JP4552702B2 - Infrared analyzer light source - Google Patents

Infrared analyzer light source Download PDF

Info

Publication number
JP4552702B2
JP4552702B2 JP2005074324A JP2005074324A JP4552702B2 JP 4552702 B2 JP4552702 B2 JP 4552702B2 JP 2005074324 A JP2005074324 A JP 2005074324A JP 2005074324 A JP2005074324 A JP 2005074324A JP 4552702 B2 JP4552702 B2 JP 4552702B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light source
heating wire
temperature
infrared
infrared analyzer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2005074324A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2006258521A (en
Inventor
鉄人 仁神
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP2005074324A priority Critical patent/JP4552702B2/en
Publication of JP2006258521A publication Critical patent/JP2006258521A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4552702B2 publication Critical patent/JP4552702B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

本発明は、立ち上がり特性が早く、周囲温度の影響を受けにくい赤外線分析計の光源に関するものである。   The present invention relates to a light source for an infrared analyzer that has a fast rise characteristic and is not easily affected by ambient temperature.

赤外線分析計の光源に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
特開平10−253325号公報
Prior art documents related to the light source of the infrared analyzer include the following.
JP-A-10-253325

図4は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図、図5は図4の平面図、図6は図4の要部詳細説明図である。   FIG. 4 is a diagram illustrating the configuration of a conventional example that is generally used, FIG. 5 is a plan view of FIG. 4, and FIG. 6 is a detailed diagram illustrating the main part of FIG.

図において、31は取付プレート、32は取付プレート31に取付られた金属のケースである。
33はケース32の内側側面に設けられた断熱材である。
34はケース32の底面に設けられた断熱材である。
In the figure, 31 is a mounting plate, and 32 is a metal case attached to the mounting plate 31.
Reference numeral 33 denotes a heat insulating material provided on the inner side surface of the case 32.
Reference numeral 34 denotes a heat insulating material provided on the bottom surface of the case 32.

35は、赤外線光源本体で、取付プレート31にスタッド36により支持されている。 37は、取付プレート31の窓の延長上に配置され、光を収束するためのレンズである。   Reference numeral 35 denotes an infrared light source body, which is supported on the mounting plate 31 by studs 36. Reference numeral 37 denotes a lens that is arranged on the extension of the window of the mounting plate 31 and converges light.

赤外線光源本体35は、図6に示す如く、互いに平行に設けられた2本の光源支持棒351と、2本の光源支持棒351の軸方向に平行した平面状の光源Aを構成するように、2本の光源支持棒351に巻回された電熱線352とを有する。   As shown in FIG. 6, the infrared light source body 35 constitutes two light source support bars 351 provided in parallel to each other and a planar light source A parallel to the axial direction of the two light source support bars 351. And a heating wire 352 wound around two light source support bars 351.

光源支持棒351は、この場合は、棒状セラミックが使用されている。
電熱線352は、タングステン線やニクロム線が一般的であると思うが、この場合は、赤外線ガス分析計に使用実績があり、耐高温性があるカンタル線が使用されている。
In this case, a rod-shaped ceramic is used for the light source support rod 351.
The heating wire 352 is generally a tungsten wire or a nichrome wire. In this case, a Kanthal wire that has been used in an infrared gas analyzer and has high temperature resistance is used.

353は、2本の光源支持棒351の両端を支持するステンレスの支持プレートである。
354は、支持プレート353の一端側が取付られるステンレスよりなるベースプレートである。
Reference numeral 353 denotes a stainless steel support plate that supports both ends of the two light source support bars 351.
354 is a base plate made of stainless steel to which one end side of the support plate 353 is attached.

355は、電熱線352の近傍に、接することなく設けられ、電熱線352の光源温度制御のための温度センサである。
この場合は、測温抵抗体が使用されている。
355 is a temperature sensor for controlling the light source temperature of the heating wire 352 provided near the heating wire 352 without contact.
In this case, a resistance temperature detector is used.

測温抵抗体355を光源に密着させると、正確な温度測定ができるかもしれないが、測温抵抗体355を通じて熱が逃げ、温度バランスが崩れる可能性があるため、間隔を置いて設置されている。   If the resistance thermometer 355 is closely attached to the light source, accurate temperature measurement may be possible, but heat may escape through the resistance thermometer 355 and the temperature balance may be lost. Yes.

なお、電熱線35に流れる電流が一定になるように制御を行うことも考えられるが、電流一定の制御方法では、周囲温度が変化した場合などには、安定した赤外線光量を得ることが難しい欠点を有する。   Although it is conceivable to perform control so that the current flowing through the heating wire 35 is constant, it is difficult to obtain a stable amount of infrared light when the ambient temperature changes in the constant current control method. Have

以上の構成において、赤外線光源本体35は、図6に示す如く、電熱線352が、互いに平行に設けられた2本の光源支持棒351に、2本の光源支持棒351の軸方向に平行した平面状の光源Aを構成するように、2本の光源支持棒351に巻回されて構成される。   In the above configuration, the infrared light source main body 35 has heating wires 352 parallel to the axial direction of the two light source support bars 351 on the two light source support bars 351 provided in parallel to each other, as shown in FIG. It is configured by being wound around two light source support bars 351 so as to constitute a planar light source A.

しかしながら、このような装置においては、以下の間題点がある。
安定した赤外線光を得るため、電熱線の近くに白金測温抵抗体を配置し、電熱線の輻射熱を測定し、電熱線の温度が一定になるように制御を行っている。
電熱線に流れる電流を一定になるように制御を行うことも考えられるが、電流一定の制御方法では、周囲温度が変化した場合などには、安定した赤外線光が得ることが難しい欠点を有する。
However, such an apparatus has the following problems.
In order to obtain stable infrared light, a platinum resistance thermometer is placed near the heating wire, the radiant heat of the heating wire is measured, and the temperature of the heating wire is controlled to be constant.
Although it is conceivable to perform control so that the current flowing through the heating wire is constant, the control method with constant current has a drawback that it is difficult to obtain stable infrared light when the ambient temperature changes.

測温抵抗体を赤外線の発生源である光源に密着させると正確な温度を測定できるが、測温抵抗体を通じて熱が逃げ、温度バランスが崩れる可能性があるため、測温抵抗体と電熱線の間には隙間を開けている。
輻射熱は電熱線の温度に相関があるものの、直接電熱線の温度を測定しているわけではない。
When the RTD is attached to the light source, which is the source of infrared rays, the correct temperature can be measured. However, heat may escape through the RTD and the temperature balance may be lost. There is a gap between them.
Although radiant heat has a correlation with the temperature of the heating wire, the temperature of the heating wire is not directly measured.

赤外線光源と白金測温抵抗体は、断熱材で周囲を覆ったケースに入れているが、電熱線の容積に対し、ケースの容積が大きい。測温抵抗体の温度が一定になるためには、ケース全体の温度が一定になることが必要となるが、電熱線の発熱量が小さいため、ケース全体が一定の温度に温められるには、時間が掛かる。   Although the infrared light source and the platinum resistance temperature detector are placed in a case covered with a heat insulating material, the volume of the case is larger than the volume of the heating wire. In order to keep the temperature of the resistance temperature detector constant, the temperature of the entire case needs to be constant, but since the heating value of the heating wire is small, the entire case can be warmed to a constant temperature. It takes time.

また、測温抵抗体の温度は、電熱線の輻射熱の他に、ケース内部の周囲温度にも影響を受けやすく、測温抵抗体の温度が一定になったとしても、実際の赤外線光源の温度は、一定とならず、検出器側で検出される赤外線光が安定するためには時間が掛かる。   In addition to the radiant heat of the heating wire, the temperature of the RTD is also easily affected by the ambient temperature inside the case. Even if the temperature of the RTD becomes constant, the actual temperature of the infrared light source Is not constant, and it takes time for the infrared light detected on the detector side to stabilize.

また、測定系の外部温度が変化すると、赤外線光源ケースの周囲温度も変化し、測温抵抗体が検出する温度が影響され、正しい温度制御が行えなくなるため、赤外線ケースをさらに大きな恒温化したセンサケースに収納している。   In addition, when the external temperature of the measurement system changes, the ambient temperature of the infrared light source case also changes, and the temperature detected by the resistance temperature detector is affected, making correct temperature control impossible. Stored in a case.

特に、フィルム厚さ計に赤外線光源を使用する場合には、フィルム厚さ計は、光源側のヘッドと検出側のヘッドとより構成されていて、測定するフィルム2を挟む位置に配置されている。   In particular, when an infrared light source is used for the film thickness meter, the film thickness meter is composed of a light source side head and a detection side head, and is arranged at a position sandwiching the film 2 to be measured. .

オンラインでフィルムの厚さを測定する場合には、それぞれのヘッドが対面に向き合う位置を保ちながら、両ヘッドが共に走行しながら測定をおこなうが、お互いのヘッド位置のアライメント誤差により測定誤差(スキャン誤差)が発生する。
スキャン誤差をなくす為には、赤外線光源を平面状にして、かつ、発光部分からの赤外線の放射を均一にすることが必要である。
When measuring the thickness of the film online, the heads are measured while keeping their heads facing each other while both heads travel together. ) Occurs.
In order to eliminate the scanning error, it is necessary to make the infrared light source flat and to make the infrared radiation from the light emitting portion uniform.

本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、赤外線の発光量を一定に制御し、立ち上がり特性が早く、周囲温度の影響を受けにくい赤外線分析計の光源を提供することにある。   An object of the present invention is to solve the above-described problems, and to provide a light source for an infrared analyzer that controls the amount of infrared light emission to be constant, has a fast rise characteristic, and is hardly affected by ambient temperature.

このような課題を達成するために、本発明では、請求項1の赤外線分析計の光源においては、
柱状の光源支持体に巻回された電熱線を具備する赤外線分析計の光源において、電熱線が巻回されて面光源状の光源を構成するように中心軸が光軸に直交して配置された光源支持体と、前記光源支持体内に軸方向に前記光源支持体の発光面側に設けられ前記電熱線の温度を検出する温度センサと、前記光源支持体と前記電熱線の外周面の発光面側のみに設けられたコーティング体とを具備したことを特徴とする。
In order to achieve such a problem, in the present invention, in the light source of the infrared analyzer according to claim 1,
In the light source of the infrared analyzer comprising a heating wire wound around a columnar light source support, the central axis is arranged perpendicular to the optical axis so that the heating wire is wound to form a surface light source-like light source. A light source support, a temperature sensor that is provided on the light emitting surface side of the light source support in the axial direction within the light source support, detects the temperature of the heating wire, and emits light from the outer peripheral surface of the light source support and the heating wire. And a coating body provided only on the surface side .

本発明の請求項の赤外線分析計の光源においては、請求項1記載の赤外線分析計の光源において、
前記温度センサは、測温抵抗体が使用されたことを特徴とする。
In the light source of the infrared analyzer of claim 2 of the present invention, in the light source of the infrared analyzer of claim 1,
The temperature sensor uses a resistance temperature detector.

本発明の請求項の赤外線分析計の光源においては、請求項1乃至請求項の何れかに記載の赤外線分析計の光源において、
前記光源支持体の周面に設けられたスパイラル状の溝と、この溝に沿って巻回された電熱線とを具備したことを特徴とする。
In the light source of the infrared analyzer according to claim 3 of the present invention, in the light source of the infrared analyzer according to any one of claims 1 to 2 ,
A spiral groove provided on a peripheral surface of the light source support and a heating wire wound along the groove are provided.

本発明の請求項の赤外線分析計の光源においては、請求項記載の赤外線分析計の光源において、
前記コーティング体は、セラミックコーティング剤が使用されたことを特徴とする。
In the light source of the infrared analyzer of claim 4 of the present invention, in the light source of the infrared analyzer of claim 1 ,
The coating body is characterized in that a ceramic coating agent is used.

本発明の請求項の赤外線分析計の光源においては、請求項1乃至請求項の何れかに記載の赤外線分析計の光源において、
前記光源支持体は、セラミック材が使用されたことを特徴とする。
In the light source of the infrared analyzer according to claim 5 of the present invention, in the light source of the infrared analyzer according to any one of claims 1 to 4 ,
The light source support is made of a ceramic material.

本発明の請求項1によれば、次のような効果がある。
温度センサを電熱線に接近した位置に挿入でき、従来品より、電熱線の温度を正確に測定することができる赤外線分析計の光源が得られる。
電熱線に密着していないので、電熱線の温度バランスを崩すことがない赤外線分析計の光源が得られる。
温度センサが、ケース内部の空間に置かれないため、ケース内部の空間温度の影響を受けずに、電熱線の温度を測定することができる赤外線分析計の光源が得られる。
According to claim 1 of the present invention, there are the following effects.
A temperature sensor can be inserted at a position close to the heating wire, and a light source for an infrared analyzer capable of accurately measuring the temperature of the heating wire can be obtained from a conventional product.
Since it is not in close contact with the heating wire, a light source for an infrared analyzer that does not break the temperature balance of the heating wire can be obtained.
Since the temperature sensor is not placed in the space inside the case, a light source for an infrared analyzer that can measure the temperature of the heating wire without being affected by the space temperature inside the case can be obtained.

周囲温度が変化し、ケース内部温度が変化した場合においても、温度センサは、ケース内部の空間温度の影響を受けにくくなるので、安定した電熱線の温度制御を行うことができる赤外線分析計の光源が得られる。
ケース内部温度が温められていない状態においても、短時間で光源温度を安定させることができ、赤外線分析計の立ち上げ時間の短縮をすることができる赤外線分析計の光源が得られる。
Even when the ambient temperature changes and the case internal temperature changes, the temperature sensor is less susceptible to the space temperature inside the case, so the light source of the infrared analyzer that can perform stable heating wire temperature control Is obtained.
Even when the case internal temperature is not warmed, the light source temperature can be stabilized in a short time, and the infrared analyzer light source capable of shortening the startup time of the infrared analyzer can be obtained.

本発明の請求項によれば、次のような効果がある。
温度センサは、測温抵抗体が使用されたので、巻回された電熱線の軸方向に広く温度検出が出来る赤外線分析計の光源が得られる。
According to claim 2 of the present invention, there are the following effects.
Since a resistance temperature detector is used for the temperature sensor, a light source for an infrared analyzer capable of widely detecting the temperature in the axial direction of the wound heating wire can be obtained.

本発明の請求項によれば、次のような効果がある。
光源支持体の周面に設けられたスパイラル状の溝と、この溝に沿って巻回された電熱線とが設けられたので、電熱線の巻きむらを防ぐことができ、均一に巻くことができる赤外線分析計の光源が得られる。
また、電熱線を巻くときに、巻き回数を一々カウントしていたが、巻き回数の誤差がなくなり、均一な光源を生産することが可能となる赤外線分析計の光源が得られる。
According to claim 3 of the present invention, there are the following effects.
Since the spiral groove provided on the peripheral surface of the light source support and the heating wire wound along this groove are provided, uneven winding of the heating wire can be prevented and uniform winding is possible. An infrared analyzer light source is obtained.
In addition, when the heating wire is wound, the number of windings is counted one by one. However, an error in the number of windings is eliminated, and a light source for an infrared analyzer that can produce a uniform light source can be obtained.

本発明の請求項によれば、次のような効果がある。
コーティング体は、セラミックコーティング剤が使用されたので、セラミックコーティング剤は、常温では液状であるが、高温乾燥することによってセラミックの皮膜を形成できるので、製造が安価で、耐熱性が高い赤外線分析計の光源が得られる。
According to claim 4 of the present invention, there are the following effects.
Since the ceramic coating agent is used for the coating body, the ceramic coating agent is liquid at normal temperature, but can be formed into a ceramic film by drying at high temperature, so it is inexpensive to manufacture and has high heat resistance. Can be obtained.

本発明の請求項によれば、次のような効果がある。
光源支持体は、セラミック材が使用されたので、耐熱性が高い赤外線分析計の光源が得られる。


According to claim 5 of the present invention, there are the following effects.
Since a ceramic material is used for the light source support, an infrared analyzer light source having high heat resistance can be obtained.


以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2は図1の要部断面図、図3は図1の側面図である。
図において、図4と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図4との相違部分のみ説明する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is an explanatory view of a main part configuration of one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of the main part of FIG. 1, and FIG. 3 is a side view of FIG.
In the figure, the same symbol structure as in FIG. 4 represents the same function.
Only differences from FIG. 4 will be described below.

温度センサ41は、光源支持体42内に軸方向に設けられ、電熱線43の温度を検出する
この場合は、温度センサ41は、光源支持体42内の発光面側に設けられ、測温抵抗体が使用されている。
The temperature sensor 41 is provided in the light source support 42 in the axial direction and detects the temperature of the heating wire 43. In this case, the temperature sensor 41 is provided on the light emitting surface side in the light source support 42, and the temperature measuring resistor The body is used.

スパイラル状の溝44は、光源支持体42の周面に設けられ、電熱線43はこの溝44に沿って巻回されている。
コーティング体45は、光源支持体42と電熱線43の外周面に設けられている。
The spiral groove 44 is provided on the peripheral surface of the light source support 42, and the heating wire 43 is wound along the groove 44.
The coating body 45 is provided on the outer peripheral surfaces of the light source support 42 and the heating wire 43.

この場合は、コーティング体45は、光源支持体42と電熱線43の外周面の発光面側に設けられている。
また、コーティング体45は、セラミックコーティング剤が使用されている。
また、光源支持体42は、セラミック材が使用されている。
In this case, the coating body 45 is provided on the light emitting surface side of the outer peripheral surface of the light source support 42 and the heating wire 43.
The coating body 45 uses a ceramic coating agent.
The light source support 42 is made of a ceramic material.

以上の構成において、セラミック材よりなり高温に耐えられる光源支持体42に電熱線43を巻く。
光源支持体42を、2枚の支持プレート353に挟んだ形で固定する。
図4に示す如く、発光部分は、断熱材33で外部と熱遮断されたケース32に収納されており、周囲温度の影響を受け難くされている。
In the above configuration, the heating wire 43 is wound around the light source support 42 made of a ceramic material and capable of withstanding high temperatures.
The light source support 42 is fixed so as to be sandwiched between two support plates 353.
As shown in FIG. 4, the light emitting portion is housed in a case 32 that is thermally insulated from the outside by a heat insulating material 33, and is hardly affected by the ambient temperature.

電熱線43を加熱することで赤外線光は、光源支持体42を中心に四方に発光するが、検出器側に向いた面を発光面側と定義する。
光源支持体42の内部に穴421を開け、穴421に白金抵抗測温抵抗体41を挿入する。
By heating the heating wire 43, infrared light is emitted in four directions around the light source support 42, but the surface facing the detector side is defined as the light emitting surface side.
A hole 421 is formed inside the light source support 42, and the platinum resistance temperature measuring resistor 41 is inserted into the hole 421.

測温抵抗体41を挿入する穴421の位置は、光源支持体42の中心位置よりも発光面側にオフセットした位置に配置し、なるべく発光面の温度を精度よくモニタできるようにしている。
電熱線43の発光面側の外表面には、セラミックコーティング剤45が塗布される。
セラミックコーティング剤45は、常温では液状であるが、高温乾燥することによってセラミックの皮膜が形成される。
The position of the hole 421 for inserting the resistance temperature detector 41 is arranged at a position offset to the light emitting surface side from the center position of the light source support 42 so that the temperature of the light emitting surface can be monitored as accurately as possible.
A ceramic coating agent 45 is applied to the outer surface of the heating wire 43 on the light emitting surface side.
The ceramic coating agent 45 is liquid at room temperature, but a ceramic film is formed by drying at a high temperature.

光源支持体42は、高温に耐えられるセラミックが用いられている。
セラミックは、成型品もしくは、切削加工が可能な母材が選択される。電熱線43を巻く部分には、予め、スパイラル状に溝44が加工されてあり、電熱線43が巻きやすい形状とされている。
The light source support 42 is made of ceramic that can withstand high temperatures.
As the ceramic, a molded product or a base material that can be cut is selected. A groove 44 is processed in advance in a spiral shape at a portion around which the heating wire 43 is wound, so that the heating wire 43 is easily wound.

この結果、
温度センサ41を電熱線43に接近した位置に挿入でき、従来例より、電熱線43の温度を正確に測定することができる赤外線分析計の光源が得られる。
電熱線43に密着していないので、電熱線43の温度バランスを崩すことがない赤外線分析計の光源が得られる。
As a result,
The temperature sensor 41 can be inserted at a position close to the heating wire 43, and a light source of an infrared analyzer that can accurately measure the temperature of the heating wire 43 can be obtained from the conventional example.
Since it is not in close contact with the heating wire 43, a light source of an infrared analyzer that does not break the temperature balance of the heating wire 43 is obtained.

温度センサ41が、ケース32内部の空間に置かれないため、ケース32内部の空間温度の影響を受けずに、電熱線43の温度を測定することができる赤外線分析計の光源が得られる。
周囲温度が変化し、ケース32内部温度が変化した場合においても、温度センサ41は、ケース32内部の空間温度の影響を受けにくくなるので、安定した電熱線43の温度制御を行うことができる赤外線分析計の光源が得られる。
Since the temperature sensor 41 is not placed in the space inside the case 32, a light source of an infrared analyzer that can measure the temperature of the heating wire 43 without being affected by the space temperature inside the case 32 is obtained.
Even when the ambient temperature changes and the internal temperature of the case 32 changes, the temperature sensor 41 is not easily affected by the space temperature inside the case 32, so that the infrared ray capable of performing stable temperature control of the heating wire 43. An analyzer light source is obtained.

ケース32内部温度が温められていない状態においても、短時間で光源温度を安定させることができ、赤外線分析計の立ち上げ時間の短縮をすることができる赤外線分析計の光源が得られる。   Even when the internal temperature of the case 32 is not warmed, the light source temperature can be stabilized in a short time, and the infrared analyzer light source capable of shortening the startup time of the infrared analyzer can be obtained.

温度センサ41は、光源支持体42内の発光面側に設けられたので、より精度良く電熱線43の温度制御を行うことができる赤外線分析計の光源が得られる。   Since the temperature sensor 41 is provided on the light emitting surface side in the light source support 42, a light source of an infrared analyzer capable of controlling the temperature of the heating wire 43 with higher accuracy can be obtained.

温度センサ41は、測温抵抗体が使用されたので、巻回された電熱線43の軸方向に広く温度検出が出来る赤外線分析計の光源が得られる。   Since a temperature measuring resistor is used for the temperature sensor 41, a light source of an infrared analyzer capable of widely detecting the temperature in the axial direction of the wound heating wire 43 is obtained.

光源支持体42の周面に設けられたスパイラル状の溝44と、この溝44に沿って巻回された電熱線43とが設けられたので、電熱線43の巻きむらを防ぐことができ、均一に巻くことができる赤外線分析計の光源が得られる。
また、電熱線43を巻くときに、巻き回数を一々カウントしていたが、巻き回数の誤差がなくなり、均一な光源を生産することが可能となる赤外線分析計の光源が得られる。
Since the spiral groove 44 provided on the peripheral surface of the light source support 42 and the heating wire 43 wound along the groove 44 are provided, uneven winding of the heating wire 43 can be prevented. The light source of the infrared analyzer which can be wound uniformly is obtained.
Further, when the heating wire 43 is wound, the number of windings is counted one by one. However, an error in the number of windings is eliminated, and a light source for an infrared analyzer that can produce a uniform light source can be obtained.

光源支持体42と電熱線43の外周面にコーティング体45が設けられたので、
電熱線43に巻きむらがあり、表面から放射される赤外線光量が不均一であっても、コーティング体45の効果により光量がブロードとなり、表面からは均一な発光面を得ることができる赤外線分析計の光源が得られる。
赤外線の放射率が高いコーティング体45を選択することにより、効率良い赤外線放射が行える赤外線分析計の光源が得られる。
Since the coating body 45 is provided on the outer peripheral surface of the light source support 42 and the heating wire 43,
Even if the heating wire 43 is uneven and the amount of infrared light emitted from the surface is uneven, the amount of light is broadened by the effect of the coating body 45, and an infrared analyzer capable of obtaining a uniform light emitting surface from the surface. Can be obtained.
By selecting the coating body 45 having a high infrared emissivity, a light source for an infrared analyzer capable of efficient infrared emission can be obtained.

電熱線43の表面に皮膜が形成されるので、電熱線43自体の酸化による断線が少なくなり、光源寿命が延長できる赤外線分析計の光源が得られる。
コーティング体45の皮膜が形成されるので、電熱線43同士を固定することができ、振動や取り付け姿勢により電熱線43が移動することがなくなる赤外線分析計の光源が得られる。
Since a film is formed on the surface of the heating wire 43, disconnection due to oxidation of the heating wire 43 itself is reduced, and a light source for an infrared analyzer capable of extending the life of the light source can be obtained.
Since the coating film 45 is formed, the heating wires 43 can be fixed to each other, and a light source for an infrared analyzer can be obtained in which the heating wires 43 do not move due to vibration or the mounting posture.

光源支持体42と電熱線43の外周面の発光面側にコーティング体45が設けられたので、必要最小限部分のみコーティング体が設けられ、安価な赤外線分析計の光源が得られる。   Since the coating body 45 is provided on the light emitting surface side of the outer peripheral surface of the light source support 42 and the heating wire 43, the coating body is provided only at the minimum necessary part, and an inexpensive infrared light source can be obtained.

コーティング体45は、セラミックコーティング剤が使用されたので、セラミックコーティング剤は、常温では液状であるが、高温乾燥することによってセラミックの皮膜を形成できるので、製造が安価で、耐熱性が高い赤外線分析計の光源が得られる。   Since the ceramic coating agent is used for the coating body 45, the ceramic coating agent is liquid at room temperature, but can be formed into a ceramic film by drying at a high temperature. Therefore, the infrared analysis is inexpensive to manufacture and has high heat resistance. A total light source is obtained.

光源支持体42は、セラミック材が使用されたので、耐熱性が高い赤外線分析計の光源が得られる。
なお、赤外線分析計には、赤外線厚さ計が含まれるのは勿論である。
Since the ceramic material is used for the light source support 42, a light source for an infrared analyzer having high heat resistance can be obtained.
Of course, the infrared analyzer includes an infrared thickness meter.

なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
The above description merely shows a specific preferred embodiment for the purpose of explanation and illustration of the present invention.
Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes many changes and modifications without departing from the essence thereof.

本発明の一実施例の要部構成説明図である。It is principal part structure explanatory drawing of one Example of this invention. 図1の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of FIG. 図1の側面図である。It is a side view of FIG. 従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。It is structure explanatory drawing of the prior art example generally used conventionally. 図4の平面図である。FIG. 5 is a plan view of FIG. 4. 図4の要部詳細説明図である。It is principal part detailed explanatory drawing of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

32 ケース
353 支持プレート
354 ベースプレート
41 温度センサ
412 穴
42 光源支持体
43 電熱線
44 溝
45 コーティング体

32 Case 353 Support plate 354 Base plate 41 Temperature sensor 412 Hole 42 Light source support body 43 Heating wire 44 Groove 45 Coating body

Claims (5)

柱状の光源支持体に巻回された電熱線を具備する赤外線分析計の光源において、
電熱線が巻回されて面光源状の光源を構成するように中心軸が光軸に直交して配置された光源支持体と、
前記光源支持体内に軸方向に前記光源支持体の発光面側に設けられ前記電熱線の温度を検出する温度センサと、
前記光源支持体と前記電熱線の外周面の発光面側のみに設けられたコーティング体と、
を具備したことを特徴とする赤外線分析計の光源。
In a light source of an infrared analyzer comprising a heating wire wound around a columnar light source support,
A light source support in which a central axis is arranged orthogonal to the optical axis so that a heating wire is wound to form a surface light source-like light source ;
A temperature sensor that is provided on the light emitting surface side of the light source support in the axial direction in the light source support and detects the temperature of the heating wire;
A coating provided only on the light emitting surface side of the outer peripheral surface of the light source support and the heating wire;
An infrared light source characterized by comprising:
前記温度センサは、測温抵抗体が使用されたこと
を特徴とする請求項1記載の赤外線分析計の光源。
2. The infrared light source according to claim 1, wherein a resistance temperature detector is used for the temperature sensor.
前記光源支持体の周面に設けられたスパイラル状の溝と、
この溝に沿って巻回された電熱線と
を具備したことを特徴とする請求項1乃至請求項2の何れかに記載の赤外線分析計の光源。
A spiral groove provided on the peripheral surface of the light source support;
The infrared ray analyzer light source according to claim 1, further comprising a heating wire wound along the groove.
前記コーティング体は、セラミックコーティング剤が使用されたことThe coating body used a ceramic coating agent
を特徴とする請求項1記載の赤外線分析計の光源。  The light source for an infrared analyzer according to claim 1.
前記光源支持体は、セラミック材が使用されたことCeramic material is used for the light source support
を特徴とする請求項1乃至請求項4の何れかに記載の赤外線分析計の光源。  The light source of the infrared analyzer according to any one of claims 1 to 4, wherein
JP2005074324A 2005-03-16 2005-03-16 Infrared analyzer light source Active JP4552702B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005074324A JP4552702B2 (en) 2005-03-16 2005-03-16 Infrared analyzer light source

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005074324A JP4552702B2 (en) 2005-03-16 2005-03-16 Infrared analyzer light source

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006258521A JP2006258521A (en) 2006-09-28
JP4552702B2 true JP4552702B2 (en) 2010-09-29

Family

ID=37097959

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005074324A Active JP4552702B2 (en) 2005-03-16 2005-03-16 Infrared analyzer light source

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4552702B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10890483B2 (en) 2016-06-03 2021-01-12 Shimadzu Corporation Infrared spectrophotometer

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6288252A (en) * 1985-10-14 1987-04-22 松下電工株式会社 Lamp
JPH05509413A (en) * 1991-10-28 1993-12-22 クリテイコン・インコーポレーテツド regulated infrared source
JPH085545A (en) * 1994-06-22 1996-01-12 Horiba Ltd Light source for infrared ray analyzer
JPH10253325A (en) * 1997-03-06 1998-09-25 Yokogawa Electric Corp Infrared light source of infrared thickness gage

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6288252A (en) * 1985-10-14 1987-04-22 松下電工株式会社 Lamp
JPH05509413A (en) * 1991-10-28 1993-12-22 クリテイコン・インコーポレーテツド regulated infrared source
JPH085545A (en) * 1994-06-22 1996-01-12 Horiba Ltd Light source for infrared ray analyzer
JPH10253325A (en) * 1997-03-06 1998-09-25 Yokogawa Electric Corp Infrared light source of infrared thickness gage

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006258521A (en) 2006-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4505842B2 (en) Thermal conductivity measuring method and apparatus, and gas component ratio measuring apparatus
US10481031B2 (en) Fluid property sensor with heat loss compensation and operating method thereof
US20050190813A1 (en) Differential scanning calorimeter (DSC) with temperature controlled furnace
US10939827B2 (en) Measuring apparatus for the determination of a temperature of an object, the use thereof and method for the operation thereof, as well as thermotherapy device with such a measuring apparatus
AU2009307982B2 (en) Adaptive temperature controller
US11467110B2 (en) Method for operating a sensor device
JP2008145133A (en) Radiation thermometer
US5247185A (en) Regulated infrared source
JP4552702B2 (en) Infrared analyzer light source
CN109645571B (en) Heating non-combustion device, heating assembly and calibration method thereof
US20050157775A1 (en) Temperature probe and use thereof
JP2006515672A (en) Precision control thermostat
CN107957301B (en) Platinum temperature sensing element
JP2005083920A (en) Linear expansion coefficient measuring device
JP3360560B2 (en) Infrared thickness gauge infrared light source
US8821013B2 (en) Thermocouples with two tabs spaced apart along a transverse axis and methods
JP5856534B2 (en) Heat flux measuring device and heat flux measuring method
JP7393055B2 (en) Calibration method, calibration program, storage medium and reference sample for thermophysical property measuring equipment
KR100507606B1 (en) A Calibration Device Of A Contact Type Surface Temperature Indicator
JPH07198500A (en) Surface temperature measuring method
JPS62231148A (en) Thermal analysis instrument
JP7290545B2 (en) pirani vacuum gauge
JP2023070840A (en) Heat conduction type gas sensor and gas detector
JPS621750Y2 (en)
JP2000046660A (en) Temperature measuring device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070802

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090828

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090907

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090928

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100112

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100212

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100517

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100603

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100622

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100705

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130723

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4552702

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140723

Year of fee payment: 4