JP4577155B2 - プラズマ処理方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1実施形態について、図1乃至図5を参照して説明する。
以下、本発明の第2実施形態について、図6乃至図7を参照して説明する。
以下、本発明の第3実施形態について、図1、図4を参照して説明する。
以下、本発明の第4実施形態について、図4、図8及び図9を参照して説明する。
2 下部電極
3 絶縁体チャンバー
4 ガス流路
5 処理ガス供給装置
6 金属容器
7 ガス供給口
8 ガス噴出口
9 高周波電源
10 被処理物
11 絶縁ブロック
12 プラズマ
13 振動ユニット
Claims (6)
- 一対の電極間に絶縁体チャンバーを設け、電極間に処理用ガスを供給しつつ高周波電力を供給することで、電極間に大気圧近傍の圧力下でプラズマを生成させ、被処理物を処理する方法において、前記被処理物は表面の一部及び全部を有機膜で覆われた金属を複数本で重ねた、束ねた或いは拠ったものであり、
前記被処理物は前記絶縁体チャンバー内に配置されると共に、前記被処理物の端面は前記一対の電極間のなす空間よりも外側に載置され、前記被処理物を振動或いは回転させながら前記被処理物の有機膜を除去すること
を特徴とするプラズマ処理方法。 - 被処理物が糸状あるいは棒状の形状であることを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理方法。
- 有機膜は熱硬化性樹脂であることを特徴とする請求項1又は2に記載のプラズマ処理方法。
- プラズマ処理中に、もしくはプラズマ処理とプラズマ処理の間に、供給するガスの流量を大きくすること
を特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。 - 処理用ガスがO2ガスを含み、且つN2、F元素含有ガスの少なくとも1種類を含むこと
を特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。 - F元素含有ガスはF2、CHF3、HF、CF4、C2F4、C2F6、C3F6、C4F6、C3F8、C4F8、C5F8、NF3及びSF6ガスのいずれかであること
を特徴とする請求項5記載のプラズマ処理方法。
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