JP2004133418A - 偏光非依存性光タップにおいて使用する装置 - Google Patents

偏光非依存性光タップにおいて使用する装置 Download PDF

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Abstract

【課題】 光タップの偏光依存性を補償するために使用する独自の反射面を提供すること。
【解決手段】 具体的には、反射面は、複雑な薄膜スタックではなく、金属の固有特性を使用することによって、光タップが誘起した偏光を補償する。このために、反射性の金属薄膜または研磨済み反射金属面を使用することが可能である。本発明の特定の実施形態では、単一誘電体薄膜でコーティングした反射面も使用することができる。一例では、金属は、タングステンであることが好ましいが、その理由は、タングステンは、s偏光状態とp偏光状態では、反射率の分布に大きな違いを呈示するからである。
【選択図】図3A

Description

 本発明は、光タップに関し、より具体的には、光タップの偏光依存を補償することに関する。
 光タップは、ファイバまたはビームから光をサンプリングするために使用され、溶融カプラ、ブレーズド・ファイバ・ブラッグ回折格子、導波路、ビーム・スプリッタなどを基にすることができる。通常、これらの光タップは、偏光依存性である。伝送ファイバの偏光状態は、未知であり、時間と共に変化することがあるので、この偏光依存性により、サンプリングした光ビームのパワーに誤差が生じる。
 光チャネル・モニタ(OCM)は、よい例である。OCMは、ブレーズド・ファイバ・ブラッグ回折格子を介してファイバ・コアから放射モードに光を回折させることによって、単一モード・ファイバから光信号をサンプリングする。この回折プロセスは、p偏光よりs偏光で強い。図1は、ミラー101から反射された偏光ビーム102を示す。入射面103は、入射ビーム102と反射ビーム104とを含む平面として画定される。また、入射面の法線106も示されている。両頭矢印105は、p偏光を表し、この場合、電場ベクトルは、入射面に平行に、すなわち入射面内において振動する。s偏光ビームの電場は、入射面に垂直に振動する。s偏光ビームの電場ベクトルは、入射面に垂直に振動する。生じるパワーの誤差は、入射ビームをスクランブリングすることによって、偏光ダイバーシチを使用することによって、または受動補償によって、回避することができる。スクランブリングは、時間、空間、またはスペクトルの領域について偏光状態を変化させることによって実現することができる。スクランブリングは、実験室での応用に適しており、チャネル・モニタリングなどの応用では、通常費用効果は高くない。偏光ダイバーシチには、s偏光状態とp偏光状態とを、2つの状態が等しい挿入損失を有するように、異なる光路を通るように経路規定することが含まれる。この手法は、コンパクトなパッケージに納まることがほとんどない複雑な光路を必要とする。この受動補償は、偏光依存損失(PDL)を導入する光学要素を使用して、タップのPDLを無効にする。
 光チャネル・モニタは、受動補償を使用する。偏光により誘起されるパワーの誤差は、回折された自由空間ビームをミラーから反射させることによって回避される。このミラーは、回折格子におけるs偏光がミラーではp偏光になるように配置される。効果的に作用するように、このミラーの反射率は、回折格子のPDLを波長の関数として補償しなければならない。このスペクトル依存性は、複雑な誘電体薄膜スタックで生成することができる。図2Aは、一般的な帯域通過フィルタの高エネルギーの端付近のs偏光状態とp偏光状態の反射率をプロットしており、図2Bは、図2Aの2つの曲線の比を表す。図2Bの比を使用して、C帯域における偏光を補償することができる。鮮明なスペクトル遷移は、製造変動の影響を受けるので、補償はしばしば不正確である。
E.D.Palik、Handbook of Optical Constants of Solids、1985年、Academic Press
 光タップの偏光依存性を補償しようとする従来の構成に関するこれらおよび他の問題と制約は、独自の反射面を使用することによって解決される。
 より具体的には、本出願人の発明は、複雑な誘電体薄膜スタックではなく、金属の固有の特性を使用することによって、光タップの誘起偏光を補償する反射面である。
 本発明の一実施形態では、規定金属膜である反射面が使用される。
 本発明の他の実施形態では、研磨済みまたは研磨していない金属面が使用される。
 一例では、金属は、タングステンであることが好ましいが、その理由は、タングステンは、s偏光状態とp偏光状態とでは、反射率の分布に大きな違いを示すからである。
 一般に、2つの偏光状態sおよびpの反射率(R)の比、すなわちRs/Rpのスペクトル依存性と大きさとは、4つの自由度から選択すること、適切な金属を選択すること、ミラーまたは金属面が偏光ビームを反射する角度を調節すること、誘電体層を金属膜の上に追加すること、および/または複数のミラーまたは金属面を使用すること、によって精確に整合させることができる。
 図3A、3B、3C、および3Dは、本発明の実施形態を含んでいる光タップの自由空間において、入射誘導光モードすなわちビーム302を光ファイバ内において放射モードに回折するブラッグ回折格子303を示す。したがって、図3Aの3次元(X、Y、およびZ平面)表示に示したように、この例では光ファイバ内の入射誘導光放射302は、ブレーズド・ファイバ・ブラッグ回折格子303に向けられ、この回折格子は、放射302を自由空間において光放射ビーム304に回折し、このビームは、この例では金属膜面を有する反射面301に向けられる。以下でより詳細に説明するように、反射面301の金属膜面は、従来の既知の誘電体薄膜スタックではなく、金属の固有の特性を使用して、回折格子303によって誘起された偏光を補償する。さらに、両頭矢印307は、回折格子303と自由空間304とにおけるsタイプの偏光、すなわち電場が回折格子303の入射面に垂直であることを示すことに留意されたい。反射面301は、自由空間ビームをビーム35としてXY平面からY方向に沿って反射するので、電場は、反射面301では、入射面に平行である。その結果、回折格子303におけるs偏光は、反射面301ではp偏光になる。望むなら、ビーム305を検出器306に供給して使用する。
 図3Bは、図3Aに示した実施形態のX−Y平面の部分を示す。唯一の視覚的な違いは、回折ビーム304が、入射誘導ビーム302の表示の上に重なっていることである。
 同様に、図3Cは、図3Aの実施形態のX−Y平面の部分を示す。この図では、円で囲んだXは、格子303での、かつ格子303からのs偏光を示す。図3Cに示した部分と図3Aに示した実施形態の唯一の視覚的な違いは、反射面301から回折されたビームの反射光が、反射面301によって隠れていることである。
 図3Dは、図3Aと同様の実施態様を示すが、図3Aの反射面301が、反射面308および310と光ビーム経路309とに置き換わっている点が異なる。図示したように、複数の反射面308と310とを連続的に使用して、Rs/Rpの大きさとスペクトル傾斜を調節する。例として、第1反射面308を使用して、平均Rs/Rpレベルを調節し、第2反射面310を使用して、Rs/Rpのスペクトル傾斜を生成する。2つの反射面308と310のこの組合せにより、一方の反射面308が、比較的大きいがスペクトルが平坦のRs/Rpを生成し、一方の他の反射面310が、比較的小さいがスペクトルが傾斜したRs/Rpを生成することが可能になる。
 図4は、本発明を実施する際に使用することが可能である、研磨済みまたは研磨していない金属面401を備える反射面、すなわちミラーを示す。回折格子によって回折された後(図3参照)、光ビーム402と403とは、自由空間を伝播して、次いで金属基板401の面404から反射される。
 図5は、本発明を実施する際に使用することが可能である誘電体層503でコーティングした図4の金属基板401(502)を備える反射面501、すなわちミラーを示す。また、誘電体層503の外側誘電体面から反射されている、自由空間回折光ビーム504および505も示されている。
 図6は、本発明を実施する際に使用することが可能である、規定金属薄膜603でコーティングした研磨済みまたは研磨していないガラス基板602を備える反射面、すなわちミラー601を示す。また、誘電体層603の外側金属膜面から反射されている自由空間の回折光ビーム604および605も示されている。
 図7は、本発明を実施する際に使用することが可能である、研磨済みまたは研磨していないガラス基板602(702)と、誘電体層704でコーティングした図6の金属薄膜603(703)とを含んでいる反射面を示す。また、誘電体層704の外側誘電体面から反射されている自由空間の回折光ビーム705および706も示されている。
 後に記載するように、
 図8Aは、入射角度に対する、第1規定波長における金膜の反射率(s、pおよびs−p)を示すグラフであり、
 図8Bは、図8Aの金膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
 図8Cは、入射角度に対する、第2規定波長における金膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
 図8Dは、図8Cの金膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
 図9Aは、入射角度に対する、第1規定波長におけるアルミニウム膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
 図9Bは、図9Aのアルミニウム膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
 図9Cは、入射角度に対する、第2規定波長におけるアルミニウム膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
 図9Dは、図9Cのアルミニウム膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
 図10Aは、入射角度に対する、第1規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
 図10Bは、図10Aのニッケル膜について、ブレーズ角に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
 図10Cは、入射角度に対する、第2規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
 図10Dは、図10Cのニッケル膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
 図11Aは、入射角度に対する、第1規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p、およびs−p)を示すグラフであり、
 図11Bは、図11Aのニッケル膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフであり、
 図11Cは、入射角度に対する、第2規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p、s−p)を示すグラフであり、
 図11Dは、図11Cのニッケル膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。
 図8Aから11Dに示したように、ニッケルおよびタングステンなどの金属は、p偏光よりs偏光をはるかに強く偏光する。対照的に、貴金属(銅、銀、および金)は、2つの偏向をほとんど同じ強度で反射し、アルミニウムは、中間的な場合である。これは、屈折率(n)の実数部分と虚数部分の相対的なサイズによる。例として、1630nmでは、金の屈折率は、n=0.609+i10.3であり、タングステンの屈折率は、n=1.97+i5.27である。屈折率の実数部分と虚数部分との相対的なサイズは、自由電子と束縛電子との間の競合によって影響を受ける。虚数指標は、自由電子が優勢な金属で高く、一方、中間遷移によって影響を受ける金属では、実数部分と虚数部分とはほぼ同じ値を有する(E.D.Palik、Handbook of Optical Constants of Solids、1985年、Academic Pressを参照されたい)。上記の注釈は、たとえば図4に示した大きな金属、およびたとえば図6に示した滑らかなガラス基板の上に付着された薄い金属膜に当てはまる。
 金属薄膜は、注目の波長に対して不透過性であるような厚さを有するべきである。たとえばタングステンなどの金属では、金属薄膜は、約1000から2000オングストロームの厚さを有するべきである。使用時、誘電体層は、注目の波長とほぼ同じ厚さを有するべきである。
 膜は、蒸着、スパッタリング、または化学蒸着などの標準的な技術によって、基板の上に付着することができる。反射面の微視的な寸法は、光学的光ビーム全体を所望の入射角度において包含するように十分大きくあるべきである。
 図12Aは、第1規定入射角度における、波長に対するタングステンの反射率(s、p)を示すグラフである。
 図12Bは、タングステンについて、第1規定入射角度における、波長に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。
 図13Aは、第2規定入射角度における、波長に対するタングステンの反射率(s、p)を示すグラフである。
 図13Bは、タングステンについて、第2規定入射角度における、波長に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。
 図14Aは、第3規定入射角度における、波長に対するタングステンの反射率(s、p)を示すグラフである。
 図14Bは、タングステンについて、第3規定入射角度における、波長に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。
 図12、13、および14に示したように、入射角度を使用して、所与の金属について、Rs/Rp比の大きさを調節することもできる。
 さらに、金属のRs/Rp比は、誘電体コーティングによって修正することもでき、たとえば図5および7を参照されたい。数千オングストロームの窒化ケイ素が金属面の上に付着されている場合、光は、空気/誘電体の境界と誘電体/金属の境界との両方から反射される。これらの反射光の干渉を使用して、Rs/Rp比のスペクトル分布を最適化することができ、たとえば図15Aおよび15Bを参照されたい。
 異なる波長は、異なる角度で回折格子303(図3)から回折されるので、回折格子誘起偏光依存損失(PDL)は、波長の関数である(たとえば、2つの偏光の反射率の比Rs/Rpは、C帯域上では約1.24から1.08まで変化することがある)。Rs/Rpのスペクトル依存性と大きさとは、4つの自由度から選択すること、適切な金属を選択すること、ミラー面が偏光ビームを反射する角度を調節すること、誘電体層を金属膜の上に追加すること、および/または複数の反射面を使用すること、によって正確に整合させることができる。
 タングステンをコーティングしたミラー面は、通常の回折格子のRs/Rpに波長に関数としてほぼ整合させることができる。他の遷移金属(Ni、Mo、V(バナジウム)、Fe、Taなど)と遷移金属化合物(TiC、TiNなど)は、ある範囲のRs/Rp比を生成する。また、金属合金を使用して、所与の応用に対してRs/Rpを調節することもできる。注目のスペクトル帯域にわたって中間から高い値までの範囲の反射率を有する金属は、Rs/Rpについてより大きなスペクトル傾斜を提供する。図8A〜11Dに示したように、反射面における入射角度(図1の法線106と入射ビーム102の間の角度)を変更して、Rs/Rpを変化させることもできる。図12Aと12B、13Aと13B、および14Aと14Bは、それぞれ、入射角度が42度、45度、および47度における、タングステン(W)の波長に対する反射率sおよびpとRs/Rpとを示す。図からわかるように、入射角度を変更することにより、スペクトル傾斜を変化させずに、Rs/Rpは、上方および下方に主に調整される。C帯域回折格子について、図15Bは、約8000Aの窒化ケイ素でコーティングしたタングステン反射面を使用することによって、所望のRs/Rpスペクトル依存性を示す。二酸化ケイ素およびシリコンなどの他のコーティング剤も使用することができる。これらの二重層のタイプは、他の応用ではすばらしい安定性を示した(光熱太陽変換)。最後に、複数の反射面を連続的に使用して、Rs/Rpの大きさとスペクトル傾斜を調節することもできる。
 本発明のこの反射面の実施形態は、光チャネル・モニタ(OCM)と他の光タップのPDLを、たとえば0.2dbより下に維持することができるように、ブレーズド・ファイバ・ブラッグ回折格子の偏光を補償する。金属膜は、不透過性であることのみが必要なので、付着条件は制御が容易である。対照的に、電流使用下の複雑な誘電体スタックは、鮮明なスペクトル・エッジを使用して、所望のRs/Rp比を生成する。この鮮明なエッジは、制御が困難である。したがって、金属膜は、PDLを補償するより堅牢な方法を提供する。さらに、大きな角度にブレーズされた回折格子からの大きなPDL値は、適切な設計で補償することもできる。最後に、二重回折格子設計のチャネル・モニタ(複雑なRs/Rpスペクトルの形状に必要なことによる追加の課題)は、金属反射面で適切に補償することができる。
 さらに、本発明の補償技術は、ファイバ回折格子ではなく、自由空間回折格子を使用するチャネル・モニタにおいて有用である。
 上述した実施形態は、当然、本発明の原理の単なる例示である。実際、本発明の精神および範囲から逸脱せずに、当業者によって多くの他の方法と装置を考案することが可能である。
当技術分野で既知のタイプのミラーから反射される偏光ビームを示す図である。 通常の既知の誘電体スタックについて、波長に対する反射率を示すグラフである。 図2Aの誘電体スタックについて、波長に対するs偏光とp偏光の比Rs/Rpを示すグラフである。 光タップの自由空間において、入射誘導光モードを放射モードに回折させるブラッグ回折格子を示す図である。 光タップの自由空間において、入射誘導光モードを放射モードに回折させるブラッグ回折格子を示す図である。 光タップの自由空間において、入射誘導光モードを放射モードに回折させるブラッグ回折格子を示す図である。 複数の反射面、すなわちミラーの実装を示す図である。 本発明を実施する際に使用することが可能である研磨済みまたは研磨していない金属基板を備える反射面、すなわちミラーを示す図である。 本発明を実施する際に使用することが可能である誘電体層でコーティングした図4の金属基板を備える反射面、すなわちミラーを示す図である。 本発明を実施する際に使用することが可能である規定金属薄膜でコーティングした研磨済みガラス基板を備える反射面、すなわちミラーを示す図である。 本発明を実施する際に使用することが可能である誘電体層でコーティングした図6の反射面を示す図である。 入射角度に対する、第1規定波長における金膜の反射率(s、p)を示すグラフである。 図8Aの金膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。 入射角度に対する、第2規定波長における金膜の反射率(s、p)を示すグラフである。 図8Cの金膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。 入射角度に対する、第1規定波長におけるアルミニウム膜の反射率(s、p)を示すグラフである。 図9Aのアルミニウム膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。 入射角度に対する、第2規定波長におけるアルミニウム膜の反射率(s、p)を示すグラフである。 図9Cのアルミニウム膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。 入射角度に対する、第1規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p)を示すグラフである。 図10Aのニッケル膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。 入射角度に対する、第2規定波長におけるニッケル膜の反射率(s、p)を示すグラフである。 図10Cのニッケル膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。 入射角度に対する、第1規定波長におけるタングステン膜の反射率(s、p)を示すグラフである。 図11Aのタングステン膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。 入射角度に対する、第2規定波長におけるタングステンの反射率(s、p)を示すグラフである。 図11cのタングステン膜について、入射角度に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。 第1規定入射角度における、波長に対するタングステンの反射率(s、p)を示すグラフである。 タングステンについて、第1規定入射角度における、波長に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。 第2規定入射角度における、波長に対するタングステンの反射率(s、p)を示すグラフである。 タングステンについて、第2規定入射角度における、波長に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。 第3規定入射角度における、波長に対するタングステンの反射率(s、p)を示すグラフである。 タングステンについて、第3の規定入射角度における、波長に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。 第2規定入射角度における、波長に対する規定誘電体層でコーティングしたタングステンの反射率(s、p)を示すグラフである。 誘電体層でコーティングしたタングステンについて、第2規定入射角度における、波長に対するs偏光とp偏光との比Rs/Rpを示すグラフである。

Claims (10)

  1.  光タップにおいて使用する規定反射面を含む装置であって、
     前記規定反射面の上に光ビームのうちタップされた部分を向ける光路を備え、
     前記光タップにおいて誘起された偏光を補償するために、少なくとも1つの規定金属の固有特性を使用することを含む規定反射面。
  2.  前記反射面が、規定金属膜からなるミラー面を含む、請求項1に記載の装置。
  3.  前記金属膜が、注目の光波長に対して不透過性であるように十分な厚さを有する、請求項2に記載の装置。
  4.  前記金属膜が、規定誘電体材料でコーティングされる、請求項2に記載の装置。
  5.  前記誘電体材料が、注目の光波長に関係する厚さを有する、請求項4に記載の装置。
  6.  前記規定反射面が、規定金属である、請求項1に記載の装置。
  7.  前記金属が、規定誘電体材料でコーティングされる、請求項6に記載の装置。
  8.  前記規定反射面が、規定金属膜でコーティングされた規定基板であり、前記金属膜が、規定誘電体材料でコーティングされる、請求項1に記載の装置。
  9.  前記少なくとも1つの金属が、遷移金属である、請求項1に記載の装置。
  10.  前記規定反射面が、それぞれが、前記光タップにおいて誘起された偏光を補償するために、前記少なくとも1つの規定金属の固有特性の使用を有する第1反射面と第2反射面とを含み、
     前記光路が、光ビームのタップ部分を前記第1反射面の上に向け、
     前記第2反射面が、補償された供給光を偏光独立光ビームとして反射するように構成される、請求項1に記載の反射面。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6807004B2 (en) * 2002-10-10 2004-10-19 Lucent Technologies Inc. Polarization independent optical taps
US7171085B2 (en) * 2003-07-29 2007-01-30 Jds Uniphase Corporation Polarization compensated optical tap
KR200454188Y1 (ko) * 2009-04-20 2011-06-21 김학율 낙하물 방지용 안전발판 보조장치
CN113557477B (zh) * 2019-03-13 2024-07-02 Asml控股股份有限公司 光刻设备、量测设备、光学系统和方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4984261A (ja) * 1972-11-20 1974-08-13
JPS59156929A (ja) * 1983-02-22 1984-09-06 Showa Electric Wire & Cable Co Ltd 偏波面保存フアイバ用プリフオ−ムの製造方法
JPS59172624A (ja) * 1983-03-23 1984-09-29 Hitachi Ltd 光偏向走査装置
JPH02109086A (ja) * 1988-10-18 1990-04-20 Canon Inc ホログラム焼付装置
JPH06331940A (ja) * 1993-05-24 1994-12-02 Fujitsu Ltd 光モニター装置
JPH08502598A (ja) * 1992-10-13 1996-03-19 コヒーレント・インク かすめ入射角を有する可視及び更に長い波長の放射線を反射させる光学的コーティング
JPH08271707A (ja) * 1994-12-15 1996-10-18 At & T Corp 金ミラー及びその製造方法
JPH09116507A (ja) * 1995-10-17 1997-05-02 Fujitsu Ltd モニタリング用光デバイス

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2731881A (en) * 1956-01-24 Prism system for binocular tubes
GB1362181A (en) 1971-07-08 1974-07-30 Martin D H Variation of the polarization of an electro-magnetic wave
US4751720A (en) * 1987-04-03 1988-06-14 Spectra-Physics, Inc. Cube corner polarizer
US5608521A (en) * 1995-09-18 1997-03-04 Trw Inc. Polarization compensated imaging spectrometer
US5832156A (en) 1996-10-31 1998-11-03 Lucent Technologies Inc. Article comprising an optical waveguide tap
US6122422A (en) 1998-06-08 2000-09-19 Lucent Technologies Inc. Article comprising a dispersive waveguide tap
JP4427837B2 (ja) 1999-09-03 2010-03-10 住友化学株式会社 ワイヤーグリッド型偏光光学素子
US6385369B1 (en) * 1999-11-29 2002-05-07 Her Majesty The Queen In Right Of Canada As Represented By The Minister Of Industry Method and device for reducing polarization dependence in an optical component or optical system
US6807004B2 (en) * 2002-10-10 2004-10-19 Lucent Technologies Inc. Polarization independent optical taps

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4984261A (ja) * 1972-11-20 1974-08-13
JPS59156929A (ja) * 1983-02-22 1984-09-06 Showa Electric Wire & Cable Co Ltd 偏波面保存フアイバ用プリフオ−ムの製造方法
JPS59172624A (ja) * 1983-03-23 1984-09-29 Hitachi Ltd 光偏向走査装置
JPH02109086A (ja) * 1988-10-18 1990-04-20 Canon Inc ホログラム焼付装置
JPH08502598A (ja) * 1992-10-13 1996-03-19 コヒーレント・インク かすめ入射角を有する可視及び更に長い波長の放射線を反射させる光学的コーティング
JPH06331940A (ja) * 1993-05-24 1994-12-02 Fujitsu Ltd 光モニター装置
JPH08271707A (ja) * 1994-12-15 1996-10-18 At & T Corp 金ミラー及びその製造方法
JPH09116507A (ja) * 1995-10-17 1997-05-02 Fujitsu Ltd モニタリング用光デバイス

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