JP4572370B2 - Organic electronic device and manufacturing method thereof - Google Patents

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本発明は有機エレクトロルミネッセンス(以下、「有機EL」と記す)ディスプレイや薄膜トランジスタ(以下、「有機TFT」と記す)などの、有機材料を用いた様々な有機電子デバイスと、このような有機電子デバイスの製造方法に関するものである。   The present invention relates to various organic electronic devices using organic materials such as organic electroluminescence (hereinafter referred to as “organic EL”) displays and thin film transistors (hereinafter referred to as “organic TFT”), and such organic electronic devices. It is related with the manufacturing method.

近年、有機ELディスプレイなどに代表されるような、有機薄膜を電極ではさみ、電極間に電圧を印加することによって電流を注入し、発光、その他の機能を利用する有機電子デバイスの研究開発が活発に行われている。   In recent years, research and development of organic electronic devices that use light emission and other functions, such as organic EL displays, sandwich organic thin films with electrodes and inject current by applying voltage between the electrodes. Has been done.

これらの有機電子デバイスのうち、有機ELディスプレイデバイスは、ガラス基板上に設けられたITOなどの透明導電体からなる第一電極と、この第一電極上に設けられたホール輸送層、電子輸送層、発光層などからなる多層構造の有機層と、この有機層上に設けられたAlやMgなどからなる第二電極とから構成されている。一般に、ディスプレイデバイスなどでは、各画素ごとに発光(色や強度)を制御する必要があるために、画素ごとに対応した電極パターンが形成される。例えば、ガラス基板上に予めITO陽極(第一電極)がパターン形成されたものが用いられ、必要に応じて各画素ごとに有機材料がメタルマスクを用いて蒸着法により塗りわけられる。第二電極についてもメタルマスクによってパターン形成されることもあるが、他の方法によっても形成することも可能である。   Among these organic electronic devices, the organic EL display device includes a first electrode made of a transparent conductor such as ITO provided on a glass substrate, a hole transport layer and an electron transport layer provided on the first electrode. And an organic layer having a multilayer structure including a light emitting layer and the like, and a second electrode made of Al, Mg, or the like provided on the organic layer. Generally, in a display device or the like, since it is necessary to control light emission (color and intensity) for each pixel, an electrode pattern corresponding to each pixel is formed. For example, an ITO anode (first electrode) patterned in advance on a glass substrate is used, and an organic material is applied to each pixel by vapor deposition using a metal mask as necessary. The second electrode may be patterned by a metal mask, but may be formed by other methods.

例えば、特許文献1には、パッシブ型有機ELディスプレイの陰極パターン形成方法が開示されている。この特許文献1に開示される方法は、同特許文献1の図14で説明されている通り、予め基板上にオーバーハング状のライン隔壁を設け、有機層や陰極金属をその上から蒸着形成するものであり、隔壁のオーバーハングの効果により陰極がその蒸着時に隔壁により分離されて、ライン状陰極が自動的に形成されるというものである。しかしながらこの方法では、予め基板上に隔壁を設けておく必要があり、製造プロセスが煩雑になる上に、陰極のパターン自由度が小さいという問題点がある。   For example, Patent Document 1 discloses a cathode pattern forming method for a passive organic EL display. In the method disclosed in Patent Document 1, as described with reference to FIG. 14 of Patent Document 1, an overhanging line partition is provided on a substrate in advance, and an organic layer and a cathode metal are deposited thereon. The cathode is separated by the partition during the deposition due to the effect of the overhang of the partition, and the line-shaped cathode is automatically formed. However, in this method, it is necessary to provide a partition wall on the substrate in advance, and there are problems that the manufacturing process becomes complicated and the degree of freedom in patterning the cathode is small.

また、特許文献2には有機層の上に陰極を全面蒸着形成した後に、所望のパターンに対応した粘着材を塗ったフィルムを貼り付けて剥離するという方法が開示されている。しかしながら、この方法では電極のみが常に所望のパターンに剥離されるとは限らず、粘着材によっては有機層もダメージを受ける恐れがあった。
特開平8−315981号公報 特開2004−79373号公報
Patent Document 2 discloses a method in which a cathode is deposited on the entire surface of an organic layer, and then a film coated with an adhesive material corresponding to a desired pattern is attached and peeled off. However, in this method, only the electrodes are not always peeled into a desired pattern, and the organic layer may be damaged depending on the adhesive material.
JP-A-8-315981 JP 2004-79373 A

本発明は上記従来の実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、メタルマスクの作成、オーバーハング状ライン隔壁の形成、粘着フィルムによる剥離、などの工程に伴う種々の制約に捕われることなく、自由な形状に、上記有機ELディスプレイデバイスを含む種々の有機電子デバイスの電極パターンを形成する技術を与えることにある。   The present invention has been made in view of the above-described conventional circumstances, and its purpose is captured by various constraints associated with processes such as the creation of a metal mask, the formation of an overhanging line partition wall, and the peeling with an adhesive film. Therefore, it is desirable to provide a technique for forming electrode patterns of various organic electronic devices including the organic EL display device in a free shape.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、フォトクロミック分子材料の一種である1,2−ジアリールエテン(以下、「DAE」と略す。本発明において、DAEは置換基を有していても良く、以下において、置換基を有したものも含めて「DAE」と称す。)が、その異性化状態に応じた顕著なマグネシウム親和性を有し、従って、予めDAE下地層を形成し、該DAE下地層を所定パターン状に異性化させることにより、極めて容易に電極パターンを形成することができること、そしてこの場合において、DAE下地層のマグネシウム親和性が、該DAE下地層と電極層との間に中間層を形成した場合であっても、この中間層が、ある特定の厚み以内であれば有効であることを見出し、本発明を完成させた。 As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have found that 1,2-diarylethene (hereinafter abbreviated as “DAE”), which is a kind of photochromic molecular material. In the present invention, DAE has a substituent. In the following, it is referred to as “DAE” including those having a substituent.) Has a remarkable magnesium affinity according to its isomerization state, and therefore, a DAE underlayer is previously formed. The electrode pattern can be formed very easily by isomerizing the DAE underlayer into a predetermined pattern. In this case, the magnesium affinity of the DAE underlayer is such that the DAE underlayer and the electrode layer even when forming an intermediate layer between, the intermediate layer is, it found that it is an effective if it is within a certain thickness, thereby completing the present invention.

即ち、本発明は、以下を要旨とするものである。   That is, this invention makes the following a summary.

(1) 第一電極及び第二電極と、これらの電極間に設けられた有機層とを有する有機電子デバイスにおいて、第一電極と有機層との間、及び/又は、第二電極と有機層との間に、電極材料の付着性の差を利用して電極のパターニングを行うための、置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンを含む層を有する有機電子デバイスであって、該置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンを含む層は、光照射により電極パターンに対応する、置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンの異性化状態の異なるパターンが形成され、異性化の差異により電極材料との付着性が異なることにより電極のパターニングが行われる層であり、第一電極と1,2−ジアリールエテンを含む層との間、及び/又は、第二電極と1,2−ジアリールエテンを含む層との間にキャリア輸送性の中間層を有することを特徴とする有機電子デバイス。 (1) In an organic electronic device having a first electrode and a second electrode and an organic layer provided between these electrodes, between the first electrode and the organic layer and / or the second electrode and the organic layer between, for patterning the electrode by utilizing the difference in adhesion of the electrode material, an organic electronic device having a layer containing also a good 1,2 diarylethene substituted, the In the layer containing 1,2-diarylethene which may have a substituent, patterns with different isomerization states of 1,2-diarylethene which may have a substituent corresponding to the electrode pattern are formed by light irradiation. A layer on which electrode patterning is performed due to a difference in adhesion to an electrode material due to a difference in isomerization, between a first electrode and a layer containing 1,2-diarylethene, and / or a second electrode 1,2-diary An organic electronic device comprising a carrier-transporting intermediate layer between a layer containing ruethene.

(2) 基板、第一電極、有機層及び第二電極を有する有機電子デバイスにおいて、基板と第一電極との間、第一電極と有機層との間、及び、第二電極と有機層との間のいずれか1以上に、電極材料の付着性の差を利用して電極のパターニングを行うための、置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンを含む層を有する有機電子デバイスであって、該置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンを含む層は、光照射により電極パターンに対応する、置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンの異性化状態の異なるパターンが形成され、異性化の差異により電極材料との付着性が異なることにより電極のパターニングが行われる層であり、第一電極と1,2−ジアリールエテンを含む層との間、及び/又は、第二電極と1,2−ジアリールエテンを含む層との間にキャリア輸送性の中間層を有することを特徴とする有機電子デバイス。 (2) In an organic electronic device having a substrate, a first electrode, an organic layer, and a second electrode, between the substrate and the first electrode, between the first electrode and the organic layer, and between the second electrode and the organic layer. An organic electronic device having a layer containing 1,2-diarylethene, which may have a substituent , for patterning an electrode by utilizing a difference in adhesion of an electrode material The layer containing 1,2-diarylethene which may have a substituent is different in the isomerization state of 1,2-diarylethene which may have a substituent corresponding to the electrode pattern by light irradiation. A layer in which a pattern is formed and electrode patterning is performed due to different adhesion to the electrode material due to differences in isomerization, between the first electrode and the layer comprising 1,2-diarylethene and / or Second electrode and 1,2- An organic electronic device comprising an intermediate layer capable of transporting carriers between a layer containing diarylethene.

(3) (1)又は(2)の有機電子デバイスにおいて、第一電極及び/又は第二電極に、前記1,2−ジアリールエテンを含む層の異性化状態の異なるパターンに対応したパターンが含まれることを特徴とする有機電子デバイス。 (3) In the organic electronic device of (1) or (2), the first electrode and / or the second electrode include patterns corresponding to patterns having different isomerization states of the layer containing 1,2-diarylethene. An organic electronic device characterized by that.

(4) 有機電子材料からなる層に電圧を印加して機能させる有機電子デバイスを製造する方法において、異性化の差異により電極材料との付着性が異なる、置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンを含む下地層を形成する工程と、該下地層の1,2−ジアリールエテンを所定パターン状に異性化反応させる工程及び該下地層上にキャリア輸送性の中間層を形成する工程と、次いで該中間層上に電極材料を付与して、前記所定パターンに対応した電極パターンを形成する工程とを有することを特徴とする有機電子デバイスの製造方法。 (4) In a method of manufacturing an organic electronic device that functions by applying a voltage to a layer made of an organic electronic material, the adhesion with the electrode material may be different due to a difference in isomerization . A step of forming an underlayer containing 2-diarylethene, a step of isomerizing the 1,2-diarylethene of the underlayer in a predetermined pattern, and a step of forming an intermediate layer having a carrier transport property on the underlayer, Then, an electrode material is provided on the intermediate layer, and an electrode pattern corresponding to the predetermined pattern is formed.

DAEは、2つのアリール基が結合してエテン二重結合を含む環を形成した閉環状態と、これらのアリール基が離れた開環状態との2つの異性体を有するものであるが、このうち、開環状態のものはマグネシウムが付着せず、閉環状態のものはマグネシウムが付着する。本発明では、DAEのこの性質を利用して、例えば次のようにして電極のパターニングを行うことができる。   DAE has two isomers, a ring-closed state in which two aryl groups are bonded to form a ring containing an ethene double bond, and a ring-opened state in which these aryl groups are separated. In the ring-open state, magnesium does not adhere, and in the ring-closed state, magnesium adheres. In the present invention, using this property of DAE, for example, the electrode can be patterned as follows.

即ち、予めそのデバイスの機能を発現するための有機層が形成された基板の該有機層上に、DAEを含む下地層を形成し、この下地層に所望のパターンに対応したパターンでレーザーなどの光を照射することによって、DAEの異性化状態部分を形成し、更にその上に特定の厚みの中間層、例えば電子輸送層を形成した上で、電極材料、例えばマグネシウムを蒸着することにより電極を形成する。すると、DAE下地層とマグネシウム層とは直接接していないにもかかわらず、形成された下地層中のDAEが開環状態であり、異性化により閉環状態となった場合には、異性化状態(閉環状態)部分にマグネシウムが付着して当該パターンに対応した電極パターンを形成することができる。また、形成された下地層中のDAEが閉環状態であり、異性化により開環状態となった場合には、異性化状態(開環状態)部分以外にマグネシウムが付着して、当該パターンのネガパターンに対応した電極を形成することができる。このようにDAEの異性化パターンに対応したパターンで容易に電極パターンを形成することが可能となる。また、DAE下地層上に中間層を形成することで、併せて、DAE下地層の保護、形状保持、発光効率向上などを図ることが可能となる。
なお、電子輸送層等の中間層を形成した後に、その上から光を照射することによって、DAE下地層に異性化状態部分を形成することも可能である。
That is, a base layer containing DAE is formed on the organic layer of the substrate on which an organic layer for expressing the function of the device is formed in advance, and a laser or the like is formed on the base layer in a pattern corresponding to a desired pattern. By irradiating with light, an isomerized state portion of DAE is formed, and an intermediate layer having a specific thickness, for example, an electron transport layer is formed thereon, and then an electrode material, for example, magnesium is evaporated to form an electrode. Form. Then, even though the DAE underlayer and the magnesium layer are not in direct contact with each other, when the DAE in the formed underlayer is in a ring-opened state and becomes a ring-closed state by isomerization, the isomerized state ( Magnesium adheres to the (ring-closed state) portion, and an electrode pattern corresponding to the pattern can be formed. In addition, when the DAE in the formed underlayer is in a ring-closed state and becomes a ring-opened state by isomerization, magnesium adheres in addition to the isomerized state (ring-opened state) portion, and the negative of the pattern An electrode corresponding to the pattern can be formed. In this way, it is possible to easily form an electrode pattern with a pattern corresponding to the DAE isomerization pattern. In addition, by forming the intermediate layer on the DAE underlayer, it is possible to protect the DAE underlayer, maintain the shape, and improve the light emission efficiency.
It is also possible to form an isomerized state portion in the DAE underlayer by irradiating light from above after forming an intermediate layer such as an electron transport layer.

このようにDAEの異性化により電極のパターニングを行うことができるメカニズムの詳細は必ずしも明らかではないが、次のように推定される。即ち、DAEの異性化反応に伴う何らかの物性変化により、中間層を有していてもマグネシウムの付着性に変化が生じ、また、異性化反応を起こすことで、当該部分の開環体分子と閉環体分子との比率がある値を超えた時に、マグネシウムの付着性と非付着性とに顕著な差が生じ、パターニングが可能になるものと考えられる。DAEは、その1分子程度に相当する膜厚である1nmというような超薄膜でもこのような作用効果を得ることができ、更にレーザーを集光して形成したミクロンオーダーの異性化パターンに対しても、それに対応した電極パターンを形成することができ、従って、本発明によれば、レーザー光の集光スポットに対応するような微細なパターンを含めて、所望の任意の形状の電極パターンをレーザー光の走査精度と同等の精度で高精度に形成することが可能となる。なお、フィルターの工夫をすれば、レーザー強度の大きな部分のみ光が実効的に働き、波長による制約以下のパターンもつくることができる。 The details of the mechanism by which electrode patterning can be performed by isomerization of DAE as described above are not necessarily clear, but are estimated as follows. That is, by some change in physical properties due to isomerization reaction of the DAE, changes in the adhesion between have intermediate layers magnesium occurs, also by causing the isomerization reaction, and ring opening molecule of the partial When the ratio to the ring-closed molecule exceeds a certain value, it is considered that there is a significant difference between the adhesion and non-adhesion of magnesium, and patterning becomes possible. DAE can achieve this effect even with an ultra-thin film with a thickness equivalent to about 1 molecule, such as 1 nm. Furthermore, DAE can be used for micron-order isomerization patterns formed by focusing the laser. Therefore, according to the present invention, an electrode pattern of any desired shape including a fine pattern corresponding to a focused spot of the laser beam can be formed by laser. It can be formed with high accuracy at the same accuracy as the light scanning accuracy. If the filter is devised, the light works effectively only in the portion where the laser intensity is large, and it is possible to create a pattern less than the restriction by the wavelength.

なお、DAEは、通常開環状態で無色のものが、閉環状態で着色する。従って、本発明によれば、DAEが閉環状態となり、マグネシウムの付着性を有する部分を色に対応するスペクトルにて確認することができるという利点も有する。
また、DAEは、有機電子デバイスの有機層や電極に何ら影響を及ぼすものではなく、DAE層を形成することにより、有機電子デバイスの機能が損なわれることもない。
Note that DAE is normally colorless in a ring-opened state and colored in a ring-closed state. Therefore, according to the present invention, DAE is in a closed state, and there is an advantage that a portion having magnesium adhesion can be confirmed in a spectrum corresponding to a color.
Further, DAE does not affect the organic layer or electrode of the organic electronic device, and the function of the organic electronic device is not impaired by forming the DAE layer.

本発明によれば、メタルマスクの作成、オーバーハング状ライン隔壁の形成、粘着フィルムによる剥離、などの工程に伴う種々の制約に捕われることなく、自由な形状にかつ高精度に有機デバイスの電極パターンを形成することが可能とされる。   According to the present invention, the electrode of the organic device can be freely formed and highly accurately without being trapped by various constraints associated with the steps such as the creation of a metal mask, the formation of an overhanging line partition, and the peeling with an adhesive film. A pattern can be formed.

以下に本発明の有機電子デバイス及びその製造方法の実施の形態を詳細に説明するが、本発明は、以下の実施の形態の説明に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更して実施することができる。   Hereinafter, embodiments of the organic electronic device and the manufacturing method thereof of the present invention will be described in detail. However, the present invention is not limited to the description of the following embodiments, and variously within the scope of the gist of the present invention. It can be changed and implemented.

[有機電子デバイス]
本発明の有機電子デバイスは、第一電極、有機層及び第二電極をこの順で積層した構造であるか、或いは、更に第一電極側に基板を有し、
基板と第一電極との間
第一電極と有機層との間
有機層と第二電極との間
のいずれか1以上に、置換基を有していても良い1,2−ジアリールエテンを含む層(以下「DAE層」と称す場合がある。)を有し、第一電極とDAE層との間、及び/又は第二電極とDAE層との間に中間層を有するものである。
[Organic electronic devices]
The organic electronic device of the present invention has a structure in which a first electrode, an organic layer and a second electrode are laminated in this order, or further has a substrate on the first electrode side,
Between the substrate and the first electrode Between the first electrode and the organic layer Any one or more between the organic layer and the second electrode, a layer containing 1,2-diarylethene which may have a substituent (Hereinafter also referred to as “DAE layer”) and having an intermediate layer between the first electrode and the DAE layer and / or between the second electrode and the DAE layer.

即ち、本発明の有機電子デバイスは、電極と隣接する部材との間に、電極側の中間層を介してDAE層を有する点が、従来の有機電子デバイスとは異なり、DAE層及び中間層以外の各部材の構成及びその形成方法については、従来の有機電子デバイスの構成及び形成方法を適用することができる。例えば、有機EL素子については、特開2004−362930号公報、特開2004−359671号公報、特開2004−331587号公報等に記載の構成を任意に選択して採用することができる。また、有機トランジスタについては特開2003−309268号公報、特開2004−103638号公報等に記載の構成を任意に選択して採用することができる。もちろん、これらの公報に記載の内容に限定されるものではないことは言うまでもない。   That is, the organic electronic device of the present invention is different from conventional organic electronic devices in that it has a DAE layer between an electrode and an adjacent member via an electrode-side intermediate layer, except for the DAE layer and the intermediate layer. With respect to the configuration of each member and the formation method thereof, the conventional configuration and formation method of an organic electronic device can be applied. For example, for the organic EL element, the configurations described in JP-A-2004-362930, JP-A-2004-359671, JP-A-2004-331587 and the like can be arbitrarily selected and employed. As for the organic transistor, a configuration described in JP-A-2003-309268, JP-A-2004-103638, or the like can be arbitrarily selected and employed. Of course, it goes without saying that the content is not limited to those described in these publications.

ただし、第一電極、第二電極の形成方法については、真空蒸着法、スパッタリング法など有機層にダメージを与えないドライプロセスの範囲で任意に選ぶことができるが、本発明のDAE異性化によるパターニングを適用する電極については、電極となる金属原子の付着時におけるDAEへの低ダメージ性の理由により、真空蒸着を採用することが好ましい。   However, the formation method of the first electrode and the second electrode can be arbitrarily selected within the range of a dry process that does not damage the organic layer, such as a vacuum deposition method or a sputtering method, but patterning by DAE isomerization according to the present invention. For the electrode to which is applied, it is preferable to employ vacuum deposition for the reason of low damage to DAE at the time of adhesion of metal atoms to be an electrode.

なお、本発明の有機電子デバイスにおいて基板は必ずしも必要とされず、後述の如く、第一電極や有機層に十分な厚みと強度がある場合には、基板のない構成とすることもできる。   In the organic electronic device of the present invention, the substrate is not necessarily required. As will be described later, when the first electrode and the organic layer have a sufficient thickness and strength, the substrate may be configured without the substrate.

<DAE層>
以下に、本発明の有機電子デバイスの特徴部分であるDAE層について説明する。
本発明の有機電子デバイスにおいて、DAEは、その異性化による開環状態と閉環状態との差異による電極材料の付着性の差を利用して電極のパターニングを行うために形成されるものである。従って、DAEは、電極と他の部材との間に介在して形成される。また、パターニングされた電極パターンに対応する部分に、閉環状態のDAEが存在する。
<DAE layer>
The DAE layer, which is a characteristic part of the organic electronic device of the present invention, will be described below.
In the organic electronic device of the present invention, the DAE is formed in order to perform electrode patterning by utilizing the difference in adhesion of the electrode material due to the difference between the ring-opened state and the ring-closed state due to the isomerization. Accordingly, the DAE is formed so as to be interposed between the electrode and another member. In addition, ring-closed DAE exists in a portion corresponding to the patterned electrode pattern.

(DAE)
本発明に係るDAE層を形成するDAEとしては、入江らの総説、「有機フォトクロミスムの化学」、学会出版センター、1996に掲載された化合物を用いることができるが、本発明は、上に述べたマグネシウム等の電極材料との選択的付着性が確認されたものであれば良く、何らこれらに限定されるものではない。
(DAE)
As the DAE for forming the DAE layer according to the present invention, compounds described in Irie et al., “Chemistry of Organic Photochromism”, Academic Publishing Center, 1996 can be used. It is sufficient that the selective adhesion with the electrode material such as magnesium described above is confirmed, and the present invention is not limited thereto.

本発明に係るDAE層には、このようなDAEの1種のみが含まれていても良く、2種以上のDAEが任意の組み合わせ、任意の配合比率で含まれていても良い。   In the DAE layer according to the present invention, only one type of such DAE may be included, or two or more types of DAE may be included in any combination and in any combination ratio.

(その他の成分)
本発明に係るDAE層には、DAEの性質を損なわない範囲で任意に他の有機分子材料や、ポリマーなどを加えても良い。例えば、膜性向上のためのバインダーを配合しても良い。バインダーとしては通常のポリマー材料であるポリスチレンや、ポリマー系キャリア輸送材料として知られるポリビニルカルバゾール、MEH−PPV(ポリフェニレンビニレン)など既知のものが1種を単独で、或いは2種以上を混合して用いられる。このように、DAE層中に他の成分を含む場合、形成されたDAE層中のDAEの割合が過度に少ないと、本発明の所期の目的を達成し得ないため、DAE層に占めるDAEの割合が、通常5重量%以上となるようにする。
(Other ingredients)
In the DAE layer according to the present invention, other organic molecular materials or polymers may be optionally added within a range that does not impair the properties of DAE. For example, a binder for improving film properties may be blended. As the binder, polystyrene, which is an ordinary polymer material, polyvinylcarbazole, which is known as a polymer carrier transport material, MEH-PPV (polyphenylene vinylene), etc., are used alone or in combination of two or more. It is done. As described above, when the DAE layer contains other components, if the DAE ratio in the formed DAE layer is excessively small, the intended purpose of the present invention cannot be achieved. The ratio is usually 5% by weight or more.

(成膜方法)
本発明に係るDAE層の成膜方法としては特に制限はなく、真空蒸着法、スパッタリング法等のドライプロセスを採用することができる。
(Film formation method)
There is no restriction | limiting in particular as the film-forming method of the DAE layer concerning this invention, Dry processes, such as a vacuum evaporation method and sputtering method, are employable.

(膜厚)
本発明に係るDAE層の膜厚には特に制限はなく、後述の実施例に示す如く、単分子層に相当する1nm程度であっても、本発明によるパターニングが可能であるが、膜厚が過度に薄いとDAE分子が全体を覆う層を形成し得ず、局所的にその下の層が表出することにより、この部分に電極材料が付着することとなる。従って、膜厚の下限としては1nm以上、好ましくは2nm以上である。膜厚の上限については、過度に厚いとDAEの不所望な性質、例えば低いキャリア輸送能力や低いガラス転移点を有する材料の場合、動作電圧上昇や高温に対する耐久性の劣化をもたらす可能性があるため、通常100nm以下、好ましくは50nm以下、特に好ましくは10nm以下とする。ただし、DAE自体が優れたキャリア輸送性や高いガラス転移点を有する場合は、このような膜厚の上限の制限はない。
(Film thickness)
The film thickness of the DAE layer according to the present invention is not particularly limited, and as shown in the examples described later, patterning according to the present invention is possible even when the thickness is about 1 nm corresponding to a monomolecular layer. If the layer is too thin, the DAE molecule cannot form a layer covering the whole, and the underlying layer is exposed locally, so that the electrode material adheres to this portion. Therefore, the lower limit of the film thickness is 1 nm or more, preferably 2 nm or more. With regard to the upper limit of the film thickness, if it is excessively thick, it may lead to an undesired property of DAE, for example, a material having a low carrier transport ability and a low glass transition point, resulting in an increase in operating voltage and a deterioration in durability against high temperatures. Therefore, the thickness is usually 100 nm or less, preferably 50 nm or less, and particularly preferably 10 nm or less. However, when the DAE itself has excellent carrier transportability and a high glass transition point, there is no upper limit of such a film thickness.

<中間層>
(成分)
中間層の材質は、DAEの特性を阻害しないものであって、キャリア輸送性を有するものであれば特に制限はなく、その形成目的、即ち、DAE下地層の保護、形状保持、発光効率向上等の形成目的に応じて選択される。例えばAg,Au,Pt等の腐食性の低い金属薄膜、ITOなどの無機材料、Alq3(aluminato-tris-8-hydroxyquinolate)、α−NPB(N,N-di(naphthalene-1-yl)-N,N-diphenyl-benzidene)、トリフェニルアミン等のキャリア輸送材料などの有機分子材料、ポリスチレンや、ポリマー系キャリア輸送材料として知られるポリビニルカルバゾール、MEH−PPV(ポリフェニレンビニレン)などのポリマー材料などが挙げられる。このうち、発光効率向上などの目的にはキャリア輸送材料が好ましく用いられる。尚、中間層の材質は上記の1種を単独で、或いは2種以上を混合して用いることができる。また、中間層は上記の材質よりなるものを2層以上積層して形成しても良い。中間層を2層以上積層した場合、後述の中間層の膜厚は、これらの合計の膜厚をさす。
<Intermediate layer>
(component)
The material of the intermediate layer is not particularly limited as long as it does not interfere with the characteristics of DAE and has carrier transport properties, and its purpose of formation, that is, protection of the DAE underlayer, shape retention, luminous efficiency improvement, etc. It is selected according to the purpose of formation. For example, metal films with low corrosive properties such as Ag, Au, Pt, inorganic materials such as ITO, Alq3 (aluminato-tris-8-hydroxyquinolate), α-NPB (N, N-di (naphthalene-1-yl) -N , N-diphenyl-benzidene), organic molecular materials such as carrier transport materials such as triphenylamine, polymer materials such as polystyrene and polyvinyl carbazole known as polymer carrier transport materials, and MEH-PPV (polyphenylene vinylene). It is done. Among these, a carrier transport material is preferably used for the purpose of improving luminous efficiency. In addition, the material of an intermediate | middle layer can use said 1 type individually or in mixture of 2 or more types. The intermediate layer may be formed by laminating two or more layers made of the above materials. When two or more intermediate layers are laminated, the film thickness of the intermediate layer described later refers to the total film thickness thereof.

(成膜方法)
本発明に係る中間層の成膜方法としては特に制限はなく、真空蒸着法、スパッタリング法等のドライプロセスを採用することができる。
(Film formation method)
There is no restriction | limiting in particular as the film-forming method of the intermediate | middle layer which concerns on this invention, Dry processes, such as a vacuum evaporation method and sputtering method, are employable.

(膜厚)
中間層の膜厚はDAE層の厚みに依存する。例えば、DAEが1nmという超薄膜の場合、中間層は1nm程度であればDAE異性化によるパターニング効果が維持される。DAE層が厚いほど中間層の厚さは厚くできる。中間層の膜厚がDAE層に対して顕著に厚い場合、例えば中間層がDAE層より2倍を超えて厚い場合には、DAE層の効果、即ち、異性化による開環状態と閉環状態との差異による電極材料の付着性の差によるパターニング性が損なわれる。また、DAE層の厚みに関わらず、中間層の厚みが20nmを超えると、DAE層の効果は消失する。
従って、中間層の厚さは1〜20nmの範囲で、DAE層の膜厚の2倍以下、特に0.5〜1倍程度であることが好ましい。
(Film thickness)
The film thickness of the intermediate layer depends on the thickness of the DAE layer. For example, in the case of an ultrathin film having a DAE of 1 nm, the patterning effect by DAE isomerization is maintained if the intermediate layer is about 1 nm. The thicker the DAE layer, the thicker the intermediate layer. When the thickness of the intermediate layer is significantly thicker than that of the DAE layer, for example, when the intermediate layer is more than twice as thick as the DAE layer, the effects of the DAE layer, that is, the ring-opening state and the ring-closing state due to isomerization, The patterning property due to the difference in the adhesion of the electrode material due to the difference in the above is impaired. Moreover, regardless of the thickness of the DAE layer, when the thickness of the intermediate layer exceeds 20 nm, the effect of the DAE layer disappears.
Therefore, the thickness of the intermediate layer is preferably in the range of 1 to 20 nm and not more than twice the thickness of the DAE layer, particularly about 0.5 to 1 times.

[有機電子デバイスの製造方法]
以下に本発明の有機電子デバイスの製造方法についてその操作手順に従って説明する。
[Method of manufacturing organic electronic device]
Below, the manufacturing method of the organic electronic device of this invention is demonstrated according to the operation procedure.

なお、以下においては、基板上に常法に従って第一電極を形成した後、その上に有機層を形成し、この有機層上に形成する第二電極のパターニングのためにDAE層と中間層を形成して所定のパターン形状に第二電極を形成する場合を例示して本発明の方法を説明するが、本発明は何らこの方法に限らず、
(1) 基板上にDAE層を形成し、このDAE層について異性化パターンを形成した後、中間層を形成し、第一電極をこのパターンに倣って形成し、更に有機層及び第二電極を形成する方法
(2) 上記(1)の方法において、第二電極についても後述の如く、有機層上にDAE層及び中間層を形成し、DAE層の異性化パターン形成によりパターニングする方法
(3) 十分な厚みと強度を有する有機層の一方の面又は両面にDAE層と中間層を形成し、このDAE層の異性化パターン形成により、第一電極及び/又は第二電極をパターニングする方法
など様々な態様で電極のパターニングを行うことができる。なお、いずれの場合でも、前述の如く、中間層は、DAE層の異性化パターンを形成した後、DAE層上に形成しても良く、DAE層上に中間層を形成した後DAE層の異性化パターンの形成を行っても良い。
In the following, a first electrode is formed on a substrate according to a conventional method, an organic layer is formed thereon, and a DAE layer and an intermediate layer are formed for patterning the second electrode formed on the organic layer. The method of the present invention will be described by exemplifying the case of forming and forming the second electrode in a predetermined pattern shape, but the present invention is not limited to this method,
(1) A DAE layer is formed on a substrate, an isomerization pattern is formed on this DAE layer, an intermediate layer is formed, a first electrode is formed following this pattern, and an organic layer and a second electrode are further formed. How to form
(2) In the method of (1) above, the second electrode is also formed by forming an DAE layer and an intermediate layer on the organic layer and patterning by forming an isomerization pattern of the DAE layer, as will be described later.
(3) A DAE layer and an intermediate layer are formed on one or both sides of an organic layer having sufficient thickness and strength, and the first electrode and / or the second electrode is patterned by forming an isomerization pattern of the DAE layer. Electrode patterning can be performed in a variety of ways, including methods. In any case, as described above, the intermediate layer may be formed on the DAE layer after forming the isomerization pattern of the DAE layer, or after the intermediate layer is formed on the DAE layer, the isomerization of the DAE layer may be performed. A formation pattern may be formed.

<第二電極のパターニング>
[1]基板上に常法に従って第一電極を形成する。
<Patterning of second electrode>
[1] A first electrode is formed on a substrate according to a conventional method.

[2]第一電極上に所定の有機層を常法に従って形成する。 [2] A predetermined organic layer is formed on the first electrode according to a conventional method.

[3]前述のDAEを含む下地層を形成する。
ここで、下地層は、真空蒸着法、スパッタリング法等により形成することが好ましいが、ドクターブレード法、キャスト法、スピンコート法、浸漬法などにより形成する場合、DAEを溶媒で希釈して塗布液を調製し、この塗布液を用いることが望ましい。この場合、溶媒の種類としては、有機層を侵さない溶媒であれば、特に限定されない。
このDAEを含む下地層は、前述のように通常1nm以上、好ましくは2nm以上で、通常100nm以下、好ましくは50nm以下、特に10nm以下の厚さに形成される。
[3] An underlayer containing the above-described DAE is formed.
Here, the underlayer is preferably formed by a vacuum deposition method, a sputtering method, or the like. However, in the case of forming by a doctor blade method, a cast method, a spin coating method, a dipping method, or the like, DAE is diluted with a solvent and a coating solution It is desirable to prepare and use this coating solution. In this case, the type of solvent is not particularly limited as long as it does not attack the organic layer.
As described above, the underlayer containing DAE is usually formed to a thickness of 1 nm or more, preferably 2 nm or more, and usually 100 nm or less, preferably 50 nm or less, particularly 10 nm or less.

[4]下地層中のDAEを、所定のパターンに異性化反応を起こさせる。
この異性化反応を起こさせる方法としては、光の照射による方法が簡便であり、かつパターニング精度も高いことから好ましい。即ち、本発明で用いるDAEは、一般に、300〜430nm、中でも300〜400nmの波長領域の紫外光を照射されることにより、開環状態から閉環状態に異性化し、また、450〜600nm、中でも500〜600nmの光が照射されることにより、閉環状態から開環状態に異性化する。
従って、この性質を利用して、例えば、以下の(A)又は(B)のようにして下地層に所定のパターンでDAEの異性化を起こさせることが好ましい。
[4] DAE in the underlayer is caused to undergo an isomerization reaction in a predetermined pattern.
As a method for causing this isomerization reaction, a method using light irradiation is preferable because it is simple and patterning accuracy is high. That is, DAE used in the present invention is generally isomerized from a ring-opened state to a ring-closed state by irradiation with ultraviolet light in a wavelength region of 300 to 430 nm, particularly 300 to 400 nm, and 450 to 600 nm, especially 500 Irradiation with light of ˜600 nm causes isomerization from a closed ring state to a ring-opened state.
Therefore, using this property, it is preferable to cause isomerization of DAE in a predetermined pattern in the underlayer, for example, as in (A) or (B) below.

(A)DAEを含む下地層に、300〜430nm、中でも300〜400nmの波長領域の紫外光を全面的に照射して、下地層のDAEを全面的に閉環状態とする。その後、450〜600nm、中でも500〜600nmの光をレーザースポット走査により、所定のパターンに照射して照射部分のDAEを閉環状態から開環状態に異性化する。これにより、DAEの閉環分子のマトリックス中に、所定のパターン形状でDAEの開環分子が存在する下地層が形成される。なお、下地層が全て閉環状態である場合には、最初の全面照射工程は省略することができる。   (A) The underlayer containing DAE is entirely irradiated with ultraviolet light in a wavelength region of 300 to 430 nm, particularly 300 to 400 nm, so that the DAE of the underlayer is entirely closed. Thereafter, light of 450 to 600 nm, particularly 500 to 600 nm, is irradiated to a predetermined pattern by laser spot scanning to isomerize the DAE at the irradiated portion from the closed state to the open state. This forms an underlayer in which the DAE ring-opened molecules exist in a predetermined pattern shape in the matrix of the DAE ring-closed molecules. In addition, when all the underlayers are in a ring-closed state, the first entire surface irradiation process can be omitted.

(B)DAEを含む下地層に、450〜600nm、中でも500〜600nmの波長領域の光を全面的に照射して、下地層のDAEを全面的に開環状態する。その後、300〜430nm、中でも300〜400nmの紫外光をレーザースポット走査により、所定のパターンに照射して照射部分のDAEを開環状態から閉環状態に異性化する。これにより、DAEの開環分子のマトリックス中に、所定のパターン形状でDAEの閉環分子が存在する下地層が形成される。なお、下地層が全て開環状態である場合には、最初の全面照射工程は省略することができる。   (B) The base layer containing DAE is entirely irradiated with light in the wavelength region of 450 to 600 nm, particularly 500 to 600 nm, so that the DAE of the base layer is fully opened. Thereafter, ultraviolet light of 300 to 430 nm, particularly 300 to 400 nm, is irradiated to a predetermined pattern by laser spot scanning to isomerize the DAE in the irradiated portion from the ring-opened state to the ring-closed state. This forms an underlayer in which the DAE ring-closing molecules exist in a predetermined pattern shape in the matrix of the DAE ring-opening molecules. In addition, when all the underlayers are in the ring-opened state, the first entire surface irradiation step can be omitted.

[5]DAEを含む下地層上に中間層を形成する。
この中間層は、真空蒸着法、スパッタリング法等により形成することが好ましいが、ドクターブレード法、キャスト法、スピンコート法、浸漬法などにより形成する場合中間層の材料を溶媒で希釈して塗布液を調製し、この塗布液を用いることが望ましい。この場合、溶媒の種類としては、DAE層を侵さない溶媒であれば、特に限定されない。
この中間層は、前述のように1〜20nmの範囲で、DAE下地層の膜厚の2倍以下、好ましくは0.5〜1倍程度の厚さに形成される。
なお、上記[4]の工程と[5]の工程とは入れ変えて行うこともできる。
[5] An intermediate layer is formed on the underlayer containing DAE.
This intermediate layer is preferably formed by a vacuum deposition method, a sputtering method, or the like. However, when forming by a doctor blade method, a cast method, a spin coating method, a dipping method, etc., the intermediate layer material is diluted with a solvent to form a coating solution. It is desirable to prepare and use this coating solution. In this case, the type of solvent is not particularly limited as long as it does not attack the DAE layer.
As described above, the intermediate layer is formed in a thickness of 1 to 20 nm in a thickness of 2 times or less, preferably about 0.5 to 1 times the thickness of the DAE underlayer.
The process [4] and the process [5] can be interchanged.

[6]上述の如く、所定のパターンに従って、DAEの異性化反応をさせた下地層上の中間層上に第二電極を形成する。
この第二電極は真空蒸着法により形成することが好ましい。
第二電極の構成材料としては特に制限はないが、DAEの異性化により付着性に差異が生じるものが好ましく用いられ、例えば、マグネシウム、アルミニウム、カルシウム、リチウム等の金属の1種又は2種以上が挙げられる。
[6] As described above, the second electrode is formed on the intermediate layer on the underlayer subjected to the DAE isomerization reaction according to a predetermined pattern.
This second electrode is preferably formed by a vacuum deposition method.
Although there is no restriction | limiting in particular as a constituent material of a 2nd electrode, What produces a difference in adhesiveness by isomerization of DAE is used preferably, for example, 1 type, or 2 or more types of metals, such as magnesium, aluminum, calcium, and lithium Is mentioned.

この第二電極の膜厚には特に制限はなく、当該有機電子デバイスの用途において要求される電極性能を十分に発揮し得る程度であれば良いが、通常50nm以上、通常100nm以下である。   There is no restriction | limiting in particular in the film thickness of this 2nd electrode, Although it should just be a grade which can fully exhibit the electrode performance requested | required in the use of the said organic electronic device, Usually, it is 50 nm or more and 100 nm or less.

このように異性化パターンが形成された下地層上の中間層上に電極材料を蒸着することにより、下地層のDAEが閉環状態となった部分に対応する中間層上に選択的に電極材料が付着し、DAEが開環状態の部分には電極材料が付着しないことにより、第二電極を所定のパターンに形成することが可能となる。   By depositing an electrode material on the intermediate layer on the underlayer on which the isomerization pattern is formed in this way, the electrode material is selectively formed on the intermediate layer corresponding to the portion where the DAE of the underlayer is in a closed state. Since the electrode material does not adhere to the portion where DAE is attached and the DAE is in an open state, the second electrode can be formed in a predetermined pattern.

即ち、前述の(A)の方法でレーザースポット走査により所定のパターンにDAEの開環分子を形成したものにあっては、この所定のパターン部分が電極材料の未蒸着部分となり、その他のマトリックス部分に、第二電極が形成される。また、前述の(B)の方法でレーザースポット走査により所定のパターンにDAEの閉環分子を形成したものにあっては、この所定のパターン部分が電極材料の蒸着部分となり、この部分に第二電極が形成される。   That is, in the case where DAE ring-opened molecules are formed in a predetermined pattern by laser spot scanning by the method (A) described above, this predetermined pattern portion becomes an undeposited portion of the electrode material, and other matrix portions Second electrode is formed. Further, in the case where the DAE ring-closed molecules are formed in a predetermined pattern by laser spot scanning by the method (B) described above, this predetermined pattern portion becomes a vapor deposition portion of the electrode material, and this portion is the second electrode. Is formed.

このような本発明の方法によれば、幅450nm以下、例えば260〜450nmというような極細の電極のパターニングも、高精度に行うことができる。即ち、一般にレーザー光のスポットは、直径600nm以下、例えば260〜450nmというような極めて小さいスポットに絞ることができる。従って、このような小さいレーザースポットを走査することにより、このスポット径に応じた幅でレーザー光を照射することができる。   According to such a method of the present invention, it is possible to pattern an extremely fine electrode having a width of 450 nm or less, for example, 260 to 450 nm, with high accuracy. That is, in general, the spot of the laser beam can be narrowed down to a very small spot having a diameter of 600 nm or less, for example, 260 to 450 nm. Therefore, by scanning such a small laser spot, the laser beam can be irradiated with a width corresponding to the spot diameter.

一方、DAEは、開環状態で電極材料が付着せず、閉環状態で電極材料が付着するが、後述の実験例1,2に示すように、下地層の光照射部分のDAEが100%閉環状態になっていなくても、DAEの種類に応じて例えば50%以上が閉環状態であっても電極材料が付着する。従って、例えば、レーザー光が直接光照射されることにより閉環状態となった部分と、その近傍において、レーザー光の影響を受けて一部閉環状態となった部分を含めて、レーザー光のスポット径は、更にフィルターを工夫するなどすれば調節可能である。例えば、レーザー強度の強いところだけのスポットが可能となり、レーザー光のスポット以下の幅にDAEの閉環分子部を形成することができる。このため、この部分の中間層上に電極材料を付着させて、幅400nm以下の極細パターンを形成することが可能となる。   On the other hand, in the DAE, the electrode material does not adhere in the ring-opened state, and the electrode material adheres in the closed-ring state. Even if it is not in a state, the electrode material adheres even if, for example, 50% or more is in a closed state, depending on the type of DAE. Therefore, for example, the spot diameter of the laser beam, including the part that was closed by direct laser irradiation and the part that was partially closed by the influence of the laser beam in the vicinity. Can be adjusted if the filter is further devised. For example, it is possible to spot only where the laser intensity is strong, and the closed molecular part of the DAE can be formed in a width less than the spot of the laser beam. For this reason, it is possible to form an ultrafine pattern having a width of 400 nm or less by attaching an electrode material on the intermediate layer of this portion.

なお、上記の光照射は、レーザースポットの走査によるものに限られず、光遮断マスクを用いても良く、マスクとスポット走査とを併用しても良い。
また、本発明において、電極のパターニングは、上述のようなDAEの異性化のみを利用する方法に限らず、別途メタルマスク等の他のパターニング手段を併用し、より一層高精度で効率的なパターニングを行うことも可能である。
In addition, said light irradiation is not restricted to the thing by scanning of a laser spot, A light shielding mask may be used and a mask and spot scanning may be used together.
In the present invention, the patterning of the electrodes is not limited to the method using only the DAE isomerization as described above, but by using another patterning means such as a metal mask separately, further highly accurate and efficient patterning. It is also possible to perform.

上述のようにして、基板上に第一電極、有機層及び第二電極を形成して本発明の有機電子デバイスを製造することができる。   As described above, the first electrode, the organic layer, and the second electrode can be formed on the substrate to produce the organic electronic device of the present invention.

以下に実験例、実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to experimental examples, examples and comparative examples.

実験例1
下記構造式で表されるDAEを用いて、真空蒸着法によってスライドガラス基板上に膜厚100nmでDAE薄膜を形成した。
Experimental example 1
A DAE thin film having a film thickness of 100 nm was formed on a slide glass substrate by vacuum evaporation using DAE represented by the following structural formula.

Figure 0004572370
Figure 0004572370

次に、このDAE薄膜に波長365nmの紫外光をその照射量を部分的に変えて照射して、同一のDAE薄膜に5段階の異性化状態を形成した。即ち、
状態0=全DAE分子が開環状態
状態1=全DAE分子の約20%が閉環状態(約80%が開環状態)
状態2=全DAE分子の約50%が閉環状態
状態3=全DAE分子の約80%が閉環状態
状態4=全DAE分子のほぼ100%が閉環状態
とした。このとき、DAEは閉環状態となることにより着色することから、異性化状態の程度によって、DAE薄膜は部分的に異なる程度に着色した。
Next, the DAE thin film was irradiated with ultraviolet light having a wavelength of 365 nm while partially changing the irradiation amount to form a 5-stage isomerization state on the same DAE thin film. That is,
State 0 = all DAE molecules are in the open state State 1 = about 20% of all DAE molecules are in the closed state (about 80% are in the open state)
State 2 = about 50% of all DAE molecules are in a closed state State 3 = about 80% of all DAE molecules are in a closed state State 4 = almost 100% of all DAE molecules are in a closed state. At this time, since the DAE is colored by being in a ring-closed state, the DAE thin film is partially colored depending on the degree of isomerization.

次に、このDAE薄膜上にマグネシウムを厚さ100nmに真空蒸着することよって、マグネシウムの付着状況を調べた。
その結果、図1に示す様に、閉環分子が50%以下(状態1,2)ではマグネシウムの付着が見られなかったが、80%以上(状態3,4)ではマグネシウムが付着することが分かった。
なお、図1には閉環分子比率を調べるための各状態における吸収スペクトルも併せて示してある。
Next, magnesium was vacuum-deposited on the DAE thin film to a thickness of 100 nm to examine the adhesion state of magnesium.
As a result, as shown in FIG. 1, when the ring-closing molecule was 50% or less (states 1 and 2), no magnesium was observed, but when it was 80% or more (states 3 and 4), magnesium was found to adhere. It was.
FIG. 1 also shows an absorption spectrum in each state for examining the ratio of the ring-closed molecules.

実験例2
実験例1において、DAEとして、下記構造式で表されるものを用いたこと以外は同様にして、マグネシウムの付着状況を調べる実験を行った。
Experimental example 2
In Experiment 1, an experiment for examining the adhesion state of magnesium was performed in the same manner except that the DAE represented by the following structural formula was used.

Figure 0004572370
Figure 0004572370

その結果、このDAEも、閉環状態でマグネシウム付着性を示し、開環状態でマグネシウムの非付着性を示すが、その程度は実験例1で用いたDAEと異なり、閉環分子が全分子の50%であってもマグネシウムが付着した。   As a result, this DAE also exhibits magnesium adhesion in the ring-closed state and non-adhesion of magnesium in the ring-opened state, but the degree is different from the DAE used in Experimental Example 1, and the ring-closed molecules account for 50% of all molecules. Even magnesium adhered.

これらの結果から、DAEはその異性化状態により、マグネシウムの選択的付着性を示すが、マグネシウム付着性を示す閉環体比率は絶対的なものではなく、個々のDAEにより異なることが分かる。   From these results, it can be seen that DAE shows selective adhesion of magnesium depending on its isomerization state, but the ratio of the ring-closed bodies showing magnesium adhesion is not absolute and varies depending on individual DAE.

実験例3
図2(a)〜(e)に示す手順でDAE薄膜上のAlq3層へのマグネシウムの付着実験を行った。まず、実験例1と同様にしてガラス基板1に膜厚15nmのDAE薄膜2を形成した(図2(a))。
Experimental example 3
Experiments for adhesion of magnesium to the Alq3 layer on the DAE thin film were performed according to the procedure shown in FIGS. First, a DAE thin film 2 having a film thickness of 15 nm was formed on a glass substrate 1 in the same manner as in Experimental Example 1 (FIG. 2A).

このDAE薄膜2に波長365nmの紫外光3を全面的に照射して全面着色状態(閉環状態)とし(図2(b))、次に波長650nmの赤色レーザー(パワー1mW)4を直径1mm程度のスポットで照射して消色させ、異性化スポットを形成したサンプル(閉環体分子中に開環体分子のスポットを形成したもの)を必要個数作製した(図2(c))。   The DAE thin film 2 is entirely irradiated with ultraviolet light 3 having a wavelength of 365 nm to form a colored state (closed state) (FIG. 2B), and then a red laser (power 1 mW) 4 having a wavelength of 650 nm is about 1 mm in diameter The required number of samples (one with the ring-opened molecule spot formed in the ring-closed molecule) were produced by irradiating with the spot (1) to erase the color (FIG. 2 (c)).

各サンプルのDAE層上に更に、次のような膜厚でAlq3を蒸着し(ただし、No.1ではAlq3蒸着せず)(図2(d))、このAlq3層6上に実験例1と同様にしてマグネシウムを蒸着し(図2(e))、マグネシウムの付着状況を調べ、結果を図3に示した。
No.1:Alq3膜厚0nm
No.2:Alq3膜厚5nm
No.3:Alq3膜厚10nm
No.4:Alq3膜厚20nm
Further, Alq3 was vapor-deposited on the DAE layer of each sample with the following film thickness (however, Alq3 was not vapor-deposited in No. 1) (FIG. 2 (d)). Similarly, magnesium was vapor-deposited (FIG. 2 (e)), the adhesion state of magnesium was examined, and the result is shown in FIG.
No.1: Alq3 film thickness 0nm
No.2: Alq3 film thickness 5nm
No.3: Alq3 film thickness 10nm
No. 4: Alq3 film thickness of 20 nm

図3より、No.1〜3ではDAEの開環分子に対応する部分(消色部分)にマグネシウムの未付着部分が存在するが、No.4では未付着部分が存在しない。
この結果から、更に、Alq3の膜厚とマグネシウムの付着性との関係を詳細に調べたところ、Alq3中間層の膜厚がDAE層の膜厚と等しい15nm付近で膜厚の選択的付着性の有無が現われ、Alq3中間層の膜厚が15nmを超えるとDAEの異性化によるマグネシウムの選択的付着性が損なわれることが分かる。
From FIG. 3, in No. 1 to 3, there is a non-attached portion of magnesium in the portion corresponding to the ring-opening molecule of DAE (decolored portion), but in No. 4, there is no unattached portion.
From this result, the relationship between the film thickness of Alq3 and the adhesion of magnesium was examined in detail. As a result, the film thickness of the Alq3 intermediate layer was about 15 nm, which is equal to the film thickness of the DAE layer. When the film thickness of the Alq3 intermediate layer exceeds 15 nm, the selective adhesion of magnesium due to DAE isomerization is impaired.

実験例4
実験例3において、DAE層の膜厚とAlq3中間層との膜厚とを種々変えて同様のサンプルを作製し、同様にマグネシウムの選択的付着性の有無を調べ、結果を表1に示した。
Experimental Example 4
In Experimental Example 3, similar samples were prepared by changing the film thickness of the DAE layer and the film thickness of the Alq3 intermediate layer. Similarly, the presence or absence of selective adhesion of magnesium was examined, and the results are shown in Table 1. .

Figure 0004572370
Figure 0004572370

表1より、DAE層の膜厚程度まではAlq3中間層の厚さを厚くしてもマグネシウム選択的付着性が現われるが、Alq3層の膜厚が20nmを超えるとDAE層を幾ら厚くしてもそのような選択性がAlq3層表面で生じないことが分かる。従って、Alq3を中間層として用いる場合はその膜厚は20nm以下で用いることが望ましい。   From Table 1, even if the thickness of the Alq3 intermediate layer is increased up to about the thickness of the DAE layer, selective adhesion of magnesium appears, but if the thickness of the Alq3 layer exceeds 20 nm, no matter how thick the DAE layer is It can be seen that such selectivity does not occur on the Alq3 layer surface. Therefore, when Alq3 is used as the intermediate layer, the film thickness is desirably 20 nm or less.

なお、Alq3は代表的な電子輸送材料であるが、更に中間層材料としてα−NPBを用いた実験も行ってみたところ、Alq3の場合と同様の結果が得られた。また、銀を中間層材料として形成した場合でも同様の結果が得られた。   Alq3 is a typical electron transport material, but when an experiment using α-NPB as an intermediate layer material was further performed, the same result as in the case of Alq3 was obtained. Similar results were obtained when silver was used as the intermediate layer material.

実施例1
典型的な有機電子デバイスである有機EL素子に、本発明を適用してマグネシウム陰極を形成した。
Example 1
A magnesium cathode was formed by applying the present invention to an organic EL element which is a typical organic electronic device.

ITO基板上にホール注入層として銅フタロシアニン層を膜厚2nmに蒸着により形成し、その上にホール輸送層としてα−NPB層を膜厚30nmに蒸着により形成し、更にその上に発光層としてルブレンをドープしたα−NPBを膜厚20nmで蒸着により形成した。更にその上に実験例1で用いたDAEの薄膜を膜厚5nmに蒸着してDAE薄膜を形成した。その後、実験例3と同様にして、このDAE薄膜に紫外線を10分間全面照射してDAE層を閉環状態とした後、波長650nmの赤色レーザーのスポット走査により、幅15μmの開環状態のパターンを直線状及びジグザグ状に形成した。その後、中間層(電子輸送層)としてAlq3を膜厚5nmで蒸着により形成し、更にマグネシウムを厚さ100nmに真空蒸着した。
このマグネシウムの蒸着膜を顕微鏡観察したところ、レーザーで走査してDAEを異性化反応させたパターンに対応したマグネシウム未蒸着パターンがAlq3層上に形成され、それ以外の部分にマグネシウムが蒸着されたことが確認された。
A copper phthalocyanine layer as a hole injection layer is formed on the ITO substrate by vapor deposition to a thickness of 2 nm, an α-NPB layer is formed as a hole transport layer by vapor deposition at a thickness of 30 nm, and a rubrene as a light emitting layer is further formed thereon. Α-NPB doped with is formed by vapor deposition with a film thickness of 20 nm. Furthermore, the DAE thin film used in Experimental Example 1 was deposited thereon to a thickness of 5 nm to form a DAE thin film. Thereafter, in the same manner as in Experimental Example 3, the DAE thin film was irradiated with ultraviolet light for 10 minutes to make the DAE layer closed, and then a ring-opened pattern with a width of 15 μm was formed by spot scanning with a red laser having a wavelength of 650 nm. It was formed in a straight line shape and a zigzag shape. Then, Alq3 was formed by vapor deposition with a film thickness of 5 nm as an intermediate layer (electron transport layer), and magnesium was further vacuum-deposited with a thickness of 100 nm.
When this magnesium deposited film was observed with a microscope, a magnesium undeposited pattern corresponding to a pattern obtained by isomerizing DAE by scanning with a laser was formed on the Alq3 layer, and magnesium was deposited on the other portions. Was confirmed.

次に、基板のITOを陽極、形成したマグネシウム蒸着膜を陰極として、両極間に電圧を印加して電流注入を行い、ITO側から発光の様子を観察した所、赤色レーザーの走査パターンに対応して未発光パターンが形成され、マグネシウムが形成された部分は明るく発光していることが確認された。   Next, using the ITO substrate as the anode and the formed magnesium deposited film as the cathode, voltage was applied between the two electrodes to inject current, and the state of light emission was observed from the ITO side, corresponding to the red laser scanning pattern. Thus, it was confirmed that a non-light-emitting pattern was formed, and the portion where magnesium was formed emitted light brightly.

比較例1
実施例1において、Alq3中間層を形成しなかったこと以外は同様にして有機EL素子を作製した。このとき、マグネシウムは実施例1と同様の選択的付着性で蒸着された。
この有機EL素子について、同様に電流流入を行ったところ、目視により、DAEの異性化反応パターンに対応した未発光部分が確認されたものの、発光部分の光は極めて暗かった。
これは、実施例1では中間層として挿入したAlq3層が電子輸送層として有効に機能しているため、効率的な発光が行われたのに対して、比較例1ではこのAlq3中間層がないために、発光効率が劣ることによるものと推定された。
Comparative Example 1
An organic EL device was produced in the same manner as in Example 1 except that the Alq3 intermediate layer was not formed. At this time, magnesium was deposited with the same selective adhesion as in Example 1.
When an electric current was applied to the organic EL device in the same manner, a light-emitting portion corresponding to the isomerization reaction pattern of DAE was visually confirmed, but the light in the light-emitting portion was extremely dark.
This is because, in Example 1, the Alq3 layer inserted as an intermediate layer effectively functions as an electron transport layer, and thus efficient light emission was performed, whereas in Comparative Example 1, there was no Alq3 intermediate layer. Therefore, it was estimated that the light emission efficiency was inferior.

比較例2
実施例1において、DAE層を形成しなかったこと以外は同様にして有機EL素子を作製した。このとき、マグネシウムは全面的に付着した。
この有機EL素子について、同様に電流注入を行ったところ、明るく発光したが全面発光であり何らかのパターンが形成されている様子は確認できなかった。
Comparative Example 2
An organic EL device was produced in the same manner as in Example 1 except that the DAE layer was not formed. At this time, magnesium adhered to the entire surface.
When current injection was similarly performed on this organic EL element, it emitted bright light, but it was not possible to confirm that the entire surface emitted light and some pattern was formed.

なお、上記実施例では、マグネシウム未付着パターンを赤色レーザー走査によって形成したが、紫外光レーザーの走査により着色(開環体から閉環体への異性化)ラインを形成し、この走査パターンに倣う形状のマグネシウム付着パターンにより、同様に有機EL素子の電極のパターニングを行うこともできた。
また、DAE層層の異性化パターンの形成をAlq3中間層の形成後に行っても同様の結果を得ることができた。
In the above embodiment, the magnesium non-adhered pattern is formed by red laser scanning, but a colored (isomerization from ring-opened body to ring-closed body) line is formed by scanning with an ultraviolet laser, and the shape follows this scanning pattern. It was also possible to pattern the electrodes of the organic EL element in the same manner using the magnesium adhesion pattern.
Further, the same result could be obtained even when the isomerization pattern of the DAE layer was formed after the formation of the Alq3 intermediate layer.

また、本発明は有機ELデバイスに制限されることはなく、有機TFTや有機メモリ素子など様々な有機電子デバイスに適用可能であることは明らかである。また、用いるDAEについても、ここに挙げた例以外のものを同様に適用可能であることも明らかである。   Further, the present invention is not limited to organic EL devices, and is obviously applicable to various organic electronic devices such as organic TFTs and organic memory elements. It is also clear that the DAE used can be similarly applied to those other than the examples given here.

図1(a)は実験例1におけるDAEの異性化状態とマグネシウムの付着状態を示す写真であり、図1(b)は同DEAの閉環分子比率を示す吸収スペクトルである。FIG. 1 (a) is a photograph showing the isomerization state of DAE and the adhesion state of magnesium in Experimental Example 1, and FIG. 1 (b) is an absorption spectrum showing the ring-closing molecular ratio of the same DEA. 実験例3における実験方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the experimental method in Experimental example 3. FIG. 実験例3におけるマグネシウムの付着状況を示す写真である。It is a photograph which shows the adhesion state of magnesium in Experimental example 3.

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
2 DAE薄膜
3 紫外光
4 赤色レーザー
5 異性化パターン
6 Alq3層
1 Substrate 2 DAE thin film 3 Ultraviolet light 4 Red laser 5 Isomerization pattern 6 Alq3 layer

Claims (4)

第一電極及び第二電極と、これらの電極間に設けられた有機層とを有する有機電子デバイスにおいて、第一電極と有機層との間、及び/又は、第二電極と有機層との間に、
電極材料の付着性の差を利用して電極のパターニングを行うための、置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンを含む層を有する有機電子デバイスであって、
該置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンを含む層は、光照射により電極パターンに対応する、置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンの異性化状態の異なるパターンが形成され、異性化の差異により電極材料との付着性が異なることにより電極のパターニングが行われる層であり、
第一電極と1,2−ジアリールエテンを含む層との間、及び/又は、第二電極と1,2−ジアリールエテンを含む層との間にキャリア輸送性の中間層を有することを特徴とする有機電子デバイス。
In an organic electronic device having a first electrode and a second electrode and an organic layer provided between these electrodes, between the first electrode and the organic layer and / or between the second electrode and the organic layer. In addition,
An organic electronic device having a layer containing 1,2-diarylethene which may have a substituent for patterning an electrode by using a difference in adhesion of an electrode material ,
The layer containing 1,2-diarylethene which may have a substituent forms a pattern with different isomerization states of 1,2-diarylethene which may have a substituent corresponding to the electrode pattern by light irradiation. Is a layer in which electrode patterning is performed due to the difference in adhesion with the electrode material due to the difference in isomerization,
Organic having a carrier transporting intermediate layer between the first electrode and the layer containing 1,2-diarylethene and / or between the second electrode and the layer containing 1,2-diarylethene Electronic devices.
基板、第一電極、有機層及び第二電極を有する有機電子デバイスにおいて、基板と第一電極との間、第一電極と有機層との間、及び、第二電極と有機層との間のいずれか1以上に、
電極材料の付着性の差を利用して電極のパターニングを行うための、置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンを含む層を有する有機電子デバイスであって、
該置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンを含む層は、光照射により電極パターンに対応する、置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンの異性化状態の異なるパターンが形成され、異性化の差異により電極材料との付着性が異なることにより電極のパターニングが行われる層であり、
第一電極と1,2−ジアリールエテンを含む層との間、及び/又は、第二電極と1,2−ジアリールエテンを含む層との間にキャリア輸送性の中間層を有することを特徴とする有機電子デバイス。
In an organic electronic device having a substrate, a first electrode, an organic layer and a second electrode, between the substrate and the first electrode, between the first electrode and the organic layer, and between the second electrode and the organic layer. Any one or more
An organic electronic device having a layer containing 1,2-diarylethene which may have a substituent for patterning an electrode by using a difference in adhesion of an electrode material ,
The layer containing 1,2-diarylethene which may have a substituent forms a pattern with different isomerization states of 1,2-diarylethene which may have a substituent corresponding to the electrode pattern by light irradiation. Is a layer in which electrode patterning is performed due to the difference in adhesion with the electrode material due to the difference in isomerization,
Organic having a carrier transporting intermediate layer between the first electrode and the layer containing 1,2-diarylethene and / or between the second electrode and the layer containing 1,2-diarylethene Electronic devices.
請求項1又は2に記載の有機電子デバイスにおいて、第一電極及び/又は第二電極に、前記1,2−ジアリールエテンを含む層の異性化状態の異なるパターンに対応したパターンが含まれることを特徴とする有機電子デバイス。   3. The organic electronic device according to claim 1, wherein the first electrode and / or the second electrode includes patterns corresponding to patterns having different isomerization states of the layer containing the 1,2-diarylethene. And organic electronic devices. 有機電子材料からなる層に電圧を印加して機能させる有機電子デバイスを製造する方法において、異性化の差異により電極材料との付着性が異なる、置換基を有しても良い1,2−ジアリールエテンを含む下地層を形成する工程と、該下地層の1,2−ジアリールエテンを所定パターン状に異性化反応させる工程及び該下地層上にキャリア輸送性の中間層を形成する工程と、次いで該中間層上に電極材料を付与して、前記所定パターンに対応した電極パターンを形成する工程とを有することを特徴とする有機電子デバイスの製造方法。 In a method for producing an organic electronic device that functions by applying a voltage to a layer made of an organic electronic material, the adhesion with an electrode material differs depending on the isomerization, and may have a substituent, which may have a substituent. A step of forming an undercoat layer, a step of subjecting 1,2-diarylethene of the undercoat layer to an isomerization reaction in a predetermined pattern, a step of forming a carrier transporting intermediate layer on the undercoat layer, and the intermediate layer And a step of forming an electrode pattern corresponding to the predetermined pattern by applying an electrode material on the layer.
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