニングシート。
基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであって、クリーニング層が、感圧接着性ポリマーを主成分として含み、該感圧接着性ポリマーに分子量５０００以下の低分子量体が実質的に含まれておらず、かつ揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下であるクリーニングシート。
基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであると共に、支持体の少なくとも片面にクリーニング層が設けられてなるクリーニングシートであって、該クリーニング層が、感圧接着性ポリマーを主成分として含み、該感圧接着性ポリマーに分子量５０００以下の低分子量体が実質的に含まれておらず、かつ揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下であるクリーニングシート。
基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであると共に、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなるクリーニングシートであって、該クリーニング層が、感圧接着性ポリマーを主成分として含み、該感圧接着性ポリマーに分子量５０００以下の低分子量体が実質的に含まれておらず、かつ揮発性ガス量が１００℃下で５００ｐｐｍ以下であるクリーニングシート。
感圧接着性ポリマーの分子量の分散度（重量平均分子量／数平均分子量）が１０以下であることを特徴とする請求項４〜６いずれか記載のクリーニングシート。
感圧接着性ポリマーが、貧溶媒による再沈殿処理が施されていることを特徴とする請求項４〜７いずれか記載のクリーニングシート。
クリーニング層が、さらに分子内に不飽和二重結合を１個以上有する重合性不飽和化合物、及び重合開始剤を含む硬化型接着剤層が活性エネルギーにより硬化された層であることを特徴とする請求項１〜８いずれか記載のクリーニングシート。
感圧接着性ポリマーが、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーであることを特徴とする請求項１〜９いずれか記載のクリーニングシート。
請求項３又は６記載のクリーニングシートが、通常の粘着剤層を介して搬送部材に設けられてなるクリーニング機能付き搬送部材。
請求項１、２、４、５いずれか記載のクリーニングシート又は請求項１１記載のクリーニング機能付き搬送部材を、基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。