JP2004133418A - 偏光非依存性光タップにおいて使用する装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 具体的には、反射面は、複雑な薄膜スタックではなく、金属の固有特性を使用することによって、光タップが誘起した偏光を補償する。このために、反射性の金属薄膜または研磨済み反射金属面を使用することが可能である。本発明の特定の実施形態では、単一誘電体薄膜でコーティングした反射面も使用することができる。一例では、金属は、タングステンであることが好ましいが、その理由は、タングステンは、s偏光状態とp偏光状態では、反射率の分布に大きな違いを呈示するからである。
【選択図】図3A
Description
E.D.Palik、Handbook of Optical Constants of Solids、1985年、Academic Press
より具体的には、本出願人の発明は、複雑な誘電体薄膜スタックではなく、金属の固有の特性を使用することによって、光タップの誘起偏光を補償する反射面である。
本発明の他の実施形態では、研磨済みまたは研磨していない金属面が使用される。
一例では、金属は、タングステンであることが好ましいが、その理由は、タングステンは、s偏光状態とp偏光状態とでは、反射率の分布に大きな違いを示すからである。
同様に、図3Cは、図3Aの実施形態のX−Y平面の部分を示す。この図では、円で囲んだXは、格子303での、かつ格子303からのs偏光を示す。図3Cに示した部分と図3Aに示した実施形態の唯一の視覚的な違いは、反射面301から回折されたビームの反射光が、反射面301によって隠れていることである。
図8Aは、入射角度に対する、第1規定波長における金膜の反射率(s、pおよびs−p)を示すグラフであり、
図8Bは、図8Aの金膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図8Cは、入射角度に対する、第2規定波長における金膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
図8Dは、図8Cの金膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図9Aは、入射角度に対する、第1規定波長におけるアルミニウム膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
図9Bは、図9Aのアルミニウム膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図9Cは、入射角度に対する、第2規定波長におけるアルミニウム膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
図9Dは、図9Cのアルミニウム膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図10Aは、入射角度に対する、第1規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
図10Bは、図10Aのニッケル膜について、ブレーズ角に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図10Cは、入射角度に対する、第2規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
図10Dは、図10Cのニッケル膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図11Aは、入射角度に対する、第1規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
図11Bは、図11Aのニッケル膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
図11Cは、入射角度に対する、第2規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p、s−p)を示すグラフであり、
図11Dは、図11Cのニッケル膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。
図12Bは、タングステンについて、第1規定入射角度における、波長に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。
図13Bは、タングステンについて、第2規定入射角度における、波長に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。
図14Bは、タングステンについて、第3規定入射角度における、波長に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。
さらに、金属のRs/Rp比は、誘電体コーティングによって修正することもでき、たとえば図5および7を参照されたい。数千オングストロームの窒化ケイ素が金属面の上に付着されている場合、光は、空気/誘電体の境界と誘電体/金属の境界との両方から反射される。これらの反射光の干渉を使用して、Rs/Rp比のスペクトル分布を最適化することができ、たとえば図15Aおよび15Bを参照されたい。
上述した実施形態は、当然、本発明の原理の単なる例示である。実際、本発明の精神および範囲から逸脱せずに、当業者によって多くの他の方法と装置を考案することが可能である。
Claims (10)
- 光タップにおいて使用する規定反射面を含む装置であって、
前記規定反射面の上に光ビームのうちタップされた部分を向ける光路を備え、
前記光タップにおいて誘起された偏光を補償するために、少なくとも1つの規定金属の固有特性を使用することを含む規定反射面。 - 前記反射面が、規定金属膜からなるミラー面を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記金属膜が、注目の光波長に対して不透過性であるように十分な厚さを有する、請求項2に記載の装置。
- 前記金属膜が、規定誘電体材料でコーティングされる、請求項2に記載の装置。
- 前記誘電体材料が、注目の光波長に関係する厚さを有する、請求項4に記載の装置。
- 前記規定反射面が、規定金属である、請求項1に記載の装置。
- 前記金属が、規定誘電体材料でコーティングされる、請求項6に記載の装置。
- 前記規定反射面が、規定金属膜でコーティングされた規定基板であり、前記金属膜が、規定誘電体材料でコーティングされる、請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの金属が、遷移金属である、請求項1に記載の装置。
- 前記規定反射面が、それぞれが、前記光タップにおいて誘起された偏光を補償するために、前記少なくとも1つの規定金属の固有特性の使用を有する第1反射面と第2反射面とを含み、
前記光路が、光ビームのタップ部分を前記第1反射面の上に向け、
前記第2反射面が、補償された供給光を偏光独立光ビームとして反射するように構成される、請求項1に記載の反射面。
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