JP4533196B2 - 微粒子捕集装置 - Google Patents
微粒子捕集装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4533196B2 JP4533196B2 JP2005070770A JP2005070770A JP4533196B2 JP 4533196 B2 JP4533196 B2 JP 4533196B2 JP 2005070770 A JP2005070770 A JP 2005070770A JP 2005070770 A JP2005070770 A JP 2005070770A JP 4533196 B2 JP4533196 B2 JP 4533196B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hollow fiber
- fiber membrane
- fine particles
- filter unit
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 title claims description 88
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 75
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 claims description 64
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 16
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 10
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 28
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 18
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 15
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 14
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 12
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000006184 cosolvent Substances 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 5
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 5
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 4
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N Aspirin Chemical compound CC(=O)OC1=CC=CC=C1C(O)=O BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960001138 acetylsalicylic acid Drugs 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 2
- BSYNRYMUTXBXSQ-FOQJRBATSA-N 59096-14-9 Chemical compound CC(=O)OC1=CC=CC=C1[14C](O)=O BSYNRYMUTXBXSQ-FOQJRBATSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000383 hazardous chemical Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- JTJMJGYZQZDUJJ-UHFFFAOYSA-N phencyclidine Chemical class C1CCCCN1C1(C=2C=CC=CC=2)CCCCC1 JTJMJGYZQZDUJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011027 product recovery Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
まず慣性力によるサイクロンや重力沈降によるレシーバ等の装置は、処理風量の適応範囲が広いものの、0.1〜10μm程度の微粒子の分離・回収は困難なものである。
またバグフィルタ方式の装置は、濾布に付着した微粒子を濾過層として利用することにより微粒子の捕集を行うものであるため、原理的に100%の捕集は不可能なものであって、更にまた湿った微粒子を扱うのは不可である。
また静電気方式の装置は、イニシャルコストが高く、更にまた大風量向きの装置であるため小風量には不向きである。また高性能フィルタの中には0.1μm以下の微粒子の捕集ができるものもあるが、回収することは困難であり、更にまた湿った微粒子を扱うのは不可である(例えば特許文献1、2、3、4及び非特許文献1参照)。
この発明によれば、0.1〜10μm程度の微粒子を高効率で気体中から分離することができる。
この発明によれば、0.1〜10μm程度の微粒子を高効率で気体中から分離することができる。
この発明によれば、フィルタエレメントに付着した微粒子を回収することができるため、微粒子捕集装置を医薬品等の粉体製品の製造に適用することが可能となる。
この発明によれば、微粒子を迅速に回収することができる。
この発明によれば、微粒子を迅速に回収することができる。
この発明によれば、製品の品替えやフィルタユニットの交換等のメンテナンスを安全且つ確実に行うことができる。
そしてこれら各請求項記載の発明の構成を手段として前記課題の解決が図られる。
また以下に示す実施例に対して、本発明の技術的思想の範囲内において適宜変更を加えることも可能である。
このような小型の微粒子捕集装置1のうち膜外捕集型の装置は図1(a)に示すように構成されるものであり、前記筐体2は機密性を維持することのできるように構成され、この筐体2に対し、微粒子Gを伴う被処理気体Aの給気口20と、洗浄液Lの給液口21及びドレン口22が形成される。
なお前記筐体2の容積は、後述するフィルタエレメント55に対して必要最低限の容積となるようにするものであり、これにより内部雰囲気の加熱、メンテナンスが容易に行われるようにするものであり、更に洗浄液Lの使用量を少なくすることができる。
前記中空糸膜は、一例としてシリコーンゴムを素材とし、柔軟性に富み、優れた破断強度と耐屈曲性を有するとともに、孔のない均質膜として形成されたものである。このため湿った微粒子Gであっても問題なく捕集することができるものである。
そして個々の中空糸膜は、一方の円形側板51に形成された流出口56に連通されるものであり、中空糸膜の表面からその内部に進入した被処理気体Aが流出口56を通じて外部に排気されるように構成されるものである。
なお前記フィルタユニット5は図1(a)に示すように、円形側板51が筐体2の天板23に形成された孔に内嵌めされ、更に円形側板52が底板23aに形成された孔に内嵌めされて適宜シーラ等によって気密処理が施される。
またこの状態で筐体2内において前記フィルタユニット5を囲繞するように、パンチングメタル等によって形成された通気性の分散板3が配されるものであり、この分散板3の孔からフィルタエレメント55にパージエアを吹き付けるためのパージ機構6が具えられる。なお前記分散板3には、中空糸膜への微粒子Gの固着防止のため適宜伝熱線等の加熱手段を具えるようにしてもよい。
また前記筐体2は、偏芯モータ等の適宜の加振機構を具えた加振器7に載置されるものである。
まずバルブV2、V3を閉じた状態でバルブV1を開放するとともに、排気ポンプPを起動すると、被処理気体Aは微粒子Gを伴って給気口20から筐体2の内部に導入される。そして被処理気体A及び微粒子Gは分散板3の作用によってフィルタエレメント55の全域にわたって分散されるものであり、図2(a)に拡大して示すように、被処理気体Aのみが中空糸膜の内部に進入し、微粒子Gは中空糸膜の外側に付着することとなる。
一方、中空糸膜を通過した被処理気体Aは排気ポンプPによって吸引され、外部に排気される。
更に続いて、加振器7を機能させて筐体2に振動を加えると、この振動はフィルタユニット5に伝わり、中空糸膜の外側に付着していた微粒子Gは筐体2内に落下することとなる。
そしてドレン口22から、あるいは天板23を取り外すとともに適宜フィルタユニット5を筐体2から取り外す等して微粒子Gを回収するものである。
またメンテナンス時には、給液口21から微粒子Gの溶剤を洗浄液Lとして筐体2内に供給し、この洗浄液Lに微粒子Gを溶解させてフィルタエレメント55の洗浄を行うとともに、ドレン口22から外部に排出し、微粒子G(溶質)の回収を行うものとする。
次に小型の微粒子捕集装置1のうち膜内捕集型の装置について説明すると、このものは図1(b)に示すように構成されるものであり、前記筐体2は機密性を維持することのできるように構成され、この筐体2に対し、排気口24が形成される。
なお前記筐体2の容積は、後述するフィルタエレメント55に対して必要最低限の容積となるようにするものであり、これにより内部雰囲気の加熱、メンテナンスが容易に行われるようにするものであり、更に洗浄液Lの使用量を少なくすることができる。
前記中空糸膜は、一例としてシリコーンゴムを素材とし、柔軟性に富み、優れた破断強度と耐屈曲性を有するとともに、孔のない均質膜として形成されたものである。
そして個々の中空糸膜は、円形側板51に形成された流入口57及び円形側板52に形成された流出口56に対して連通されるものであり、流入口57から中空糸膜の内部に進入した被処理気体Aが中空糸膜を通過して外部に排気されるように構成されるものである。
なお前記フィルタユニット5は図1(b)に示すように、円形側板51が筐体2の天板23に形成された孔に内嵌めされ、更に円形側板52が底板23aに形成された孔に内嵌めされて適宜シーラ等によって気密処理が施される。
またこの状態で筐体2内において前記フィルタユニット5を囲繞するように、パンチングメタル等によって形成された通気性の分散板3が配されるものであり、この分散板3には中空糸膜への微粒子Gの固着防止のため適宜伝熱線等の加熱手段を具えるようにしてもよい。
更に前記流入口57に接続された管路には、フィルタエレメント55内にパージエアを吹き付けるためのパージ機構6が具えられる。
また前記筐体2は、偏芯モータ等の適宜の加振機構を具えた加振器7に載置されるものである。
まずバルブV2、V5を閉じた状態でバルブV4を開放するとともに、排気ポンプPを起動すると、被処理気体Aは微粒子Gを伴って流入口57からフィルタエレメント55の中空糸膜の内部に導入される。
そして図2(b)に拡大して示すように被処理気体Aのみが中空糸膜の外部に流出し、微粒子Gは中空糸膜の内側に付着することとなる。
一方、中空糸膜を通過した被処理気体Aは排気ポンプPによって吸引され、排気口24から外部に排気される。
更に続いて、加振器7を機能させて筐体2に振動を加えると、この振動はフィルタユニット5に伝わり、中空糸膜の内側に付着していた微粒子Gは流出口56から外部に取り出されることとなる。
またメンテナンス時には、流入口57から微粒子Gの溶剤を洗浄液Lとして中空糸膜内に供給し、この溶剤に微粒子Gを溶解させてフィルタエレメント55の洗浄を行うとともに、流出口56から外部に排出し、微粒子G(溶質)の回収を行うものとする。
このような中型の微粒子捕集装置1のうち膜外捕集型の装置は図3に示すように構成されるものであり、前記筐体2は機密性を維持することのできるように構成され、この筐体2に対し、微粒子Gを伴う被処理気体Aの給気口20と、洗浄液Lの給液口21及びドレン口22が形成される。
なお前記筐体2の容積は、後述するフィルタエレメント55に対して必要最低限の容積となるようにするものであり、これにより内部雰囲気の加熱、メンテナンスが容易に行われるようにするものであり、更に洗浄液Lの使用量を少なくすることができる。
なおこのフィルタユニット5は図3に示すように、円形側板51が筐体2の天板23に形成された孔に内嵌めされ、適宜シーラ等によって気密処理が施される。
また前記フィルタユニット5には、偏芯モータ等の適宜の加振機構を具えた加振器7が接続されるものである。
まずバルブV2、V3を閉じた状態でバルブV1を開放するとともに、排気ポンプPを起動すると、被処理気体Aは微粒子Gを伴って給気口20から筐体2の内部に導入される。そして被処理気体A及び微粒子Gは分散板3の作用によってフィルタエレメント55の全域にわたって分散されるものであり、図2(a)(c)に拡大して示すように、被処理気体Aのみが中空糸膜の内部に進入し、微粒子Gは中空糸膜の外側に付着することとなる。
一方、中空糸膜を通過した被処理気体Aは排気ポンプPによって吸引され、外部に排気される。このものは適宜回収されて再利用されることが好ましい。
更に続いて、加振器7を機能させて筐体2に振動を加えると、この振動はフィルタユニット5に伝わり、中空糸膜の外側に付着していた微粒子Gは筐体2内に落下することとなる。
そしてドレン口22から、あるいは天板23を取り外すとともに適宜フィルタユニット5を筐体2から取り外す等して微粒子Gを回収するものである。
またメンテナンス時には、給液口21から微粒子Gの溶剤を洗浄液Lとして筐体2内に供給し、この洗浄液Lに微粒子Gを溶解させてフィルタエレメント55の洗浄を行うとともに、ドレン口22から外部に排出し、微粒子G(溶質)の回収を行うものとする。
次に中型の微粒子捕集装置1のうち膜内捕集型の装置について説明すると、このものは図4に示すように構成されるものであり、前記筐体2は機密性を維持することのできるように構成され、この筐体2に対し、給気口20、洗浄液Lの給液口21、ドレン口22及び排気口24が形成される。また前記給気口20の下方にはバッフル板20aが具えられる。 なお前記筐体2の容積は、後述するフィルタエレメント55に対して必要最低限の容積となるようにするものであり、これにより内部雰囲気の加熱、メンテナンスが容易に行われるようにするものであり、更に洗浄液Lの使用量を少なくすることができる。
そして個々の中空糸膜は、筐体2内をダイアフラム状に仕切るように配された円形側板51に形成された流入口57及び同様に筐体2内をダイアフラム状に仕切るように配された円形側板52に形成された流出口56に連通されるものであり、流入口57から中空糸膜の内部に進入した気体が中空糸膜を通過し、排気口24から外部に排気されるように構成されるものである。なお図示は省略するが、前記流出口56は開閉が可能な構成とするものである。
またこの状態で筐体2内において前記フィルタユニット5を囲繞するように、パンチングメタル等によって形成された通気性の分散板3が配されるものであり、この分散板3には中空糸膜への粉粒体Gの固着防止のため適宜伝熱線等の加熱手段を具えるようにしてもよい。
更に前記給気口20に接続された管路には、フィルタエレメント55内にパージエアを吹き付けるためのパージ機構6が具えられる。
まずバルブV2、V5を閉じた状態でバルブV4を開放するとともに、排気ポンプPを起動すると、被処理気体Aは微粒子Gを伴って給気口20から筐体2の内部に導入される。
そして被処理気体A及び微粒子Gはバッフル板20aの作用によってフィルタエレメント55内の全域にわたって分散されるものであり、図2(b)に拡大して示すように被処理気体Aのみが中空糸膜の外部に流出し、微粒子Gは中空糸膜の内側に付着することとなる。
一方、中空糸膜を通過した被処理気体Aは排気ポンプPによって吸引され、排気口24から外部に排気される。
またメンテナンス時には、給液口21から流入口57を通じて微粒子Gの溶剤を洗浄液Lとして中空糸膜内に供給し、この溶剤に微粒子Gを溶解させてフィルタエレメント55の洗浄を行うとともに、流出口56を通じてドレン口22から外部に排出し、微粒子G(溶質)の回収を行うものとする。
〔参考例〕
なお前記捕集器1A内は、その内部においてアセチルサリチル酸等の医薬品類の微粒子Gを生成するとともに、この微粒子Gを被処理気体A(ここでは超臨界流体F及び助溶媒Hが気化したもの)から分離するとともに、これを回収して製品とするために供されるものである。
そして前記超臨界微粒子製造装置には、前記超臨界流体Fを得るための系が具えられるものであり、図示は省略するが一例としてボンベ内に充填された二酸化炭素をチラーユニットにおいて冷却し、次いでポンプ及び予熱器によって昇圧、昇温することにより臨界点を超えさせるような構成が採られるものである。
因みに二酸化炭素は比較的安価で入手することができ、更に臨界温度が31.1℃、臨界圧力が7.38MPaであり、常温、常圧で気体となるため分離操作が容易に行える溶媒である。
前記ノズル25は前出の予熱器に接続されるものであり、ここから筐体2内に溶質溶解超臨界流体Sが噴出される。
なおこの実施例では膜外捕集型を採用したため、図2(a)に示したフィルタユニット5を用いたが、同じく膜外捕集型を採用する場合に図2(c)に示したフィルタユニット5を用いてもよく、更には膜内捕集型を採用する場合に図2(b)に示したフィルタユニット5を用いるようにしてもよい。
そして微粒子Gは筐体2の底面及びその付近に堆積して捕集されることとなる。
一方、中空糸膜を通過した溶媒ガスFG及び助溶媒ガスHGは排気ポンプPによって吸引され、外部に排気されるとともに適宜回収・再利用される。
具体的には天板23を取り外すとともに、筐体2の底面及びその付近に堆積していた微粒子Gを回収するものである。
もちろんこのような作業に先立って、実施例1及び2で説明したパージ機構6あるいは加振器7を機能させ、フィルタエレメント55に対して気流を吹き付け、この気流によって中空糸膜の外側に付着していた微粒子Gを筐体2内に落下させておくようにすることもできる。
もちろん実施例1及び2で説明したように、筐体2に対して給液口21及びドレン口22を設け、天板23を取り外すことなく洗浄を行えるようにすることもできる。
1A 捕集器
2 筐体
20 給気口
20a バッフル板
21 給液口
22 ドレン口
23 天板
23a 底板
24 排気口
25 ノズル
3 分散板
5 フィルタユニット
50 ハウジング
51 円形側板
52 円形側板
53 ポール
55 フィルタエレメント
56 流出口
57 流入口
6 パージ機構
7 加振器
8 支持脚
A 被処理気体
F 超臨界流体
FG 溶媒ガス
G 微粒子
H 助溶媒
HG 助溶媒ガス
L 洗浄液
M 溶質
P 排気ポンプ
S 溶質溶解超臨界流体
V1 バルブ
V2 バルブ
V3 バルブ
V4 バルブ
V5 バルブ
Claims (6)
- 機密性を維持することのできる筐体と、この筐体内に配されたフィルタユニットとを具え、前記筐体に形成された給気口に供給される被処理気体中の微粒子を分離するように構成された装置において、前記フィルタユニットは、一対の円形側板の間をポールによって連結して成るハウジング内に、中空糸膜によって形成されたフィルタエレメントを具えて成るものであり、個々の中空糸膜が、一方の円形側板に形成された流出口に連通状態 とされ、更に前記フィルタユニットを囲繞するように通気性の分散板が設けられ、この分散板によって、フィルタエレメントの全域にわたって分散された被処理気体及び微粒子のうち、中空糸膜の表面からその内部に進入した被処理気体のみが、前記円形側板に形成された流出口を通じて外部に排気され、中空糸膜の外側に微粒子が付着するように構成されたものであることを特徴とする微粒子捕集装置。
- 機密性を維持することのできる筐体と、この筐体内に配されたフィルタユニットとを具え、前記フィルタユニットに形成された流入口に供給される被処理気体中の微粒子を分離するように構成された装置において、前記フィルタユニットは、一対の円形側板の間をポールによって連結して成るハウジング内に、中空糸膜によって形成されたフィルタエレメントを具えて成るものであり、個々の中空糸膜が、一方の円形側板に形成された流入口に対して連通状態とされ、更に他方の円形側板に形成された流出口に対して連通状態とされることにより、流入口から中空糸膜の内部に進入した被処理気体及び微粒子のうち、被処理気体のみが中空糸膜を通過して外部に排気され、中空糸膜の内側に微粒子が付着するように構成されたものであることを特徴とする微粒子捕集装置。
- 前記中空糸膜によって分離された微粒子を回収するための機構を具えたことを特徴とする請求項1または2記載の微粒子捕集装置。
- 前記微粒子を回収するための機構は、フィルタユニットを加振するものであることを特徴とする請求項3記載の微粒子捕集装置。
- 前記微粒子を回収するための機構は、フィルタユニットをパージするものであることを特徴とする請求項3記載の微粒子捕集装置。
- 前記フィルタユニットは、メンテナンス時に洗浄されるものであることを特徴とする請求項1、2、3、4または5記載の微粒子捕集装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005070770A JP4533196B2 (ja) | 2005-03-14 | 2005-03-14 | 微粒子捕集装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005070770A JP4533196B2 (ja) | 2005-03-14 | 2005-03-14 | 微粒子捕集装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006247600A JP2006247600A (ja) | 2006-09-21 |
JP4533196B2 true JP4533196B2 (ja) | 2010-09-01 |
Family
ID=37088630
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005070770A Active JP4533196B2 (ja) | 2005-03-14 | 2005-03-14 | 微粒子捕集装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4533196B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100237013A1 (en) * | 2009-02-13 | 2010-09-23 | Millipore Corporation | Autonomous filter element |
JP5755423B2 (ja) * | 2009-09-15 | 2015-07-29 | 三洋化成工業株式会社 | 分散液の製造方法 |
KR101485275B1 (ko) | 2011-02-18 | 2015-01-21 | 오르가노 코포레이션 | 필터의 청정화 방법, 및 피처리체의 세정 또는 건조 방법 |
CN108211573A (zh) * | 2018-03-24 | 2018-06-29 | 郭绍华 | 一种中空纤维膜高粉尘气体净化装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0226605A (ja) * | 1988-07-14 | 1990-01-29 | Hitachi Ltd | 微粒子除去エアフィルタ |
JP2000140588A (ja) * | 1998-11-16 | 2000-05-23 | Nitto Denko Corp | 集塵機用フィルター |
JP2001129389A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-15 | Oogawara Kakoki Kk | 微粒子の製造方法及び膜の形成方法 |
JP2003200040A (ja) * | 2001-11-01 | 2003-07-15 | Nikkiso Co Ltd | 微粉捕集装置 |
-
2005
- 2005-03-14 JP JP2005070770A patent/JP4533196B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0226605A (ja) * | 1988-07-14 | 1990-01-29 | Hitachi Ltd | 微粒子除去エアフィルタ |
JP2000140588A (ja) * | 1998-11-16 | 2000-05-23 | Nitto Denko Corp | 集塵機用フィルター |
JP2001129389A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-15 | Oogawara Kakoki Kk | 微粒子の製造方法及び膜の形成方法 |
JP2003200040A (ja) * | 2001-11-01 | 2003-07-15 | Nikkiso Co Ltd | 微粉捕集装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006247600A (ja) | 2006-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4533196B2 (ja) | 微粒子捕集装置 | |
US8690995B2 (en) | Device for recovering nanopowders and ultrafine powders contained in a gas | |
CN208960383U (zh) | 一种化工原料筛选装置 | |
WO2011102433A1 (ja) | ナノカーボン材料製造装置及びナノカーボン材料の製造方法 | |
KR20080103248A (ko) | 여과집진장치의 백필터 탈진용 분사 노즐 및 이를 장착한여과집진장치 | |
US9782703B2 (en) | Device for separating a heterogeneous mixture of matter and method for cleaning a filter unit | |
JP3219828B2 (ja) | 噴霧乾燥装置の残留ガス排出方法及び払い落とし方法 | |
JP2013098550A (ja) | 基板処理装置及び薬液再生方法 | |
JPH0226605A (ja) | 微粒子除去エアフィルタ | |
JP6598627B2 (ja) | 噴霧乾燥装置及び粉体の払い落とし方法 | |
JP2015210104A (ja) | 花粉成分含有粒子の発生方法および発生装置、花粉成分捕集率の測定方法および測定装置 | |
KR100845958B1 (ko) | 집진기의 필터고정구조 | |
KR20200045295A (ko) | 하강 플로우 타입 여과 집진기 | |
JP5423418B2 (ja) | トリクロロシラン製造装置 | |
JPS62152501A (ja) | 噴霧乾燥方法及び装置 | |
JP3729799B2 (ja) | 超臨界または亜臨界流体を用いたフィルタ洗浄装置 | |
CN207395003U (zh) | 一种空气净化装置 | |
KR101765159B1 (ko) | 탄소 분진 제거 기능을 갖는 촉매 필터 및 이를 포함하는 필터링 유닛 및 이를 포함하는 집진 장치 | |
US8845792B2 (en) | Filtering nanoparticles by bonding with microparticles | |
CN211706240U (zh) | 一种金属膜过滤装置 | |
KR20200060115A (ko) | 여과집진기 | |
KR100827026B1 (ko) | 휴대용 산소발생장치 | |
CN110743296A (zh) | 一种除尘环保设备 | |
CN112237990A (zh) | 一种集尘极和除尘器 | |
JP2003200040A (ja) | 微粉捕集装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100601 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100611 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4533196 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160618 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |