JP4561748B2 - トルクセンサ - Google Patents

Description

本発明は、例えば電動パワーステアリング装置等の回転動力を伝達する機構における軸トルクを検出するトルクセンサに関する。

磁石と磁気センサを使った従来技術としては、磁石と磁気センサをトーションバーの両端に同定し、トルクが印加された際に、トーションバーが捩じれることによって磁石と磁気センサの位置関係が変化し、磁気センサからトルクに比例した出力を得るものがある（例えば、特許文献１参照。）。

また、磁石と磁気センサとトーションバーを使用する点で上記の特許文献１と同じであるが、トーションバーの捩じれをギヤを使って軸方向の運動に変える機構にして磁気センサをハウジングに固定させ、磁気センサヘの電力供給と信号の取り出しを行う電気的接触部を不要にしている（例えば、特許文献２参照。）。
特開平８−１５９８８７号公報 特開平６−２８１５１３号公報

ところが、特許文献１の方式では、磁石と磁気センサがトーションバーに固定されているため、磁気センサヘの電力供給と信号の取り出しを行うために電気的な接触部が必要となり、具体的にはスリップリングとブラシを使用しているため、接触部の信頼性が懸念される。

また、特許文献２の方式では、トーションバーの捩じれを軸方向の運動に変換するギヤ機構を有しているため、構造が複雑になり、且つギヤ機構のバックラッシやギヤの摩耗等により、誤差及び応答遅れ等が生じるため、性能面での懸念点がある。

本発明は、上記事情に基づいて成されたもので、その目的は、構造がシンプルで電気的な接触部を持たないトルクセンサを提供することにある。

上記課題を解決するために、請求項１では、第１の軸と第２の軸とを同軸上に連結し、第１の軸と第２の軸との間に捩じれトルクが入力されると、自身に捩じれを生じる弾性部材と、第１の軸に連結されて、周囲に磁界を形成する硬磁性体と、第２の軸に連結され、且つ硬磁性体により形成される磁界内に配置されて磁気回路を形成し、弾性部材の捩じれによって硬磁性体との相対位置が変化すると、磁気回路に発生する磁束密度が変化する構造を有する一組の軟磁性体と、軟磁性体と非接触に設置され、軟磁性体の磁気回路に発生する磁束密度を検出する磁気センサとを備え、硬磁性体は、周方向に着磁された磁石であり、軟磁性体は、硬磁性体の外周に配置された環状体であり、且つ軸方向にギャップを介して対向しており、軟磁性体には、磁石の極数と同数の爪が全周に等間隔に設けられ、且つ一方の軟磁性体に設けられる爪と他方の軟磁性体に設けられる爪とが周方向にずれて交互に配置され、磁気センサは、ギャップ内に挿入され、軟磁性体間に生じる磁束密度を検出するようになっており、爪は、根本部と先端部とを有し、根本部の周方向の幅が先端部の周方向の幅よりも大きい台形形状としたことを特徴としている。

本発明のトルクセンサは、第１の軸と第２の軸との間に捩じれトルクが入力されて弾性部材に捩じれが生じると、硬磁性体と軟磁性体との相対位置が変化することで、軟磁性体の磁気回路に発生する磁束密度が変化する。この磁束密度の変化を磁気センサで検出することにより、第１の軸と第２の軸との間に印加される捩じれトルクを求めることができる。この構成によれば、硬磁性体から発生する磁束を直接磁気センサで検出する必要がないので、非接触式の磁気センサを定位置に固定して使用することができる。その結果、磁気センサに対し電気的な接触部を設ける必要がないので、信頼性の高いトルクセンサを提供できる。

さらに、爪を台形形状としたことで、検出トルク範囲において軟磁性体で発生する磁束密度を大きくすることができる。

また、請求項２では、第１の軸と第２の軸とを同軸上に連結し、第１の軸と第２の軸との間に捩じれトルクが入力されると、自身に捩じれを生じる弾性部材と、第１の軸に連結されて、周囲に磁界を形成する硬磁性体と、第２の軸に連結され、且つ硬磁性体により形成される磁界内に配置されて磁気回路を形成し、弾性部材の捩じれによって硬磁性体との相対位置が変化すると、磁気回路に発生する磁束密度が変化する構造を有する一組の軟磁性体と、軟磁性体に近接して配置され、軟磁性体から磁束を導くと共に、磁束を集める集磁部を有する補助軟磁性体と、集磁部を介して補助軟磁性体に生じる磁束密度を検出する磁気センサとを備え、硬磁性体は、周方向に着磁された磁石であり、軟磁性体は、硬磁性体の外周に配置された環状体であり、且つ軸方向にギャップを介して対向しており、前記軟磁性体には、磁石の極数と同数の爪が全周に等間隔に設けられ、且つ一方の軟磁性体に設けられる爪と他方の軟磁性体に設けられる爪とが周方向にずれて交互に配置され、磁気センサは、対向する集磁部同士の間に挿入され、集磁部間に生じる磁束密度を検出するようになっており、爪は、根本部と先端部とを有し、根本部の周方向の幅が先端部の周方向の幅よりも大きい台形形状としたことを特徴としている。

本発明のトルクセンサは、第１の軸と第２の軸との間に捩じれトルクが入力されて弾性部材に捩じれが生じると、硬磁性体と軟磁性体との相対位置が変化することで、軟磁性体の磁気回路に発生する磁束密度が変化する。さらに、軟磁性体に発生する磁束が補助軟磁性体に導かれて、その補助軟磁性体に設けられた集磁部に集められる。従って、集磁部を介して補助軟磁性体に生じる磁束密度を磁気センサで検出することにより、第１の軸と第２の軸との間に印加される捩じれトルクを求めることができる。この構成によれば、硬磁性体から発生する磁束を直接磁気センサで検出する必要がないので、非接触式の磁気センサを定位置に固定して使用することができる。その結果、磁気センサに対し電気的な接触郡を設ける必要がないので、信頼性の高いトルクセンサを提供できる。また、補助軟磁性体に生じる磁束を集磁部に集めることにより、軟磁性体の全周で発生する磁束密度の平均を磁気センサで検出することができる。これにより、磁気回路を構成する部品の製造ばらつきや組付け精度、センタずれ等による検出誤差を小さくできる。

さらに、爪を台形形状としたことで、検出トルク範囲において軟磁性体で発生する磁束密度を大きくすることができる。

以下、図に示す実施形態について説明する。

図１は、トルクセンサ１の分解斜視図である。図２は、トルクセンサ１の軸方向断面図である。図３は、磁石５と一組の磁気ヨーク６との位置関係を示す軸方向平面図（ａ）と側面図（ｂ）である。図４は、トーションバー４の捩じれ角（磁石５と磁気ヨーク６とのずれ角）と磁気ヨーク６に生じる磁束密度との関係を表すグラフである。図５は、一組の磁気ヨーク６の側面図である。図６は、トーションバー４の捩じれ角（磁石５と磁気ヨーク６とのずれ角）と磁気ヨーク６に生じる磁束密度との関係を表わすグラフである。

本実施形態のトルクセンサ１は、例えば車両の電動式パワーステアリング装置に用いられるもので、ステアリングシャフトを構成する入力軸２（第１の軸）と出力軸３（第２の軸）との間に設けられ、ステアリングシャフトに加わる操舵トルクを検出している。

そのトルクセンサ１は、入力軸２と出力軸３とを同軸上に連結するトーションバー４（弾性部材）、入力軸２の端部（またはトーションバー４の一端側）に取り付けられる磁石５（硬磁性体）、出力軸３の端部（またはトーションバー４の他端側）に取り付けられる一組の磁気ヨーク６（軟磁性体）、及びこの一組の磁気ヨーク６間に生じる磁束密度を検出する磁気センサ７等より構成される。

トーションバー４は、両端がそれぞれピン８により入力軸２と出力軸３とに固定され、目的に応じた捩じれ／トルク特性を持たせてある。従って、入力軸２と出力軸３は、トーションバー４が捩じれを生じることで相対的に回動することができる。

磁石５は、リング状に設けられて周方向にＳ極とＮ極とが交互に着磁され、例えば２４極に形成されている。

一組の磁気ヨーク６（６Ａ、６Ｂ）は、図１に示す様に、磁石５の外周に近接して配置される環状体で、それぞれ磁石５のＮ極及びＳ極と同数（１２個）の爪６ａが全周に等間隔に設けられている。この一組の磁気ヨーク６は、互いの爪６ａが周方向にずれて交互に配置される様に、固定部９（図２参照）により位置決めされている。

また、一組の磁気ヨーク６と磁石５は、トーションバー４に捩じれが生じていない状態（入力軸２と出力軸３との間に捩じれトルクが加わっていない時）で、各磁気ヨーク６に設けられた爪６ａの中心と磁石５のＮ極とＳ極との境界とが一致するように配置されている（図３参照）。

磁気センサ７は、図３に示す様に、軸方向に対向する一方の磁気ヨーク６Ａと他方の磁気ヨーク６Ｂとの間に設けられるギャップＧ内に挿入され、両磁気ヨーク６間に生じる磁束密度を検出する。但し、この磁気センサ７は、磁気ヨーク６と接触することなく、図示しないハウジング等に固定されて、定位置に設けられている。

磁気センサ７としては、例えばホール素子、ホールＩＣ、磁気抵抗素子等を使用することができ、検出した磁束密度を電気信号（例えば電圧信号）に変換して出力する。

次に、本実施形態の作動を説明する。

入力軸２と出力軸３との間に捩じれトルクが印加されていない状態、つまりトーションバー４が捩じれていない中立位置では、図４（ｂ）に示す様に、磁気ヨーク６に設けられた爪６ａの中心と磁石５のＮ極とＳ極との境界とが一致している。この場合、各磁気ヨーク６の爪６ａには、磁石５のＮ極とＳ極から同数の磁力線が出入りするため、一方の磁気ヨーク６Ａと他方の磁気ヨーク６Ｂの内部でそれぞれ磁力線が閉じている。従って、磁気ヨーク６Ａと磁気ヨーク６Ｂとの間（ギャップＧ）に磁束が洩れることはなく、磁気センサ７で検出する磁束密度は０となる（図４参照）。

入力軸２と出力軸３との間に捩じれトルクが印加されて、トーションバー４に捩じれが生じると、入力軸２に固定された磁石５と出力軸３に固定された一組の磁気ヨーク６との相対位置が周方向に変化する。これにより、図４（ａ）または（ｃ）に示す様に、磁気ヨーク６に設けられた爪６ａの中心と磁石５のＮ極とＳ極との境界とが一致しなくなるため、各磁気ヨーク６には、ＮまたはＳの極性を有する磁力線が増加する。

この時、一方の磁気ヨーク６Ａと他方の磁気ヨーク６Ｂは、それぞれ逆の極性を有する磁力線が増加するので、一方の磁気ヨーク６Ａと他方の磁気ヨーク６Ｂとの間（ギャップＧ）に磁束密度が発生する。この磁束密度は、図４に示す様に、トーションバー４の捩じれ量に略比例し、且つトーションバー４の捩じれ方向に応じて極性が反転する。この磁束密度を磁気センサ７で検出し、電圧信号として取り出すことができる。

本実施形態のトルクセンサ１は、トーションバー４に捩じれが生じて、磁石５と一組の磁気ヨーク６との相対位置が周方向に変化すると、一組の磁気ヨーク６間の全周で磁束密度が変化する。即ち、一組の磁気ヨーク６間の全周で同一強度の磁束密度を検出できる。従って、一方の磁気ヨーク６Ａと他方の磁気ヨーク６Ｂとが対向するギャップＧ内に磁気センサ７を挿入することで、磁気ヨーク６に接触することなく、磁気ヨーク６間の磁束密度を検出することができる。これにより、磁気センサ７に対し電気的な接触部（例えばスリップリングとブラシ）を設ける必要がないので、信頼性の高いトルクセンサ１を提供できる。

また、磁気センサ７の検出トルク範囲において、磁気ヨーク６で発生する磁束密度を向上させるための磁気ヨーク６の形状の求め方について実験データに基づいて以下に説明する。

爪６ａは、図５に示すように、根本部６ａ１と先端部６ａ２とを有し、根本部６ａ１の周方向の幅Ａが先端部６ａ２の周方向の幅Ｂよりも大きく、周方向の中心に沿って対称である略台形形状を呈している。

そして、磁石５の極数ｎを２４極、磁気ヨーク６の内径ｒを３１ｍｍ、一方の磁気ヨーク６Ａから他方の磁気ヨーク６Ｂまでの軸方向の距離Ｆを８ｍｍとし、表１に示すように、根本部６ａ１の周方向の幅Ａ、先端部６ａ２の周方向の幅Ｂ及び根本部６ａ１から先端部６ａ２までの軸方向の長さＬの組み合わせを変えて第１から第５実験値の値に設定した。そして、磁気ヨーク６を磁石５との中立位置から周方向に２．５度回転させた場合の磁気ヨーク６で発生する磁束密度をそれぞれ測定した。

表１より、第１実験値と第５実験値とを比較すると、爪６ａの根本部６ａ１の周方向の幅Ａの値によって磁気ヨーク６の磁束密度が大きく影響することがわかる。また、第１実験値と第２実験値とを比較すると、根本部６ａ１から先端部６ａ２までの軸方向の長さＬの値によって磁気ヨーク６の磁束密度が大きく影響することがわかる。このことから、爪６ａの根本部６ａ１の周方向の幅Ａと根本部６ａ１から先端部６ａ２までの軸方向の長さＬとが磁気ヨーク６の磁束密度に大きく影響を与えることがわかる。

そこで、表２に示すように、根本部６ａ１の周方向の幅Ａを第１から第３実験値の値に、根本部６ａ１から先端部６ａ２までの軸方向の長さＬを第１から第４実験値の値にそれぞれ設定した。そして、磁気ヨーク６を磁石５との中立位置から周方向に２．５度回転させた場合の磁気ヨーク６で発生する磁束密度をそれぞれ測定した。

表２より、根本部６ａ１から先端部６ａ２までの軸方向の長さＬが第２実験値（７．０ｍｍ）、根本部６ａ１の周方向の幅Ａが第２実験値（３．７ｍｍ）である場合に磁気ヨーク６で発生する磁束密度を最も大きくすることができることがわかる。

以上の実験結果をまとめると、根本部６ａ１から先端部６ａ２までの軸方向の長さＬは、表２より７ｍｍが最適であると考えられる。

そこで、磁気ヨーク６で発生する磁束密度を向上させるための理論を以下に説明する。

根本部６ａ１から先端部６ａ２までの軸方向の長さＬと一方の磁気ヨーク６Ａから他方の磁気ヨーク６Ｂまでの軸方向の距離Ｆとが比例的に変化することで、磁石５と磁気ヨーク６との間を流れる磁束の経路及び磁束の量が変わらない。

表１より、根本部６ａ１から先端部６ａ２までの軸方向の長さＬが５ｍｍである場合と９ｍｍである場合とを比較すると、９ｍｍの方が磁気ヨーク６の磁束密度を大きくできることがわかる。また、本実施形態では、一方の磁気ヨーク６Ａから他方の磁気ヨーク６Ｂまでの軸方向の距離Ｆを８ｍｍと固定させている。そのため、根本部６ａ１から先端部６ａ２までの軸方向の長さＬを一方の磁気ヨーク６Ａから他方の磁気ヨーク６Ｂまでの軸方向の距離Ｆ（８ｍｍ）で割ることで、根本部６ａ１から先端部６ａ２までの軸方向の長さＬと一方の磁気ヨーク６Ａから他方の磁気ヨーク６Ｂまでの軸方向の距離Ｆとの比例定数を求めることができる（関係式［１］、［２］参照）。

Ｌ（５ｍｍ）／Ｆ（８ｍｍ）＝０．６２５・・・・・・・・・・・・・［１］
Ｌ（９ｍｍ）／Ｆ（８ｍｍ）＝１．１２５・・・・・・・・・・・・・［２］
次に、他方の磁気ヨーク６Ｂの爪６ａは、図５に示すように、周方向に隣り合う第１の爪６１と第２の爪６２とを有しており、根本部６ａ１の周方向の幅Ａと第１の爪６１の根本部６ａ１の周方向一端（周方向右側一端）から第２の爪６２の根本部６ａ１の周方向一端（周方向右側一端）までの周方向の距離Ｐとが変化することで、第１の爪６１と第２の爪６２との周方向の間隔が変化し、磁石５と磁気ヨーク６との間を出入りする磁束の量が変化する。

第１の爪６１の根本部６ａ１の周方向一端から第２の爪６２の根本部６ａ１の周方向一端までの周方向の距離Ｐは、一方の磁気ヨーク６Ａと他方の磁気ヨーク６Ｂとのそれぞれの爪６ａの極数ｎが１２極数であることから、以下の関係式［３］で求められる。

Ｐ［ｍｍ］＝π×ｒ（３１ｍｍ）／ｎ（１２）≒８．１１・・・・・・・［３］
また、表２より根本部６ａ１から先端部６ａ２までの軸方向の長さＬが第２実験値（７．０ｍｍ）、根本部６ａ１の周方向の幅Ａが第２実験値（３．７ｍｍ）の時に、磁気ヨーク６で発生する磁束密度を最も大きくすることができると共に、図６に示す実線の波形になり、且つ根本部６ａ１の周方向の幅Ａが第３実験値（４．２ｍｍ）の時に、図６に示す正弦波である点線の波形になることがわかった。

このことから、本発明では、第３実験値（４．２ｍｍ）を根本部６ａ１の周方向の幅Ａの閾値とした。また、本実施形態では、第１の爪６１の根本部６ａ１の周方向一端から第２の爪６２の根本部６ａ１の周方向一端までの周方向の距離Ｐを固定させている。そのため、根本部６ａ１の周方向の幅Ａを上述の関係式［４］で求めた距離Ｐで割ることで、根本部６ａ１の周方向の幅Ａと第１の爪６１の根本部６ａ１の周方向一端から第２の爪６２の根本部６ａ１の周方向一端までの周方向の距離Ｐとの比例定数を求めることができる（関係式［４］参照）。

Ａ（４．２ｍｍ）／Ｐ（８．１１ｍｍ）≒０．５１７・・・・・・・・［４］
次に、図５に示すように、先端部６ａ２の周方向の幅Ｂと第１の爪６１の根本部６ａ１の周方向一端から第２の爪６２の根本部６ａ１の周方向一端までの周方向の距離Ｐとが変化することで、第１の爪６１と第２の爪６２との周方向の間隔が変化し、磁石５と磁気ヨーク６との間を出入りする磁束の量が変化する。

先端部６ａ２の周方向の幅Ｂを１．２ｍｍよりも大きくすると、磁気ヨーク６で発生する磁束密度が低減することから、本発明では、１．２ｍｍを先端部６ａ２の周方向の幅Ｂの閾値とした。また、本実施形態では、第１の爪６１の根本部６ａ１の周方向一端から第２の爪６２の根本部６ａ１の周方向一端までの周方向の距離Ｐを固定させている。そのため、先端部６ａ２の周方向の幅Ｂを上述の関係式［４］で求めた距離Ｐで割ることで、先端部６ａ２の周方向の幅Ｂと第１の爪６１の根本部６ａ１の周方向一端から第２の爪６２の根本部６ａ１の周方向一端までの周方向の距離Ｐとの比例定数を求めることができる（関係式［５］参照）。

Ｂ（１．２ｍｍ）／Ｐ（８．１１ｍｍ）≒０．１５・・・・・・・・・［５］
以上説明したように、上記の関係式［１］、［２］から数値Ｌを以下の関係式［６］の範囲、関係式［４］から数値Ａを以下の関係式［７］の範囲及び関係式［５］から数値Ｂを以下の関係式［８］の範囲にそれぞれ設定することによって、磁気ヨーク６で発生する磁束密度は、図６の実線の波形のように、磁束密度の変化が少ない不感帯領域を生じ、磁気センサ７の検出トルク範囲において、正弦波である点線の波形の磁束密度よりも大きくなる。そのため、磁気センサ７が検出する磁束密度の感度を向上させることができる。なお、実験データに若干の誤差があることを考慮して比例定数を決定した。

０．６×Ｆ＜Ｌ＜１．２×Ｆ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・［６］
Ａ＜０．５×Ｐ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・［７］
Ｂ＜０．１５×Ｐ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・［８］
また、本実施形態では、磁気ヨーク６もしくは磁石５の極数ｎを２４極、磁気ヨーク６の内径ｒを３１ｍｍ、一方の磁気ヨーク６Ａから他方の磁気ヨーク６Ｂまでの軸方向の距離Ｆを８ｍｍとしているが、磁気ヨーク６の大きさが変化して極数ｎ、内径ｒ、距離Ｆの値が比例的に変わったとしても、磁石５と磁気ヨーク６との間を流れる磁束の量及び磁束の経路が変わらないため、数値Ｌと数値Ａと数値Ｂとが上述の関係式［３］、［６］、［８］をそれぞれ満たすことで、図６に示す実線の波形のように、検出トルク範囲において、磁気ヨーク６の磁束密度を点線の波形よりも大きくできる。

なお、本実施形態では、例えば根本部６ａ１の周方向の幅Ａが３．７ｍｍである場合に、最も磁気センサ６の磁束密度が大きくできると説明したが、３．７ｍｍ付近の値でさらに磁気センサ６の磁束密度を大きくできる値があることも考えられる。

なお、本実施形態では、図７に示すように、磁気ヨーク６Ａ、６Ｂの外周に近接してリング状の集磁リング１０（補助軟磁性体）が設けられていてもよい。この集磁リング１０は、磁気ヨーク６Ａ，６Ｂと同じ軟磁性体であって、周方向の一箇所に平板状の集磁部１０ａが設けられ、互いの集磁部１０ａ同士が軸方向に対向して配置される。但し、集磁部１０ａは、集磁リング１０の他の部位より軸方向に接近して設けられる。さらに、軸方向に対向する集磁部１０ａ同士の間に磁気センサ７が挿入され、その両集磁部１０ａ間に発生する磁束密度を検出する。

この構成によれば、集磁リング１０が磁気回路の一部を形成するため、磁石５から発生した磁束が磁気ヨーク６を通って集磁リング１０に導かれ、その集磁リング１０に設けられた集磁部１０ａに優先的に集まる。この集磁部１０ａ間に発生する磁束密度を磁気センサ７で検出することにより、磁気ヨーク６の全周で発生する磁束密度の平均を取ることができるので、磁気回路を構成する部品の製造ばらつきや組み付け誤差、及び入力側と出力側とのセンタずれ等による検出誤差を抑えることができる。

トルクセンサの分解斜視図である。 トルクセンサの軸方向断面図である。 磁石と一組の磁気ヨークとの位置関係を示す軸方向平面図（ａ）と側面図（ｂ）である。 トーションバーの捩じれ角（磁石と磁気ヨークとのずれ角）と磁気ヨークに生じる磁束密度との関係を表すグラフである。 一組の磁気ヨークの側面図である。 トーションバーの捩じれ角（磁石と磁気ヨークとのずれ角）と磁気ヨークに生じる磁束密度との関係を表わすグラフである。 トルクセンサの分解斜視図である。（他の実施例）

符号の説明

１ トルクセンサ
２ 入力軸
３ 出力軸
４ トーションバー
５ 磁石
６ 磁気ヨーク
７ 磁気センサ
８ ピン
９ 固定部

Claims (2)

1. 第１の軸と第２の軸とを同軸上に連結し、前記第１の軸と前記第２の軸との間に捩じれトルクが入力されると、自身に捩じれを生じる弾性部材と、
   前記第１の軸に連結されて、周囲に磁界を形成する硬磁性体と、
   前記第２の軸に連結され、且つ前記硬磁性体により形成される磁界内に配置されて磁気回路を形成し、前記弾性部材の捩じれによって前記硬磁性体との相対位置が変化すると、前記磁気回路に発生する磁束密度が変化する構造を有する一組の軟磁性体と、
   前記軟磁性体と非接触に設置され、前記軟磁性体の磁気回路に発生する磁束密度を検出する磁気センサとを備え、
   前記硬磁性体は、周方向に着磁された磁石であり、
   前記軟磁性体は、前記硬磁性体の外周に配置された環状体であり、且つ軸方向にギャップを介して対向しており、前記軟磁性体には、前記磁石の極数と同数の爪が全周に等間隔に設けられ、且つ一方の軟磁性体に設けられる爪と他方の軟磁性体に設けられる爪とが周方向にずれて交互に配置され、
   前記磁気センサは、前記ギャップ内に挿入され、前記軟磁性体間に生じる磁束密度を検出するようになっており、
   前記爪は、根本部と先端部とを有し、前記根本部の周方向の幅が前記先端部の周方向の幅よりも大きい台形形状としたことを特徴とするトルクセンサ。
2. 第１の軸と第２の軸とを同軸上に連結し、前記第１の軸と前記第２の軸との間に捩じれトルクが入力されると、自身に捩じれを生じる弾性部材と、
   前記第１の軸に連結されて、周囲に磁界を形成する硬磁性体と、
   前記第２の軸に連結され、且つ前記硬磁性体により形成される磁界内に配置されて磁気回路を形成し、前記弾性部材の捩じれによって前記硬磁性体との相対位置が変化すると、前記磁気回路に発生する磁束密度が変化する構造を有する一組の軟磁性体と、
   前記軟磁性体に近接して配置され、前記軟磁性体から磁束を導くと共に、前記磁束を集める集磁部を有する補助軟磁性体と、
   前記集磁部を介して前記補助軟磁性体に生じる磁束密度を検出する磁気センサとを備え、
   前記硬磁性体は、周方向に着磁された磁石であり、
   前記軟磁性体は、前記硬磁性体の外周に配置された環状体であり、且つ軸方向にギャップを介して対向しており、前記軟磁性体には、前記磁石の極数と同数の爪が全周に等間隔に設けられ、且つ一方の軟磁性体に設けられる爪と他方の軟磁性体に設けられる爪とが周方向にずれて交互に配置され、
   前記磁気センサは、対向する前記集磁部同士の間に挿入され、前記集磁部間に生じる磁束密度を検出するようになっており、
   前記爪は、根本部と先端部とを有し、前記根本部の周方向の幅が前記先端部の周方向の幅よりも大きい台形形状としたことを特徴とするトルクセンサ。

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