JP4542321B2 - 偏光非依存性光タップにおいて使用する装置 - Google Patents
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Description
E.D.Palik、Handbook of Optical Constants of Solids、1985年、Academic Press
より具体的には、本出願人の発明は、複雑な誘電体薄膜スタックではなく、金属の固有の特性を使用することによって、光タップの誘起偏光を補償する反射面である。
本発明の他の実施形態では、研磨済みまたは研磨していない金属面が使用される。
一例では、金属は、タングステンであることが好ましいが、その理由は、タングステンは、s偏光状態とp偏光状態とでは、反射率の分布に大きな違いを示すからである。
同様に、図3Cは、図3Aの実施形態のX−Y平面の部分を示す。この図では、円で囲んだXは、格子303での、かつ格子303からのs偏光を示す。図3Cに示した部分と図3Aに示した実施形態の唯一の視覚的な違いは、反射面301から回折されたビームの反射光が、反射面301によって隠れていることである。
図8Aは、入射角度に対する、第1規定波長における金膜の反射率(s、pおよびs−p)を示すグラフであり、
図8Bは、図8Aの金膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図8Cは、入射角度に対する、第2規定波長における金膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
図8Dは、図8Cの金膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図9Aは、入射角度に対する、第1規定波長におけるアルミニウム膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
図9Bは、図9Aのアルミニウム膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図9Cは、入射角度に対する、第2規定波長におけるアルミニウム膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
図9Dは、図9Cのアルミニウム膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図10Aは、入射角度に対する、第1規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
図10Bは、図10Aのニッケル膜について、ブレーズ角に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図10Cは、入射角度に対する、第2規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
図10Dは、図10Cのニッケル膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図11Aは、入射角度に対する、第1規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
図11Bは、図11Aのニッケル膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図11Cは、入射角度に対する、第2規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p、s−p)を示すグラフであり、
図11Dは、図11Cのニッケル膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。
図12Bは、タングステンについて、第1規定入射角度における、波長に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。
図13Bは、タングステンについて、第2規定入射角度における、波長に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。
図14Bは、タングステンについて、第3規定入射角度における、波長に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。
さらに、金属のRs/Rp比は、誘電体コーティングによって修正することもでき、たとえば図5および7を参照されたい。数千オングストロームの窒化ケイ素が金属面の上に付着されている場合、光は、空気/誘電体の境界と誘電体/金属の境界との両方から反射される。これらの反射光の干渉を使用して、Rs/Rp比のスペクトル分布を最適化することができ、たとえば図15Aおよび15Bを参照されたい。
上述した実施形態は、当然、本発明の原理の単なる例示である。実際、本発明の精神および範囲から逸脱せずに、当業者によって多くの他の方法と装置を考案することが可能である。
Claims (10)
- 光タップ、及び、
光ビームに対する前記光タップの偏光依存性を補償するための遷移金属要素を有する第1の反射面(301)を含む装置。 - 前記第1の反射面が、前記遷移金属要素の金属膜からなるミラー面(606)を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記第1の反射面が、前記遷移金属要素の金属薄膜でコーティングされたガラス基板を含む、請求項2に記載の装置。
- 前記金属薄膜が、誘電体材料でコーティングされる、請求項2に記載の装置。
- 前記第1の反射面が、誘電材料でコーティングされた、前記遷移金属要素からなる金属基板を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記遷移金属要素が、遷移金属化合物又は遷移金属の合金を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記第1の反射面が、前記遷移金属要素の金属膜でコーティングされた基板からなり、前記金属膜が、誘電体材料でコーティングされる、請求項1に記載の装置。
- 前記光タップの偏光依存性を補償するための遷移金属要素を含む第2の反射面を含み、前記第2の反射面が、前記第1の反射面から反射された供給光を反射するように配置される、請求項1に記載の装置。
- 光タップの偏光依存性を補償する方法であって、光ビームに対する光タップの偏光依存性を補償するための遷移金属要素を有する反射面を提供することを含む方法。
- 光ビームに対する光タップの偏光依存性を補償するための遷移金属要素を有する反射面を提供する前記ステップが、光タップの前記光ビームを回折するために使用される格子のs−偏光とp−偏光の反射率比のスペクトル依存性及び大きさに対する前記反射面のs−偏光とp−偏光の反射率比のスペクトル依存性及び大きさを整合させることを含む請求項9記載の方法。
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US7171085B2 (en) * | 2003-07-29 | 2007-01-30 | Jds Uniphase Corporation | Polarization compensated optical tap |
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CN113557477B (zh) * | 2019-03-13 | 2024-07-02 | Asml控股股份有限公司 | 光刻设备、量测设备、光学系统和方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4984261A (ja) * | 1972-11-20 | 1974-08-13 | ||
JPS59156929A (ja) * | 1983-02-22 | 1984-09-06 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 偏波面保存フアイバ用プリフオ−ムの製造方法 |
JPS59172624A (ja) * | 1983-03-23 | 1984-09-29 | Hitachi Ltd | 光偏向走査装置 |
JPH02109086A (ja) * | 1988-10-18 | 1990-04-20 | Canon Inc | ホログラム焼付装置 |
JPH06331940A (ja) * | 1993-05-24 | 1994-12-02 | Fujitsu Ltd | 光モニター装置 |
JPH08502598A (ja) * | 1992-10-13 | 1996-03-19 | コヒーレント・インク | かすめ入射角を有する可視及び更に長い波長の放射線を反射させる光学的コーティング |
JPH08271707A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-10-18 | At & T Corp | 金ミラー及びその製造方法 |
JPH09116507A (ja) * | 1995-10-17 | 1997-05-02 | Fujitsu Ltd | モニタリング用光デバイス |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2731881A (en) * | 1956-01-24 | Prism system for binocular tubes | ||
GB1362181A (en) | 1971-07-08 | 1974-07-30 | Martin D H | Variation of the polarization of an electro-magnetic wave |
US4751720A (en) * | 1987-04-03 | 1988-06-14 | Spectra-Physics, Inc. | Cube corner polarizer |
US5608521A (en) * | 1995-09-18 | 1997-03-04 | Trw Inc. | Polarization compensated imaging spectrometer |
US5832156A (en) | 1996-10-31 | 1998-11-03 | Lucent Technologies Inc. | Article comprising an optical waveguide tap |
US6122422A (en) | 1998-06-08 | 2000-09-19 | Lucent Technologies Inc. | Article comprising a dispersive waveguide tap |
JP4427837B2 (ja) | 1999-09-03 | 2010-03-10 | 住友化学株式会社 | ワイヤーグリッド型偏光光学素子 |
US6385369B1 (en) * | 1999-11-29 | 2002-05-07 | Her Majesty The Queen In Right Of Canada As Represented By The Minister Of Industry | Method and device for reducing polarization dependence in an optical component or optical system |
US6807004B2 (en) * | 2002-10-10 | 2004-10-19 | Lucent Technologies Inc. | Polarization independent optical taps |
-
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4984261A (ja) * | 1972-11-20 | 1974-08-13 | ||
JPS59156929A (ja) * | 1983-02-22 | 1984-09-06 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 偏波面保存フアイバ用プリフオ−ムの製造方法 |
JPS59172624A (ja) * | 1983-03-23 | 1984-09-29 | Hitachi Ltd | 光偏向走査装置 |
JPH02109086A (ja) * | 1988-10-18 | 1990-04-20 | Canon Inc | ホログラム焼付装置 |
JPH08502598A (ja) * | 1992-10-13 | 1996-03-19 | コヒーレント・インク | かすめ入射角を有する可視及び更に長い波長の放射線を反射させる光学的コーティング |
JPH06331940A (ja) * | 1993-05-24 | 1994-12-02 | Fujitsu Ltd | 光モニター装置 |
JPH08271707A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-10-18 | At & T Corp | 金ミラー及びその製造方法 |
JPH09116507A (ja) * | 1995-10-17 | 1997-05-02 | Fujitsu Ltd | モニタリング用光デバイス |
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