JP2005259469A - Organic electroluminescence display device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置に関する。 The present invention relates to an organic electroluminescence display device.
近年、情報処理機器の多様化に伴って、従来から一般に使用されている陰極線管(CRT)よりも消費電力が少なく、薄型化が可能である平面表示装置に対する需要が高まってきている。そのような平面表示装置として、例えば、液晶表示装置やエレクトロルミネッセンス表示装置(以下、「EL表示装置」と略すことがある。)を挙げることができる。それらのうち、有機EL表示装置は、低電圧駆動、全固体型、高速応答性、自発光性という特徴を有するため、特に研究開発が盛んに行われている。 In recent years, with the diversification of information processing equipment, there has been an increasing demand for flat display devices that consume less power than conventional cathode ray tubes (CRTs) and can be reduced in thickness. Examples of such a flat display device include a liquid crystal display device and an electroluminescence display device (hereinafter sometimes abbreviated as “EL display device”). Among them, the organic EL display device has features such as low voltage driving, all solid-state type, high-speed response, and self-luminous property, and therefore, research and development are being actively performed.
有機EL表示装置は、その駆動方法により、パッシブマトリクス方式(以下、「PM方式」と略すことがある。)と、アクティブマトリクス方式(以下、「AM方式」と略すことがある。)とに大別される。 The organic EL display device is largely divided into a passive matrix method (hereinafter abbreviated as “PM method”) and an active matrix method (hereinafter abbreviated as “AM method”) depending on the driving method. Separated.
PM方式は、線順次駆動であるため、高いパネル輝度を得るためには、表示容量の増大、すなわち走査電極数の増加に伴って、各画素に大きな瞬間電力を印加する必要があり、発光層の劣化が激しく、PM方式の有機EL表示装置は、製品としての寿命が短いという問題がある。 Since the PM method is line-sequential driving, in order to obtain high panel luminance, it is necessary to apply a large instantaneous power to each pixel as the display capacity increases, that is, the number of scanning electrodes increases. The organic EL display device of PM type has a problem that the product life is short.
一方、AM方式では、各画素ごとに設けられたTFTにより各画素ごとにスイッチングを行えるため、原理的に走査電極数に制約がなく、ほぼデューティー比100%のスタティック駆動に近い表示ができるので、パネル輝度やレスポンスの良好な高画質・大容量表示が可能となる。 On the other hand, in the AM method, since switching can be performed for each pixel by a TFT provided for each pixel, the number of scanning electrodes is not limited in principle, and display close to static drive with a duty ratio of 100% can be performed. Enables high-quality and large-capacity display with good panel brightness and response.
また、AM方式では、PM方式のように高いパネル輝度を得るために各画素に大きな電力を印加する必要もなく、より低電圧駆動、長寿命を達成することができる。 Further, in the AM system, it is not necessary to apply large electric power to each pixel in order to obtain a high panel luminance as in the PM system, and a lower voltage drive and a longer life can be achieved.
このため、近年は、AM方式の有機EL表示装置の研究開発が特に盛んに行われている。 For this reason, in recent years, research and development of AM-type organic EL display devices have been particularly active.
図5は、一般的な有機EL表示装置200の概略断面図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a general organic
この有機EL表示装置200は、基板201と、基板201の上に設けられた発光層を含む有機層203と、有機層203を狭持するように設けられた第1電極202と、第2電極204と、を有する。
The organic
第1電極202は、光透過性に構成されており、有機層203にホールを注入する機能を有する。また、第2電極204は、光反射性に構成されており、有機層203に電子を注入する機能を有する。
The
第1電極202と、第2電極204とからそれぞれ注入されたホールと電子とが有機層203で再結合することにより、有機層203が発光する。
The holes and electrons injected from the
有機層203の発光は、第1電極202、および、基板201を透過して有機EL表示装置200から取り出される仕組みとなっている(ボトムエミッション方式)。
The
しかしながら、このようなAM方式の有機EL表示装置200では、基板201上に、光を透過しないシリコン等で構成されたTFTや電極を配置する必要があるため、画素面積に対する発光面積の割合(開口率)が小さいという問題がある。
However, in such an AM type organic
特に、画素ごとの表示性能のばらつきを抑制し、発光材料の劣化による表示性能の劣化を抑制することができる電流駆動方式の有機EL表示装置では、電圧駆動方式の有機EL表示装置と比較して、各画素ごとにより多くのTFTが必要となる。従って、電流駆動方式の有機EL表示装置では、さらに開口率が小さくなるという問題がある。 In particular, a current-driven organic EL display device that can suppress variation in display performance for each pixel and suppress display performance deterioration due to deterioration of a light emitting material is compared with a voltage-driven organic EL display device. More TFTs are required for each pixel. Therefore, the current driving type organic EL display device has a problem that the aperture ratio is further reduced.
係る問題に鑑み、第2電極を光透過性に構成し、第1電極を光反射性に構成することで、TFT等の回路が構成された基板とは反対側の第2電極側から有機層の発光を取り出すトップエミッション方式が考案されている(例えば、特許文献1等)。 In view of the problem, the second electrode is configured to be light transmissive, and the first electrode is configured to be light reflective so that the organic layer can be formed from the second electrode side opposite to the substrate on which a circuit such as a TFT is configured. A top emission method for taking out the emitted light has been devised (for example, Patent Document 1).
トップエミッション方式によれば、有機層の発光を、TFT等の回路が形成されている基板を経由せずに取り出すことができるため、ボトムエミッション方式よりも開口率を大きくすることができ、より高輝度な有機EL表示装置を実現することができるからである。 According to the top emission method, light emitted from the organic layer can be taken out without going through a substrate on which a circuit such as a TFT is formed. This is because a bright organic EL display device can be realized.
一般的にトップエミッション方式の有機EL表示装置では、第2電極は、有機層に電子を注入する陰極としての機能を有し、また、第2電極側から有機層の発光を取り出すため、第2電極は、仕事関数が小さく光透光性の電極にする必要がある。光透光性の電極材料としては、インジウムスズ酸化物(以下、「ITO」と略すことがある。)等が挙げられるが、ITO等は仕事関数が大きく電子注入効率が乏しい。そのため、一般的に第2電極は、光透過率がよく、高い電気伝導度を有するITO等からなる透明電極層と、仕事関数が小さく、高い電子注入効率を有する透光性の金属層との積層構造体で構成されている。
図6は、従来のトップエミッション型有機EL表示装置300の概略断面図である。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a conventional top emission type organic
この有機EL表示装置300は、基板310と、基板310の上に設けられた有機層330と、有機層330を狭持するように設けられた第1電極320と、第2電極340とからなる。
The organic
第1電極320は有機層330にホールを注入する機能と、有機層330から第1電極320側に向けて出射された発光を第2電極340側に反射する機能を有している。
The
第2電極340は、金属層341と透明電極層342とからなり、有機層330に電子を注入する機能を有する。また、第2電極340は、有機層330の発光を透過し観察者側に出射できるように光透過性に構成されている。
The
有機EL表示装置300では、第1電極320から注入されたホールと第2電極340から注入された電子とが、有機層330で再結合することにより、有機層330が発光する仕組みとなっている。有機層330から第1電極320側に出射され第1電極320により反射された発光と、有機層330から第2電極340側に出射された光とは、第2電極340を透過して観察者側に出射する。
In the organic
このような有機EL表示装置300では、第2電極340を構成する金属層341と透明電極層342との接触面343、および透明電極層342の観察者側表面344は、平面形状に形成されている。そのため、有機層330の発光の一部が接触面343、および観察者側表面344で界面反射され、再び有機層330へ入射する。再び有機層330に入射した光の一部は、光反射性に構成されている第1電極320によって再び観察者側に反射され、その反射光の一部は有機層330及び第2電極340を透過して観察者側に出射するものの、その大部分は、有機層330等により吸収される。よって、有機EL表示装置300では、有機層330からの発光の取り出し効率が低いという問題がある。
In such an organic
本発明は、係る点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高い有機層からの発光取り出し効率を有し、高輝度な有機EL表示装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a high-brightness organic EL display device having high emission extraction efficiency from an organic layer.
本発明に係る有機EL表示装置は、基板と、該基板の上に設けられた第1電極と、該第1電極の上に設けられ発光層を含む有機層と、該有機層の上に設けられ光透過性の金属層と透明電極層との積層構造を有する第2電極と、を備え、該有機層の発光を該第2電極側から取り出すトップエミッション方式の有機エレクトロルミネッセンス表示装置であって、
上記金属層は、上記透明電極層との接触面が凹凸形状に形成されている。
An organic EL display device according to the present invention includes a substrate, a first electrode provided on the substrate, an organic layer including a light emitting layer provided on the first electrode, and provided on the organic layer. And a second electrode having a laminated structure of a light transmissive metal layer and a transparent electrode layer, and a top emission type organic electroluminescence display device for taking out light emitted from the organic layer from the second electrode side. ,
The metal layer has a concavo-convex shape in contact surface with the transparent electrode layer.
本発明の有機EL表示装置では、金属層と透明電極層との接触面に凹凸形状が形成されている。この構成によれば、接触面は金属層と透明電極層との中間的な光学特性を有する薄い層として作用し、接触面において発光層から出射された光の屈折率が緩やかに変化する。よって、有機層の発光は、金属層と透明電極層との接触面で発生する界面反射を抑制することができ、有機層の発光を効率よく観察者側に取り出すことができる。従って、高輝度な有機EL表示装置を実現することができる。 In the organic EL display device of the present invention, an uneven shape is formed on the contact surface between the metal layer and the transparent electrode layer. According to this configuration, the contact surface acts as a thin layer having intermediate optical characteristics between the metal layer and the transparent electrode layer, and the refractive index of light emitted from the light emitting layer gradually changes at the contact surface. Therefore, the light emission of the organic layer can suppress the interface reflection generated at the contact surface between the metal layer and the transparent electrode layer, and the light emission of the organic layer can be efficiently taken out to the observer side. Therefore, a high-brightness organic EL display device can be realized.
また、本発明に係る有機EL表示装置は、上記金属層の上記透明電極層との接触面のJIS B 0601−1994で定義される算術平均粗さが、上記金属層の最大層厚の1/5以上かつ1/2以下であることが好ましい。 The organic EL display device according to the present invention has an arithmetic average roughness defined by JIS B 0601-1994 of the contact surface of the metal layer with the transparent electrode layer, which is 1 / of the maximum layer thickness of the metal layer. It is preferably 5 or more and 1/2 or less.
凹凸形状が設けられた上記金属層の接触面のJIS B 0601−1994で定義される算術平均粗さ(以下、「Ra」と略すことがある。)が、上記金属層の最大層厚の1/5以上かつ1/2以下である場合は、さらに効果的に金属層と透明電極層との接触面で発生する界面反射を抑制することができる。よって、有機層の発光を効率よく観察者側に取り出すことができる。従って、より高輝度な有機EL表示装置を実現することができる。 The arithmetic average roughness (hereinafter abbreviated as “Ra”) defined by JIS B 0601-1994 of the contact surface of the metal layer provided with the uneven shape is 1 of the maximum thickness of the metal layer. In the case of / 5 or more and 1/2 or less, the interface reflection which generate | occur | produces in the contact surface of a metal layer and a transparent electrode layer can be suppressed more effectively. Therefore, the light emission of the organic layer can be efficiently taken out to the observer side. Therefore, an organic EL display device with higher brightness can be realized.
また、本発明に係る有機EL表示装置は、上記金属層の最大層厚が1nm以上かつ20nm以下であることが好ましい。 In the organic EL display device according to the present invention, the maximum thickness of the metal layer is preferably 1 nm or more and 20 nm or less.
有機層への電子注入効率は、金属層の最大層厚と相関し、金属層の最大層厚が1nm未満と薄く構成されている場合は、電子注入効率が低い。一方、この構成では、金属層の最大層厚が1nm以上と厚く構成されているため、高い電子注入効率を実現することができる。 The electron injection efficiency into the organic layer correlates with the maximum thickness of the metal layer, and the electron injection efficiency is low when the maximum thickness of the metal layer is less than 1 nm. On the other hand, in this configuration, since the maximum thickness of the metal layer is as thick as 1 nm or more, high electron injection efficiency can be realized.
また、金属層に使用される金属は一般に光透過率が悪いため、金属層の最大層厚が20nmより大きい場合は、金属層の光透過率が極端に低くなる。一方、この構成では、金属層の最大層厚が20nm以下であることから、金属層は高い光透過率を有する。 Further, since the metal used for the metal layer generally has a low light transmittance, when the maximum thickness of the metal layer is larger than 20 nm, the light transmittance of the metal layer becomes extremely low. On the other hand, in this configuration, since the maximum thickness of the metal layer is 20 nm or less, the metal layer has high light transmittance.
よって、この構成によれば有機層の発光効率がよく、有機層の発光を高効率で取り出せる。従って、より高輝度な有機EL表示装置を実現することができる。 Therefore, according to this configuration, the light emission efficiency of the organic layer is good, and the light emission of the organic layer can be extracted with high efficiency. Therefore, an organic EL display device with higher brightness can be realized.
また、本発明に係る有機EL表示装置は、上記金属層が、3.5eV以上の仕事関数を有する1種以上の金属と、3.5eV未満の仕事関数を有する1種以上の金属と、の合金からなるものであっても構わない。 In the organic EL display device according to the present invention, the metal layer includes one or more metals having a work function of 3.5 eV or more and one or more metals having a work function of less than 3.5 eV. It may be made of an alloy.
この構成によれば、金属層は3.5eV未満という低い仕事関数を有する金属(以下、「低仕事関数金属」と略すことがある。)を含有するため、有機層への高い電子注入効率を有する。従って、この構成によれば、有機層の発光効率が高く、高輝度な有機EL表示装置を実現することができる。 According to this configuration, since the metal layer contains a metal having a low work function of less than 3.5 eV (hereinafter, sometimes abbreviated as “low work function metal”), high electron injection efficiency into the organic layer is achieved. Have. Therefore, according to this configuration, it is possible to realize an organic EL display device with high luminous efficiency of the organic layer and high luminance.
低仕事関数金属は、一般的に酸化されやすい性質を有し、低仕事関数金属が酸化された場合は、金属層の有機層への電子注入効率が低下する。一方、高い仕事関数を有する金属(以下、「高仕事関数金属」と略すことがある。)は、一般的に酸化されにくい性質を有する。そのため、低仕事関数金属を高仕事関数金属との合金とすることで、高仕事関数金属により低仕事関数金属を酸素から遮断することができる。従って、この構成では、低仕事関数金属の酸化が抑制され、有機層への高い電子注入効率を長期間維持することができ、製品寿命の長い有機EL表示装置を実現することができる。 A low work function metal generally has a property of being easily oxidized. When the low work function metal is oxidized, the electron injection efficiency of the metal layer into the organic layer is lowered. On the other hand, a metal having a high work function (hereinafter sometimes abbreviated as “high work function metal”) generally has a property of being hardly oxidized. Therefore, by making the low work function metal an alloy with the high work function metal, the low work function metal can be shielded from oxygen by the high work function metal. Therefore, in this configuration, oxidation of the low work function metal is suppressed, high electron injection efficiency into the organic layer can be maintained for a long time, and an organic EL display device having a long product life can be realized.
また、この構成によれば、金属層を多層構造にする必要がないため、比較的高い金属層の光透過率を実現することができる。よって、高い有機層の発光の取り出し効率を実現することができる。 Moreover, according to this structure, since it is not necessary to make a metal layer into a multilayer structure, the light transmittance of a relatively high metal layer is realizable. Therefore, it is possible to realize high light emission extraction efficiency of the organic layer.
また、本発明に係る有機EL表示装置は、上記金属層が、Ni、Os、Pt、Pd、Al、Au及びRhのうちから選ばれた1種以上の金属と、Mg、Ca、Sr、Ba、Li、Na、K、Rb、Cs、Ce及びPrのうちから選ばれた1種以上の金属と、の合金からなるものであっても構わない。 In the organic EL display device according to the present invention, the metal layer includes at least one metal selected from Ni, Os, Pt, Pd, Al, Au, and Rh, and Mg, Ca, Sr, and Ba. , Li, Na, K, Rb, Cs, Ce, and Pr may be made of an alloy with one or more metals selected from the group consisting of.
Mg、Ca、Sr、Ba、Li、Na、K、Rb、Cs、Ce及びPr(以下、「Mg、Ca、Sr、Ba、Li、Na、K、Rb、Cs、Ce及びPr」を「Mg等」と略すことがある。)は、仕事関数が低く、高い電子注入効率を達成することができる。従って、この構成によれば、有機層の発光効率が高く、高輝度な有機EL表示装置を実現することができる。 Mg, Ca, Sr, Ba, Li, Na, K, Rb, Cs, Ce and Pr (hereinafter, “Mg, Ca, Sr, Ba, Li, Na, K, Rb, Cs, Ce and Pr” are changed to “Mg. Etc. ”) may have a low work function and achieve high electron injection efficiency. Therefore, according to this configuration, it is possible to realize an organic EL display device with high luminous efficiency of the organic layer and high luminance.
また、Ni、Os、Pt、Pd、Al、Au及びRh(以下、「Ni、Os、Pt、Pd、Al、Au及びRh」を「Ni等」と略すことがある。)は、酸化されにくいため、酸化されやすいMg等を効果的に酸素から遮断することができる。よって、この構成では、Mg等の酸化が抑制され、有機層への高い電子注入効率を長期間維持することができ、製品寿命の長い有機EL表示装置を実現することができる。 Ni, Os, Pt, Pd, Al, Au, and Rh (hereinafter, “Ni, Os, Pt, Pd, Al, Au, and Rh” may be abbreviated as “Ni etc.”) are not easily oxidized. Therefore, Mg or the like that is easily oxidized can be effectively shielded from oxygen. Therefore, in this configuration, oxidation of Mg or the like is suppressed, high electron injection efficiency into the organic layer can be maintained for a long time, and an organic EL display device with a long product life can be realized.
また、Ni等は導電性であるため、金属層と透明電極層とのオーミック性(接触抵抗)が良好である。よって、この構成によれば、有機層への電子注入効率が高い第2電極を実現することができる。 Moreover, since Ni etc. are electroconductive, the ohmic property (contact resistance) of a metal layer and a transparent electrode layer is favorable. Therefore, according to this structure, the 2nd electrode with high electron injection efficiency to an organic layer is realizable.
また、Ni等は、有機層に対して被覆性が良好であるため、金属層の形成が容易であり、かつ、金属層にピンホール等が形成されることを抑制することができる。 Further, since Ni or the like has good coverage with respect to the organic layer, formation of the metal layer is easy, and formation of pinholes or the like in the metal layer can be suppressed.
また、本発明に係る有機EL表示装置は、上記金属層が、上記透明電極層に接する第1金属層と、上記有機層に接する第2金属層との積層構造に形成されており、
上記第1金属層は、3.5eV以上の仕事関数を有する1種以上の金属からなり、
上記第2金属層は、3.5eV未満の仕事関数を有する1種以上の金属からなるものであっても構わない。
In the organic EL display device according to the present invention, the metal layer is formed in a stacked structure of a first metal layer in contact with the transparent electrode layer and a second metal layer in contact with the organic layer.
The first metal layer is made of one or more metals having a work function of 3.5 eV or more,
The second metal layer may be made of one or more metals having a work function of less than 3.5 eV.
この構成によれば、金属層が3.5eV未満という低仕事関数金属からなる第2金属層が有機層と接触しているため、有機層への電子注入効率が高い。従って、この構成によれば、有機層の発光効率が高く、高輝度な有機EL表示装置を実現することができる。 According to this configuration, since the second metal layer made of a low work function metal having a metal layer of less than 3.5 eV is in contact with the organic layer, the electron injection efficiency into the organic layer is high. Therefore, according to this configuration, it is possible to realize an organic EL display device with high luminous efficiency of the organic layer and high luminance.
この構成では、酸化されやすい低仕事関数金属からなる第2金属層を酸化されにくい高仕事関数金属からなる第1金属層により被覆しているため、効果的に第2金属層を酸素から遮断することができる。よって、この構成では、第2金属層を構成する低仕事関数金属の酸化が抑制される。従って、有機層への高い電子注入効率を長期間維持することができ、製品寿命の長い有機EL表示装置を実現することができる。 In this configuration, since the second metal layer made of a low work function metal that is easily oxidized is covered with the first metal layer made of a high work function metal that is difficult to be oxidized, the second metal layer is effectively shielded from oxygen. be able to. Therefore, in this structure, the oxidation of the low work function metal which comprises a 2nd metal layer is suppressed. Therefore, high electron injection efficiency into the organic layer can be maintained for a long time, and an organic EL display device having a long product life can be realized.
また、本発明に係る有機EL表示装置は、上記金属層が、上記透明電極層に接する第1金属層と、上記有機層に接する第2金属層との積層構造に形成されており、
上記第1金属層は、Ni、Os、Pt、Pd、Al、Au及びRhのうちから選ばれた1種以上の金属からなり、
上記第2金属層は、Mg、Ca、Sr、Ba、Li、Na、K、Rb、Cs、Ce及びPrのうちから選ばれた1種以上の金属からなるものであっても構わない。
In the organic EL display device according to the present invention, the metal layer is formed in a stacked structure of a first metal layer in contact with the transparent electrode layer and a second metal layer in contact with the organic layer.
The first metal layer is made of one or more metals selected from Ni, Os, Pt, Pd, Al, Au, and Rh.
The second metal layer may be made of one or more metals selected from Mg, Ca, Sr, Ba, Li, Na, K, Rb, Cs, Ce, and Pr.
この構成によれば、低い仕事関数を有するMg等からなる第2金属層が有機層と接触しているため、有機層への電子注入効率が高い。従って、この構成によれば、有機層の発光効率が高く、高輝度な有機EL表示装置を実現することができる。 According to this configuration, since the second metal layer made of Mg or the like having a low work function is in contact with the organic layer, the electron injection efficiency into the organic layer is high. Therefore, according to this configuration, it is possible to realize an organic EL display device with high luminous efficiency of the organic layer and high luminance.
この構成では、酸化されやすいMg等からなる第2金属層を、酸化されにくいNi等からなる第1金属層により被覆しているため、効果的に第2金属層を酸素から遮断することができる。従って、この構成では、第2金属層を構成するMg等の酸化が抑制され、有機層への高い電子注入効率を長期間維持することができ、製品寿命の長い有機EL表示装置を実現することができる。 In this configuration, since the second metal layer made of Mg or the like that is easily oxidized is covered with the first metal layer made of Ni or the like that is not easily oxidized, the second metal layer can be effectively shielded from oxygen. . Therefore, in this configuration, oxidation of Mg constituting the second metal layer is suppressed, high electron injection efficiency into the organic layer can be maintained for a long time, and an organic EL display device having a long product life is realized. Can do.
また、Ni等は、Mg等からなる第2金属層に対して被覆性が良好であるため、第1金属層の形成が容易であり、かつ、金属層にピンホール等が形成されることを抑制することができる。 In addition, since Ni or the like has good coverage with respect to the second metal layer made of Mg or the like, it is easy to form the first metal layer, and pinholes and the like are formed in the metal layer. Can be suppressed.
また、本発明に係る有機EL表示装置は、上記透明電極層の観察者側表面のJIS B 0601−1994で定義される算術平均粗さが1nm以上かつ30nm以下であるものであっても構わない。 Further, the organic EL display device according to the present invention may have an arithmetic average roughness defined by JIS B 0601-1994 on the observer side surface of the transparent electrode layer of 1 nm or more and 30 nm or less. .
この構成によれば、透明電極層の観察者側表面(以下、「観察者側表面」と略すことがある。)は透明電極層と外気との中間的な光学特性を有する薄い層として作用し、観察者側表面において発光層から出射された光の屈折率が緩やかに変化する。よって、観察者側表面で発生する界面反射を抑制することができる。よって、この構成では、有機層の発光の高い取り出し効率が得られ、より高輝度な有機EL表示装置を実現することができる。 According to this configuration, the observer-side surface of the transparent electrode layer (hereinafter sometimes abbreviated as “observer-side surface”) acts as a thin layer having intermediate optical characteristics between the transparent electrode layer and the outside air. The refractive index of the light emitted from the light emitting layer on the observer side surface changes gently. Therefore, it is possible to suppress the interface reflection that occurs on the observer side surface. Therefore, with this configuration, high extraction efficiency of light emission from the organic layer can be obtained, and an organic EL display device with higher luminance can be realized.
また、本発明に係る有機EL表示装置は、上記発光層が高分子発光材料を含むものであっても構わない。 In the organic EL display device according to the present invention, the light emitting layer may include a polymer light emitting material.
発光層が高分子発光材料を含むものである場合、RGB発光層パターンの形成をインクジェット法等のウエットプロセスによって行うことができるため、RGB発光層パターンを高精度に形成することができ、かつ、大型の有機EL表示装置にも対応することができる。 When the light emitting layer contains a polymer light emitting material, the RGB light emitting layer pattern can be formed by a wet process such as an ink jet method, so that the RGB light emitting layer pattern can be formed with high accuracy and a large size An organic EL display device can also be supported.
また、本発明に係る有機EL表示装置は、上記基板が、TFTを有するアクティブマトリクス基板であっても構わない。 In the organic EL display device according to the present invention, the substrate may be an active matrix substrate having TFTs.
この構成によれば、原理的に走査電極数に制約がなく、ほぼデューティー比100%のスタティック駆動に近い表示ができるので、パネル輝度やレスポンスの良好な高画質・大容量表示を実現することができる。 According to this configuration, in principle, there is no restriction on the number of scanning electrodes, and a display close to static drive with a duty ratio of 100% can be achieved. Therefore, high-quality and large-capacity display with good panel brightness and response can be realized. it can.
以上説明したように、本発明によれば、有機層の発光が金属層と透明電極層との接触面で界面反射されることを抑制することができるため、有機層の発光の取り出し効率が高く、また、TFT等を含む光を透過しない回路等が形成された基板を経由せずに有機層の光を取り出すトップエミッション方式を採用するため、より高輝度な有機EL表示装置を実現することができる。 As described above, according to the present invention, since the emission of the organic layer can be prevented from being reflected at the interface between the contact surface of the metal layer and the transparent electrode layer, the emission efficiency of the emission of the organic layer is high. In addition, since a top emission method that extracts light from the organic layer without passing through a substrate on which a circuit that does not transmit light, such as TFTs, is formed, a higher luminance organic EL display device can be realized. it can.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1は、本発明の実施形態に係るトップエミッション方式の有機EL表示装置1の断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a top emission type organic
有機EL表示装置1は、基板10と、基板10の上に設けられた有機層30と、有機層30を狭持するように設けられた第1電極20と第2電極40とからなる。
The organic
基板10は、有機EL表示装置1を支持する機能を有し、例えば、ガラスやプラスティック等の基板により構成される。
The
基板10はTFTを有するアクティブマトリクス基板であっても勿論構わない。基板10がアクティブマトリクス基板である場合は、パネル輝度やレスポンスの良好な高画質・大容量表示が可能な有機EL表示装置1を実現することができる。
Of course, the
第1電極20は、例えば、Au、Ni、Pt等の高い仕事関数を有する金属により構成され、有機層30にホールを注入する機能と、有機層30から第1電極20側に出射された光を第2電極40側に反射する機能とを有する。
The
尚、第1電極20は、単層構造に限定されるものではなく、例えばAgやAl等の導電性で高い光反射率を有する材料からなる層と、高い仕事関数を有するITOやIZO(インジウム亜鉛酸化物)等からなる層との多層構造に形成しても勿論構わない。
The
また、第1電極20と有機層30との間に、第1電極20と有機層30との導電性を大きく妨げない程度の層厚(例えば1mm程度)を有する酸化物層を設けても構わない。例えば、酸化物層としてSiO2層等を設けることにより、有機層30の被覆性をより向上することができる。
Further, an oxide layer having a layer thickness (for example, about 1 mm) that does not greatly hinder the conductivity between the
有機層30は、ホール注入層31と発光層32と電子輸送層33とにより構成されている。ただし、本発明は、何らこの構成に限定されるものではない。すなわち、本発明においては、有機層30は、発光層32のみからなる単層構造でも構わない。また、有機層30は、ホール注入層31、ホール輸送層、及び、電子輸送層33のうちの1層または1層以上と、発光層32とにより構成されていても構わない。
The
ホール注入層31は、ホール注入効率がよいものであれば、何ら限定されるものではない。ホール注入層31の材料としては、ポルフィリン化合物、N,N’−ビス−(3−メチルフェニル)−N,N’−ビス−(フェニル)−ベンジジン(TPD)、N,N’−ジ(ナフタレン−1−イル)−N,N’−ジフェニル−ベンジジン(NPD)等の芳香族第3級アミン化合物、ヒドラゾン化合物、キナクリドン化合物、スチルアミン化合物等の低分子材料、ポリアニリン、3,4−ポリエチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンサルフォネート(PEDT/PSS)、ポリ(トリフェニルアミン誘導体)、ポリビニルカルバゾール(PVCz)等の高分子材料、ポリ(P−フェニレンビニレン)前駆体、ポリ(P−ナフタレンビニレン)前駆体等の高分子材料前駆体が挙げられる。
The
尚、ホール注入層31は、単層構造に限られるものではなく、多層構造でも勿論構わない。
The
ホール注入層31は、スピンコート法等の公知のウエットプロセスによって形成することができる。
The
発光層32は、低分子発光材料を含むものであっても、高分子発光材料を含むものであっても構わない。低分子発光材料を含む発光層32の場合、真空蒸着法等の方法により成膜することができる。一方、高分子発光材料を含む発光層32の場合は、ウエットプロセスにより成膜することができ、高精細かつ大面積基板10を有する有機EL表示装置1を容易に製造することができるためより好ましい。
The
具体的には、有機発光層形成用塗料を用いて、スピンコート法、インクジェット法、凸版印刷法、凹版印刷法、スクリーン印刷法、スプレーコート法、ドクターブレード法、吐出コート法、マイクログラビアコート法等のウエットプロセスにより高分子発光材料を含む発光層32を形成することができる。尚、有機発光層形成用塗料は少なくとも1種以上の発光材料を溶剤に溶解させた溶液であり、発光材料のほかに、レベリング剤、発光アシスト剤、添加剤(ドナー、アクセプター等)、電化輸送剤、発光性のドーパント等を含むものであっても構わない。
Specifically, using an organic light emitting layer forming paint, spin coating method, ink jet method, relief printing method, intaglio printing method, screen printing method, spray coating method, doctor blade method, discharge coating method, micro gravure coating method The
発光材料としては、有機LED素子用の公知の発光材料を用いることが出来る。このような発光材料には高分子発光材料、高分子発光材料の前駆体等に分類される。以下にこれらの具体的な化合物を例示するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 As a luminescent material, the well-known luminescent material for organic LED elements can be used. Such light emitting materials are classified into polymer light emitting materials, precursors of polymer light emitting materials, and the like. Although these specific compounds are illustrated below, this invention is not limited to these.
高分子発光材料としては、例えば、ポリ(2―デシルオキシー1、4―フェニレン)(DO−PPP)、ポリ[2、5―ビスー[2―(N,N,N−トリエチルアンモニウム)エトキシ]―1、4―フェニルーアルトー1、4―フェニルレン]ジブロマイド(PPP−NEt3+)、ポリ[2―(2'―エチルヘキシルオキシ)―5―メトキシー1、4―フェニレンビニレン](MEH−PPV)等が挙げられる。
Examples of the polymer light emitting material include poly (2-decyloxy-1,4-phenylene) (DO-PPP), poly [2,5-bis- [2- (N, N, N-triethylammonium) ethoxy]- 1,4-phenyl-
また、高分子発光材料の前駆体としては例えば、ポリ(P−フェニレンビニレン)前駆体(Pre−PPV)、ポリ(P−ナフタレンビニレン)前駆体(Pre−PNV)等が挙げられる。 Examples of the precursor of the polymer light emitting material include a poly (P-phenylene vinylene) precursor (Pre-PPV), a poly (P-naphthalene vinylene) precursor (Pre-PNV), and the like.
溶剤としては上記発光材料を溶解または分散できる溶剤であれば何ら限定されるものではなく、例えば、純水、メタノール、エタノール、THF(テトラヒドロフラン)、クロロホルム、トルエン、キシレン、トリメチルベンゼン等が挙げられる。 The solvent is not limited as long as it can dissolve or disperse the light emitting material, and examples thereof include pure water, methanol, ethanol, THF (tetrahydrofuran), chloroform, toluene, xylene, and trimethylbenzene.
電子輸送層33は、第2電極40から発光層32に注入される電子の輸送効率を向上する機能を有する。また、電子輸送層33は、電子輸送材料を含む溶液をスピンコート法等の公知のウエットプロセスによって形成することができる。
The
電子輸送材料としては、公知の電子輸送材料を用いることができる。例えば、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、ベンゾキノン誘導体、ナフトキノン誘導体、フルオレノン誘導体等の低分子材料、ポリ[オキサジアゾール]等の高分子材料が挙げられる。 A known electron transport material can be used as the electron transport material. For example, low molecular weight materials such as oxadiazole derivatives, triazole derivatives, benzoquinone derivatives, naphthoquinone derivatives, and fluorenone derivatives, and polymer materials such as poly [oxadiazole] are exemplified.
尚、電子輸送層33は、単層構造に限られるものではなく、多層構造でも勿論構わない。
The
第2電極40は、透明電極層42と金属層41とからなる。
The
金属層41の透明電極層42との接触面43には、金属層41の最大層厚の1/5以上かつ1/2以下のRaを有する凹凸形状が形成されている(尚、金属層41の最大層厚とは、凹凸形状が形成された透明電極層42との接触面43のうち最も高い山頂部分と、金属層41の底面との最短距離をいう。以下、この明細書において同じ。)。
On the
この構成によれば、接触面43は、金属層41と透明電極層42との中間的な光学特性を有する薄い層として作用し、接触面43で発光層32から出射された光の屈折率が緩やかに変化する。そのため、発光層32から出射された光の接触面43による界面反射を抑制することができる。よって、発光層32からの発光の高い取り出し効率を実現することができ、高輝度な有機EL表示装置1を実現することができる。
According to this configuration, the
接触面43のRaと金属層42の最大層厚との比(以下、「Ra比」と略すことがある。)が、1/5未満である場合は、接触面43の凹凸形状が小さいために、十分な界面反射抑制効果が得られない。また、Ra比が、1/2より大きい場合は、金属層42の層厚が不均一になり、金属層42の一部の層厚がその他の部分の層厚に対して極端に薄くなる。また、金属層42のうち層厚が極端に薄い部分は、有機層30への電子注入効率が低い。そのため、金属層42全体としての有機層30への電子注入効率は低くなる。よって、有機層30の高い発光効率が得られない。さらに、この場合は、接触面43により有機層30の発光が光散乱されるため、正面輝度が小さくなる。よって、Ra比が、1/2より大きい場合は、高輝度な有機EL表示装置1を実現することはできない。
When the ratio of Ra of the
種々のRaの接触面43を有する金属層41は、例えば、抵抗加熱蒸着法により、金属層41の材料となる金属からなる蒸着源に流す電流値と、蒸着源と基板10との距離とを適宜選択することで形成することができるが、何らこの方法に限定されるものではない。
The
また、金属層41は、その最大層厚が1nm以上かつ20nm以下に形成されている。
The
金属層41の最大層厚が1nm未満である場合は、有機層30への電子注入効率が低く、所望の輝度を有する有機EL表示装置1を実現することができない。
When the maximum layer thickness of the
また、金属層41の最大層厚が20nmより大きい場合は、金属層41の光透過率が極端に低下し、有機層30の発光の取り出し効率が低くなり、所望の輝度を有する有機EL表示装置1を実現することができない。
Further, when the maximum layer thickness of the
金属層41の最大層厚が1nm以上かつ20nm以下である場合は、金属層41は高い光透過率と電子注入効率との両方を有し、高い有機層30の発光効率と、有機層30の発光取り出し効率とを共に実現することができる。よって、高輝度な有機EL表示装置1を実現することができる。
When the maximum layer thickness of the
金属層41は、1種以上の低仕事関数金属と1種以上の酸化されにくい高仕事関数金属との合金からなる金属層、または1種以上の低仕事関数金属からなる金属層と酸化されにくい高仕事関数金属からなる金属層との多層構造で構成することができる。この構成によれば、金属層41は低仕事関数金属を含有するため、有機層30への高い電子注入効率を実現することができる。従って、この構成によれば、有機層30の発光効率が高く、高輝度な有機EL表示装置1を実現することができる。
The
低仕事関数金属は、一般的に酸化されやすい性質を有し、低仕事関数金属が酸化された場合は、金属層41の有機層30への電子注入効率が低下する。一方、高仕事関数金属は、一般的に酸化されにくい性質を有する。この構成によれば、高仕事関数金属により低仕事関数金属を酸素から遮断することができる。従って、この構成では、低仕事関数金属の酸化が抑制され、有機層30への高い電子注入効率を長期間維持することができ、製品寿命の長い有機EL表示装置1を実現することができる。
The low work function metal generally has a property of being easily oxidized, and when the low work function metal is oxidized, the electron injection efficiency of the
低仕事関数金属としては、Mg、Ca、Sr、Ba、Li、Na、K、Rb、Cs、Ce、Pr等が挙げられるが、何らこれに限定されるものではない。尚、有機層30を高分子発光材料を含むものとした場合には、Ca、Ba等が特に好適である。
Examples of the low work function metal include Mg, Ca, Sr, Ba, Li, Na, K, Rb, Cs, Ce, and Pr, but are not limited thereto. When the
高仕事関数金属としては、Ni、Os、Pt、Pd、Al、Au、Rh等が挙げられるが、何らこれに限定されるものではない。 Examples of the high work function metal include, but are not limited to, Ni, Os, Pt, Pd, Al, Au, and Rh.
また、Ni、Os、Pt、Pd、Al、Au、及びRhは導電性であるため、金属層41と透明電極層42とのオーミック性(接触抵抗)が良好である。よって、この構成によれば、有機層30への電子注入効率が高い第2電極を実現することができる。
Further, since Ni, Os, Pt, Pd, Al, Au, and Rh are conductive, the ohmic property (contact resistance) between the
また、Ni、Os、Pt、Pd、Al、Au、及びRhは、有機層30に対する被覆性が良好であるため、金属層41の形成が容易であり、かつ、金属層41にピンホール等が形成されることを抑制することができる。
Moreover, since Ni, Os, Pt, Pd, Al, Au, and Rh have good coverage with respect to the
尚、第2電極40の電気伝導率の観点から、高仕事関数金属は導電性金属であることが好ましい。しかし、金属層40は比較的薄く構成されているため、高仕事関数金属は導電性金属に限定されるものではない。
From the viewpoint of the electrical conductivity of the
透明電極層42は、第2電極40の導電性を向上する機能を有する。透明電極層42に用いる材料としては、光透過性が高く、導電性を有するものであれば何ら限定されるものではないが、例えばITO、IZO、SnO2、ZnO等の材料が挙げられる。
The
透明電極層42は、その観察者側表面44のRaが1nm以上かつ30nm以下に形成されている。この構成によれば、観察者側表面44は、透明電極層42と外気との中間的な光学特性を有する薄い層として作用し、観察者側表面44で発光層32から出射された光の屈折率が緩やかに変化する。そのため、発光層32から出射された光が観察者側表面44で界面反射されることを抑制することができる。よって、発光層32からの発光の取り出し効率が高く、高輝度な有機EL表示装置1を実現することができる。
The
観察者側表面44のRaが、1nm以下である場合は、観察者側表面44の凹凸形状が小さいために、十分な界面反射抑制効果が得られない。また、観察者側表面44のRaが、30nm以上である場合は、有機層30から出射された発光は、観察者側表面44で光散乱され有機EL表示装置1の正面輝度が低下する。よって、高輝度な有機EL表示装置1を実現することはできない。
When the Ra of the
種々のRaの観察者側表面44を有する透明電極層42は、例えば、抵抗加熱蒸着法により、透明電極層42の材料からなる蒸着源に流す電流値と、蒸着源から基板10までの距離とを適宜選択することで形成することができるが、何らこの方法に限定されるものではない。
The
(実施例1)まず、5cm角の絶縁性の基板の上に電子ビーム蒸着法により、層厚150nmのPt電極を幅2mm、長さ5cmのストライプ状に成膜することにより第1電極を形成した。 Example 1 First, a first electrode is formed by depositing a Pt electrode having a layer thickness of 150 nm on a 5 cm square insulating substrate in a stripe shape having a width of 2 mm and a length of 5 cm by an electron beam evaporation method. did.
次に、第1電極を形成した基板上に、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)とポリスチレンスルホン酸(PSS)の混合水溶液をスピンコート法により塗布し、150℃で20分間乾燥することにより層厚60nmのホール注入層を形成した。尚、ホール注入層の層厚は、水溶液の濃度、及びスピンコート時の回転数を制御することにより調整した。 Next, a mixed aqueous solution of polyethylene dioxythiophene (PEDOT) and polystyrene sulfonic acid (PSS) is applied by spin coating on the substrate on which the first electrode is formed, and dried at 150 ° C. for 20 minutes to thereby obtain a layer thickness of 60 nm. The hole injection layer was formed. The layer thickness of the hole injection layer was adjusted by controlling the concentration of the aqueous solution and the rotation speed during spin coating.
次に、ホール注入層を形成した基板上にポリオレフィン誘導体の溶液をスピンコート法により塗布し、発光層を成膜することにより有機層を形成した。 Next, a solution of a polyolefin derivative was applied by spin coating on the substrate on which the hole injection layer was formed, and a light emitting layer was formed to form an organic layer.
次に、有機層を形成した基板上に、第1電極層のストライプパターンと直行するストライプパターンにCaを5重量%含有するAlを抵抗加熱蒸着法により最大層厚が10nmになるように成膜することにより金属層を形成した。金属層を形成する際に、Caを5重量%含有するAlの蒸着源に流す電流値と、蒸着源と基板との距離を適宜調整することにより、金属層の透明電極層との接触面(以下、「接触面」と略すことがある。)に種々のRaの凹凸形状を形成した。 Next, Al containing 5% by weight of Ca in a stripe pattern orthogonal to the stripe pattern of the first electrode layer is formed on the substrate on which the organic layer has been formed by a resistance heating vapor deposition method so that the maximum layer thickness becomes 10 nm. As a result, a metal layer was formed. When the metal layer is formed, by appropriately adjusting the current value flowing through the Al vapor deposition source containing 5% by weight of Ca and the distance between the vapor deposition source and the substrate, the contact surface of the metal layer with the transparent electrode layer ( Hereinafter, various irregularities of Ra were formed on the contact surface.
次に、金属層を形成した基板上にIZOをDCスパッタ法により、先に形成した金属層のストライプパターンと同様のストライプパターンになるように層厚100nmの透明電極層を形成することにより有機EL表示装置を作成した。尚、IZO層の形成には、ターゲットとしてIZO焼結ターゲットを用い、スパッタガスとしてはArとO2との混合ガスを用いた。また、金属層と透明電極層との形成時に特に基板の加熱は行っていない。 Next, an organic EL layer is formed by forming a transparent electrode layer having a layer thickness of 100 nm on the substrate on which the metal layer is formed by DC sputtering using a DC sputtering method so that the stripe pattern is the same as the stripe pattern of the previously formed metal layer. A display device was created. For forming the IZO layer, an IZO sintered target was used as a target, and a mixed gas of Ar and O 2 was used as a sputtering gas. Further, the substrate is not particularly heated during the formation of the metal layer and the transparent electrode layer.
以上の方法により、種々のRaの接触面が形成された有機EL表示装置(サンプル1〜3)を形成し、実施例1とした。
By the above method, organic EL display devices (
サンプル1〜3の接触面のRa、Ra比、及び規格化した電流効率を表1に示す。
Table 1 shows the Ra and Ra ratio of the contact surfaces of
尚、Raは、金属層を形成した後、原子間力顕微鏡(以下、「AFM」と略すことがある。)により金属層を観察した結果から算出した。AFMによる金属層の観察像の一例としてサンプル2のAFM観察像を図2(a)に示す。
Ra was calculated from the result of observing the metal layer with an atomic force microscope (hereinafter sometimes abbreviated as “AFM”) after the metal layer was formed. FIG. 2A shows an AFM observation image of
また、電流効率(単位:cd/A)は、輝度計を用いて測定した有機EL表示装置の発光輝度(単位:cd/cm2)と、輝度測定時の有機EL表示装置に流れている電流値(単位:A)と、有機EL表示装置の発光面積(単位:m2)とから算出した。また、表1に示す規格化した電流効率は、最も高い電流効率を示したサンプル2の値で規格化したものである。
The current efficiency (unit: cd / A) is the light emission luminance (unit: cd / cm 2 ) of the organic EL display device measured using a luminance meter and the current flowing through the organic EL display device at the time of luminance measurement. It was calculated from the value (unit: A) and the light emitting area (unit: m 2 ) of the organic EL display device. Moreover, the normalized current efficiency shown in Table 1 is normalized by the value of
(実施例2)実施例1と同様の方法で、金属層の最大層厚がそれぞれ1mm、20mmである有機EL表示装置について、それぞれ種々のRaの接触面が形成された有機EL表示装置サンプルを作成し、実施例2とした。また、実施例1に示した方法と同様の方法で、Ra及び電流効率を算出した。尚、電流効率は、実施例2のサンプルのうちもっとも高い電流効率を示したサンプルの電流効率で規格化した。 (Example 2) In the same manner as in Example 1, for organic EL display devices having a maximum metal layer thickness of 1 mm and 20 mm, organic EL display device samples each having various Ra contact surfaces were formed. Prepared as Example 2. Further, Ra and current efficiency were calculated by the same method as shown in Example 1. The current efficiency was normalized by the current efficiency of the sample showing the highest current efficiency among the samples of Example 2.
図3に示すグラフに、実施例2に係る有機EL表示装置のRa比と、電流効率との関係を示した。 The graph shown in FIG. 3 shows the relationship between the Ra ratio of the organic EL display device according to Example 2 and the current efficiency.
(実施例3)有機層を形成した基板の上に抵抗線加熱蒸着により最大層厚が5nmのCa層を成膜し、さらにその上に抵抗線加熱蒸着により最大層厚が10nmのAl層を成膜することにより金属層を形成した。Ca蒸着源及びAl蒸着源に流す電流値と、それぞれの蒸着源と基板との距離とを適宜調整することにより種々のRaの接触面を金属層に形成した。それ以外は、実施例1に示す方法と同様の方法によりサンプル4〜6を作成し、実施例3とした。また、実施例1に示した方法と同様の方法で、Ra及び電流効率を算出した。尚、電流効率は、実施例3のサンプルのうちもっとも高い電流効率を示したサンプル5の電流効率で規格化した。
(Example 3) A Ca layer having a maximum layer thickness of 5 nm was formed on a substrate on which an organic layer was formed by resistance wire heating vapor deposition, and an Al layer having a maximum layer thickness of 10 nm was further formed thereon by resistance wire heating vapor deposition. A metal layer was formed by forming a film. Various Ra contact surfaces were formed on the metal layer by appropriately adjusting the value of the current flowing through the Ca vapor deposition source and the Al vapor deposition source and the distance between each vapor deposition source and the substrate. Other than that,
サンプル4〜6の接触面のRa、Ra比、及び規格化した電流効率を表2に示す。尚、表2に示す規格化した電流効率は、最も高い電流効率を示したサンプル5の値で規格化したものである。 Table 2 shows the Ra, Ra ratio, and normalized current efficiency of the contact surfaces of Samples 4-6. The normalized current efficiency shown in Table 2 is normalized by the value of Sample 5 that showed the highest current efficiency.
(実施例4)金属層を形成した基板の上に、金属層と同様のストライプパターンになるようにDCスパッタ法によりITO層を成膜することにより透明電極層を形成した。ITO層の成膜は、ターゲットとしてITO焼結ターゲットを用い、スパッタガスとしてはArとO2との混合ガスを用いた。また、ITO層を成膜する際に、スパッタ投入電力及び成膜圧力を適宜調整することにより種々のRaの観察者側表面を透明電極層に形成した。それ以外は、実施例3に示す方法と同様の方法によりサンプル7〜9を作成し、実施例4とした。また、実施例1に示した方法と同様の方法で、Ra及び電流効率を算出した。 Example 4 A transparent electrode layer was formed by depositing an ITO layer on a substrate on which a metal layer was formed by DC sputtering so as to have a stripe pattern similar to that of the metal layer. In forming the ITO layer, an ITO sintered target was used as a target, and a mixed gas of Ar and O 2 was used as a sputtering gas. In addition, when the ITO layer was formed, various observer-side surfaces of Ra were formed on the transparent electrode layer by appropriately adjusting the sputtering input power and the film forming pressure. Except that, Samples 7 to 9 were prepared in the same manner as in Example 3, and designated as Example 4. Further, Ra and current efficiency were calculated by the same method as shown in Example 1.
サンプル7〜9の観察者側表面のRa、及び規格化した電流効率を表3に示す。尚、表3に示す規格化した電流効率は、実施例4のサンプルのうちもっとも高い電流効率を示したサンプル8の電流効率で規格化した。 Table 3 shows the Ra on the viewer side surface of Samples 7 to 9 and the normalized current efficiency. The normalized current efficiency shown in Table 3 was normalized with the current efficiency of Sample 8 that showed the highest current efficiency among the samples of Example 4.
(実施例5)図4は、実施例5に係る有機EL表示装置100(サンプル10)の断面図である。 (Example 5) FIG. 4 is a cross-sectional view of an organic EL display device 100 (sample 10) according to Example 5. As shown in FIG.
有機EL表示装置100は、TFT基板110と、TFT基板110の上に設けられた有機層130と、有機層130を狭持するように設けられた第1電極120と第2電極140と、有機層130と第1電極120との間に介設された絶縁膜124とを有する。
The organic
TFT基板110は、絶縁基板111と、ソース配線112と、ゲート配線113と、TFT114と、平坦化膜115とを有する。
The
TFT114は、ソース配線112とゲート配線113とにより相互に接続されている。
The
TFT114は、ゲートメタル116と、ゲートメタル116の上に設けられたゲート絶縁膜117と、ゲート絶縁膜117によりゲートメタル116と絶縁された島状半導体118と、島状半導体118の周辺部分を覆うように中抜き形状に形成されたTFT電極119とを有する。
The
平坦化膜115は、絶縁基板111の上に、ソース配線112とゲート配線113とTFT114とを覆うように形成されている。
The
第1電極120は、平坦化膜115に設けられたスルーホール123によりTFT電極119に接続されている。
The
有機層130は、ホール注入層131と発光層132とにより構成されている。
The
第2電極140は、金属層141と、透明電極層142とで構成されている。
The
以下、図3を用いて、実施例5に係る有機EL表示装置100の製造方法について説明する。
Hereinafter, the manufacturing method of the organic
まず、絶縁基板111の上に、ゲート電極112と、ゲート配線113と、TFT114と、平坦化膜115とを公知の成膜技術により成膜することによりTFT基板110を形成した。
First, the
次に、平坦化膜115の上、及び平坦化膜115に設けられたスルーホール123の内部に、TFT電極119と接続するように層厚150nmのNi層を形成した。次に、フォトリゾグラフィー技術を用いてNi層をマトリクス状にパターニングすることにより、第1電極120を形成した。
Next, a Ni layer having a thickness of 150 nm was formed on the
次に、スルーホール123の上部及び、第1電極120のエッジ部分を覆うように、SiO2からなる絶縁層124を形成した。
Next, an insulating
次に、第1電極120の上にホール注入層131と、発光層132とを、実施例1と同様の材料及び方法で成膜することにより有機層130を形成した。
Next, the
次に、有機層130の上に、実施例1と同様の材料及び方法で成膜することにより金属層141と透明電極層142とを成膜することにより第2電極140を形成し、有機EL表示装置100を製造した。
Next, a
また、実施例1に示した方法と同様の方法で、Ra及び電流効率を算出した。 Further, Ra and current efficiency were calculated by the same method as shown in Example 1.
実施例5に係るサンプル10の接触面のRa、Ra比、及び規格化した電流効率を表4に示す。尚、表4に示す規格化した電流効率は、サンプル10と後述のサンプル17との電流効率をサンプル10の電流効率で規格化したものである。
Table 4 shows the Ra and Ra ratio of the contact surface of the
(比較例1)実施例1と同様の材料及び方法により接触面のRaがそれぞれ1.2nm及び5.7nmの有機EL表示装置サンプル11及び12を作成した。また、実施例1の方法と同様の方法によりRaと電流効率を算出した。 (Comparative Example 1) Organic EL display device samples 11 and 12 having contact surfaces with Ra of 1.2 nm and 5.7 nm, respectively, were prepared by the same materials and methods as in Example 1. Further, Ra and current efficiency were calculated by the same method as that of Example 1.
表1に、サンプル11及び12の接触面のRa、Ra比、及び規格化した電流効率を示す。尚、規格化した電流効率は、サンプル2の値で規格化したものである。
Table 1 shows Ra and Ra ratio of the contact surfaces of Samples 11 and 12, and normalized current efficiency. The normalized current efficiency is normalized by the value of
図2(b)は、比較例1に係るサンプル11の接触面のAFMによる観察像である。 FIG. 2B is an observation image by AFM of the contact surface of the sample 11 according to Comparative Example 1.
(比較例2)実施例2と同様の材料及び方法により、金属層の最大層厚がそれぞれ0.5nm、25nmである有機EL表示装置について、それぞれ種々のRaの接触面が形成された有機EL表示装置サンプルを作成し、比較例2とした。また、実施例1の方法と同様の方法によりRaと電流効率を算出した。 (Comparative Example 2) By using the same materials and methods as in Example 2, for organic EL display devices having maximum metal layer thicknesses of 0.5 nm and 25 nm, organic EL displays having various Ra contact surfaces formed respectively. A display device sample was prepared and used as Comparative Example 2. Further, Ra and current efficiency were calculated by the same method as that of Example 1.
尚、電流効率は、実施例2のサンプルのうちもっとも高い電流効率を示したサンプルの電流効率で規格化した。 The current efficiency was normalized by the current efficiency of the sample showing the highest current efficiency among the samples of Example 2.
図3に示すグラフに、金属層の最大層厚がそれぞれ0.5mm、25mmである有機EL表示装置のRa比と、電流効率との関係を示した。 The graph shown in FIG. 3 shows the relationship between the Ra ratio of the organic EL display device in which the maximum thickness of the metal layer is 0.5 mm and 25 mm, respectively, and the current efficiency.
(比較例3)実施例3と同様の材料及び方法により接触面のRaがそれぞれ2.7nm及び8.5nmの有機EL表示装置サンプル13及び14を作成した。また、実施例1の方法と同様の方法によりRaと電流効率を算出した。 (Comparative Example 3) Organic EL display device samples 13 and 14 having Ra of the contact surface of 2.7 nm and 8.5 nm, respectively, were prepared by the same material and method as in Example 3. Further, Ra and current efficiency were calculated by the same method as that of Example 1.
表2に、サンプル13及び14の接触面のRa、Ra比、及び規格化した電流効率を示す。尚、規格化した電流効率は、サンプル5の値で規格化したものである。 Table 2 shows the Ra and Ra ratio of the contact surfaces of Samples 13 and 14 and the normalized current efficiency. The normalized current efficiency is normalized by the value of sample 5.
(比較例4)実施例4と同様の材料及び方法により観察者側表面のRaがそれぞれ0.8nm及び33.8nmの有機EL表示装置サンプル15及び16を作成した。また、実施例1の方法と同様の方法によりRaと電流効率を算出した。 (Comparative Example 4) Organic EL display device samples 15 and 16 having Ra on the viewer side surface of 0.8 nm and 33.8 nm, respectively, were prepared using the same materials and methods as in Example 4. Further, Ra and current efficiency were calculated by the same method as that of Example 1.
表3に、サンプル14及び15の観察者側表面のRa、及び観察者側表面のRa比、規格化した電流効率を示す。尚、規格化した電流効率は、サンプル8の値で規格化したものである。 Table 3 shows the Ra on the viewer side surface of Samples 14 and 15, the Ra ratio on the viewer side surface, and the normalized current efficiency. The normalized current efficiency is normalized by the value of sample 8.
(比較例5)実施例5と同様の材料及び方法により金属層の接触面のRaが1.6nmである有機EL表示装置サンプル17を作成した。尚、実施例1の方法と同様の方法によりRaと電流効率を算出した。 (Comparative Example 5) An organic EL display device sample 17 in which Ra on the contact surface of the metal layer was 1.6 nm was prepared by the same material and method as in Example 5. Note that Ra and current efficiency were calculated by the same method as in Example 1.
また、実施例1に示した方法と同様の方法で電流効率を算出した。 Further, the current efficiency was calculated by the same method as shown in Example 1.
比較例5に係るサンプル17の接触面のRa、Ra比、及び規格化した電流効率を表4に示す。尚、表4に示す規格化した電流効率は、サンプル10の値で規格化したものである。
Table 4 shows the Ra and Ra ratio of the contact surface of the sample 17 according to Comparative Example 5 and the normalized current efficiency. The normalized current efficiency shown in Table 4 is normalized with the value of
表1は、実施例1に係るサンプル1〜3と、比較例1に係るサンプル11及び12との接触面のRa、Ra比(接触面のRa/金属層の最大層厚)、及び規格化された電流効率を示す表である。
Table 1 shows Ra, Ra ratio (Ra of contact surface / maximum layer thickness of metal layer), and normalization of
表1より、サンプル1〜3のようにRa比が1/5以上かつ1/2以下である場合は、0.9以上という高い電流効率を示し、一方、サンプル11及び12のようにRa比が1/5未満、又は1/2より大きい場合は、0.7未満という低い電流効率を示すことがわかる。
From Table 1, when the Ra ratio is 1/5 or more and 1/2 or less as in
実施例1のサンプル1〜3は、Ra比が1/5以上かつ1/2以下に形成されているため、接触面は、金属層と透明電極層との中間的な光学特性を有する薄い層として作用し、接触面で発光層から出射された光の屈折率が緩やかに変化する。よって、発光層から出射された光の接触面による界面反射が抑制される。そのため、実施例1のサンプル1〜3は、発光層からの発光の高い取り出し効率を実現することが可能であり、高い電流効率を示したものと考えられる。
Since
一方、比較例1のサンプル11では、Ra比が、1/5未満に形成されているため、接触面は金属層と透明電極層との中間的な光学特性を有する薄い層として十分に作用しない。よって、発光層から出射された光の接触面による界面反射は十分に抑制されない。そのため、サンプル11では、所望の発光層からの発光の高い取り出し効率が得られず、低い電流効率を示したものと考えられる。 On the other hand, in the sample 11 of Comparative Example 1, since the Ra ratio is less than 1/5, the contact surface does not sufficiently function as a thin layer having intermediate optical characteristics between the metal layer and the transparent electrode layer. . Therefore, the interface reflection by the contact surface of the light emitted from the light emitting layer is not sufficiently suppressed. Therefore, in Sample 11, it is considered that high extraction efficiency of light emission from a desired light emitting layer was not obtained, and low current efficiency was exhibited.
また、比較例1のサンプル12では、Ra比が、1/2より大きく形成されているため、金属層の層厚が不均一になり、金属層の一部の層厚が極端に薄くなる。また、金属層のうち層厚が極端に薄い部分は、十分な有機層への電子注入効率を有さない。よって、金属層全体として、有機層への電子注入効率が低下する。そのため、有機層の高い発光効率が得られない。また、この場合は、接触面による光の乱反射が起こり正面輝度が小さくなる。従って、サンプル12は、低い電流効率を示したものと考えられる。 Moreover, in the sample 12 of the comparative example 1, since the Ra ratio is formed to be greater than 1/2, the metal layer has a non-uniform layer thickness, and a part of the metal layer is extremely thin. Moreover, the extremely thin portion of the metal layer does not have sufficient electron injection efficiency into the organic layer. Therefore, the electron injection efficiency into the organic layer is reduced as the whole metal layer. Therefore, high luminous efficiency of the organic layer cannot be obtained. In this case, light is irregularly reflected by the contact surface, and the front luminance is reduced. Therefore, sample 12 is considered to exhibit low current efficiency.
図3は、実施例2に係る金属層の最大層厚がそれぞれ1mm、20mmである有機EL表示装置と、比較例2に係る金属層の最大層厚がそれぞれ0.5mm、25mmである有機EL表示装置と、のRa比と、規格化した電流効率との関係を示したグラフである。 FIG. 3 shows an organic EL display device in which the maximum layer thickness of the metal layer according to Example 2 is 1 mm and 20 mm, respectively, and an organic EL display in which the maximum layer thickness of the metal layer according to Comparative Example 2 is 0.5 mm and 25 mm, respectively. It is the graph which showed the relationship between the Ra ratio of a display apparatus, and the normalized current efficiency.
図3より、金属層の最大層厚に関わらず、Ra比が1/5以上かつ1/2以下である場合は、高い電流効率を示すことがわかる。この理由は、表1について説明した通りである。 From FIG. 3, it can be seen that high current efficiency is exhibited when the Ra ratio is 1/5 or more and 1/2 or less, regardless of the maximum thickness of the metal layer. The reason for this is as described for Table 1.
また、図3より、実施例2に係る金属層の最大層厚がそれぞれ1mm、20mmである有機EL表示装置は、すべてRa比が1/5以上かつ1/2以下の範囲で0.7以上という高い電流効率を示し、一方、比較例2に係る金属層の最大層厚がそれぞれ0.5mm、25mmである有機EL表示装置は、0.6未満という低い電流効率を示すことがわかる。 In addition, as shown in FIG. 3, all the organic EL display devices in which the maximum layer thicknesses of the metal layers according to Example 2 are 1 mm and 20 mm, respectively, are 0.7 or more within a range where Ra ratio is 1/5 or more and 1/2 or less. On the other hand, it can be seen that the organic EL display device in which the maximum layer thickness of the metal layer according to Comparative Example 2 is 0.5 mm and 25 mm, respectively, shows a low current efficiency of less than 0.6.
実施例2のサンプルは、金属層の最大層厚が1nm以上かつ20nm以下に形成されている。従って、金属層は有機層への高い電子注入効率を有し、高い有機層の発光効率を実現できる。また、金属層は光透過率が良く、有機層の発光の高い取り出し効率を実現できるため、高い電流効率を示すものと考えられる。 In the sample of Example 2, the maximum thickness of the metal layer is 1 nm or more and 20 nm or less. Therefore, the metal layer has a high electron injection efficiency into the organic layer, and a high light emission efficiency of the organic layer can be realized. In addition, the metal layer is considered to exhibit high current efficiency because it has good light transmittance and can realize high extraction efficiency of light emission from the organic layer.
一方、比較例2のうち金属層の最大層厚が0.5nmであるサンプルは、金属層の層厚が薄く電子注入効率が低いため、有機層の発光効率が低く、低い電流効率を示すものと考えられる。 On the other hand, the sample having the maximum metal layer thickness of 0.5 nm in Comparative Example 2 has a low metal layer thickness and low electron injection efficiency, and therefore the organic layer has low light emission efficiency and low current efficiency. it is conceivable that.
また、比較例2のうち金属層の最大層厚が25nmであるサンプルは、金属層の層厚が厚く、金属層の光透過率が低いため、有機層の発光の取り出し効率が低く、低い電流効率を示すものと考えられる。 Further, in the sample of Comparative Example 2, the maximum thickness of the metal layer is 25 nm, because the metal layer is thick and the light transmittance of the metal layer is low, the organic layer has low light emission extraction efficiency and low current. It is considered to show efficiency.
尚、金属層の最大層厚が0.5nmのサンプルと、1nmのサンプルは、Ra比が1/5から1/2の範囲において、Ra比が大きくなるにつれて電流効率が小さくなる傾向を示した。これは、Ra比が大きくなり、接触面における界面反射を低減することにより電流効率が向上する効果よりも、接触面のRaが大きくなり金属層の層厚が薄くなり電子注入効率の低下により電流効率が低下する効果の方が大きいためであると考えられる。 Note that the sample with the maximum metal layer thickness of 0.5 nm and the sample with 1 nm showed a tendency that the current efficiency decreased as the Ra ratio increased in the Ra ratio range of 1/5 to 1/2. . This is because the Ra ratio is increased and the current efficiency is improved by reducing the interface reflection at the contact surface, so that the Ra of the contact surface is increased, the thickness of the metal layer is reduced, and the electron injection efficiency is decreased. This is probably because the effect of decreasing the efficiency is greater.
一方、金属層の最大層厚が20nmのサンプルと、25nmのサンプルは、Ra比が1/5から1/2の範囲において、Ra比が大きくなるにつれて電流効率が大きくなる傾向を示した。これは、金属層の最大層厚が接触面のRaに対して十分に大きいため、Ra比の増加により有機層への電子注入効率が低下することはなく、また、Ra比の増加により接触面における界面反射を低減することによる電流効率が向上する効果が大きくなるためであると考えられる。 On the other hand, the sample with the maximum metal layer thickness of 20 nm and the sample with 25 nm showed a tendency that the current efficiency increased as the Ra ratio increased in the Ra ratio range of 1/5 to 1/2. This is because the maximum layer thickness of the metal layer is sufficiently larger than the Ra of the contact surface, so that the electron injection efficiency into the organic layer does not decrease due to the increase of the Ra ratio, and the contact surface increases due to the increase of the Ra ratio. This is probably because the effect of improving the current efficiency by reducing the interface reflection in the case is increased.
表2は、実施例3に係るサンプル4〜6と、比較例3に係るサンプル13及び14との接触面のRa、Ra比、及び規格化した電流効率を示すものである。
Table 2 shows the Ra and Ra ratio of the contact surfaces between the
表2に示す結果からわかるように、金属層をCa層とAl層との積層構造にした場合も、実施例1及び比較例1の場合と同様の結果を示した。 As can be seen from the results shown in Table 2, the same results as in Example 1 and Comparative Example 1 were also obtained when the metal layer had a laminated structure of a Ca layer and an Al layer.
すなわち、サンプル4〜6のようにRa比が1/5以上かつ1/2以下である場合は、0.8以上という高い電流効率を示し、一方、サンプル13及び14のようにRa比が1/5未満、又は1/2より大きい場合は、0.7未満という低い電流効率を示した。この理由は、表1について記載したとおりである。
That is, when the Ra ratio is 1/5 or more and 1/2 or less as in
表3は、実施例4に係るサンプル7〜9、及び比較例4に係るサンプル15及び16の観察者側表面のRa、及び規格化した電流効率を示すものである。 Table 3 shows the Ra on the viewer side surface of Samples 7 to 9 according to Example 4 and Samples 15 and 16 according to Comparative Example 4, and the normalized current efficiency.
表3に示す結果の通り、観察者側表面のRaが1nm以上かつ30nm以下である実施例4に係るサンプル7〜9は、0.9以上という高い電流効率を示した。一方、観察者側表面のRaが1nm未満の比較例4に係るサンプル15と、観察者側表面のRaが30nm以下である比較例4に係るサンプル16は、0.8以上という低い電流効率を示した。 As the results shown in Table 3, Samples 7 to 9 according to Example 4 in which the Ra on the observer side surface is 1 nm or more and 30 nm or less showed a high current efficiency of 0.9 or more. On the other hand, the sample 15 according to Comparative Example 4 in which the Ra on the observer side surface is less than 1 nm and the sample 16 according to Comparative Example 4 in which the Ra on the observer side surface is 30 nm or less have a low current efficiency of 0.8 or more. Indicated.
実施例4に係るサンプル7〜9では、観察者側表面のRaが1nm以上かつ30nm以下に形成されているため、観察者側表面は、有機EL表示装置の外気と透明電極層との中間的な光学特性を有する薄い層として作用し、観察者側表面で発光層から出射された光の屈折率が緩やかに変化する。よって、発光層から出射された光の観察者側表面による界面反射が抑制される。そのため、実施例4のサンプル7〜9は、発光層からの発光の高い取り出し効率を実現することが可能であり、高い電流効率を示したものと考えられる。 In Samples 7 to 9 according to Example 4, Ra on the observer side surface is formed to be 1 nm or more and 30 nm or less, and therefore the observer side surface is intermediate between the outside air of the organic EL display device and the transparent electrode layer. The refractive index of light emitted from the light emitting layer on the observer side surface changes gently. Therefore, the interface reflection by the observer side surface of the light emitted from the light emitting layer is suppressed. Therefore, Samples 7 to 9 of Example 4 can realize high extraction efficiency of light emission from the light emitting layer, and are considered to exhibit high current efficiency.
一方、比較例4のサンプル15では、観察者側表面のRaが1nm未満に形成されているため、観察者側表面は有機EL表示装置の外気と透明電極層との中間的な光学特性を有する薄い層として十分に界面反射抑制作用を奏しない。よって、発光層から出射された光の観察者側表面による界面反射は十分に抑制されない。そのため、サンプル15では、所望の発光層からの発光の高い取り出し効率が得られず、低い電流効率を示したものと考えられる。 On the other hand, in the sample 15 of Comparative Example 4, since the Ra on the observer side surface is formed to be less than 1 nm, the observer side surface has intermediate optical characteristics between the outside air of the organic EL display device and the transparent electrode layer. As a thin layer, the interface reflection suppressing effect is not sufficient. Therefore, the interface reflection of the light emitted from the light emitting layer by the observer side surface is not sufficiently suppressed. Therefore, in Sample 15, it is considered that high extraction efficiency of light emission from a desired light emitting layer was not obtained, and low current efficiency was exhibited.
また、比較例4のサンプル16では、観察者側表面のRaが30nmより大きく形成されているため、有機層から出射された発光は、観察者側表面により光散乱され、正面輝度が低下する。そのため、サンプル16では、低い電流効率を示したものと考えられる。尚、サンプル16は目視により、透明電極層の白濁が確認された。 Moreover, in the sample 16 of the comparative example 4, Ra on the surface on the viewer side is formed to be larger than 30 nm. Therefore, light emitted from the organic layer is scattered by the surface on the viewer side, and the front luminance is lowered. Therefore, it is considered that Sample 16 showed low current efficiency. In Sample 16, the white turbidity of the transparent electrode layer was confirmed by visual observation.
表4は、実施例5に係るサンプル10と比較例5に係るサンプル17とのの接触面のRa、Ra比、及び規格化した電流効率を示すものである。
Table 4 shows the Ra and Ra ratio of the contact surface between the
表4の結果の通り、TFT基板を有する有機EL表示装置においても、実施例1及び比較例1の場合と同様の結果を示した。 As shown in Table 4, also in the organic EL display device having the TFT substrate, the same results as those in Example 1 and Comparative Example 1 were shown.
すなわち、サンプル10のようにRa比が1/5以上かつ1/2以下である場合は、高い電流効率を示し、一方、サンプル17のようにRa比が1/5未満の場合は、低い電流効率を示した。この理由は、表1について記載したとおりである。
That is, when the Ra ratio is 1/5 or more and 1/2 or less as in the
1、100、200、300 有機EL表示装置
10、201、310 基板
20、120、202、320 第1電極
30、130、203、330 有機層
31、131 ホール注入層
32、132 発光層
33 電子輸送層
40、140、204、340 第2電極
41、141、341 金属層
42、142、342 透明電極層
43、343 接触面
44、344 観察者側表面
110 TFT基板
111 絶縁基板
112 ソース電極
113 ゲート配線
114 TFT
115 平坦化膜
116 ゲートメタル
117 ゲート絶縁膜
118 島状半導体
119 TFT電極
124 絶縁膜
1, 100, 200, 300 Organic
115
Claims (10)
上記金属層は、上記透明電極層との接触面が凹凸形状に形成されている有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 A substrate; a first electrode provided on the substrate; an organic layer including a light emitting layer provided on the first electrode; a light-transmitting metal layer provided on the organic layer; and a transparent electrode A top emission type organic electroluminescence display device comprising: a second electrode having a laminated structure with a layer; and taking out light emitted from the organic layer from the second electrode side,
The metal layer is an organic electroluminescence display device in which a contact surface with the transparent electrode layer is formed in an uneven shape.
上記金属層の上記透明電極との接触面のJIS B 0601−1994で定義される算術平均粗さは、上記金属層の最大層厚の1/5以上かつ1/2以下である有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 The organic electroluminescence display device according to claim 1,
The arithmetic mean roughness defined by JIS B 0601-1994 of the contact surface of the metal layer with the transparent electrode is an organic electroluminescence display having a thickness not less than 1/5 and not more than 1/2 of the maximum thickness of the metal layer. apparatus.
上記金属層の最大層厚が1nm以上かつ20nm以下である有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 The organic electroluminescence display device according to claim 1,
An organic electroluminescence display device wherein the maximum thickness of the metal layer is 1 nm or more and 20 nm or less.
上記金属層が、3.5eV以上の仕事関数を有する1種以上の金属と、3.5eV未満の仕事関数を有する1種以上の金属と、の合金からなる有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 The organic electroluminescence display device according to claim 1,
An organic electroluminescence display device, wherein the metal layer is made of an alloy of one or more metals having a work function of 3.5 eV or more and one or more metals having a work function of less than 3.5 eV.
上記金属層が、Ni、Os、Pt、Pd、Al、Au及びRhのうちから選ばれた1種以上の金属と、Mg、Ca、Sr、Ba、Li、Na、K、Rb、Cs、Ce及びPrのうちから選ばれた1種以上の金属と、の合金からなる有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 The organic electroluminescence display device according to claim 1,
The metal layer includes at least one metal selected from Ni, Os, Pt, Pd, Al, Au, and Rh, and Mg, Ca, Sr, Ba, Li, Na, K, Rb, Cs, and Ce. And an organic electroluminescence display device made of an alloy of one or more metals selected from Pr.
上記金属層が、上記透明電極層に接する第1金属層と、上記有機層に接する第2金属層との積層構造に形成されており、
上記第1金属層は、3.5eV以上の仕事関数を有する1種以上の金属からなり、
上記第2金属層は、3.5eV未満の仕事関数を有する1種以上の金属からなる有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 The organic electroluminescence display device according to claim 1,
The metal layer is formed in a laminated structure of a first metal layer in contact with the transparent electrode layer and a second metal layer in contact with the organic layer;
The first metal layer is made of one or more metals having a work function of 3.5 eV or more,
The second metal layer is an organic electroluminescence display device comprising one or more metals having a work function of less than 3.5 eV.
上記金属層が、上記透明電極層に接する第1金属層と、上記有機層に接する第2金属層との積層構造に形成されており、
上記第1金属層は、Ni、Os、Pt、Pd、Al、Au及びRhのうちから選ばれた1種以上の金属からなり、
上記第2金属層は、Mg、Ca、Sr、Ba、Li、Na、K、Rb、Cs、Ce及びPrのうちから選ばれた1種以上の金属からなる有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 The organic electroluminescence display device according to claim 1,
The metal layer is formed in a laminated structure of a first metal layer in contact with the transparent electrode layer and a second metal layer in contact with the organic layer;
The first metal layer is made of one or more metals selected from Ni, Os, Pt, Pd, Al, Au, and Rh.
The said 2nd metal layer is an organic electroluminescent display apparatus which consists of 1 or more types of metals chosen from Mg, Ca, Sr, Ba, Li, Na, K, Rb, Cs, Ce, and Pr.
上記透明電極層の観察者側表面のJIS B 0601−1994で定義される算術平均粗さが1nm以上かつ30nm以下である有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 The organic electroluminescence display device according to claim 1,
An organic electroluminescence display device having an arithmetic average roughness defined by JIS B 0601-1994 of the observer-side surface of the transparent electrode layer of 1 nm or more and 30 nm or less.
上記発光層が高分子発光材料を含む有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 The organic electroluminescence display device according to claim 1,
An organic electroluminescence display device, wherein the light emitting layer includes a polymer light emitting material.
上記基板が、TFTを有するアクティブマトリクス基板である有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
The organic electroluminescence display device according to claim 1,
An organic electroluminescence display device, wherein the substrate is an active matrix substrate having TFTs.
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