JP4531100B2

JP4531100B2 - Grinding equipment

Info

Publication number: JP4531100B2
Application number: JP2008120468A
Authority: JP
Inventors: 儀三郎近藤
Original assignee: 西部自動機器株式会社
Priority date: 2008-05-02
Filing date: 2008-05-02
Publication date: 2010-08-25
Anticipated expiration: 2028-05-02
Also published as: JP2009269111A

Description

本発明は、例えば深溝玉軸受、アンギュラ玉軸受、スラスト玉軸受等の玉軸受の玉の軌道として設けられた溝、およびリニアガイドのレールに設けられた玉転動溝等の超仕上げ加工を行う研削装置に関する。 The present invention performs superfinishing such as grooves provided as ball raceways of ball bearings such as deep groove ball bearings, angular ball bearings, thrust ball bearings, and ball rolling grooves provided on linear guide rails. The present invention relates to a grinding apparatus.

玉軸受の内輪の外周面および外輪の内周面に設けられる、玉を転動させるための環状の溝（軌道）は、玉軸受の回転精度の向上、玉軸受からの騒音、振動の軽減および玉軸受の耐久性の向上等を図るために、超仕上げ加工されるのが好ましい。また、リニアガイドにおいても、同様に、玉転動溝は超仕上げ加工されるのが好ましい。
この軌道の超仕上げ加工を行う場合、外輪の内側に設けられた軌道の超仕上げは、外輪の内側から軌道に対して超仕上げ砥石を押圧し、外輪の軸心に直交する方向に揺動させて行われる。このような超仕上げ加工のために、図１１，１２に示されるような研削装置８１が使用されている（特許文献１、特許文献２）。 An annular groove (orbit) for rolling the balls, provided on the outer peripheral surface of the inner ring of the ball bearing and the inner peripheral surface of the outer ring, improves the rotational accuracy of the ball bearing, reduces noise and vibration from the ball bearing, In order to improve the durability of the ball bearing and the like, it is preferable to perform superfinishing. Similarly, in the linear guide, the ball rolling groove is preferably superfinished.
When super-finishing of this raceway is performed, the superfinishing of the raceway provided on the inner side of the outer ring is performed by pressing the superfinishing grindstone against the raceway from the inner side of the outer ring and swinging it in a direction perpendicular to the axis of the outer race. Done. For such superfinishing, a grinding device 81 as shown in FIGS. 11 and 12 is used (Patent Document 1, Patent Document 2).

研削装置８１は、超仕上げ砥石８２を保持する砥石保持アーム８３、および砥石保持アーム８３を保持する揺動伝達アーム８４を備える。超仕上げ砥石８２の先端は、外輪Ｗにおける軌道８５の内面の湾曲に対応した湾曲面となっている。
砥石保持アーム８３は、全体が略「コ」字状であって、一端８６に超仕上げ砥石８２を保持する。揺動伝達アーム８４は、略「Ｌ」字状であって、一端８８に砥石保持アーム８３の他端８７側を保持する。砥石保持アーム８３は、揺動伝達アーム８４の他端８９側の側方に位置するように配される。揺動伝達アーム８４の他端８９側は、砥石揺動用モータ９０に連結されて、砥石揺動用モータ９０の正逆回動とともに揺動する。 The grinding device 81 includes a grindstone holding arm 83 that holds the superfinishing grindstone 82, and a swing transmission arm 84 that holds the grindstone holding arm 83. The tip of the superfinishing grindstone 82 is a curved surface corresponding to the curvature of the inner surface of the track 85 in the outer ring W.
The grindstone holding arm 83 is substantially “U” shaped as a whole, and holds the superfinishing grindstone 82 at one end 86. The swing transmission arm 84 is substantially “L” -shaped and holds the other end 87 side of the grindstone holding arm 83 at one end 88. The grindstone holding arm 83 is arranged so as to be located on the side of the swing transmission arm 84 on the other end 89 side. The other end 89 side of the swing transmission arm 84 is connected to the grindstone swinging motor 90 and swings with the forward / reverse rotation of the grindstone swinging motor 90.

超仕上げ砥石８２、砥石保持アーム８３、揺動伝達アーム８４および砥石揺動用モータ９０は、砥石揺動用モータ９０の駆動軸の延長線ＳＡ上に超仕上げ砥石８２の先端の湾曲面の湾曲中心が位置するように組み立てられている。研削装置８１は、このように構成されることにより、砥石揺動用モータ９０の正逆回動に伴って超仕上げ砥石８２が砥石揺動用モータ９０の駆動軸の延長線ＳＡを中心として揺動する。 The super finishing grindstone 82, the grindstone holding arm 83, the rocking transmission arm 84, and the grindstone rocking motor 90 have a curved center of the curved surface at the tip of the superfinishing grindstone 82 on the extension line SA of the drive shaft of the grindstone rocking motor 90. It is assembled to be positioned. With this configuration, the grinding machine 81 swings around the extension line SA of the drive shaft of the grindstone rocking motor 90 as the grindstone rocking motor 90 rotates forward and backward. .

研削装置８１は、砥石保持アーム８３が略「コ」字状に形成され、揺動伝達アーム８４が略「Ｌ」字状に形成されていることにより、超仕上げ砥石８２を外輪Ｗの内側の軌道８５に押圧させた状態で砥石揺動用モータ９０の駆動軸の延長上に超仕上げ砥石８２の揺動中心を配することが可能となり、超仕上げ砥石８２を揺動させて超仕上げ加工を行うことができる。 In the grinding device 81, the grindstone holding arm 83 is formed in a substantially “U” shape, and the swing transmission arm 84 is formed in a substantially “L” shape. It is possible to place the swing center of the superfinishing grindstone 82 on the extension of the drive shaft of the grindstone swinging motor 90 in a state of being pressed against the track 85, and the superfinishing grindstone 82 is swung to perform superfinishing. be able to.

なお、研削装置８１では、外輪Ｗは、超仕上げ加工時にワーク回転用モータ９１によってその軸心ＡＣ回りに回転される。
特開平３−１２１７７１号公報特開２００５−１１８９６２号公報 In the grinding device 81, the outer ring W is rotated around its axis AC by the workpiece rotating motor 91 during superfinishing.
Japanese Patent Laid-Open No. 3-121771 Japanese Patent Laid-Open No. 2005-118962

研削装置８１は、砥石揺動用モータ９０の駆動軸の延長線ＳＡ上に超仕上げ砥石８２の揺動軸を配するように形成するために、砥石揺動用モータ９０と超仕上げ砥石８２とを連結する砥石保持アーム８３および揺動伝達アーム８４を採用する。砥石保持アーム８３および揺動伝達アーム８４は、外輪Ｗの外方で連結されて伸びる方向を変えながらクランク状に砥石揺動用モータ９０に連結される。そして、外輪Ｗの外方における砥石保持アーム８３および揺動伝達アーム８４のいずれの部分も、揺動する時に外輪Ｗに当たることがないように、外輪Ｗから距離Ｌ１，Ｌ２を保って配される。 The grinding device 81 connects the grindstone rocking motor 90 and the superfinishing grindstone 82 to form the rocking shaft of the superfinishing grindstone 82 on the extension line SA of the drive shaft of the grindstone rocking motor 90. A grindstone holding arm 83 and a swing transmission arm 84 are employed. The grindstone holding arm 83 and the rocking transmission arm 84 are coupled to the grindstone rocking motor 90 in a crank shape while being connected to the outside of the outer ring W and changing the extending direction. Then, any portion of the grindstone holding arm 83 and the swing transmission arm 84 outside the outer ring W is arranged with the distances L1 and L2 from the outer ring W so as not to hit the outer ring W when swinging. .

このような研削装置８１は、例えば風力発電機のプロペラに使用される大型の玉軸受における外輪Ｗの軌道を超仕上げ加工する場合には、外輪Ｗとの適度な距離Ｌ１，Ｌ２を保つために各部の長さが長い大型の砥石保持アーム８３および揺動伝達アーム８４が必要となる。
一方、砥石保持アーム８３および揺動伝達アーム８４の長い各部の撓みを軽減して超仕上げ砥石８２の揺動時の位置を精度良く保つためには、各部の断面二次モーメント（断面積）を増加させねばならず、そうすると砥石保持アーム８３および揺動伝達アーム８４の慣性モーメントを増加させることになる。大きな慣性モーメントの砥石保持アーム８３および揺動伝達アーム８４を有する研削装置８１は、大型化するという問題だけではなく、超仕上げ砥石８２の円滑な揺動（振動）を実現するのが容易ではないという問題がある。 Such a grinding device 81 is used to maintain an appropriate distance L1, L2 from the outer ring W when superfinishing the raceway of the outer ring W in a large ball bearing used for a propeller of a wind power generator, for example. A large grindstone holding arm 83 and a swing transmission arm 84 having a long length of each part are required.
On the other hand, in order to reduce the bending of each long part of the grindstone holding arm 83 and the rocking transmission arm 84 and to keep the position of the superfinishing grindstone 82 at the time of rocking accurately, the sectional secondary moment (cross-sectional area) of each part is set. In this case, the moment of inertia of the grindstone holding arm 83 and the swing transmission arm 84 is increased. The grinding device 81 having the grindstone holding arm 83 and the rocking transmission arm 84 having a large moment of inertia is not only a problem of increasing the size, but it is not easy to realize smooth rocking (vibration) of the superfinishing grindstone 82. There is a problem.

また、自動化機器、電子機器および半導体機器等に頻繁に使用されるリニアガイドにおいても、走り精度の向上、騒音、振動の軽減および耐久性の向上に、スライダおよびレールにおける玉転動溝の超仕上げ加工は有効な手段である。しかし、リニアガイドのレールにおける玉転動溝は、レールの長手方向に沿って伸びている。図１３に示されるように、このようなレールＷＢの玉転動溝８５Ｂを従来の研削装置８１で超仕上げ加工する場合、超仕上げ砥石８２と揺動伝達アーム８４の他端８９との距離Ｌ１によって加工可能なレールＷＢの長さが制約されるという問題がある。 Also, in linear guides frequently used in automation equipment, electronic equipment, semiconductor equipment, etc., super finishing of ball rolling grooves on sliders and rails to improve running accuracy, reduce noise and vibration, and improve durability Processing is an effective means. However, the ball rolling groove in the rail of the linear guide extends along the longitudinal direction of the rail. As shown in FIG. 13, when the ball rolling groove 85 B of the rail WB is superfinished by the conventional grinding device 81, the distance L 1 between the superfinishing grindstone 82 and the other end 89 of the swing transmission arm 84. Therefore, there is a problem that the length of the rail WB that can be processed is limited.

本発明は、上述の問題に鑑みてなされたもので、大型の玉軸受の玉の軌道およびリニアガイドのレールにおける玉転動溝等を精度良く超仕上げ加工することができる研削装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and provides a grinding device capable of superfinishing a ball raceway of a large ball bearing and a ball rolling groove in a rail of a linear guide with high accuracy. With the goal.

本発明に係る研削装置は、複数の横ロッド、２つ以上の縦ロッド、超仕上げ砥石を保持するためのホルダ、ならびに前記縦ロッドおよび前記ホルダを前記横ロッドに略直交させて揺動可能に連結する複数の揺動軸により形成された平行リンク機構を有し、前記縦ロッドの１つは、一端部が、前記平行リンク機構の外部において正逆回動される位置不動の揺動伝達軸に固定されており、少なくとも前記縦ロッドの他の１つは、一端部が、前記平行リンク機構の外部の前記揺動伝達軸が配された側において位置不動の従動軸廻りに揺動可能に支持されており、前記ホルダは、前記平行リンク機構の外部の前記揺動伝達軸が配された側に研削面が位置するように前記超仕上げ砥石を保持可能であって前記２つ以上の縦ロッドよりも前記複数の横ロッドにおける長手方向の一方の端部側に連結されており、前記縦ロッドの前記１つと前記複数の横ロッドとを連結する前記揺動軸および前記揺動伝達軸のそれぞれの位置関係が、前記縦ロッドの前記他の１つと前記複数の横ロッドとを連結する前記揺動軸および前記従動軸における対応するそれぞれの位置関係と同一であり、かつ前記ホルダと前記複数の横ロッドとを連結する前記揺動軸のそれぞれの位置関係が、前記縦ロッドの前記１つと前記複数の横ロッドとを連結する前記揺動軸における対応するそれぞれの位置関係と同一である。 A grinding apparatus according to the present invention is capable of swinging a plurality of horizontal rods, two or more vertical rods, a holder for holding a superfinishing grindstone, and the vertical rod and the holder substantially orthogonal to the horizontal rod. has a parallel link mechanism formed by a plurality of pivot shaft for connecting said one of the vertical rods has one end, the position immovable rocking transmission shaft to be normally and reversely rotated outside the parallel link mechanism is fixed to one of the other of at least the longitudinal rod has one end, to be swingable driven shaft around the position immobile in the swing transmission shaft external of the parallel link mechanism arranged side are supported, the holder is outside of said the swing transmission shaft is arranged side as grinding surface is positioned above a can hold the superfinishing grindstone two or more vertical the parallel link mechanism The plurality of lateral locks rather than the rods. Is connected on one end side in the longitudinal direction of the respective positional relationship of the rocking shaft and the rocking transmission shaft for connecting the one of the plurality of transverse rods of the longitudinal rod, said longitudinal The same positional relationship between the swing shaft and the driven shaft connecting the other one of the rods and the plurality of horizontal rods , and connecting the holder and the plurality of horizontal rods. Each positional relationship of the oscillating shaft is the same as the corresponding positional relationship on the oscillating shaft that connects the one of the vertical rods and the plurality of horizontal rods.

好ましくは、前記揺動伝達軸に固定された前記縦ロッドの前記１つは、前記複数の横ロッドにおける前記ホルダの連結側とは逆の長手方向の他方の端部側に連結されており、前記縦ロッドの前記他の１つは、前記縦ロッドの前記１つと前記ホルダとの間で前記複数の横ロッドに連結されている。
好ましくは、前記複数の横ロッドのいずれについても、前記縦ロッドの前記１つ、前記縦ロッドの前記他の１つおよび前記ホルダと前記横ロッドとを連結する前記揺動軸が同一の仮想平面上に存在するように形成される。 Preferably, said one of said longitudinal rod fixed to the swing transmission shaft is the coupling side of the holder in the plurality of transverse rods are consolidated on the other end side of the opposite longitudinal The other one of the longitudinal rods is coupled to the plurality of transverse rods between the one of the longitudinal rods and the holder.
Preferably, for any of the plurality of transverse rod de also said one of pre-Symbol longitudinal rod, said pivot shaft is identical for connecting the other one and the transverse rod and the holder of the vertical rod made form to lie on the virtual plane.

前記研削装置は、前記ホルダに保持された超仕上げ砥石を有し、前記超仕上げ砥石は、先端に凸状または凹状の湾曲する研削面を備えて前記揺動伝達軸が正逆回転されたときに前記研削面の複数部分の法線が前記ホルダの揺動中心軸で交わるように前記ホルダに保持される。
好ましくは、前記ホルダはシリンダ装置であり、前記シリンダ装置は前記超仕上げ砥石でロッドが形成される。 The grinding equipment comprises a superfinishing grindstone held by the holder, the superfinishing grindstone, said swinging transmission shaft is rotated normally and reversely provided with a grinding surface which is curved convex or concave at the tip normal of portions of the grinding surface is held by the holder to cross at the swing center axis of the holder when.
Preferably, the holder is Ri Shi cylinder device der, the cylinder device rod Ru is formed by the super-finishing grindstone.

本発明における「横ロッド」および「縦ロッド」は、研削装置において水平に配されたロッドおよび垂直に配されたロッドに限られず、例えば、横ロッドが水平から４５度傾斜されたものまたは垂直に伸びたものであり、縦ロッドがこの横ロッドに略直交させて連結されたものである場合も含まれる。そのような縦ロッドおよび横ロッドを有する研削装置であっても、水平に配された横ロッドおよび垂直に配された縦ロッドを有する研削装置と同じ機能を有し作用効果を奏する。 The “lateral rod” and “vertical rod” in the present invention are not limited to a horizontally disposed rod and a vertically disposed rod in a grinding apparatus. For example, the transverse rod is inclined 45 degrees from the horizontal or vertically. The case where it is extended and the vertical rod is connected to the horizontal rod substantially orthogonally is also included. Even a grinding device having such vertical rods and horizontal rods has the same functions and effects as a grinding device having horizontal rods arranged horizontally and vertical rods arranged vertically.

また、ここでいう「対応するそれぞれの位置関係」が同一とは、例えば、「縦ロッドの１つおよび横ロッドの１つを連結する揺動軸（仮に「第１の揺動軸」という）、前記した縦ロッドの１つおよび横ロッドの他の１つを連結する揺動軸（仮に「第２の揺動軸」という）、ならびに揺動伝達軸の位置関係」と、「縦ロッドの他の１つおよび横ロッドの１つを連結する揺動軸（仮に「第３の揺動軸」という）、縦ロッドの他の１つおよび横ロッドの他の１つを連結する揺動軸（仮に「第４の揺動軸」という）、ならびに従動軸の位置関係」とでいえば、第１の揺動軸と第２の揺動軸との距離、第１の揺動軸と揺動伝達軸との距離、および第２の揺動軸と揺動伝達軸との距離が、第３の揺動軸と第４の揺動軸との距離、第３の揺動軸と従動軸との距離、および第４の揺動軸と従動軸との距離にそれぞれ等しいことをいう。この位置関係の基準はそれぞれの軸心である。 Further, herein, the term "corresponding position relationship between each" are the same, for example, "one and you connecting one of the transverse rods rocking shaft of the vertical rod (tentatively" first oscillating axis "hereinafter), wherein the one and you connected the other one of the lateral rod rocking shaft of the vertical rod (tentatively referred to as a" second swing axis "), as well as the positional relationship of the pivot transmission shaft" And “an oscillating shaft for connecting the other one of the longitudinal rods and one of the transverse rods (temporarily referred to as“ third oscillating shaft ”), the other one of the longitudinal rods and the other one of the transverse rods. , The distance between the first oscillating shaft and the second oscillating shaft , the first oscillating shaft (referred to as “fourth oscillating shaft”) and the positional relationship between the driven shaft and the first oscillating shaft. the distance between the pivot shaft and the swing transmission shaft, and the distance between the second pivot shaft and the swing transmission axis, the distance between the third pivot shaft and the fourth pivot shaft, the third the pivot shaft and the driven shaft and Distance, and equal respectively to a fourth distance between the pivot shaft and the driven shaft of say. The standard of this positional relationship is the axis of each.

本発明によると、例えば大型の玉軸受の玉の軌道およびリニアガイドのレールにおける玉転動溝等を精度良く超仕上げ加工することができる研削装置を提供することができる。 According to the present invention, for example, it is possible to provide a grinding apparatus capable of superfinishing a ball raceway of a large ball bearing and a ball rolling groove in a rail of a linear guide with high accuracy.

図１は研削装置１の正面図、図２は研削装置１の平面図、図３は研削装置１におけるシリンダ装置１５の側面断面図、図４は制御装置４の概略図である。
図１および図２において、研削装置１は、本体装置２、駆動装置３および制御装置４等からなる。
本体装置２は、４つの横ロッド１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ、２つの第１連結部材１２ａ，１２ｂ、２つの第２連結部材１３ａ，１３ｂ、２つの縦ロッド１４ａ，１４ｂ、シリンダ装置１５およびベース（台）１６等で構成される。 1 is a front view of the grinding device 1, FIG. 2 is a plan view of the grinding device 1, FIG. 3 is a side sectional view of a cylinder device 15 in the grinding device 1, and FIG.
1 and 2, the grinding device 1 includes a main body device 2, a driving device 3, a control device 4, and the like.
The main body device 2 includes four horizontal rods 11a, 11b, 11c, 11d, two first connecting members 12a, 12b, two second connecting members 13a, 13b, two vertical rods 14a, 14b, a cylinder device 15 and a base. (Stands) 16 or the like.

４つの横ロッド１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄは、いずれも同一の細長い矩形状の金属の板材である。横ロッド１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄは、長手方向の両端近傍および中央に、それぞれ厚さ方向に貫通する貫通孔１７ａ，１８ａ，１９ａ，１７ｂ，１８ｂ，１９ｂ，１７ｃ，１８ｃ，１９ｃ，１７ｄを備えている。横ロッドロッド１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄのそれぞれに設けられた３つの貫通孔（例えば貫通孔１７ａ，１８ａ，１９ａ）の軸心は同一の仮想平面上に存在する。 The four transverse rods 11a, 11b, 11c, and 11d are all the same elongated rectangular metal plate. The lateral rods 11a, 11b, 11c, and 11d are provided with through holes 17a, 18a, 19a, 17b, 18b, 19b, 17c, 18c, 19c, and 17d penetrating in the thickness direction in the vicinity and center of both ends in the longitudinal direction. ing. The axes of the three through holes (for example, the through holes 17a, 18a, and 19a) provided in each of the horizontal rod rods 11a, 11b, 11c, and 11d exist on the same virtual plane.

横ロッド１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄは、２つがそれぞれの表面を対向させて平行に並べられ、その間に第１連結部材１２ａ，１２ｂおよび第２連結部材１３ａ，１３ｂを介在させて一体化されている。
第１連結部材１２ａ，１２ｂは、上下左右の三方向のうち一方向から見た形状が「Ｈ」字状であり、他の一方向から見た形状が矩形であって、各部分が一体として厚板で形成されたものである。第１連結部材１２ａは、横ロッド１１ａ，１１ｂのそれぞれの長手方向の一方の端近傍における貫通孔１７ａ，１７ｂと中央における貫通孔１８ａ，１８ｂとの間で、「Ｈ」字状の面がそれぞれ横ロッド１１ａ，１１ｂの対向する面に当接されて、複数のボルトによって横ロッド１１ａ，１１ｂと一体化されている。他の第１連結部材１２ｂも、同様にして２つの横ロッド１１ｃ，１１ｄと一体化されている。 The horizontal rods 11a, 11b, 11c, and 11d are arranged in parallel with their surfaces facing each other, and are integrated with the first connecting members 12a and 12b and the second connecting members 13a and 13b interposed therebetween. Yes.
The first connecting members 12a and 12b have an “H” shape when viewed from one of the three directions of up, down, left and right, and a shape when viewed from the other direction is a rectangle. It is made of a thick plate. The first connecting member 12a has an “H” -shaped surface between the through holes 17a and 17b in the vicinity of one end in the longitudinal direction of the horizontal rods 11a and 11b and the through holes 18a and 18b in the center. The abutting surfaces of the lateral rods 11a and 11b are in contact with each other and integrated with the lateral rods 11a and 11b by a plurality of bolts. The other first connecting member 12b is also integrated with the two horizontal rods 11c and 11d in the same manner.

第２連結部材１３ａ，１３ｂは、矩形の厚板で形成されている。第２連結部材１３ａは、横ロッド１１ａ，１１ｂのそれぞれの長手方向の中央における貫通孔１８ａ，１８ｂと他方の端近傍における貫通孔１９ａ，１９ｂとの間で、矩形の長辺両側面がそれぞれ横ロッド１１ａ，１１ｂの表面に当接され、複数のボルトによって横ロッド１１ａ，１１ｂと一体化されている。他の第２連結部材１３ｂも、同様にして他の２つの横ロッド１１ｃ，１１ｄと一体化されている。 The second connecting members 13a and 13b are formed of rectangular thick plates. The second connecting member 13a has a rectangular long side on both sides between the through holes 18a, 18b in the longitudinal center of the horizontal rods 11a, 11b and the through holes 19a, 19b in the vicinity of the other end. It abuts on the surface of the rods 11a and 11b and is integrated with the lateral rods 11a and 11b by a plurality of bolts. The other second connecting member 13b is also integrated with the other two lateral rods 11c and 11d in the same manner.

２つの横ロッド１１ａ，１１ｂおよび２つの横ロッド１１ｃ，１１ｄの間にそれぞれ介在する第１連結部材１２ａ，１２ｂおよび第２連結部材１３ａ，１３ｂは、いずれの幅も等しく、横ロッド１１ａ，１１ｂ，ロッド１１ｃ，１１ｄのそれぞれの全体形状は同一である。また、横ロッド１１ａ，１１ｂと第１連結部材１２ａ、第２連結部材１３ａとの一体化物（以下「第１ロッド部５」という）、および横ロッド１１ｃ，１１ｄと第１連結部材１２ｂ、第２連結部材１３ｂとの一体化物（以下「第２ロッド部６」という）において、長手方向の両端近傍および第１連結部材１２ａ，１２ｂと第２連結部材１３ａ，１３ｂとの間（長手方向中央部分）には十分な隙間が確保されている。 The first connecting members 12a, 12b and the second connecting members 13a, 13b interposed between the two horizontal rods 11a, 11b and the two horizontal rods 11c, 11d have the same width, and the horizontal rods 11a, 11b, The overall shapes of the rods 11c and 11d are the same. Also, an integrated product of the lateral rods 11a, 11b and the first connecting member 12a and the second connecting member 13a (hereinafter referred to as “first rod portion 5”), and the lateral rods 11c, 11d, the first connecting member 12b, the second In an integrated body with the connecting member 13b (hereinafter referred to as “second rod portion 6”), the vicinity of both ends in the longitudinal direction and between the first connecting members 12a, 12b and the second connecting members 13a, 13b (longitudinal central portion). A sufficient gap is secured in the.

本発明における横ロッドは、第１ロッド部５および第２ロッド部６を指すものである。
縦ロッド１４ａ，１４ｂは、底面が矩形である程度の長さを有する略四角柱の外観であり、両底面の長辺部分が面取りされている。縦ロッド１４ａ，１４ｂは、高さ方向（長手方向）の一方の端近傍および中央近傍にそれぞれ底面の長辺方向に貫通する揺動軸孔２０ａ，２１ａ，２０ｂ，２１ｂを備え、他方の端近傍に、揺動軸孔２０ａ，２０ｂ等と同方向に貫通する固定軸孔２２ａ，２２ｂを備えている。 The horizontal rod in the present invention refers to the first rod portion 5 and the second rod portion 6.
The vertical rods 14a and 14b have a substantially rectangular prism appearance with a rectangular bottom surface and a certain length, and the long sides of both bottom surfaces are chamfered. The vertical rods 14a, 14b are provided with swinging shaft holes 20a, 21a, 20b, 21b penetrating in the long side direction of the bottom surface near one end in the height direction (longitudinal direction) and near the center, respectively, near the other end. Are provided with fixed shaft holes 22a and 22b penetrating in the same direction as the swing shaft holes 20a and 20b.

シリンダ装置１５は、略四角柱の外観を有するシリンダ２３を備えたエアシリンダーである。シリンダ２３の互いに逆方向を向く２つの外周面には、いずれにも２つの深溝玉軸受２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄがシリンダ２３の軸方向に並べて埋め込まれ、それぞれの外輪がシリンダ２３に固定されている。４つの深溝玉軸受２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄは、シリンダカバー２５側の２つの深溝玉軸受２４ａ，２４ｂの軸心が同一線上にあり、ロッドカバー２６側の２つの深溝玉軸受２４ｃ，２４ｄの軸心も同一線上となるように配されている。 The cylinder device 15 is an air cylinder including a cylinder 23 having a substantially quadrangular prism appearance. Two deep groove ball bearings 24 a, 24 b, 24 c, and 24 d are embedded in the cylinder 23 in the axial direction of the two outer peripheral surfaces of the cylinder 23 facing in opposite directions, and the respective outer rings are fixed to the cylinder 23. ing. The four deep groove ball bearings 24a, 24b, 24c, and 24d have the same axis as the two deep groove ball bearings 24a and 24b on the cylinder cover 25 side, and the two deep groove ball bearings 24c and 24d on the rod cover 26 side. The axes are also arranged on the same line.

各深溝玉軸受２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄの内輪には、保持部材２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄの径小部２８が嵌め込まれて固定されている。なお、保持部材２７ａ〜２７ｄは、円柱状の径小部２８、および径小部２８の一方の底面に連続し径小部２８よりも径が大きく径小部２８の軸心の延長上に軸心を有する円柱状の径大部２９からなる。
シリンダ装置１５のロッドは超仕上げ砥石３０で形成されている。超仕上げ砥石３０の先端面は、研削対象である例えば深溝玉軸受の外輪の（凹状の）軌道における表面の湾曲に略等しい湾曲する凸状の湾曲面４６（図１参照）となっている。 The small diameter portions 28 of the holding members 27a, 27b, 27c, and 27d are fitted and fixed to the inner rings of the deep groove ball bearings 24a, 24b, 24c, and 24d. The holding members 27a to 27d are connected to one bottom surface of the cylindrical small-diameter portion 28 and the small-diameter portion 28. The holding members 27a to 27d have a diameter larger than the small-diameter portion 28 and extend on the extension of the axis of the small-diameter portion 28. It consists of a cylindrical large diameter portion 29 having a heart.
The rod of the cylinder device 15 is formed by a superfinishing grindstone 30. The tip surface of the superfinishing grindstone 30 is a convex curved surface 46 (see FIG. 1) that is substantially equal to the curvature of the surface of the outer ring (concave shape) of the outer ring of the deep groove ball bearing to be ground.

本発明におけるホルダはシリンダ装置１５をいい、本発明におけるホルダを横ロッドに連結する各揺動軸は、保持部材２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄをいうものである。また、本発明における研削面は、超仕上げ砥石３０の先端の湾曲面４６である。
以上説明した第１ロッド部５、第２ロッド部６、２つの縦ロッド１４ａ，１４ｂおよびシリンダ装置１５により、研削装置１の平行リンク機構７が形成される。 The holder in the present invention refers to the cylinder device 15, and each rocking shaft that connects the holder in the present invention to the horizontal rod refers to the holding members 27a, 27b, 27c, and 27d. The ground surface in the present invention is the curved surface 46 at the tip of the superfinishing grindstone 30.
The parallel link mechanism 7 of the grinding device 1 is formed by the first rod portion 5, the second rod portion 6, the two vertical rods 14 a and 14 b and the cylinder device 15 described above.

ここで、本体装置２における平行リンク機構７の構成について説明する。
第１ロッド部５と第２ロッド部６とは、一方の横ロッド１１ａ，１１ｂと他方の横ロッド１１ｃ，１１ｄとをそれぞれ対向させて、かつそれぞれの間に距離が設けられて平行に配されている。
一方の縦ロッド１４ａは、揺動軸孔２０ａ側が、第１ロッド部５の第１連結部１２ａと第２連結部１３ａとの間、および第２ロッド部６の第１連結部１２ｂと第２連結部１３ｂとの間に、差し入れられている。縦ロッド１４ａは、揺動軸孔２０ａの軸心を横ロッド１１ａ，１１ｂの貫通孔１８ａ，１８ｂの軸心に一致させ、揺動軸孔２１ａの軸心を横ロッド１１ｃ，１１ｄのそれぞれにおける中央の貫通孔１８ｃの軸心に一致させて、第１ロッド部５および第２ロッド部６を揺動可能に支持する。 Here, the configuration of the parallel link mechanism 7 in the main body device 2 will be described.
The first rod portion 5 and the second rod portion 6 are arranged in parallel so that one of the horizontal rods 11a and 11b and the other of the horizontal rods 11c and 11d are opposed to each other, and a distance is provided therebetween. ing.
One of the vertical rods 14a has a swing shaft hole 20a side between the first connecting portion 12a and the second connecting portion 13a of the first rod portion 5 and the first connecting portion 12b and the second connecting portion 12b of the second rod portion 6. It is inserted between the connecting portions 13b. The vertical rod 14a aligns the axis of the swing shaft hole 20a with the center of the through holes 18a and 18b of the horizontal rods 11a and 11b, and the center of the swing shaft hole 21a in the center of each of the horizontal rods 11c and 11d. The first rod portion 5 and the second rod portion 6 are swingably supported so as to coincide with the axial center of the through hole 18c.

他方の縦ロッド１４ｂは、揺動軸孔２０ｂ側が、第１ロッド部５の第２連結部１３ａ側の端部の２つの横ロッド１１ａ，１１ｂの間、および第２ロッド部６の第２連結部１３ｂ側の端部の２つの横ロッド１１ｃ，１１ｄの間に、差し入れられている。縦ロッド１４ｂは、揺動軸孔２０ｂの軸心を横ロッド１１ａ，１１ｂのそれぞれの貫通孔１９ａ，１９ｂの軸心に一致させ、揺動軸孔２１ｂの軸心を横ロッド１１ｃ，１１ｄのそれぞれの第２連結部１３ｂ側の端部近傍の貫通孔１９ｃの軸心に一致させて、第１ロッド部５および第２ロッド部６のそれぞれの端部を揺動可能に支持する。 The other vertical rod 14 b has a swing shaft hole 20 b side between the two horizontal rods 11 a and 11 b at the end of the first rod portion 5 on the second connecting portion 13 a side and the second connecting portion of the second rod portion 6. It is inserted between the two horizontal rods 11c and 11d at the end on the side of the portion 13b. The vertical rod 14b aligns the axis of the swing shaft hole 20b with the axis of each through-hole 19a, 19b of the horizontal rod 11a, 11b, and the axis of the swing shaft hole 21b of each of the horizontal rods 11c, 11d. The end portions of the first rod portion 5 and the second rod portion 6 are swingably supported so as to coincide with the axial center of the through hole 19c in the vicinity of the end portion of the second connecting portion 13b.

縦ロッド１４ａ，１４ｂによる第１ロッド部５および第２ロッド部６の揺動可能な直接の支持は、軸心を一致させたそれぞれの貫通孔１７ａ〜１９ａ，１７ｂ〜１９ｂ，１７ｃ〜１９ｃ，１７ｄおよび揺動軸孔２０ａ，２１ａ，２０ｂ，２１ｂを貫通し両端が抜け止め処理された軸部材３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂによりなされている。軸部材３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂは、本体装置２が揺動動作するときの揺動軸となる。 The first rod portion 5 and the second rod portion 6 can be directly supported by the vertical rods 14a and 14b so that the through-holes 17a to 19a, 17b to 19b, 17c to 19c, and 17d have the same axial center. The shaft members 31a, 31b, 32a, and 32b pass through the swinging shaft holes 20a, 21a, 20b, and 21b and both ends are prevented from coming off. The shaft members 31a, 31b, 32a, and 32b serve as swing shafts when the main body device 2 swings.

また、軸部材３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂは、本発明における揺動軸に相当する。
シリンダ装置１５は、シリンダカバー２５側に配された各保持部材２７ａ，２７ｂのそれぞれの径大部２９，２９が、第１ロッド部５における第１連結部材１２ａ側の端部の貫通孔１７ａ，１７ｂに嵌め込まれている。また、ロッドカバー２６側に配された各保持部材２７ｃ，２７ｄのそれぞれの径大部２９，２９は、第２ロッド部６の横ロッド１１ｃ，１１ｄにおける第１連結部材１２ｂ側に設けられた貫通孔１７ｃ，１７ｄに嵌め込まれている。シリンダ装置１５は、このようにして第１ロッド部５および第２ロッド部６に保持されることにより、第１ロッド部５および第２ロッド部６のいずれに対しても揺動可能となっている。 Further, the shaft members 31a, 31b, 32a, and 32b correspond to the swing shafts in the present invention.
In the cylinder device 15, the large-diameter portions 29 and 29 of the holding members 27 a and 27 b arranged on the cylinder cover 25 side are formed in the through holes 17 a and 17 b at the end of the first rod portion 5 on the first connecting member 12 a side. 17b. Further, the large diameter portions 29 and 29 of the holding members 27c and 27d arranged on the rod cover 26 side are through-holes provided on the first connecting member 12b side in the lateral rods 11c and 11d of the second rod portion 6, respectively. The holes 17c and 17d are fitted. The cylinder device 15 is swingable with respect to both the first rod portion 5 and the second rod portion 6 by being held by the first rod portion 5 and the second rod portion 6 in this way. Yes.

シリンダ装置１５のシリンダ室４７は、作動流体である空気の圧力を制御する圧力制御装置に連通されている。
組み合わされた第１ロッド部５、第２ロッド部６、２つの縦ロッド１４ａ，１４ｂおよびシリンダ装置１５は、連結された相手に対して正逆回動可能な間接を６つ有する６節の平行リンク機構７を形成する。 The cylinder chamber 47 of the cylinder device 15 communicates with a pressure control device that controls the pressure of air that is a working fluid.
The combined first rod portion 5, second rod portion 6, two vertical rods 14 a and 14 b and the cylinder device 15 are 6 parallel nodes having six indirect rotations that can be rotated forward and backward with respect to the connected counterpart. A link mechanism 7 is formed.

平行リンク機構７においては、常に、第１ロッド部５と第２ロッド部６とは平行であり、２つの縦ロッド１４ａ，１４ｂの軸心およびシリンダ装置１５の軸心の方向が一致している。また、２つの縦ロッド１４ａ，１４ｂの固定軸孔２２ａ，２２ｂは、これらの軸心が含まれる仮想平面が、常に第１ロッド部５に取り付けられた２つの軸部材３１ａ，３１ｂの軸心およびシリンダ装置１５のシリンダカバー２５側の保持部材２７，２７の軸心が含まれる仮想平面と平行である。 In the parallel link mechanism 7, the first rod portion 5 and the second rod portion 6 are always parallel, and the directions of the axial centers of the two vertical rods 14a and 14b and the axial center of the cylinder device 15 are the same. . Further, the fixed shaft holes 22a and 22b of the two vertical rods 14a and 14b are such that the virtual plane including these axes is always the axis of the two shaft members 31a and 31b attached to the first rod portion 5 and The cylinder device 15 is parallel to a virtual plane including the axis of the holding members 27 on the cylinder cover 25 side.

横ロッド１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ、第１連結部材１２ａ，１２ｂ、第２連結部材１３ａ，１３ｂ、縦ロッド１４ａ，１４ｂ、およびシリンダ装置１５は、いずれも慣性重量を減少させるためにアルミニウムで製作されている。また、第１連結部材１２ａ，１２ｂおよび第２連結部材１３ａ，１３ｂは、軽量化を図るために円形の肉抜き処理がなされている。 The horizontal rods 11a, 11b, 11c, 11d, the first connecting members 12a, 12b, the second connecting members 13a, 13b, the vertical rods 14a, 14b, and the cylinder device 15 are all made of aluminum in order to reduce the inertia weight. Has been. Further, the first connecting members 12a and 12b and the second connecting members 13a and 13b are subjected to a circular thinning process in order to reduce the weight.

装置本体２における第１ロッド部５と第２ロッド部６とは同一形状であり、縦ロッド１４ａと縦ロッド１４ｂとも同一形状であるが、これらの一方またはいずれも別形状としてもよい。
ベース１６は、平行リンク機構７を支持する支持部３３および駆動モータ３４を固定する基部３５を有する。 The first rod portion 5 and the second rod portion 6 in the apparatus main body 2 have the same shape, and the vertical rod 14a and the vertical rod 14b have the same shape, but one or both of them may have different shapes.
The base 16 has a support portion 33 that supports the parallel link mechanism 7 and a base portion 35 that fixes the drive motor 34.

支持部３３は、互いに平行に隔てられていずれも基部３５から垂直に立ち上がる２つの肉厚の矩形板状部分３６ａ，３６ｂで形成される。
基部３５は、平面視で長方形の形状を有し、長手方向の一方の側略半分で支持部３３と連続し、他方の側に駆動モータ３４が固定されている。
なお、基部３５から立ち上がるそれぞれの矩形板状部分３６ａ，３６ｂは、基部３５の長手方向に伸びている。 The support portion 33 is formed of two thick rectangular plate portions 36 a and 36 b that are spaced apart from each other in parallel and rise vertically from the base portion 35.
The base portion 35 has a rectangular shape in plan view, is continuous with the support portion 33 at approximately half of one side in the longitudinal direction, and a drive motor 34 is fixed to the other side.
Each rectangular plate-like portion 36 a and 36 b rising from the base portion 35 extends in the longitudinal direction of the base portion 35.

ベース１６（支持部３３）による平行リンク機構７の支持は、次のようにして行われている。
矩形板状部分３６ａ，３６ｂは、それぞれが長手方向の両端部に貫通する孔３７ａ，３７ｂを有する。矩形板状部分３６ａ，３６ｂのそれぞれの長手方向一方の孔３７ａ，３７ａにおけるそれぞれの軸心は同一線上にあり、他方の孔３７ｂ，３７ｂのそれぞれの軸心も同一線上にある。長手方向一方側の孔３７ａの軸心と他方側の孔３７ｂの軸心との距離は、平行リンク機構７における縦ロッド１４ａ，１４ｂの固定軸孔２２ａ，２２ｂの軸心の距離に等しい。 The parallel link mechanism 7 is supported by the base 16 (support portion 33) as follows.
Each of the rectangular plate-like portions 36a and 36b has holes 37a and 37b penetrating through both end portions in the longitudinal direction. The respective axial centers of one of the holes 37a and 37a in the longitudinal direction of each of the rectangular plate portions 36a and 36b are on the same line, and the respective axial centers of the other holes 37b and 37b are also on the same line. The distance between the axis of the hole 37a on one side in the longitudinal direction and the axis of the hole 37b on the other side is equal to the distance between the axes of the fixed shaft holes 22a and 22b of the vertical rods 14a and 14b in the parallel link mechanism 7.

２つの矩形板状部分３６ａ，３６ｂの間に平行リンク機構７における縦ロッド１４ａ，１４ｂの固定軸孔２２ａ，２２ｂが設けられた側が差し入れられている。
矩形板状部分３６ａの一方の孔３７ａ、縦ロッド１４ａの固定軸孔２２ａ、および矩形板状部分３６ｂの一方の孔を従動軸３８が貫通している。従動軸３８は、矩形板状部分３６ａ，３６ｂ（ベース１６）に対して縦ロッド１４ａを揺動可能に支持する部材である。従動軸３８は、固定軸孔２２ａに固定され、矩形板状部分３６ａ，３６ｂのそれぞれの孔３７ａ，３７ａに玉軸受により回動可能に支持されている。従動軸３８は、固定軸孔２２ａに回動可能に保持されたものとしてもよい。 The side where the fixed shaft holes 22a and 22b of the vertical rods 14a and 14b in the parallel link mechanism 7 are provided is inserted between the two rectangular plate portions 36a and 36b.
The driven shaft 38 passes through one hole 37a of the rectangular plate portion 36a, the fixed shaft hole 22a of the vertical rod 14a, and one hole of the rectangular plate portion 36b. The driven shaft 38 is a member that supports the vertical rod 14a so as to be swingable with respect to the rectangular plate portions 36a and 36b (base 16). The driven shaft 38 is fixed to the fixed shaft hole 22a and is rotatably supported by ball bearings in the holes 37a and 37a of the rectangular plate portions 36a and 36b. The driven shaft 38 may be rotatably held in the fixed shaft hole 22a.

また、矩形板状部分３６ａの他方の孔３７ｂ、縦ロッド１４ｂの固定軸孔２２ｂ、および矩形板状部分３６ｂの他方の孔３７ｂを揺動伝達軸３９が貫通している。揺動伝達軸３９は、固定軸孔２２ｂに固定され、それぞれの孔３７ｂ，３７ｂに玉軸受により回動可能に支持されている。揺動伝達軸３９は、矩形板状部分３６ａの孔３７ｂからさらに外方に伸び、伸びた部分には従動プーリ４０が固定されている。 Further, the oscillation transmission shaft 39 passes through the other hole 37b of the rectangular plate portion 36a, the fixed shaft hole 22b of the vertical rod 14b, and the other hole 37b of the rectangular plate portion 36b. The swing transmission shaft 39 is fixed to the fixed shaft hole 22b and is rotatably supported by ball bearings in the holes 37b and 37b. The swing transmission shaft 39 extends further outward from the hole 37b of the rectangular plate portion 36a, and a driven pulley 40 is fixed to the extended portion.

駆動装置３は、駆動モータ３４、駆動プーリ４１、タイミングベルト４２および従動プーリ４０からなる。
駆動モータ３４は、ＡＣサーボモータである。駆動モータ３４は、駆動軸４３を揺動伝達軸３９と平行にしてベース１６の基部３５に固定されている。駆動軸４３には駆動プーリ４１が取り付けられている。駆動プーリ４１は、タイミングベルト４２により従動プーリ４０と連結されている。駆動プーリ４１の径は従動プーリ４０の径と同一であり、例えば、駆動プーリ４１は、１回転することにより従動プーリ４０を１回転させる。 The drive device 3 includes a drive motor 34, a drive pulley 41, a timing belt 42, and a driven pulley 40.
The drive motor 34 is an AC servo motor. The drive motor 34 is fixed to the base portion 35 of the base 16 with the drive shaft 43 parallel to the swing transmission shaft 39. A drive pulley 41 is attached to the drive shaft 43. The driving pulley 41 is connected to the driven pulley 40 by a timing belt 42. The diameter of the drive pulley 41 is the same as the diameter of the driven pulley 40. For example, the drive pulley 41 rotates the driven pulley 40 once by making one rotation.

本発明における駆動装置は、駆動モータ３４に相当する。
制御装置４は、コントローラ４４およびサーボアンプ４５等からなる。
コントローラ４４は、種々の演算処理を行うＣＰＵ、超仕上げ加工条件の記憶およびサーボアンプ４５を制御するためのプログラム等を記憶するＲＡＭ、大容量磁気ディスク等の記憶装置、超仕上げ加工条件等を入力しかつ超仕上げ加工の状況を表示させる入出力装置（タッチパネル）および異常を知らせる警報装置等からなる。 The drive device in the present invention corresponds to the drive motor 34.
The control device 4 includes a controller 44, a servo amplifier 45, and the like.
The controller 44 inputs a CPU for performing various arithmetic processing, a RAM for storing super finishing machining conditions and a program for controlling the servo amplifier 45, a storage device such as a large-capacity magnetic disk, and super finishing machining conditions. And an input / output device (touch panel) for displaying the status of superfinishing and an alarm device for notifying abnormality.

コントローラ４４は、予め入力された超仕上げ砥石３０の揺動運動の基準傾斜角度（揺動幅の中央の角度）α、揺動角度β、揺動数および加工時間等に従って、サーボアンプ４５に対し駆動モータ３４の制御を指示する。また、コントローラ４４は、駆動モータ３４だけではなく、圧力制御装置に対して超仕上げ砥石３０がワークの被研削面を押圧する圧力を指示する。 The controller 44 controls the servo amplifier 45 according to the reference tilt angle (center angle of the swing width) α, swing angle β, swing number, machining time, etc. of the super-finishing grindstone 30 input in advance. The control of the drive motor 34 is instructed. In addition, the controller 44 instructs not only the drive motor 34 but also the pressure control device to the pressure at which the superfinishing grindstone 30 presses the surface to be ground of the workpiece.

次に超仕上げ加工時の研削装置１の動作を説明する。
図５は研削装置１による深溝玉軸受の外輪Ｗの軌道８５を超仕上げ加工する様子を示す図である。
研削装置１は、設定された基準傾斜角度αに応じてコントローラ４４が駆動モータ３４を回動させ、超仕上げ砥石３０が初期（基準傾斜角度α）位置に配置される。このとき、サーボアンプ４５はコントローラ４４から基準傾斜角度αまでの回動指令を受け、駆動モータ３４からのエンコーダ出力を受けて駆動モータ３４の回動を制御する。 Next, the operation of the grinding apparatus 1 during superfinishing will be described.
FIG. 5 is a diagram illustrating a state in which the raceway 85 of the outer ring W of the deep groove ball bearing is superfinished by the grinding device 1.
In the grinding apparatus 1, the controller 44 rotates the drive motor 34 in accordance with the set reference inclination angle α, and the superfinishing grindstone 30 is disposed at the initial (reference inclination angle α) position. At this time, the servo amplifier 45 receives a rotation command from the controller 44 to the reference inclination angle α, receives the encoder output from the drive motor 34, and controls the rotation of the drive motor 34.

続いて、コントローラ４４の指示によって、外輪Ｗは設定された回転速度でその中心軸廻りに回転され、駆動モータ３４は、設定された揺動角度±βおよび揺動数で正逆回動の繰り返しを開始する。タイミングベルト４２によって駆動プーリ４１に連結された従動プーリ４０は、正逆回動動作することにより、揺動伝達軸３９に固定された縦ロッド１４ｂを揺動伝達軸３９廻りに揺動させる。駆動プーリ４１および従動プーリ４０の径は同一であるので、従動プーリ４０も駆動プーリ４１と同じ揺動角度βの２倍（±β）の範囲で正逆回動し、縦ロッド１４ｂは±βの角度範囲で揺動する。 Subsequently, according to an instruction from the controller 44, the outer ring W is rotated around its central axis at a set rotational speed, and the drive motor 34 repeats forward and reverse rotations at the set swing angle ± β and swing number. To start. The driven pulley 40 connected to the drive pulley 41 by the timing belt 42 swings the vertical rod 14b fixed to the swing transmission shaft 39 around the swing transmission shaft 39 by rotating forward and backward. Since the diameters of the drive pulley 41 and the driven pulley 40 are the same, the driven pulley 40 also rotates forward and backward within the range of twice the same swing angle β (± β) as the drive pulley 41, and the vertical rod 14b is ± β It swings within the angle range.

縦ロッド１４ｂが揺動すると、第１ロッド部５および第２ロッド部６は、揺動伝達軸３９からのそれぞれの距離に応じて縦ロッド１４ｂの揺動平面内における縦ロッド１４ｂ（の長手方向）に略直交する方向に往復移動する。
保持部材２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄによって平行リンク機構７に組み込まれたシリンダ装置１５は、第１ロッド部５および第２ロッド部６の往復運動により、揺動する。シリンダ装置１５の揺動は、揺動伝達軸３９の軸心および従動軸３８の軸心を含む仮想平面と、保持部材２７ａ，２７ｂの軸心および保持部材２７ｃ，２７ｄの軸心を含む仮想平面との交線廻りに行われる。そして、シリンダ装置１５は、超仕上げ砥石３０の先端の湾曲面４６における各部の法線の交点がこの交線、つまりシリンダ装置１５の揺動中心軸ＳＡとなるように平行リンク機構７に組み込まれている。また、超仕上げ加工における超仕上げ砥石３０の揺動数は、例えば５００往復／分が選択される。そのため、超仕上げ砥石３０は、駆動モータ３４の正逆回動の繰り返しにより、この揺動中心軸ＳＡ廻りに例えば５００往復／分の高速揺動を行う。 When the vertical rod 14b swings, the first rod portion 5 and the second rod portion 6 move in the longitudinal direction of the vertical rod 14b (in the longitudinal direction of the vertical rod 14b in the swing plane according to the distance from the swing transmission shaft 39). ) To reciprocate in a direction substantially perpendicular to.
The cylinder device 15 incorporated in the parallel link mechanism 7 by the holding members 27a, 27b, 27c, and 27d swings due to the reciprocating motion of the first rod portion 5 and the second rod portion 6. The cylinder device 15 swings in a virtual plane including the axis of the swing transmission shaft 39 and the axis of the driven shaft 38, and a virtual plane including the axes of the holding members 27a and 27b and the axes of the holding members 27c and 27d. It is performed around the line of intersection. The cylinder device 15 is incorporated in the parallel link mechanism 7 so that the intersection of the normal lines of the respective portions of the curved surface 46 at the tip of the superfinishing grindstone 30 is the intersection line, that is, the oscillation center axis SA of the cylinder device 15. ing. Further, for example, 500 reciprocations / minute is selected as the number of swings of the superfinishing grindstone 30 in the superfinishing process. Therefore, the superfinishing grindstone 30 performs high-speed rocking, for example, about 500 reciprocations per minute around the rocking central axis SA by repeating forward and reverse rotation of the drive motor 34.

さて、超仕上げ砥石３０は、その先端の湾曲面４６が、深溝玉軸受の外輪Ｗの軌道８５における周面の湾曲の程度と略同じものが使用される。また、超仕上げ砥石３０は、湾曲面４６の法線が揺動中心軸ＳＡと交わるようにシリンダ装置１５に一体化されている。超仕上げ加工を行う対象が、例えばリニアガイドのレールのような直線となった部分の表面の場合にも、同様である。 The superfinishing grindstone 30 has a curved surface 46 at the tip that is substantially the same as the degree of curvature of the peripheral surface of the raceway 85 of the outer ring W of the deep groove ball bearing. The superfinishing grindstone 30 is integrated with the cylinder device 15 so that the normal line of the curved surface 46 intersects the oscillation center axis SA. The same applies to the case where the object to be superfinished is the surface of a straight part such as a linear guide rail.

なお、超仕上げ砥石３０は、必ずしも湾曲面４６の全ての部分における法線が揺動中心軸ＳＡと交わるものでなくとも、研削装置１に使用して超仕上げ加工を行うことができる。
研削装置１は、このような超仕上げ砥石３０を、シリンダ装置１５により、回転する外輪Ｗの軌道８５に予め設定された強度で押圧させる。研削装置１は、同時に超仕上げ砥石３０を、回転する外輪Ｗの回転軸方向に高速で揺動させて、外輪の軌道８５の超仕上げ加工を行う。 Note that the superfinishing grindstone 30 can be used in the grinding apparatus 1 to perform superfinishing processing even if the normal line in all portions of the curved surface 46 does not necessarily intersect the oscillation center axis SA.
The grinding device 1 presses such a superfinishing grindstone 30 to the track 85 of the rotating outer ring W by the cylinder device 15 with a preset strength. At the same time, the grinding apparatus 1 swings the superfinishing grindstone 30 at a high speed in the direction of the rotation axis of the rotating outer ring W to perform superfinishing of the outer ring raceway 85.

図５に示されるように、研削装置１は、玉軸受の外輪Ｗの軸方向に伸びた平行リンク機構７によって超仕上げ砥石３０の揺動を実現する。そのため、研削装置１は、外輪Ｗの径の大小を問わず適用することができ、例えば風力発電のプロペラに用いられるような大径の玉軸受の外輪Ｗを超仕上げ加工する場合でも、大型化することなく小型の装置で対応することができる。 As shown in FIG. 5, the grinding apparatus 1 realizes the swing of the superfinishing grindstone 30 by the parallel link mechanism 7 extending in the axial direction of the outer ring W of the ball bearing. Therefore, the grinding device 1 can be applied regardless of the diameter of the outer ring W. For example, even when the outer ring W of a large-diameter ball bearing used in a propeller for wind power generation is superfinished, the grinding apparatus 1 is increased in size. It is possible to cope with a small device without doing so.

また、研削装置１は、リニアガイドのレールにおける玉転動溝を超仕上げ加工する場合にも、平行リンク機構７が、玉転動溝の伸びる方向ではなくこれと直交する方向に伸びているので、玉転動溝の長さに拘わらず小型化することができる。
図５には、研削装置１により、シリンダ装置１５（超仕上げ砥石３０）の軸心が外輪Ｗの径方向となる位置、つまり基準傾斜角度αを０（零）とし、この基準傾斜角度αに対して±βの揺動角度で超仕上げ加工する場合が示されている。研削装置１では、０以外の基準傾斜角度αで超仕上げ加工を行うことができる。研削装置１により、アンギュラ玉軸受の外輪ＷＡにおける軌道８５Ａを超仕上げ加工する場合には、例えば図６に示されるように、軌道８５Ａの断面形状に対応させて予めコントローラ４４に入力された垂直から傾斜する基準傾斜角度α（＝αａ）に対して、±βの揺動角度で超仕上げ砥石３０を揺動させる。 In addition, when the grinding device 1 superfinishes the ball rolling groove in the rail of the linear guide, the parallel link mechanism 7 extends not in the direction in which the ball rolling groove extends but in the direction orthogonal thereto. The size can be reduced regardless of the length of the ball rolling groove.
In FIG. 5, the grinding device 1 sets the position of the axial center of the cylinder device 15 (superfinish grindstone 30) to the radial direction of the outer ring W, that is, the reference inclination angle α is set to 0 (zero). On the other hand, the case of superfinishing at a swing angle of ± β is shown. In the grinding apparatus 1, superfinishing can be performed at a reference inclination angle α other than zero. When the grinding device 1 superfinishes the raceway 85A in the outer ring WA of the angular ball bearing, for example, as shown in FIG. 6, from the vertical input to the controller 44 in advance corresponding to the cross-sectional shape of the raceway 85A. The superfinishing grindstone 30 is swung at a swing angle of ± β with respect to the tilting reference tilt angle α (= αa).

研削装置１では、駆動モータ３４にＡＣサーボモータが採用されていることにより、基準傾斜角度αおよび揺動角度βの変更を、入出力装置（タッチパネル）から簡単に行うことができる。
コントローラ４４には、入力された任意の基準傾斜角度α、揺動角度β、超仕上げ砥石３０が被研削面を押圧する圧力、および加工時間等の加工条件の組み合わせをファイルとして記憶し、研削対象に応じて複数の研削条件の中から適する１つの組み合わせを呼び出すことができる。 In the grinding apparatus 1, since the AC servo motor is employed as the drive motor 34, the reference inclination angle α and the swing angle β can be easily changed from the input / output device (touch panel).
The controller 44 stores, as a file, a combination of processing conditions such as an arbitrary input reference tilt angle α, swing angle β, pressure at which the superfinishing grindstone 30 presses the surface to be ground, and processing time. Depending on the situation, one suitable combination can be called out from a plurality of grinding conditions.

また、ＡＣサーボモータを備える研削装置１は、例えば基準傾斜角度αおよび揺動角度βの組み合わせが＋３０±１５度および−３０度±１５度の２つの軌道を有する複列アンギュラ玉軸受を、アンギュラ玉軸受と同様に精度よく超仕上げ加工することができる。
図７は他の研削装置１Ｂの正面図である。
研削装置１Ｂは、平行リンク機構７におけるロッド１４ａの固定軸孔２２ａが揺動伝達軸３９Ｂに固定され、第２縦ロッド１４ｂの固定軸孔２２ｂが従動軸３８Ｂに固定されている。 In addition, the grinding apparatus 1 provided with an AC servo motor, for example, uses a double-row angular contact ball bearing having two orbits with a combination of a reference inclination angle α and a swing angle β of + 30 ± 15 degrees and −30 degrees ± 15 degrees. Super-finishing can be performed with high accuracy in the same way as ball bearings.
FIG. 7 is a front view of another grinding apparatus 1B.
In the grinding apparatus 1B, the fixed shaft hole 22a of the rod 14a in the parallel link mechanism 7 is fixed to the swing transmission shaft 39B, and the fixed shaft hole 22b of the second vertical rod 14b is fixed to the driven shaft 38B.

揺動伝達軸３９Ｂは、従動プーリ４０に固定されて従動プーリ４０の正逆回動に伴って縦ロッド１４ａを揺動させる。従動軸３８Ｂは、縦ロッド１４ｂを矩形板状部分３６ａ，３６ｂに対して揺動可能に支持している。
研削装置１Ｂにおいて、研削装置１におけるものと同一の構成を有する部分については、図７において研削装置１におけるものと同一の符合を付し、その説明を省略する。超仕上げ加工における研削装置１Ｂの動作は、駆動モータ３４の正逆回動動作が縦ロッド１ａに伝達される点を除き研削装置１における動作と同一である。 The swing transmission shaft 39B is fixed to the driven pulley 40 and swings the vertical rod 14a as the driven pulley 40 rotates forward and backward. The driven shaft 38B supports the vertical rod 14b so as to be swingable with respect to the rectangular plate portions 36a and 36b.
In the grinding apparatus 1B, portions having the same configuration as that in the grinding apparatus 1 are denoted by the same reference numerals as those in the grinding apparatus 1 in FIG. The operation of the grinding apparatus 1B in the superfinishing process is the same as the operation in the grinding apparatus 1 except that the forward / reverse rotation operation of the drive motor 34 is transmitted to the vertical rod 1a.

研削装置１，１Ｂは、平行リンク機構７を採用し、超仕上げ砥石３０の揺動中心軸ＳＡを駆動モータ３４の回動軸心の延長上に配さないことで、従来の研削装置では装置を大型化させなければ超仕上げ加工ができなかった種々の大型の玉軸受の玉の軌道およびリニアガイドの長尺レールにおける玉転動溝を、大型化させることなく超仕上げ加工することができる。 The grinding apparatuses 1 and 1B employ the parallel link mechanism 7 and do not place the swing center axis SA of the superfinishing grindstone 30 on the extension of the rotational axis of the drive motor 34. It is possible to superfinish the ball raceways of various large ball bearings and the ball rolling grooves in the long rails of the linear guide without increasing the size of the ball bearings, which cannot be superfinished without increasing the size of the ball.

また、研削装置１，１Ｂは、玉軸受の外輪Ｗの軌道８５のような内周面に設けられた断面が凹状に湾曲する溝およびリニアガイドの長尺レールにおける玉転動溝の表面だけではなく、短円管等の内周面において断面が湾曲して内方に突出する環状帯または長い棒に長手方向に伸びる湾曲表面を有して突出するレールの表面の超仕上げ加工に用いることができる。 Further, the grinding devices 1 and 1B are formed only on the surface of the ball rolling groove in the long rail of the linear guide and the groove provided on the inner peripheral surface such as the raceway 85 of the outer ring W of the ball bearing. The inner surface of a short tube or the like is used for superfinishing of the surface of a protruding rail having a curved surface extending in the longitudinal direction on an annular band or a long bar that is curved inward and protruding inward. it can.

図８は研削装置１が角棒ＷＤの表面に突出するレール４８の表面を超仕上げ加工する様子を示す図である。超仕上げ砥石３０Ｄの先端面は、レール４８の湾曲する表面の曲率に略等しい曲率の凹状の湾曲面４６Ｄとなっている。超仕上げ砥石３０Ｄは、湾曲面４６Ｄの母線が揺動中心軸ＳＡと平行になるようにしてシリンダ装置１５に一体化されている。なお、このとき、湾曲面４６Ｄは、その法線が揺動中心軸ＳＡと交わる。 FIG. 8 is a diagram showing a state in which the grinding apparatus 1 superfinishes the surface of the rail 48 protruding from the surface of the square bar WD. The tip surface of the superfinishing grindstone 30 D is a concave curved surface 46 D having a curvature substantially equal to the curvature of the curved surface of the rail 48. The superfinishing grindstone 30D is integrated with the cylinder device 15 so that the generatrix of the curved surface 46D is parallel to the oscillation center axis SA. At this time, the normal surface of the curved surface 46D intersects the oscillation center axis SA.

超仕上げ砥石３０Ｄがシリンダ装置１５のロッドカバー２６から突出する長さは、凸状の湾曲面４６を有する超仕上げ砥石３０よりも短い。
研削装置１は、超仕上げ砥石３０Ｄの揺動中心軸ＳＡ、つまり揺動伝達軸３９の軸心および従動軸３８の軸心を含む仮想平面と、保持部材２７ａ，２７ｂの軸心および保持部材２７ｃ，２７ｄの軸心を含む仮想平面との交線が、超仕上げ砥石３０Ｄの湾曲面４６Ｄよりも外方となるように、角棒ＷＤのレール４８位置と関連づけて配される。 The length of the superfinishing grindstone 30 D protruding from the rod cover 26 of the cylinder device 15 is shorter than that of the superfinishing grindstone 30 having the convex curved surface 46.
The grinding apparatus 1 includes a swing center axis SA of the superfinishing grindstone 30D, that is, a virtual plane including the axis of the swing transmission shaft 39 and the axis of the driven shaft 38, the axes of the holding members 27a and 27b, and the holding member 27c. , 27d are arranged in association with the position of the rail 48 of the square bar WD so that the intersecting line with the virtual plane including the axis of 27d is outside the curved surface 46D of the superfinishing grindstone 30D.

研削装置１がレール４８の表面を超仕上げ加工するときの動作は、図５に示される軸玉受の外輪Ｗの軌道８５を超仕上げ加工する場合と同じである。
上述の実施形態において、第１ロッド部５および第２ロッド部６をそれぞれ単一の肉厚板材で形成してもよい。第１ロッド部５、第２ロッド部６、縦ロッド１４ａ，１４ｂおよびシリンダ装置１５は、６節の平行リンク機構７を構成するものであれば、上述した形態に限られない。 The operation when the grinding device 1 superfinishes the surface of the rail 48 is the same as that when the raceway 85 of the outer ring W of the bearing shown in FIG. 5 is superfinished.
In the above-described embodiment, each of the first rod portion 5 and the second rod portion 6 may be formed of a single thick plate material. The 1st rod part 5, the 2nd rod part 6, vertical rod 14a, 14b, and the cylinder apparatus 15 will not be restricted to the form mentioned above if it comprises the parallel link mechanism 7 of 6 nodes.

平行リンク機構として、第１ロッド部５および第２ロッド部６に加えてさらに１つまたは複数の横に伸びたロッドを設けてもよく、縦ロッド１４ａ，１４ｂに加えてさらに１つまたは複数の縦ロッドを設けてもよい。縦ロッド１４ａ，１４ｂに加えて設けられる縦ロッドは、第１ロッド部５および第２ロッド部６等の横方向に伸びたロッドのみを揺動可能に接続するものでも、さらにベース１６の支持部３３に揺動可能に支持されるものでもよい。 As the parallel link mechanism, one or more laterally extending rods may be provided in addition to the first rod part 5 and the second rod part 6, and in addition to the vertical rods 14a and 14b, one or more further ones or more may be provided. A vertical rod may be provided. The vertical rods provided in addition to the vertical rods 14a and 14b may connect only the laterally extending rods such as the first rod portion 5 and the second rod portion 6 so as to be swingable. It may be supported by 33 so as to be swingable.

平行リンク機構は、次の要件を満たせば研削装置に採用することができる。
例えば、研削装置１における６節の平行リンク機構７では、縦ロッド１４ａを貫通する軸部材３１ａ，３２ａおよび従動軸３８の位置関係と、縦ロッド１４ｂを貫通する軸部材３１ｂ，３２ｂおよび駆動伝達軸３９の位置関係とが同一であることを要する。ここで、「位置関係が同一」とは、軸部材３１ａおよび軸部材３２ａ間の距離と軸部材３１ｂおよび軸部材３２ｂ間の距離とが等しく、軸部材３１ａおよび従動軸３８間の距離と軸部材３１ｂおよび駆動伝達軸３９間の距離とが等しく、かつ軸部材３２ａおよび従動軸３８間の距離と軸部材３２ｂおよび駆動伝達軸３９間の距離とが等しいことをいう。また、シリンダ装置１５は、保持部材２７ａ，２７ｂの軸心、保持部材２７ｃ，２７ｄの軸心および超仕上げ砥石３０の設定揺動中心軸ＳＡの位置関係が、軸部材３１ｂ，３２ｂおよび駆動伝達軸３９の位置関係と同じになるように平行リンク機構７に組み込まれることを要する。 The parallel link mechanism can be employed in a grinding apparatus if it satisfies the following requirements.
For example, in the six-link parallel link mechanism 7 in the grinding apparatus 1, the positional relationship between the shaft members 31a and 32a and the driven shaft 38 that pass through the vertical rod 14a, and the shaft members 31b and 32b and the drive transmission shaft that pass through the vertical rod 14b. The positional relationship of 39 is required to be the same. Here, “the positional relationship is the same” means that the distance between the shaft member 31a and the shaft member 32a is equal to the distance between the shaft member 31b and the shaft member 32b, and the distance between the shaft member 31a and the driven shaft 38 is equal to the shaft member. The distance between 31b and the drive transmission shaft 39 is equal, and the distance between the shaft member 32a and the driven shaft 38 is equal to the distance between the shaft member 32b and the drive transmission shaft 39. Further, in the cylinder device 15, the positional relationship between the shaft centers of the holding members 27a and 27b, the shaft centers of the holding members 27c and 27d, and the set swing center axis SA of the superfinishing grindstone 30 is determined by the shaft members 31b and 32b and the drive transmission shaft. It is necessary to be incorporated in the parallel link mechanism 7 so as to have the same positional relationship as 39.

この要件を満たす平行リンク機構７は、当然に、縦ロッド１４ａを揺動可能に支持する軸部材３１ａと縦ロッド１４ｂを揺動可能に支持する軸部材３１ｂとの距離、縦ロッド１４ａを揺動可能に支持する軸部材３２ａと縦ロッド１４ｂを揺動可能に支持する軸部材３２ｂとの距離、および従動軸３８と駆動伝達軸３９との距離のいずれも等しく（Ｄ１）、軸部材３１ａと保持部材２７ａ，２７ｂの軸心との距離および駆動伝達軸３９と設定揺動中心軸ＳＡとの距離が等しい（Ｄ１＋Ｄ２、図９（ａ）参照）。 Naturally, the parallel link mechanism 7 that satisfies this requirement swings the vertical rod 14a by the distance between the shaft member 31a that supports the vertical rod 14a so as to swing and the shaft member 31b that supports the vertical rod 14b so that the vertical rod 14b can swing. Both the distance between the shaft member 32a that supports the shaft rod 32b and the shaft member 32b that supports the vertical rod 14b so as to swing and the distance between the driven shaft 38 and the drive transmission shaft 39 are equal (D1), and the shaft member 31a is held. The distance between the shaft centers of the members 27a and 27b and the distance between the drive transmission shaft 39 and the set swing center axis SA are equal (D1 + D2, see FIG. 9A).

６節の平行リンク機構は、上記要件を満たせば、軸部材３１ａと軸部材３２ａとの距離が軸部材３２ａと従動軸３８との距離に等しいか否かに拘わらず、研削装置１に採用することができる。
平行リンク機構７は、上記要件を満たせば、例えば、図１０（ａ），（ｂ）に示されるような、第１ロッド部５Ｄを揺動可能に支持する軸部材３１Ｄａ，３１Ｄｂおよび第１ロッド部５Ｄに揺動可能に支持される支持部材２７Ｄａ，２７Ｄｂのそれぞれの軸心が同一の仮想平面に存在しない場合、縦ロッド１４Ｄａおける軸部材３１Ｄａ，３２Ｄａ、従動軸３８Ｄのそれぞれの軸心が同一の仮想平面に存在せず、および（／または）縦ロッド１４Ｄｂおける軸部材３１Ｄｂ，３２Ｄｂ、従動軸３９Ｄのそれぞれの軸心が同一の仮想平面に存在しない場合、縦ロッド１４Ｄａの形状と縦ロッド１４Ｄｂの形状とが異なる場合、ならびに第１ロッド部５Ｅの形状と第２ロッド部６Ｅの形状とが異なる場合であっても、超仕上げ砥石を設定揺動中心軸ＳＡ廻りに揺動させることができる。 The six-link parallel link mechanism is employed in the grinding apparatus 1 regardless of whether or not the distance between the shaft member 31a and the shaft member 32a is equal to the distance between the shaft member 32a and the driven shaft 38, provided that the above requirements are satisfied. be able to.
If the parallel link mechanism 7 satisfies the above requirements, the shaft members 31Da, 31Db and the first rod that support the first rod portion 5D so as to be swingable as shown in FIGS. 10 (a) and 10 (b), for example. When the shaft centers of the support members 27Da and 27Db that are swingably supported by the portion 5D do not exist on the same virtual plane, the shaft members 31Da and 32Da and the driven shaft 38D have the same shaft center in the vertical rod 14Da. And / or the axial members 31Db and 32Db and the driven shaft 39D of the longitudinal rod 14Db do not exist in the same virtual plane, the shape of the longitudinal rod 14Da and the longitudinal rod 14Db Even if the shape of the first rod portion 5E and the shape of the second rod portion 6E are different, the superfinishing grindstone is set to the center It can be swung to the SA around.

上記要件は、平行リンク機構として６節の平行リンク機構７以外のもの、例えば８節の平行リンク機構または９節のリンク機構等を採用する場合にも当てはまる。
また、超仕上げ砥石３０，３０Ｄをシリンダ装置１５のロッドとして構成せず、第１ロッド部５および第２ロッド部６に揺動可能に支持されるホルダに保持させてもよい。その場合、超仕上げ砥石３０，３０Ｄを被研削面に押圧させるために、例えば平行リンク機構７およびこれを支持する支持部３０が押圧用のシリンダ装置に連結される。 The above requirements also apply when a parallel link mechanism other than the 6-node parallel link mechanism 7 is employed, for example, an 8-node parallel link mechanism or a 9-node link mechanism.
Further, the superfinishing grindstones 30 and 30 D may not be configured as the rods of the cylinder device 15, but may be held by holders that are swingably supported by the first rod portion 5 and the second rod portion 6. In that case, in order to press the superfinishing grindstones 30 and 30 D against the surface to be ground, for example, the parallel link mechanism 7 and the support portion 30 that supports the parallel link mechanism 7 are connected to a pressing cylinder device.

第１ロッド部および第２ロッド部を、例えば肉抜きされた１枚の厚板で形成してもよい。
その他、研削装置１，１Ｂおよび研削装置１，１Ｂの各構成または全体の構造、形状、寸法、個数、材質などは、本発明の趣旨に沿って適宜変更することができる。 For example, the first rod portion and the second rod portion may be formed of a single thick plate that has been thinned.
In addition, each structure of grinding device 1,1B and grinding device 1,1B, or the whole structure, shape, dimension, number, material, etc. can be suitably changed according to the meaning of the present invention.

本発明は、例えば深溝玉軸受、アンギュラ玉軸受、スラスト玉軸受等の玉軸受の玉の軌道、およびリニアガイドのレールにおける玉転動溝等の超仕上げ加工に利用することができる。 The present invention can be used for superfinishing of ball raceways of ball bearings such as deep groove ball bearings, angular ball bearings, thrust ball bearings, and ball rolling grooves in linear guide rails.

図１は研削装置の正面図である。FIG. 1 is a front view of the grinding apparatus. 図２は研削装置の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the grinding apparatus. 図３は研削装置におけるシリンダ装置の側面断面図である。FIG. 3 is a side sectional view of a cylinder device in the grinding device. 図４は制御装置の概略図である。FIG. 4 is a schematic diagram of the control device. 図５は玉軸受の外輪の軌道を超仕上げ加工する様子を示す図である。FIG. 5 is a view showing a state of superfinishing the raceway of the outer ring of the ball bearing. 図６は玉軸受の外輪の軌道を超仕上げ加工する様子を示す図である。FIG. 6 is a view showing a state of superfinishing the raceway of the outer ring of the ball bearing. 図７は他の研削装置の正面図である。FIG. 7 is a front view of another grinding apparatus. 図８は角棒の突出するレール表面を超仕上げ加工する様子を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a state in which the rail surface from which the square bar protrudes is superfinished. 図９は他の研削装置の超仕上げ加工する様子を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a state of superfinishing by another grinding apparatus. 図１０は他の研削装置の超仕上げ加工する様子を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a state of superfinishing by another grinding apparatus. 図１１は従来の研削装置の正面図である。FIG. 11 is a front view of a conventional grinding apparatus. 図１２は従来の研削装置が玉軸受の外輪の軌道を超仕上げ加工する様子を示す図である。FIG. 12 is a view showing a state in which a conventional grinding apparatus superfinishes the raceway of the outer ring of a ball bearing. 図１３は従来の研削装置がリニアガイドのレールにおける玉転動溝を超仕上げ加工する様子を示す図である。FIG. 13 is a view showing a state in which a conventional grinding apparatus superfinishes a ball rolling groove in a rail of a linear guide.

１，１Ｂ研削装置
７平行リンク機構
１４ａ，１４ｂ，１４Ｄａ，１４Ｄｂ縦ロッド
１５ホルダ（シリンダ装置）
２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ，２７Ｄａ，２７Ｄｂ揺動軸（保持部材）
３０，３０Ｄ超仕上げ砥石
３１ａ，３１ｂ，３１Ｄａ，３１Ｄｂ揺動軸（軸部材）
３２ａ，３２ｂ，３２Ｄａ，３２Ｄｂ揺動軸（軸部材）
３８，３８Ｂ，３８Ｄ従動軸
３９，３９Ｂ，３９Ｄ揺動伝達軸
４６，４６Ｄ研削面（超仕上げ砥石の先端の湾曲面）
ＳＡ揺動中心軸 1,1B Grinding device 7 Parallel link mechanism 14a, 14b, 14Da, 14Db Vertical rod 15 Holder (cylinder device)
27a, 27b, 27c, 27d, 27Da, 27Db Oscillating shaft (holding member)
30, 30D Superfinishing wheel 31a, 31b, 31Da, 31Db Oscillation shaft (shaft member)
32a, 32b, 32Da, 32Db Oscillating shaft (shaft member )
3 8,38B, 38D driven shaft 39,39B, 39D swing transmission shaft 46,46D ground surface (curved surface of the tip of the superfinishing grindstone)
SA oscillation center axis

Claims

A plurality of horizontal rods, two or more vertical rods, a holder for holding a superfinishing grindstone, and a plurality of rocking shafts that pivotably connect the vertical rod and the holder to the horizontal rods so as to be rockable Having a parallel link mechanism formed;
One of said longitudinal rod, one end is fixed to a position immobile oscillating transmission shaft to be normally and reversely rotated outside of the parallel link mechanism,
One other of at least the longitudinal rod has one end, which is pivotably supported by the driven shaft around the position immobile in the swing transmission shaft external of the parallel link mechanism arranged side
The holder is
In said plurality of transverse rods than said longitudinal rod to a possible holding of the two or more super-finishing grindstone as the grinding surface on the side of the swing transmission shaft is disposed in the outside of the parallel link mechanism is located Connected to one end side in the longitudinal direction,
Wherein each of the positional relationship between the pivot shaft and the swing transmission shaft, connecting the other one of the plurality of transverse rods of the vertical rod connecting the said one of the plurality of transverse rods of the vertical rod The corresponding positional relationship in the swing shaft and the driven shaft is the same,
And each positional relationship of the said rocking | fluctuation axis | shaft which connects the said holder and the said some horizontal rod is each corresponding position in the said rocking | fluctuation axis | shaft which connects the said one of the said vertical rod and the said some horizontal rod. A grinding device characterized by the same relationship.

Said one of said longitudinal rod fixed to the swing transmission shaft, said the connection side of the holder in a plurality of transverse rods are consolidated on the other end side of the opposite longitudinal directions,
The grinding apparatus according to claim 1, wherein the other one of the vertical rods is coupled to the plurality of horizontal rods between the one of the vertical rods and the holder.

Wherein any regard to a plurality of transverse rod-de, prior Symbol said one of the vertical rods, the longitudinal one of said other rod and the connecting holder and said transverse rod the swing axis on the same virtual plane grinding device according to claim 1 or claim 2 has been made shaped to present in.

Having a superfinishing grindstone held by the holder;
The superfinishing wheel is
The holder has a convex or concave curved grinding surface at the tip, and the normals of a plurality of portions of the grinding surface intersect with the rocking central axis of the holder when the rocking transmission shaft is rotated forward and backward. grinding device according to any one of claims 1 to claim 3 which is held in

The holder Ri Shi cylinder device der,
In the cylinder device, a rod is formed with the superfinishing grindstone.
Grinding device according to 請 Motomeko 4