JP4591815B2 - 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆立方晶窒化硼素基焼結材料製切削工具 - Google Patents
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組成式:(Ti1-X AlX )N(ただし、原子比で、Xは0.30〜0.65を示す)、
を満足するTiとAlの複合窒化物[以下、(Ti,Al)Nで示す]からなる硬質被覆層を0.5〜10μmの平均層厚で物理蒸着して、通常の条件での切り込みや送りで各種の鋼や鋳鉄などの連続切削加工や断続切削加工を行なっても、切刃部に欠けやチッピング(微小欠け)などが発生しないようにした被覆BN基工具が知られている。
装置内加熱温度:400〜450℃、
BN基基体に印加する直流バイアス電圧:−900〜−1100V、
装置内Arガス雰囲気圧力:1〜3Pa、
処理時間:10〜20分、
の条件で、BN基基体の表面をArガスボンバート洗浄した状態で、ヒータで装置内を、例えば500℃の温度に加熱した状態で、アノード電極と所定組成を有するTi−Al合金がセットされたカソード電極(蒸発源)との間に、例えば電流:100Aの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して、例えば2Paの反応雰囲気とし、一方上記BN基基体には、例えば−200Vのバイアス電圧を印加した条件で、前記BN基基体の表面に、上記(Ti,Al)N層からなる硬質被覆層を蒸着することにより製造されることも知られている。
(a)図4に示されるアークイオンプレーティング装置を用い、上記の従来のBN基基体表面に対するArガスボンバート洗浄処理に代って、
装置内加熱温度:350〜500℃、
装置内雰囲気:2〜10PaのAr、
BN基基体に印加する直流パルスバイアス電圧:−850〜−1100V、
カソード電極:硼化チタン(TiB2で示す)粉末の焼結体、
上記カソード電極とアノード電極間のアーク放電電流:200〜400A、
処理時間:0.5〜5分、
の条件で、BN基基体表面をTiB2でボンバート処理するBN基基体表面改質処理を施した状態で、通常の条件で、硬質被覆層として上記の組成式:(Ti1-XAlX)N(ただし、原子比で、Xは0.30〜0.65を示す)を満足する(Ti,Al)N層を形成すると、この結果の被覆BN基工具は長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するようになること。
(b)上記(a)の(Ti,Al)N層と上記の従来(Ti,Al)N層について、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、図1に概略説明図で示される通り、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射し、電子後方散乱回折像装置を用いて、所定領域を0.1μm/stepの間隔で、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である{100}面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、0〜45度の範囲内にある測定傾斜角を0.25度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフを作成した場合、前記従来(Ti,Al)N層は、図3に例示される通り、{100}面の測定傾斜角の分布が0〜45度の範囲内で不偏的な傾斜角度数分布グラフを示すのに対して、前記(a)の(Ti,Al)N層の傾斜角度数分布グラフは、図2に例示される通り、傾斜角区分の特定位置にシャープな最高ピークが現れ、このシャープな最高ピークはBN基基体表面をTiB2でボンバート処理する表面改質処理に際して、カソード電極であるTiB2粉末の焼結体とアノード電極間のアーク放電電流を変化させることによりグラフ横軸の傾斜角区分に現れる位置が変ること。
(c)多くの試験結果によれば、上記カソード電極とアノード電極間のアーク放電電流を上記の通り200〜400Aの範囲内で変化させると、上記シャープな最高ピークが傾斜角区分の15.00〜23.75度の範囲内に現れると共に、15〜27度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の45.1〜64.9%の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示すようになり、このような傾斜角度数分布グラフを示す(Ti,Al)N層を硬質被覆層として形成してなる被覆BN基工具はすぐれた耐摩耗性を長期に亘って発揮するようになること。
以上(a)〜(c)に示される研究結果を得たのである。
組成式:(Ti1-XAlX)N(ただし、原子比で、Xは0.30〜0.65を示す)を満足し、かつ、0.5〜10μmの平均層厚で物理蒸着してなる(Ti,Al)N層で硬質被覆層を構成し、
上記の硬質被覆層を構成する(Ti,Al)N層は、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射し、電子後方散乱回折像装置を用いて、所定領域を0.1μm/stepの間隔で、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である{100}面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、0〜45度の範囲内にある測定傾斜角を0.25度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、15.00〜23.75度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、15〜27度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の45.1〜64.9%の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示す、被覆BN基工具に特徴を有するものである。
また、上記の通り、(Ti,Al)N層の傾斜角度数分布グラフにおける測定傾斜角の最高ピーク位置は、カソード電極とアノード電極間のアーク放電電流を変化させることによって変化するが、多くの試験の結果、前記アーク放電電流を200〜400Aとした場合に、最高ピークが15.00〜23.75度の範囲内の傾斜角区分に現れると共に、15〜27度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の45.1〜64.9%の割合を占める傾斜角度数分布グラフが得られるようになる、という結論に達したものであり、したがって、前記アーク放電電流が200A未満でも、400Aを越えても、測定傾斜角の最高ピーク位置が15度未満の傾斜角区分になってしまう場合が生じ、このような場合には所望のすぐれた耐摩耗性を発揮することができないものである。
装置内加熱温度:420℃、
BN基基体に印加する直流バイアス電圧:−800V、
装置内Arガス雰囲気圧力:2.5Pa、
処理時間:15分、
の条件で、BN基基体の表面をArガスボンバート洗浄処理する以外は同一の条件で(Ti,Al)N層を物理蒸着することにより、表3に示される通りの従来1〜12をそれぞれ製造した。
また、これらの本発明被覆BN基工具1〜12および従来被覆BN基工具1〜12の(Ti,Al)N層の厚さを、走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標値と実質的に同じ平均層厚(5点測定の平均値)を示した。
すなわち、上記傾斜角度数分布グラフは、上記の(Ti,Al)N層の表面を研磨面とした状態で、電界放出型走査電子顕微鏡の鏡筒内にセットし、前記研磨面に70度の入射角度で15kVの加速電圧の電子線を1nAの照射電流で、前記表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に照射し、電子後方散乱回折像装置を用いて、30×50μmの領域を0.1μm/stepの間隔で、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である{100}面の法線がなす傾斜角を測定し、この測定結果に基づいて、前記測定傾斜角のうち、0〜45度の範囲内にある測定傾斜角を0.25度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計することにより作成した。
また表2,3には、上記の本発明被覆BN基工具1〜12および従来被覆BN基工具1〜12の(Ti,Al)N層の傾斜角度数分布グラフにおいて、15〜27度の範囲内の傾斜角区分に存在する傾斜角度数のグラフ全体の傾斜角度数に占める割合を示した。
なお、図2は、本発明被覆BN基工具2の(Ti,Al)N層の傾斜角度数分布グラフ、図3は、従来被覆BN基工具2の(Ti,Al)N層の傾斜角度数分布グラフをそれぞれ示すものである。
被削材:JIS・SCM415浸炭焼入れ鋼(表面硬さ:HRC58)の丸棒、
切削速度:150m/min.、
切り込み:0.1mm、
送り:0.1mm/rev.、
切削時間:15分、
の条件での合金鋼の乾式連続切削加工試験、
被削材:JIS・S17Cの高周波焼入れ鋼(表面硬さ:HRC55)の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度:120m/min.、
切り込み:0.15mm、
送り:0.1mm/rev.、
切削時間:10分、
の条件での炭素鋼の乾式断続切削加工試験、さらに、
被削材:JIS・FC200の丸棒、
切削速度:500m/min.、
切り込み:0.15mm、
送り:0.10mm/rev.、
切削時間:50分、
の条件での鋳鉄の乾式連続切削加工試験を行い、いずれの切削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表4に示した。
Claims (1)
- アークイオンプレーティング装置を用い、立方晶窒化硼素基焼結材料からなる基体の表面に、カソード電極として硼化チタンを用いてボンバード処理(表面改質処理)した状態で、
組成式:(Ti1-X AlX )N(ただし、原子比で、Xは0.30〜0.65を示す)を満足し、かつ、0.5〜10μmの平均層厚で物理蒸着形成してなるTiとAlの複合窒化物層で硬質被覆層を構成し、
上記の硬質被覆層を構成するTiとAlの複合窒化物層は、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射し、電子後方散乱回折像装置を用いて、所定領域を0.1μm/stepの間隔で、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である{100}面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、0〜45度の範囲内にある測定傾斜角を0.25度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、15.00〜23.75度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、15〜27度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の45.1〜64.9%の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示すこと、
を特徴とする硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆超硬合金製切削工具。
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