JP4554714B2 - 流体軸受構造および軸受溝作成方法 - Google Patents
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Description
請求項2に係る発明は、前記軸受溝部材と前記軸受部材とを一体構成する際に軸受面を形成する面を段差がない状態で一体構成することを特徴とする請求項1に記載の流体軸受構造である。
請求項3に係る発明は、第1の部材により第2の部材を回転自在または直線移動自在に支持し、前記第1の部材と前記第2の部材のどちらか一方に流体噴出口を有し、該流体噴出口の周囲に軸受溝が設けられた流体軸受の該軸受溝の作成方法であって、前記流体噴出口を有する第1の部材または前記流体噴出口を有する第2の部材を、前記流体噴出口を有する軸受溝部材と前記流体噴出口を有しない軸受部材が異なる材質のアルミニウムで一体構成して形成するステップと、前記軸受溝部材に前記流体噴出口を形成するステップと、
前記第1の部材または前記第2の部材に所定の陽極酸化処理条件の陽極酸化処理により軸受溝を形成するステップと、または、前記軸受溝部材に前記流体噴出口を形成するステップと、前記第1の部材または前記第2の部材を、前記軸受溝部材と前記軸受部材が異なる材質のアルミニウムで一体構成して形成するステップと、前記第1の部材または前記第2の部材に所定の陽極酸化処理条件の陽極酸化処理により軸受溝を形成するステップと、
を有する流体軸受の軸受溝作成方法である。
図1(a)は、流体軸受を用いた直動スライドの概略斜視図である。スライド部材10はガイド部材11を囲むように形成され、スライド部材10とガイド部材11の対向面は流体軸受面(図示せず)とされ、スライド部材10はガイド部材11により支持されている。スライド部材10またはガイド部材11に圧縮空気などの加圧流体を噴出するための流体噴出口(図示せず)が設けられており、流体軸受面に流体軸受として動作させるために十分な圧力の流体を供給される。直動スライド型の流体軸受では、ガイド部材11を固定し静止部材としスライド部材10を移動可能な移動部材とする構造のもの、ガイド部材11を移動可能な移動部材としスライド部材10を固定し静止部材とする構造のものがある。なお、流体噴出口を、左右の流体軸受面ではガイド部材11に、上下の流体軸受面ではスライド部材10に配置することも可能である。
図7は、アルミニウムの材質によって膜厚の成長速度が異なることを説明するグラフである。あらかじめ軸受部材と軸受溝部材の陽極酸化膜の膜厚と陽極酸化処理の処理経過時間との関係を求めておく。このグラフを元に軸受溝の深さdepになる時間を求めることができる。
11 ガイド部材
20 回転部材
21 静止部材
26 円板部
30 流体噴出口
31 軸受溝
32 筒状部材
33 主ガイド部材
34 流体軸受面
40 アルミニウム部品
dep 軸受溝の深さ
Claims (3)
- 第1の部材により第2の部材を回転自在または直線移動自在に支持し、前記第1の部材と前記第2の部材のどちらか一方に流体噴出口を有し、該流体噴出口の周囲に軸受溝が設けられた流体軸受構造であって、
前記流体噴出口を有する第1の部材または前記流体噴出口を有する第2の部材は、該流体噴出口を有する軸受溝部材と該流体噴出口を有しない軸受部材とを一体構成した部材であり、
前記軸受溝部材と前記軸受部材とは異なる材質のアルミニウムであり、
前記軸受溝部材と前記軸受部材とを一体構成した後に陽極酸化処理を用いて形成した軸受溝を有することを特徴とする流体軸受構造。 - 前記軸受溝部材と前記軸受部材とを一体構成する際に軸受面を形成する面を段差がない状態で一体構成することを特徴とする請求項1に記載の流体軸受構造。
- 第1の部材により第2の部材を回転自在または直線移動自在に支持し、前記第1の部材と前記第2の部材のどちらか一方に流体噴出口を有し、該流体噴出口の周囲に軸受溝が設けられた流体軸受の該軸受溝の作成方法であって、
前記流体噴出口を有する第1の部材または前記流体噴出口を有する第2の部材を、前記流体噴出口を有する軸受溝部材と前記流体噴出口を有しない軸受部材が異なる材質のアルミニウムで一体構成して形成するステップと、
前記軸受溝部材に前記流体噴出口を形成するステップと、
前記第1の部材または前記第2の部材に所定の陽極酸化処理条件の陽極酸化処理により軸受溝を形成するステップと、
または、前記軸受溝部材に前記流体噴出口を形成するステップと、
前記第1の部材または前記第2の部材を、前記軸受溝部材と前記軸受部材が異なる材質のアルミニウムで一体構成して形成するステップと、
前記第1の部材または前記第2の部材に所定の陽極酸化処理条件の陽極酸化処理により軸受溝を形成するステップと、
を有する流体軸受の軸受溝作成方法。
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