JP4506407B2 - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
その表面上に紫外線を透過しない紫外線非透過膜(6)を有し、フローティングゲート(
4)とコントロールゲート(5)の平面レイアウトでは、フローティングゲート(4)の
形状は、フローティングゲート(4)の輪郭を構成する辺(4a)から外方向に突出して
いる突出部(21)を有する形状であるとともに、突出部(21)がコントロールゲート
(5)から露出しており、
突出部(21)は、フィールド絶縁膜(2a)上に、アクティブ領域(3)から離れて
位置しており、
また、複数のメモリセルを有し、複数のメモリセルは、それぞれ、フローティングゲート(4)を備える場合であって、隣り合うメモリセルの一方におけるフローティングゲート(4)の形状を、他方のメモリセルに対向する側に突出部(21)を配置した形状とした場合では、隣り合うメモリセルの他方におけるフローティングゲート(4)の形状を、突出部(21)に対向する位置に、突出部(21)に対応して一致する形状の凹部(24)を有する形状とすることを特徴としている。
この結果、フローティングゲートの突出部が設けられていない場合、すなわち、従来の不揮発性半導体記憶装置に対して、上記した発明を適用しても、従来の不揮発性半導体記憶装置が有する基本特性への影響をできるだけ小さくすることができる。
成された形状とすることができる。
すなわち、請求項3に示すように、コントロールゲート(5)の形状を、平面レイアウ
トにおいて、コントロールゲートの輪郭を構成する辺(5a)から内方向に凹んでいる凹
部(31)を有する形状として、凹部(31)から突出部(21)が露出しているレイア
ウトとすることができる。
また、請求項4に示すように、コントロールゲート(5)の形状を、平面レイアウトに
おいて、フローティングゲート(4)の上側に位置するホール(41)を有する形状とし
て、ホール(41)により、突出部(21)が、コントロールゲート(5)から露出した
レイアウトとすることもできる。
本実施形態では、フローティングゲート4が突出部を有する場合を例として説明する。図1に、本発明の第1実施形態の第1の例における不揮発性半導体記憶装置としてのEEPROMを示す。図1(a)は平面レイアウトであり、図1(b)、(c)は、それぞれA−A’線断面図、B−B’線断面図である。本実施形態のEEPROMは、フローティングゲート4が突出部を有している点を除いて上記した図11のEEPROMと同じ構成となっており、図1では、図11と同様の構成部について、図11と同一の符号を付している。
図6(a)〜(e)に、本実施形態の第1〜第5の例におけるEEPROMの平面レイアウトを示す。
図7(a)、(b)に、本実施形態の第1、2の例におけるEEPROMの平面レイアウトを示す。
図8に、本実施形態におけるEEPROMの平面レイアウトを示す。本実施形態は、第1実施形態と第2実施形態とを組み合わせものである。
図9(a)〜(c)、図10(a)〜(d)に本実施形態の第1〜7の例におけるEEPROMの平面レイアウトを示す。
そして、各メモリセルは、フローティングゲート4のうち、隣接するメモリセル側であって、隣接するメモリセルの突出部21に対向する位置に、凹部24を有している。この凹部24の形状は、隣接するメモリセルの突出部21に対応(一致)する形状となっている。
第4実施形態では、コントロールゲート5に凹部31を設けることでフローティングゲート4の突出部21をすべて露出させる場合を例として説明したが、突出部21の位置がコントロールゲート5の端部よりも内側に位置する場合では、凹部31の代わりに、ホール41を設けることで、フローティングゲート4の突出部21をすべて露出させることもできる。
4…フローティングゲート、5…コントロールゲート、6…WSi2膜、
7…層間絶縁膜、8…トンネルウィンドウ、9…メモリゲート酸化膜、
10…ドレイン領域、11…ソース領域、21…フローティングゲートの突出部、
21、22、32、42…フローティングゲート4のうちコントロールゲート5から露出している部分、31…コントロールゲートの凹部、41…コントロールゲートのホール部。
Claims (4)
- フローティングゲート(4)の上にコントロールゲート(5)が配置され、前記フローティングゲート(4)に紫外線を照射することで、前記フローティングゲート(4)の電荷を平衡状態にする構成の不揮発性半導体記憶装置において、
前記フローティングゲート(4)および前記コントロールゲート(5)は、半導体基板
(1)のアクティブ領域(3)上から前記半導体基板(1)の表面上に形成されたフィー
ルド絶縁膜(2a)上に至って配置されており、
前記コントロールゲート(5)は、その表面上に紫外線を透過しない紫外線非透過膜(
6)を有し、
前記フローティングゲート(4)と前記コントロールゲート(5)の平面レイアウトで
は、前記フローティングゲート(4)の形状は、前記フローティングゲート(4)の輪郭
を構成する辺(4a)から外方向に突出している突出部(21)を有する形状であるとと
もに、前記突出部(21)が前記コントロールゲート(5)から露出しており、
前記突出部(21)は、前記フィールド絶縁膜(2a)上に、前記アクティブ領域(3
)から離れて位置しており、
複数のメモリセルを有し、
前記複数のメモリセルは、それぞれ、前記フローティングゲート(4)を備えており、
隣り合う前記メモリセルの一方における前記フローティングゲート(4)の形状は、他
方の前記メモリセルに対向する側に前記突出部(21)が配置された形状であり、
前記隣り合う前記メモリセルの他方における前記フローティングゲート(4)の形状は
、前記突出部(21)に対向する位置に、前記突出部(21)に対応して一致する形状の凹部(24)を有する形状であることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記コントロールゲート(5)は、前記突出部(21)のすべてを露出する形状である
ことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記コントロールゲート(5)の形状は、平面レイアウトにおいて、前記コントロール
ゲート(5)の輪郭を構成する辺(5a)から内方向に凹んでいる凹部(31)を有する
形状であり、
前記凹部(31)から前記突出部(21)が露出していることを特徴とする請求項1または2に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記コントロールゲート(5)の形状は、平面レイアウトにおいて、前記フローティン
グゲート(4)の上側に位置するホール(41)を有する形状であり、
前記ホール(41)により、前記突出部(21)が、前記コントロールゲート(5)か
ら露出していることを特徴とする請求項1または2に記載の不揮発性半導体記憶装置。
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