JP4508463B2

JP4508463B2 - Manual open / close jig for container lid

Info

Publication number: JP4508463B2
Application number: JP2001122843A
Authority: JP
Inventors: 忠晴田代; 直人渡辺
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2001-04-20
Filing date: 2001-04-20
Publication date: 2010-07-21
Anticipated expiration: 2021-04-20
Also published as: JP2002319615A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板の収納、気密状態での搬送や保管等に使用される容器の蓋体用手動開閉治具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の基板収納容器は、図示しないが、単数複数枚の基板(例えば、半導体ウェーハ等)を整列収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面をシール状態に閉鎖する着脱自在の蓋体と、この蓋体に内蔵されてこれを解錠あるいは施錠するラッチ機構とを備えている。このラッチ機構は、蓋体の表面側から操作可能なキー穴を有する回転プレートと、この回転プレートの一方向への回転時には容器本体正面の係止穴から外れて容器本体を密封閉鎖する蓋体を取り外し可能とし、回転プレートの他方向への回転時には蓋体外周から容器本体正面の係止穴に嵌合係止して蓋体の閉鎖状態を維持する係止片とから構成されている。このような構成の基板収納容器は、通常は加工装置に連結され、高価な自動の蓋体開閉装置により蓋体が開閉操作された後、必要な処理が基板に施される。
【０００３】
すなわち、加工装置に基板収納容器が搭載されて連結されると、容器本体のフランジと蓋体開閉装置の蓋体カバー部材とがシール状態に当接し、蓋体表面のキー孔に蓋体開閉装置のキーが挿通されて９０°回転し、蓋体のラッチ機構が解錠されて容器本体から蓋体が取り外される。こうして容器本体の正面が開口したら、基板は、容器本体からローディングされて加工装置内に取り込まれ、加工処理された後、アンローディングされて加工装置から容器本体に整列収納される。そして、全ての処理の終了後、容器本体に蓋体が再度嵌合され、ラッチ機構が施錠されて基板収納容器が密封される。
【０００４】
ところで、蓋体開閉装置は、半導体製造の全工程で使用されることが望ましいが、実際には技術的、経済的理由等、様々な理由からきわめて困難である。また、緊急時、試験時、検査時等には、蓋体を自動ではなく、手動で開閉操作しなければならないことがある。
そこで従来、蓋体は、緊急時、試験時、検査時等の必要な場合に手動で開閉操作される。具体的には、蓋体表面のキー孔に、別体である治具のキーを挿通して９０°回転させることにより、蓋体を開閉操作する。また、ラッチ機構の回転プレートに手動式のハンドルを軸支させ、このハンドルを起立させて回転プレートを回転させ、蓋体を開閉操作する方法もある(特開平１１‐９１８６５号公報参照)。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来、蓋体は、以上のような方法で手動開閉操作されていたが、上記の方法には以下に示す問題がある。先ず、別体の治具を使用する方法の場合には、通常、蓋体内にラッチ機構の左右一対の回転プレートが内蔵されているので、両手を使用して蓋体表面の左右のキー孔に治具のキーをそれぞれ挿通し、回転操作しなければならない。したがって、使用した治具をどこかに置かなくては、次の操作をすることができないので、作業の円滑化、簡素化、迅速化を図ることができない。また、治具は、比較的小さな物品なので、操作中に落としたり、紛失し易いという問題もある。
【０００６】
次に、手動式のハンドルを使用する方法の場合、紛失のおそれはないものの、やはり両手を使用せざるを得ないので、使用した治具を載置台等に置かなくては、次の操作に移ることができない。したがって、上記同様、作業の円滑化や迅速化等を図ることができず、しかも、蓋体接触部の汚染のおそれすらある。さらに、ラッチ機構の回転プレートにハンドルを取り付けるのは便利ではあるが、誰でも蓋体を開けることができるので、必要ない時に蓋体を誤って開けてしまったり、基板を汚染させる悪環境で蓋体を誤って開けるおそれがあるという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みなされたもので、片手でも使用することができ、落としたり、紛失するおそれ等を抑制防止し、蓋体を誤って開けるおそれの少ない容器の蓋体用手動開閉治具を提供することを目的としている。
【０００８】
本発明においては上記課題を解決するため、容器本体の開口部を閉鎖する蓋体と、この蓋体に内蔵され、回転プレートが一方向に回転する場合には容器本体の開口部を閉鎖した蓋体を解錠し、回転プレートが他方向に回転する場合には容器本体の開口部を閉鎖する蓋体を施錠するラッチ機構と、このラッチ機構の回転プレートを回転させる蓋体とは別体の手動開閉治具とを備えたものにおいて、
手動開閉治具は、蓋体に対向する中空の筐体と、この筐体内に回転可能に軸支される駆動歯車と、この駆動歯車の外周部に回転可能に軸支されて筐体の外部に突出する操作用の操作部材と、筐体の表面に回転可能に支持されてラッチ機構の回転プレートに着脱自在に接続される操作キーと、駆動歯車と噛み合い、操作部材の回転に基づく動力を操作キーに伝達して回転させる動力伝達部材とを含み、筐体内と駆動歯車の外周部との間に、駆動歯車の必要以上の回転を規制する抑制部材を架設し、
操作部材が押さえられて動作する場合には、駆動歯車が一方向に回転して動力伝達部材を動作させ、操作キーが一方向に回転してラッチ機構の回転プレートに接続可能となり、動作した操作部材が復帰する場合には、駆動歯車が他方向に回転して動力伝達部材を動作させ、操作キーが他方向に回転してラッチ機構の回転プレートを回転させることにより、容器本体を閉鎖した蓋体を解錠状態にすることを特徴としている。
【０００９】
なお、手動開閉治具の筐体に、取り外される蓋体起立用のスタンドを取り付けることができる。
また、動力伝達部材を、筐体に内蔵されるラックあるいはエンドレスのタイミングベルトとすることができる。
【００１０】
ここで、特許請求の範囲における容器本体は、少なくともフロントやトップ等の一面が開口していれば良く、複数の面が開口していても良い。この容器本体は、透明でも良いし、そうでなくても良い。容器本体には、主に基板が収納されるが、この基板には、少なくとも単数又は複数枚(例えば、１３枚、２５枚、２６枚)の半導体ウェーハやガラス基板等が含まれる。勿論、容器本体に基板以外の物品を単数複数収納することも可能である。また、ラッチ機構の回転プレートは、一対が主であるが、必要に応じて増減することができる。
【００１１】
手動開閉治具の操作部材は、筐体の上部から突出する構成でも良いし、筐体の下部、側部等から突出する構成でも良い。この操作部材は、筐体に駆動歯車を介し間接的に支持されるのが主であるが、筐体に直接的に支持されるものでも良い。操作部材と操作キーとは、それぞれ回転するが、この回転という用語には回動や揺動が含まれる。また、動力伝達部材には、少なくともラック、エンドレスのベルト、歯車等が含まれる。単数複数のスタンドは、筐体に回転可能(揺動含む)、着脱自在等に取り付けることができる。さらに、抑制部材として、単数複数の板バネ、コイルバネ、ワイヤ等を使用することができる。
【００１２】
本発明によれば、手動開閉治具を使用して蓋体を開閉操作する場合には、手動開閉治具の操作部材を動作させる。すると、この操作部材の動作により、駆動歯車が一方向に回転して動力伝達部材を動作させ、操作キーが一方向に回転する。これにより、ラッチ機構の回転プレートに操作キーを接続することができる。操作部材を復帰させると、駆動歯車が他方向に回転して動力伝達部材を動作させ、操作キーが他方向に回転して元の位置に復帰する。操作キーが元の位置に復帰すると、蓋体の回転プレートも回転し、容器本体を閉鎖した蓋体を解錠する。
このように手動開閉治具は、操作部材の動作時には蓋体の回転プレートに操作キーが接続され、操作部材の復帰時には蓋体の回転プレートと操作キーが回転して抜けなくなり、蓋体と合体する。これにより、蓋体を容器本体から取り外すことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における容器の蓋体用手動開閉治具は、図１ないし図１４に示すように、容器本体１の開口部である正面を枠形のシール部材８を介して密封閉鎖する蓋体１０と、この蓋体１０に内蔵され、各回転プレート２１の正転により容器本体１を閉鎖した蓋体１０を解錠して取り外し可能とし、各回転プレート２１の逆転により容器本体１を閉鎖する蓋体１０を施錠するロック手段であるラッチ機構２０と、このラッチ機構２０の各回転プレート２１を回転させる別体の手動開閉治具３０とを備えている。
【００１４】
容器本体１は、図１に示すように、十分な強度や剛性を有するポリカーボネートやポリブチレンテレフタレート等の熱可塑性樹脂を使用して透明のフロントオープンボックスタイプに形成され、図示しない半導体ウェーハ(例えば、３００ｍｍのシリコンウェーハ)からなる複数枚の基板を上下に整列収納する。この内部が目視可能な容器本体１は、その正面内周の上下に複数の係止穴２がそれぞれ凹み形成され、内部両側壁には略棚形の支持部４がそれぞれ配設されており、この一対の支持部４に複数枚の基板が一定間隔で水平に支持される。
なお、容器本体１の内部背面に、基板のリア側端部と接触してこれを支持する略矩形のリアリテーナを設けても良い。
【００１５】
容器本体１の底面の前部両側と後部中央とには、位置決め手段として機能する図示しないＶグルーブがそれぞれ形成され、この複数のＶグルーブに図示しないボトムプレートが着脱自在に嵌合保持される。また、容器本体１の天井中央部には、図示しない搬送ロボットに把持されるロボティックハンドル５が選択的に装着される。容器本体１の両側壁下部には、搬送用のボトムレール６がそれぞれ選択的に装着され、容器本体１の両外側壁上部には、手動操作用のマニュアルハンドル７がそれぞれ選択的に装着される。
【００１６】
蓋体１０は、図１に示すように、断面略コ字、略Ｕ字のケース１１と、このケース１１の開口した表面を覆う表面プレート１２とから中空構造に構成される。ケース１１は、その立面に略矩形のフロントリテーナ３が装着され、周壁の上下部には、左右一対の貫通孔１３がそれぞれ穿孔されており、各貫通孔１３が容器本体１の係止穴２に対向する。また、表面プレート１２の左右には、図示しない蓋体開閉装置のキーに挿通される左右一対のキー孔１４がそれぞれ穿孔されている。
【００１７】
ラッチ機構２０は、図２ないし図５に示すように、蓋体１０のケース１１内に回転可能に軸支される左右一対の回転プレート２１と、各回転プレート２１に連結されて蓋体１０の上下方向に指向する複数枚の動力伝達プレート２４と、蓋体１０の内部外周に軸支されて動力伝達プレート２４に軸支される出没可能な複数の係止片２７とから構成され、各回転プレート２１の正転時には容器本体１正面の係止穴２から蓋体１０の貫通孔１３内に係止片２７を退没させ、各回転プレート２１の逆転時には蓋体１０外周の貫通孔１３から突出した係止片２７を容器本体１の係止穴２に嵌合係止するよう機能する。各回転プレート２１は、断面略凸字に形成され、表面外周には一対の嵌合溝２２が１８０°の間隔でそれぞれ略半円弧形に切り欠かれている。回転プレート２１の突出した中心部の表面には、蓋体開閉装置のキー用のキー穴２３が凹み形成されている。
【００１８】
各動力伝達プレート２４は、細長い長方形の板に形成され、蓋体１０のケース１１内に複数のガイド２５を介し上下方向にスライド可能に支持される。この動力伝達プレート２４の下端部又は上端部は、略半円弧形に形成されるとともに、連結ピン２６が突設されており、この連結ピン２６に回転プレート２１の嵌合溝２２が嵌入されている。また、各係止片２７は、例えば略Ｌ字形に形成され、ケース１１の貫通孔１３近傍にピンを介し回転可能に軸支されており、動力伝達プレート２４の自由端部にピンを介し回転可能に連結軸支されている。
【００１９】
このような構成のラッチ機構２０は、図２、図３において、蓋体１０表面の各キー孔１４に蓋体開閉装置のキーが挿通されて９０°回転すると、各回転プレート２１が回転して動力伝達プレート２４を上下方向、換言すれば、蓋体１０の貫通孔１３方向にスライドさせる。すると、各係止片２７が弧を描きながら揺動して蓋体１０の貫通孔１３から突出し、この突出した各係止片２７が容器本体１の係止穴２に嵌入して容器本体１を閉鎖した蓋体１０を強固に施錠する(図４、図５参照)。
【００２０】
手動開閉治具３０は、図６ないし図１４に示すように、横長の長方形の筐体３１と、この筐体３１内に軸支される駆動歯車３４と、この駆動歯車３４に軸支される操作部材である操作レバー３５と、筐体３１の表面左右にそれぞれ軸支されて対向する回転プレート２１のキー穴２３に着脱自在に接続される回転可能な一対の操作キー３７と、操作レバー３５の回転に基づく動力を各操作キー３７に伝達して回転させる動力伝達部材であるラック４３とから構成されている。
【００２１】
筐体３１は、図６や図８に示すように、各種の合成樹脂を使用して細長い中空に形成され、その内部には略Ｌ字形のスタンド３２がピンを介して起伏可能、揺動可能に軸支されており、このスタンド３２が蓋体１０の手動開閉操作時に下方に突出して起立する(図６の矢印参照)。この筐体３１の上部側方寄りには図７に示すように、矩形の貫通口３３が穿孔されている。
【００２２】
駆動歯車３４は、図６や図９に示すように、その周面に多数の歯を並べ備えたピニオンからなり、筐体３１の側方寄りに回転可能に軸支されており、非中心部である表面外周部には、揺動可能な操作レバー３５が偏心して軸支されるとともに、この操作レバー３５が筐体３１の貫通口３３を貫通して斜め外部上方に突出する。駆動歯車３４の表面の上下外周部と筐体３１の左右間には図１３に示すように、抑制部材であるコイルバネ３６がそれぞれ張架され、各コイルバネ３６が駆動歯車３４の余剰回転を有効に規制したり、筐体３１の貫通口３３との接触に伴う操作レバー３５の損傷等を防止する。
【００２３】
各操作キー３７は、図６ないし図１０等に示すように、筐体３１に軸支される回転軸３８と、この回転軸３８の先端部に螺着固定されて蓋体１０の表面プレート１２に接触する当接体４１とから構成されている。回転軸３８は、その最先端部に回転プレート２１のキー穴２３に挿入される略Ｔ字のキー３９が突出形成され、末端部にはラック４３と噛合する伝達歯車４０が嵌着されている。キー３９は、蓋体開閉装置のキーと同様に構成されている。また、当接体４１は、相互に重なるダブルナット構造の一対の円形ナット４２を備え、各円形ナット４２の貫通孔の内周面には左螺子が螺刻されており、この左螺子に筐体３１から突出した回転軸３８の先端部の螺子が螺嵌される。
【００２４】
なお、各円形ナット４２が回転しないようノックピン等で筐体３１に固定し、円形ナット４２の左螺子の締め代を０．５〜２ｍｍに設定すれば、当接体４１が回転軸３８の回転に伴い左螺子の締め代分、キー３９の突出方向に僅かに移動し、蓋体１０との当接時にキー穴２３とキー３９のガタツキを吸収することが可能となる。
【００２５】
さらに、ラック４３は、図６、図７、図９、図１０、図１３、図１４等に示すように、筐体３１の内部下方にスライドレールやリニアモーションベアリング等の補助部材４４を介し水平に内蔵されている。このラック４３は、駆動歯車３４と各伝達歯車４０にそれぞれ噛合し、駆動歯車３４の回転に伴い図６の左右方向にスライドして各伝達歯車４０、すなわち各操作キー３７を回転させる。
【００２６】
上記構成において、手動開閉治具３０を使用して蓋体１０を手動で開閉操作する場合には、先ず図９に示すように、手動開閉治具３０の操作レバー３５を片手の指で押さえて倒し、筐体３１の上部から操作レバー３５が露出しないようにする。すると、操作レバー３５の揺動に伴い、駆動歯車３４が時計方向に回転してラック４３を左方向にスライドさせ、各伝達歯車４０、換言すれば、各操作キー３７が時計方向に回転して水平方向に指向(図６参照)するキー３９を９０°回転させ、キー３９が鉛直方向に指向する(図９参照)。これにより、蓋体１０の各キー穴２３に手動開閉治具３０のキー３９を挿入することが可能となる。
【００２７】
次いで、指を離して操作レバー３５を復帰起立させると、操作レバー３５の起立に伴い、駆動歯車３４が一のコイルバネ３６の収縮により反時計方向に回転してラック４３を右方向にスライドさせ、各伝達歯車４０、換言すれば、各操作キー３７が反時計方向に回転して鉛直方向に指向するキー３９を９０°回転させ、キー３９が元の水平方向に指向する。こうしてキー３９が９０°回転すると、蓋体１０の各回転プレート２１もキー穴２３を介して９０°回転し、動力伝達プレート２４が蓋体１０の反貫通孔１３方向にスライドする。すると、突出していた各係止片２７が弧を描きながら揺動復帰して蓋体１０の貫通孔１３内に退没し、この係止片２７が容器本体１の係止穴２から外れて容器本体１を閉鎖した蓋体１０を解錠状態にする。
【００２８】
このように手動開閉治具３０は、操作レバー３５の倒れた状態で蓋体１０の各キー穴２３にキー３９が挿入され、操作レバー３５の起立した状態で蓋体１０の各キー穴２３とキー３９が９０°回転して抜けなくなり、蓋体１０と係合する。これにより、蓋体１０を容器本体１から取り外すことができる。この際、筐体３１のスタンド３２を下方に突出させて蓋体１０に対して垂直状態に起立させれば、図８に示すように、手動操作で取り外した蓋体１０を支持し、自立させることができるとともに、蓋体１０内面の汚染のおそれを有効に抑制防止することができる。
【００２９】
逆に、蓋体１０を容器本体１の開口した正面に嵌合する場合には、上記操作と逆に操作すれば良い。すなわち、容器本体１の開口した正面に、ラッチ機構２０が解錠状態の蓋体１０を嵌合させ、手動開閉治具３０の操作レバー３５を片手の指で押さえて倒せば、各操作キー３７が時計方向に回転してキー３９を９０°回転させ、ラッチ機構２０が施錠する。この際、キー穴２３とキー３９が平行状態になるので、蓋体１０から手動開閉治具３０を取り外すことが可能になる。
【００３０】
上記構成によれば、別体の治具を使用したり、両手を使用して回転操作するのではなく、片手でワンタッチ操作するので、使用した手動開閉治具３０を台等に置かなくても、次の操作にきわめて容易に移行することができ、作業の著しい円滑化、簡素化、迅速化を図ることができる。また、スタンド３２を使用すれば、台等に置いた蓋体１０にパーティクルが付着して汚染するおそれもない。また、手動開閉治具３０は、従来の治具に比べ、比較的大きいので、操作中に落としたり、紛失するおそれを大幅に減少させることができる。
【００３１】
また、ラッチ機構２０の回転プレート２１にハンドルを取り付けるものではないから、ＩＤ管理下の特定の作業員のみに蓋体１０を開けさせることが可能になる。したがって、必要ない時に蓋体１０を誤って開けたり、基板を汚染させる悪環境で蓋体１０を誤って開けるおそれもない。さらに、動力の伝達に駆動歯車３４、伝達歯車４０、ラック４３を使用するので、滑りがなく、強力な動力の伝達が大いに期待できる。
【００３２】
次に、図１５、図１６は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、手動開閉治具３０の動力伝達部材をラック４３ではなく、駆動歯車３４と噛合するエンドレスのタイミングベルト５０とし、このタイミングベルト５０を筐体３１の内部左右間にプーリ５１を介して緊張巻架し、各プーリ５１を各操作キー３７の回転軸３８に伝達歯車４０の代わりに嵌着するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３３】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、歯車機構ではなく、タイミングベルト５０を使用するので、動作が円滑で実に静かである。
【００３４】
なお、上記実施形態のラッチ機構２０を、各回転プレート２１の逆転により容器本体１を閉鎖した蓋体１０を解錠して取り外し可能とし、各回転プレート２１の正転により容器本体１を閉鎖する蓋体１０を施錠するよう構成しても良い。また、回転プレート２１の表面外周に一対の連結ピン２６を１８０°の間隔でそれぞれ突設し、動力伝達プレート２４の下端部又は上端部に嵌合溝２２を形成し、この嵌合溝２２と連結ピン２６とを嵌入しても良い。また、操作レバー３５は、操作者の利き腕に合わせて筐体３１の左右いずれからでも突出させることができる。また、この操作レバー３５の代わりに押しボタン等を操作部材として利用することもできる。この場合、駆動歯車３４をモータで回転させることが好適である。さらに、動力の伝達にラック４３やタイミングベルト５０ではなく、複数の歯車等を並べて使用することもできる。
【００３５】
以上のように本発明によれば、手動開閉治具を片手でも使用することができ、落としたり、紛失等するおそれを有効に抑制あるいは防止することができる。また、蓋体を誤って開けるおそれが少ないという効果がある。さらに、動力の伝達に駆動歯車を使用するので、滑りがなく、強力な動力の伝達が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る容器の蓋体用手動開閉治具の実施形態を示す全体斜視説明図である。
【図２】本発明に係る容器の蓋体用手動開閉治具の実施形態におけるラッチ機構の解錠状態を示す説明図である。
【図３】図２のＩＩＩ‐ＩＩＩ線断面図である。
【図４】本発明に係る容器の蓋体用手動開閉治具の実施形態におけるラッチ機構の施錠状態を示す説明図である。
【図５】図４のＶ‐Ｖ線断面図である。
【図６】本発明に係る容器の蓋体用手動開閉治具の実施形態における手動開閉治具を示す正面図である。
【図７】図６の平面図である。
【図８】本発明に係る容器の蓋体用手動開閉治具の実施形態における手動開閉治具のスタンド使用状態を示す側面図である。
【図９】本発明に係る容器の蓋体用手動開閉治具の実施形態における手動開閉治具の使用開始状態を示す説明図である。
【図１０】本発明に係る容器の蓋体用手動開閉治具の実施形態における手動開閉治具の操作キー等を示す断面説明図である。
【図１１】本発明に係る容器の蓋体用手動開閉治具の実施形態における手動開閉治具を蓋体に接続した状態を示す断面説明図である。
【図１２】本発明に係る容器の蓋体用手動開閉治具の実施形態における手動開閉治具を蓋体に接続して解錠した状態を示す断面説明図である。
【図１３】本発明に係る容器の蓋体用手動開閉治具の実施形態における手動開閉治具のラックを示す説明図である。
【図１４】図１３の要部を示す拡大説明図である。
【図１５】本発明に係る容器の蓋体用手動開閉治具の第２の実施形態を示す説明図である。
【図１６】図１５の要部を示す拡大説明図である。
【符号の説明】
１容器本体
２係止穴
１０蓋体
１１ケース
１２表面プレート
１３貫通孔
１４キー孔
２０ラッチ機構
２１回転プレート
２３キー穴
２７係止片
３０手動開閉治具
３１筐体
３２スタンド
３３貫通口
３４駆動歯車
３５操作レバー(操作部材)
３６コイルバネ(抑制部材)
３７操作キー
３９キー
４３ラック(動力伝達部材)
５０タイミングベルト(動力伝達部材)[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a manual opening / closing jig for a lid of a container used for storage of a substrate, transportation and storage in an airtight state, and the like.
[0002]
[Prior art]
A conventional substrate storage container is not shown, but a container body for aligning and storing a plurality of substrates (e.g., semiconductor wafers), and a detachable lid for closing the open front of the container body in a sealed state. And a latch mechanism incorporated in the lid for unlocking or locking the lid. The latch mechanism includes a rotary plate having a key hole that can be operated from the front surface side of the lid, and a lid that seals and closes the container main body when the rotary plate rotates in one direction and is released from the locking hole on the front of the container main body. And a locking piece that fits and locks from the outer periphery of the lid body into the locking hole on the front surface of the container body to maintain the closed state of the lid body when rotating the rotation plate in the other direction. The substrate storage container having such a configuration is usually connected to a processing apparatus, and after the lid is opened / closed by an expensive automatic lid opening / closing device, necessary processing is performed on the substrate.
[0003]
That is, when the substrate storage container is mounted and connected to the processing apparatus, the flange of the container body and the lid cover member of the lid opening / closing device abut against each other in a sealed state, and the lid opening / closing device is inserted into the key hole on the lid surface. The key is inserted and rotated by 90 °, the latch mechanism of the lid is unlocked, and the lid is removed from the container body. When the front surface of the container main body is thus opened, the substrate is loaded from the container main body, taken into the processing apparatus, processed, unloaded, and aligned and stored in the container main body from the processing apparatus. And after completion | finish of all the processes, a cover body is again fitted to a container main body, a latch mechanism is locked, and a board | substrate storage container is sealed.
[0004]
By the way, it is desirable that the lid opening / closing device be used in all processes of semiconductor manufacturing, but in practice it is extremely difficult for various reasons such as technical and economic reasons. In an emergency, a test, an inspection, etc., it may be necessary to open and close the lid manually instead of automatically.
Therefore, conventionally, the lid is manually opened and closed when necessary in an emergency, a test, an inspection, or the like. Specifically, the lid is opened and closed by inserting a key of a separate jig through the key hole on the surface of the lid and rotating it by 90 °. Further, there is a method in which a manual handle is pivotally supported on the rotary plate of the latch mechanism, the handle is raised, the rotary plate is rotated, and the lid is opened and closed (see JP-A-11-91865).
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
Conventionally, the lid has been manually opened and closed by the above method, but the above method has the following problems. First, in the case of using a separate jig, the pair of left and right rotating plates of the latch mechanism are usually built in the lid, so use both hands to open the left and right key holes on the lid surface. Each jig key must be inserted and rotated. Therefore, since the next operation cannot be performed without placing the used jig somewhere, it is not possible to facilitate, simplify, and speed up the work. In addition, since the jig is a relatively small article, there is a problem that it is easily dropped or lost during operation.
[0006]
Next, in the case of a method using a manual handle, although there is no risk of losing it, you still have to use both hands, so you need to put the used jig on the mounting table etc. I can't move. Accordingly, as described above, the work cannot be smoothed or speeded up, and the lid contact portion may even be contaminated. In addition, it is convenient to attach the handle to the rotating plate of the latch mechanism, but anyone can open the lid, so that it can be accidentally opened when it is not needed, or it can be used in adverse environments that contaminate the board. There is a problem that the body can be opened accidentally.
[0007]
The present invention has been made in view of the above, and can be used with one hand, suppresses and prevents the possibility of dropping or losing, and the manual opening / closing jig for a lid of a container that is less likely to be accidentally opened. The purpose is to provide.
[0008]
In order to solve the above-mentioned problems in the present invention, a lid that closes the opening of the container body, and a lid that is built in the lid and closes the opening of the container body when the rotating plate rotates in one direction. When the body is unlocked and the rotating plate rotates in the other direction, the latch mechanism that locks the lid that closes the opening of the container body, and the lid that rotates the rotating plate of the latch mechanism are separate. In those equipped with a manual opening and closing jig ,
The manual opening / closing jig includes a hollow housing facing the lid, a drive gear rotatably supported in the housing, and a shaft rotatably supported on the outer periphery of the drive gear. An operation member that protrudes into the housing, an operation key that is rotatably supported on the surface of the housing and is detachably connected to the rotation plate of the latch mechanism, and a drive gear that meshes with the drive member to generate power based on the rotation of the operation member. Including a power transmission member that is transmitted to the operation key to be rotated, and a suppression member that restricts unnecessary rotation of the drive gear is installed between the inside of the housing and the outer peripheral portion of the drive gear,
When the operation member is pressed and operated, the drive gear rotates in one direction to operate the power transmission member, and the operation key rotates in one direction and can be connected to the rotating plate of the latch mechanism. When the member returns, the driving gear rotates in the other direction to operate the power transmission member, and the operation key rotates in the other direction to rotate the rotating plate of the latch mechanism, thereby closing the lid of the container body. It is characterized by the body being unlocked .
[0009]
Note that a stand for raising the lid body to be removed can be attached to the housing of the manual opening / closing jig .
Further, the power transmission member can be a rack built in the housing or an endless timing belt.
[0010]
Here, the container body in the claims only needs to open at least one surface such as the front or top, and may have a plurality of surfaces open. The container body may be transparent or not. The container main body mainly stores a substrate, and this substrate includes at least one or a plurality of (for example, 13, 25, 26) semiconductor wafers, glass substrates, and the like. Of course, it is also possible to store a plurality of articles other than the substrate in the container body. In addition, the rotation plate of the latch mechanism is mainly a pair, but can be increased or decreased as necessary.
[0011]
The operation member of the manual opening / closing jig may be configured to protrude from the upper portion of the housing, or may be configured to protrude from the lower portion, side portion, or the like of the housing. The operation member is mainly supported indirectly on the housing via a drive gear, but may be supported directly on the housing. The operation member and the operation key rotate respectively, but the term “rotation” includes rotation and swinging. The power transmission member includes at least a rack, an endless belt, a gear, and the like. The plurality of stands can be attached to the housing so as to be rotatable (including swinging) or detachable. Further, a single plate spring, a coil spring, a wire, or the like can be used as the suppressing member.
[0012]
According to the present invention, when the lid is opened / closed using the manual opening / closing jig, the operation member of the manual opening / closing jig is operated. Then, by the operation of the operation member, the drive gear rotates in one direction to operate the power transmission member, and the operation key rotates in one direction. Thereby, an operation key can be connected to the rotating plate of the latch mechanism. When the operation member is returned, the drive gear rotates in the other direction to operate the power transmission member, and the operation key rotates in the other direction to return to the original position. When the operation key returns to the original position, the rotating plate of the lid also rotates, and the lid that closes the container body is unlocked.
As described above, the manual opening / closing jig has an operation key connected to the rotating plate of the lid when the operating member is operated, and the rotating plate and the operating key of the lid are not rotated and detached when the operating member is returned. To do. Thereby, a cover body can be removed from a container main body.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. A manual opening / closing jig for a lid of a container in this embodiment is an opening of a container body 1 as shown in FIGS. A lid 10 that hermetically closes the front face via a frame-shaped sealing member 8, and a lid 10 that is built in the lid 10 and that closes the container body 1 by normal rotation of each rotating plate 21 is unlocked and removed. A latch mechanism 20 that is a locking means that locks the lid body 10 that closes the container body 1 by reversing the rotation plates 21, and a separate manual opening / closing jig that rotates the rotation plates 21 of the latch mechanism 20. 30.
[0014]
As shown in FIG. 1, the container body 1 is formed into a transparent front open box type using a thermoplastic resin such as polycarbonate or polybutylene terephthalate having sufficient strength and rigidity, and a semiconductor wafer (for example, not shown) A plurality of substrates (300 mm silicon wafers) are aligned and stored vertically. The container body 1 in which the inside is visible has a plurality of locking holes 2 formed on the upper and lower sides of the front inner periphery thereof, and substantially shelf-shaped support portions 4 are provided on both side walls, respectively. A plurality of substrates are horizontally supported by the pair of support portions 4 at regular intervals.
In addition, you may provide the substantially rectangular rear retainer which contacts the rear side edge part of a board | substrate, and supports this in the inner back surface of the container main body 1. FIG.
[0015]
V-grooves (not shown) that function as positioning means are respectively formed on the front side and the rear center of the bottom surface of the container body 1, and bottom plates (not shown) are detachably fitted and held in the plurality of V-grooves. A robotic handle 5 that is gripped by a transport robot (not shown) is selectively attached to the center of the ceiling of the container body 1. The bottom rails 6 for transportation are selectively mounted on the lower portions of both side walls of the container main body 1, and the manual handles 7 for manual operation are selectively mounted on the upper portions of both outer walls of the container main body 1, respectively. .
[0016]
As shown in FIG. 1, the lid body 10 is formed in a hollow structure from a case 11 having a substantially U-shaped cross section and a substantially U-shaped cross section, and a surface plate 12 covering the opened surface of the case 11. The case 11 has a substantially rectangular front retainer 3 mounted on its elevation surface, and a pair of left and right through holes 13 are drilled in the upper and lower portions of the peripheral wall, respectively, and each through hole 13 is a locking hole of the container body 1. 2 opposite. A pair of left and right key holes 14 that are inserted through keys of a lid opening / closing device (not shown) are formed on the left and right sides of the surface plate 12, respectively.
[0017]
As shown in FIGS. 2 to 5, the latch mechanism 20 includes a pair of left and right rotating plates 21 that are rotatably supported in the case 11 of the lid body 10, and each of the rotating plates 21. It is composed of a plurality of power transmission plates 24 oriented in the vertical direction, and a plurality of retractable locking pieces 27 that are pivotally supported on the inner periphery of the lid body 10 and pivotally supported by the power transmission plate 24. When the plate 21 is rotated forward, the locking piece 27 is retracted into the through hole 13 of the lid body 10 from the locking hole 2 on the front surface of the container body 1, and from the through hole 13 on the outer periphery of the lid body 10 when each rotating plate 21 is reversed. The protruding locking piece 27 functions to be fitted and locked into the locking hole 2 of the container body 1. Each rotating plate 21 is formed in a substantially convex shape in cross section, and a pair of fitting grooves 22 are cut out in a substantially semicircular shape at intervals of 180 ° on the outer periphery of the surface. A key hole 23 for a key of the lid opening / closing device is formed in a recess on the surface of the protruding central portion of the rotary plate 21.
[0018]
Each power transmission plate 24 is formed in an elongated rectangular plate, and is supported in the case 11 of the lid 10 through a plurality of guides 25 so as to be slidable in the vertical direction. A lower end portion or an upper end portion of the power transmission plate 24 is formed in a substantially semicircular arc shape, and a connecting pin 26 is projected, and the fitting groove 22 of the rotating plate 21 is fitted into the connecting pin 26. ing. Each locking piece 27 is formed, for example, in a substantially L shape, and is rotatably supported via a pin in the vicinity of the through hole 13 of the case 11, and is rotated via a pin at the free end of the power transmission plate 24. The connecting shaft is supported.
[0019]
2 and 3, when the key of the lid opening / closing device is inserted into each key hole 14 on the surface of the lid 10 and rotated 90 °, the latch plate 20 is rotated. The power transmission plate 24 is slid in the vertical direction, in other words, in the direction of the through hole 13 of the lid body 10. Then, each locking piece 27 swings while drawing an arc and protrudes from the through hole 13 of the lid body 10, and each protruding locking piece 27 fits into the locking hole 2 of the container body 1 and the container body 1. The lid body 10 with the lid closed is firmly locked (see FIGS. 4 and 5).
[0020]
As shown in FIGS. 6 to 14, the manual opening / closing jig 30 is supported by a horizontally-long rectangular housing 31, a drive gear 34 supported in the housing 31, and the drive gear 34. An operation lever 35 that is an operation member, a pair of rotatable operation keys 37 that are pivotally supported on the left and right surfaces of the housing 31 and are detachably connected to the key holes 23 of the rotating plate 21 facing each other, and the operation lever 35 It is comprised from the rack 43 which is a power transmission member which transmits the motive power based on this rotation to each operation key 37, and rotates it.
[0021]
As shown in FIGS. 6 and 8, the casing 31 is formed into an elongated hollow using various synthetic resins, and a substantially L-shaped stand 32 can be raised and lowered via a pin in the inside thereof. The stand 32 protrudes downward and stands up during manual opening / closing operation of the lid 10 (see the arrow in FIG. 6). As shown in FIG. 7, a rectangular through-hole 33 is perforated near the upper side of the housing 31.
[0022]
As shown in FIGS. 6 and 9, the drive gear 34 is composed of a pinion having a large number of teeth arranged on its peripheral surface, and is pivotally supported on the side of the housing 31 so as to be rotatable. A swingable operation lever 35 is eccentrically supported on the outer periphery of the surface, and the operation lever 35 protrudes obliquely upwardly through the through-hole 33 of the housing 31. As shown in FIG. 13, coil springs 36 as restraining members are respectively stretched between the upper and lower outer peripheral portions of the surface of the drive gear 34 and the left and right sides of the housing 31, and each coil spring 36 effectively makes excessive rotation of the drive gear 34. The control lever 35 is prevented from being damaged or damaged due to contact with the through-hole 33 of the housing 31.
[0023]
As shown in FIG. 6 to FIG. 10 and the like, each operation key 37 is fixed to the rotary shaft 38 that is pivotally supported by the casing 31 and the front plate 12 of the lid 10 by being screwed and fixed to the tip of the rotary shaft 38. And an abutment body 41 that comes into contact with each other. The rotary shaft 38 has a substantially T-shaped key 39 that is inserted into the key hole 23 of the rotary plate 21 at its most distal end, and a transmission gear 40 that meshes with the rack 43 is fitted at the end. . The key 39 is configured similarly to the key of the lid opening / closing device. The abutting body 41 includes a pair of circular nuts 42 having a double nut structure that overlap each other, and a left screw is threaded on the inner peripheral surface of the through hole of each circular nut 42. A screw at the tip of the rotating shaft 38 protruding from the body 31 is screwed.
[0024]
If each circular nut 42 is fixed to the housing 31 with a knock pin or the like so that the circular nut 42 does not rotate, and the tightening margin of the left screw of the circular nut 42 is set to 0.5 to 2 mm, the contact body 41 rotates the rotary shaft 38. Along with this, the left screw moves slightly in the protruding direction of the key 39, and it becomes possible to absorb the play of the key hole 23 and the key 39 when contacting the lid 10.
[0025]
Further, as shown in FIGS. 6, 7, 9, 10, 13, and 14, the rack 43 is placed horizontally below the inside of the housing 31 via an auxiliary member 44 such as a slide rail or a linear motion bearing. Built in. The rack 43 meshes with the drive gear 34 and each transmission gear 40 and slides in the left-right direction in FIG. 6 as the drive gear 34 rotates to rotate each transmission gear 40, that is, each operation key 37.
[0026]
In the above configuration, when the lid 10 is manually opened / closed using the manual opening / closing jig 30, the operating lever 35 of the manual opening / closing jig 30 is first pressed with one finger as shown in FIG. Tilt down so that the operation lever 35 is not exposed from the top of the housing 31. Then, as the operation lever 35 swings, the drive gear 34 rotates clockwise to slide the rack 43 to the left, and each transmission gear 40, in other words, each operation key 37 rotates clockwise. The key 39 directed in the horizontal direction (see FIG. 6) is rotated by 90 °, and the key 39 is directed in the vertical direction (see FIG. 9). Thereby, the key 39 of the manual opening / closing jig 30 can be inserted into each key hole 23 of the lid 10.
[0027]
Next, when the operation lever 35 is returned and erected by releasing the finger, the drive gear 34 rotates counterclockwise due to the contraction of the one coil spring 36 as the operation lever 35 erects, and the rack 43 is slid rightward. Each transmission gear 40, in other words, each operation key 37 rotates counterclockwise to rotate the key 39 oriented in the vertical direction by 90 °, and the key 39 points in the original horizontal direction. When the key 39 rotates 90 ° in this way, each rotation plate 21 of the lid 10 also rotates 90 ° through the key hole 23, and the power transmission plate 24 slides in the direction of the counter-through hole 13 of the lid 10. Then, each protruding locking piece 27 swings and returns while drawing an arc, retracts into the through hole 13 of the lid body 10, and the locking piece 27 comes off the locking hole 2 of the container body 1. The lid 10 with the container body 1 closed is brought into an unlocked state.
[0028]
As described above, the manual opening / closing jig 30 has the key 39 inserted into each key hole 23 of the lid 10 in a state where the operation lever 35 is tilted, and the key opening 23 of the lid 10 with the operation lever 35 standing up. The key 39 rotates 90 ° and cannot be removed, and engages with the lid 10. Thereby, the cover body 10 can be removed from the container main body 1. At this time, if the stand 32 of the housing 31 protrudes downward and stands upright with respect to the lid body 10, the lid body 10 removed by manual operation is supported and self-supported as shown in FIG. In addition, the risk of contamination of the inner surface of the lid 10 can be effectively suppressed and prevented.
[0029]
On the contrary, when the lid 10 is fitted to the opened front surface of the container main body 1, the operation may be performed in the reverse of the above operation. In other words, when the lid body 10 in which the latch mechanism 20 is unlocked is fitted to the opened front surface of the container body 1 and the operation lever 35 of the manual opening / closing jig 30 is pushed down with one finger, the operation keys 37 are pressed. Rotates clockwise to rotate the key 39 by 90 °, and the latch mechanism 20 is locked. At this time, since the key hole 23 and the key 39 are in a parallel state, the manual opening / closing jig 30 can be removed from the lid 10.
[0030]
According to the above configuration, since a separate jig is not used, or rotation is performed using both hands, but one-touch operation is performed with one hand, the used manual opening / closing jig 30 is not placed on a table or the like. It is possible to shift to the next operation very easily, and the work can be considerably smoothed, simplified and speeded up. Further, if the stand 32 is used, there is no possibility that particles adhere to the lid 10 placed on the stand or the like to be contaminated. Moreover, since the manual opening / closing jig 30 is relatively larger than the conventional jig, the risk of dropping or losing it during operation can be greatly reduced.
[0031]
Further, since the handle is not attached to the rotating plate 21 of the latch mechanism 20, only the specific worker under ID management can open the lid 10. Therefore, there is no possibility that the lid 10 is accidentally opened when it is not necessary or the lid 10 is accidentally opened in a bad environment that contaminates the substrate. Furthermore, since the drive gear 34, the transmission gear 40, and the rack 43 are used for power transmission, there is no slip and a great power transmission can be expected.
[0032]
Next, FIGS. 15 and 16 show a second embodiment of the present invention. In this case, the power transmission member of the manual opening / closing jig 30 is not an endless gear that meshes with the drive gear 34 instead of the rack 43. A timing belt 50 is used, and the timing belt 50 is tightly wound between the left and right sides of the housing 31 via pulleys 51, and each pulley 51 is fitted to the rotation shaft 38 of each operation key 37 instead of the transmission gear 40. I am doing so. The other parts are the same as those in the above embodiment, and the description thereof is omitted.
[0033]
In the present embodiment, the same effect as the above embodiment can be expected, and since the timing belt 50 is used instead of the gear mechanism, the operation is smooth and very quiet.
[0034]
Note that the latch mechanism 20 of the above embodiment can be removed by unlocking the lid 10 that closed the container main body 1 by reversing the rotation plates 21, and the container main body 1 is closed by normal rotation of the rotation plates 21. You may comprise so that the cover body 10 may be locked. Further, a pair of connecting pins 26 project from the outer periphery of the surface of the rotating plate 21 at intervals of 180 °, and a fitting groove 22 is formed at the lower end or upper end of the power transmission plate 24. The connecting pin 26 may be inserted. Further, the operation lever 35 can be protruded from either the left or right side of the housing 31 in accordance with the dominant arm of the operator. Further, instead of the operation lever 35, a push button or the like can be used as an operation member. In this case, it is preferable to rotate the drive gear 34 with a motor. Furthermore, instead of the rack 43 and the timing belt 50, a plurality of gears can be used side by side for power transmission.
[0035]
As described above, according to the present invention, the manual opening / closing jig can be used with one hand, and the possibility of dropping or losing can be effectively suppressed or prevented. Moreover, there is an effect that there is little possibility of opening the lid by mistake. In addition, since the drive gear is used for power transmission, there is no slip, and powerful power transmission can be expected.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall perspective view showing an embodiment of a manual opening / closing jig for a lid of a container according to the present invention.
FIG. 2 is an explanatory view showing an unlocked state of a latch mechanism in an embodiment of a manual opening / closing jig for a container lid according to the present invention.
3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
FIG. 4 is an explanatory view showing a locking state of the latch mechanism in the embodiment of the manual opening / closing jig for the lid of the container according to the present invention.
5 is a cross-sectional view taken along line VV in FIG.
FIG. 6 is a front view showing a manual opening / closing jig in an embodiment of a manual opening / closing jig for a lid of a container according to the present invention.
7 is a plan view of FIG. 6. FIG.
FIG. 8 is a side view showing a stand use state of the manual opening / closing jig in the embodiment of the manual opening / closing jig for the lid of the container according to the present invention.
FIG. 9 is an explanatory view showing a use start state of the manual opening / closing jig in the embodiment of the manual opening / closing jig for the lid of the container according to the present invention.
FIG. 10 is an explanatory cross-sectional view showing operation keys and the like of the manual opening / closing jig in the embodiment of the manual opening / closing jig for the container lid according to the present invention.
FIG. 11 is a cross-sectional explanatory view showing a state in which the manual opening / closing jig in the embodiment of the manual opening / closing jig for the lid of the container according to the present invention is connected to the lid.
FIG. 12 is an explanatory cross-sectional view showing a state in which the manual opening / closing jig in the embodiment of the manual opening / closing jig for the lid of the container according to the present invention is connected to the lid and unlocked.
FIG. 13 is an explanatory view showing a rack of a manual opening / closing jig in an embodiment of a manual opening / closing jig for a container lid according to the present invention.
14 is an enlarged explanatory view showing a main part of FIG. 13;
FIG. 15 is an explanatory view showing a second embodiment of a manual opening / closing jig for a lid of a container according to the present invention.
16 is an enlarged explanatory view showing a main part of FIG. 15;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Container body 2 Locking hole 10 Cover body 11 Case 12 Surface plate 13 Through-hole 14 Key hole 20 Latch mechanism 21 Rotating plate 23 Key hole 27 Locking piece 30 Manual opening / closing jig 31 Housing 32 Stand 33 Through-hole 34 Drive gear 35 Control lever (control member)
36 Coil spring (suppressing member)
37 Operation keys 39 Key 43 Rack (power transmission member)
50 Timing belt (power transmission member)

Claims

A lid that closes the opening of the container body, and when the rotating plate rotates in one direction, the lid that closes the opening of the container body is unlocked and the rotating plate moves in the other direction. A latch mechanism that locks the lid that closes the opening of the container body and a manual opening / closing jig that is separate from the lid that rotates the rotating plate of the latch mechanism. In manual opening and closing jig for body,
The manual opening / closing jig includes a hollow housing facing the lid, a drive gear rotatably supported in the housing, and a shaft rotatably supported on the outer periphery of the drive gear. An operation member that protrudes into the housing, an operation key that is rotatably supported on the surface of the housing and is detachably connected to the rotation plate of the latch mechanism, and a drive gear that meshes with the drive member to generate power based on the rotation of the operation member. Including a power transmission member that is transmitted to the operation key to be rotated, and a suppression member that restricts unnecessary rotation of the drive gear is installed between the inside of the housing and the outer peripheral portion of the drive gear,
When the operation member is pressed and operated, the drive gear rotates in one direction to operate the power transmission member, and the operation key rotates in one direction and can be connected to the rotating plate of the latch mechanism. When the member returns, the driving gear rotates in the other direction to operate the power transmission member, and the operation key rotates in the other direction to rotate the rotating plate of the latch mechanism, thereby closing the lid of the container body. A manual opening / closing jig for a lid of a container, wherein the body is in an unlocked state .

2. The manual opening / closing jig for a lid of a container according to claim 1, wherein a stand for raising the lid is attached to a case of the manual opening / closing jig.

The manual opening / closing jig for a lid of a container according to claim 1 or 2, wherein the power transmission member is a rack or an endless timing belt built in the casing.