JP4504117B2 - 欠陥の深さを判定する方法 - Google Patents

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Description

本出願は一般に材料における疲労割れの検出に関し、特に、ガスタービン部品における疲労割れを検出する方法に関する。
航空機に誘導される振動応力、機械的応力及び熱応力は、多様な部品に疲労割れを発生させると考えられる。特に、周期的応力にさらされる部品には、低サイクル疲労(LCF)割れが発生するであろう。時間の経過につれて、疲労割れを伴う部品の継続動作は部品内で亀裂を進行させ、部品の故障をもたらす。亀裂の成長における早期の段階で亀裂を検出することは、部品の故障を減らすために好都合であろう。
エンジン又は機体の故障を引き起こす可能性がある疲労割れ又は他の欠陥を求めて部品を検査するための少なくともいくつかの周知の非破壊評価(NDE)方法は、例えば、表面波超音波試験、渦電流試験及び蛍光浸透検査(FPI)を含む。一般に、周知のNDE方法は、いずれも、単独でLCF亀裂を十分な信頼性をもって、適用しやすく且つ環境、健康及び安全(EHS)面の懸念も少なく検出することが可能であるとは考えられていない。特に、部品によっては、その特異な幾何学的配置によって、利用できる評価技法が限られてしまい、少なくともいくつかの周知の方法は検査されるべき部品の表面上の汚染物質、あるいは亀裂又は欠陥の内部の汚染物質によって誤差又は偽標示を発生しやすい。更に、少なくともいくつかの周知のNDE方法は、部品の故障にはつながらない表面の凹凸や、他の表面異常から誤って欠陥を指示するおそれがある。特に、被覆膜のひび割れは、少なくともいくつかの周知のNDE方法を使用した場合に多様な偽標示を発生させるであろう。
EHSの懸念を増大させることなく、正確で、より信頼できる結果を容易に得られるようにするために、少なくともいくつかの部品は赤外線NDE方法を使用して検査されている。赤外線NDE方法は、全ての物質が絶えず電磁放射を吸収し、放出するという前提に基づいて動作する。物質内部における帯電粒子の連続運動の結果、電磁放射は放出される。特に、帯電粒子の運動は温度の上昇に伴って増加し、それに対応して、材料からの放射の連続放出も増加する。通常、亀裂及び欠陥は部品の他の領域より多くの放射を吸収し、その結果、亀裂はその欠陥を取り囲んでいる相対的に平坦で、滑らかな表面領域と比較して高い放射率とラジアンスを有する。
米国特許第4345457号
しかし、そのようなNDE技法は故障をもたらす可能性がある欠陥と、さほど重大ではない他のわずかな表面異常とを識別することができないであろう。
1つの面においては、部品表面まで達する亀裂を検出する方法が提供される。方法は、検査されるべき部品の表面を少なくとも1つの赤外線放射検出器の光路内に位置決めすることと、部品表面に存在する欠陥からのラジアンスの増加を発生させるために、電磁放射を使用して部品表面を加熱することと、少なくとも1つの赤外線放射検出器を使用して、部品表面の複数の所定の場所で表面放射照度が測定されるように、部品表面内部の温度変化を検出することとを含む。方法は、赤外線放射検出器により受信された放射過渡応答データを解析することにより、部品の亀裂を検出することと、検出された亀裂の深さを判定するために、温度変化を放射過渡応答データと相関することとを更に含む。
別の面においては、部品における亀裂の深さを判定する方法が提供される。方法は、検出されるべき部品の表面を少なくとも1つの赤外線放射検出器の光路内に、光路が部品表面と平行な平面に対してほぼ垂直になるように位置決めすることと、部品表面に存在する欠陥からのラジアンスの増加を発生させるために、電磁放射を使用して、部品表面に対してほぼ垂直に熱が部品に加えられるように部品表面を加熱することと、少なくとも1つの赤外線放射検出器を使用して、部品表面に沿った複数の所定の場所で表面放射照度が測定されるように、部品表面内部の温度変化を検出することとを含む。方法は、赤外線放射検出器により受信された放射過渡応答データを解析することにより、部品の亀裂を検出することと、検出された亀裂の深さを判定するために、温度変化を放射過渡応答データと相関することとを更に含む。
図1は、部品10にある亀裂又は欠陥、及びそれと関連する亀裂又は欠陥の深さを検出するために使用できる非破壊評価試験システム8の一例の概略図である。図2は、検査されるべき部品10の一部の赤外線ビデオ画像12の一例を示す図である。図3は、所定の一様な温度で、図2に示される赤外線ビデオ画像12に表示される部品10の一部から放出されたラジアンスのグラフ14の一例を示す図である。図4は、以下に更に詳細に説明するように、走査中に赤外線ビデオ画像12に表示される部品10の一部から放出されたラジアンスのグラフ16の一例を示す図である。この実施例では、部品10はタービンエンジン部品などの航空機の部品であるが、これに限定されない。部品10は、検査のために、部品10が少なくとも1つの検出器26の光路24内又は視野内に位置決めされるように固定器具22に固着されている。この実施例においては、検出器26は1つしか示されていないが、複数の赤外線検出器26が利用されても良いことに注意すべきである。例えば、検出器26は赤外線放射計及び/又は赤外線カメラであっても良いが、これに限定されない。一実施例では、検出器26はマサチューセッツ州BillericaにあるFLIRS Systems Inc.より市販されている赤外線撮影放射計である。特に、欠陥の検出を容易にするために、部品10は、光路24が検査されるべき部品10の表面28と平行な平面に対してほぼ垂直になるように固定器具22の内部に位置決めされている。
レーザー30及び集束光学系32は、部品10の検査中に部品表面28の複数の部分を選択的に加熱するために使用されるコヒーレントな走査レーザービーム34を発生する。特に、集束光学系32は、高い出力を維持しつつ、ビーム34の独立したサイズ設定及び集束を可能にする。集束光学系32は、レーザービーム34に対して所望の形状出力を発生するために、フーリエ平面のマスクと連係して動作する。一実施例では、集束光学系32は、レーザービーム34が部品表面28に沿って走査されている間にレーザービーム34をS字形に集束させる。別の実施例においては、集束光学系32はレーザービーム34を円形に集束させるが、その円の半径はレーザービーム34が部品表面28に沿って走査されている間に拡張される。更に別の実施例では、集束光学系32は、レーザービーム34が部品表面28に沿って走査されている間にレーザービーム34を一連の同心円として集束させる。別の実施例においては、集束光学系32はホログラフィ素子を使用して、レーザービーム34を円のグリッドとして集束させる。更に別の実施例においては、集束光学系32はレーザービーム34を少なくとも部分的に部品表面28に沿って1本の線として広がらせる。
走査レーザービーム34は、周知の2次元(2−D)走査ミラー構造36を使用して部品表面28上に集束される。この実施例では、走査ミラー構造36は第1のミラー38と、第2のミラー40と、部品10及び固定器具22に関する各々のミラー36及び40、並びに走査レーザービーム34の相対運動を制御する複数の周知の運動制御装置(図示せず)を含む少なくとも1つの走査装置42とを含む。一実施例では、各走査装置42は圧電素子及び/又は検流計などの運動制御装置を含むが、それらには限定されない。この実施例においては、固定器具22、検出器26、レーザー30及び走査ミラー構造36は、それぞれ、安全エンクロージャ44(概略的に図示する)内部の光学テーブル上に装着されている。
部品10内部の欠陥の検出を最適化するのを容易にし、且つ部品10内部の欠陥と周囲の材料との識別を容易にするために、レーザー30と検出器26は異なるスペクトルバンドで動作される。特に、この実施例では、レーザー30は約1.06μの波長で動作されるYAGレーザーであり、検出器26は、検出器26が部品表面28から反射される光を感知することにより起こる欠陥の偽標示を最小にするのに好都合であるように、約3μから約12μの選択された波長帯で動作される。あるいは、検出器26と干渉し合う、より広い帯域の熱源が使用される場合には、熱源が除去された後に、部品表面28から放出される放射を検出することが必要であろう。
レーザー30及び走査ミラー構造36は、走査装置42を制御するために信号を発生する周知の関数発生器44に結合されている。この実施例では、関数発生器44は各々の走査装置42を制御するためのアナログ信号を発生する。特に、関数発生器44から送信される信号に応答して、各走査装置42は、部品10の検査中に部品表面28の選択された部分の全てがレーザービーム34により走査されるように、ミラー38及び40の動きをX−Y座標系において制御する。
検出器26の焦点及びコントラストを調整するために、検出器26に放射計制御装置50が結合されている。放射計制御装置50は、ビデオ表示装置54に結合されたイメージディジタイザ52に結合されている。プロセッサ56はシステム8の動作実行を制御し、放射計制御装置50、イメージディジタイザ52及びビデオ表示装置54に結合されている。ここで使用される用語「プロセッサ」はマイクロプロセッサ、中央処理装置(CPU)、特定アプリケーション向け集積回路(ASIC)、論理回路及びここで説明するような検査システム8の動作を実行することが可能である他の何らかの回路又はプロセッサを表す。プロセッサ56は関数発生器44、レーザー30及び集束光学系32にも結合されている。
イメージディジタイザ52は知られており、以下に更に詳細に説明するように、ラジアンスの過渡応答を解析するために部品表面28から受信されるラジアンスの一連の画像12のプロセッサ56による格納を容易にする。特に、イメージディジタイザ52は、レーザービーム34が部品表面28に沿って走査されている間に部品表面28にある最も小さな欠陥でさえ検出する能力を改善するために、検出器26により提供されるビデオ画像12から作成されるデジタル化信号を向上させるのに好都合であるようなソフトウェアを含む。例えば、一実施例では、イメージディジタイザ52は、以下に更に詳細に説明するように、特定の検出器レベル設定、すなわち、カメラの黒色レベル設定と関連して、部品表面28内部で検出される深い亀裂を垂直ではない亀裂から識別することを容易にするデータ圧縮アルゴリズムを含む。一実施例においては、イメージディジタイザ42はマサチューセッツ州にあるDatacube, Inc.より市販されている「DIGIMAX」イメージディジタイザである。
この実施例では、レーザービーム34が部品表面28に沿って走査している間に検出器26により受信される実際のアナログビデオ画像12を記録するために、放射計制御装置50とビデオ表示装置54との間に画像記録装置60が結合されている。例えば、一実施例では、画像記録装置60はビデオカセットレコーダである。別の実施例においては、イメージディジタイザ42によりビデオ信号がデジタル化された後に、画像はコンピュータハードドライブなどのデジタルデータ記憶装置に格納される。特に、画像記録装置60は、わずかな表面異常(82で指示するような異常)を部品10の故障をもたらす可能性がある欠陥から識別できるように、ビデオ画像12の解析の改善に好都合である。
部品10の検査がプロセッサ56に結合された入出力(I/O)ドライバ64を介してオペレータにより事前プログラム及び/又は制御されることが可能になるように、プロセッサ56は関数発生器44、レーザー30及び集束光学系32にも結合されている。特に、レーザー30はレーザーコンソール66及び入出力(I/O)ドライバレジスタA68を介してプロセッサ56に結合されている。コンソール66とレジスタA68の組み合わせにより、オペレータはレーザー30のゲーティング及びパワーレベルを端末62を介して事前にプログラムできる。レーザー出力密度の調整によって、部品表面28がレーザービーム34により選択的に加熱されたときに部品10を損傷することなく、欠陥とそれを取り囲む材料とのコントラスト差を識別することが容易になる。
部品10の検査中、まず、検査されるべき部品10の表面28の部分の放射率を低下させるのに好都合であるように、部品10は洗浄される。更に、部品表面28を洗浄すると、欠陥を遮断してしまう塗料及び/又は熱障壁被覆膜などの何らかの種類の被覆膜の除去が容易になり、そのため、検査システム8の検出能力が容易に向上される。洗浄後、先に説明したように、部品10は2−D走査ミラー構造38及び検出器26と整列する状態で固定器具22に装着される。
次に、最適の欠陥検出を行えるように、レーザービーム34が実質的に部品表面28に対してできる限り垂直に近い角度で入射するようにレーザー30が位置決めされる。次に、検査されるべき部品表面28の部分に沿って部品表面28の動作温度をほぼ一様に上昇させるために、部品表面28はレーザービーム34による走査によって予熱される。加熱中に欠陥を取り囲む表面領域に対する欠陥70の放射率の量を示す、より高い吸収率を利用するために、伝導加熱又は対流加熱ではなく、放射加熱又は電磁加熱が採用される。欠陥の背景となる領域は熱の大半を消散してしまうため、亀裂70でエネルギー吸収の量が増すことにより発生する温度差は、欠陥70とその周囲の表面領域との間に大きな信号対雑音比(SNR)又はコントラストを生じさせる。特に、部品表面28の亀裂がない領域、又は欠陥を含まない部品表面28の領域においては、熱は部品表面28を経て外部へ消散される。欠陥70は検出器26により捕捉されるビデオ画像12に現れる。
少なくとも部品表面28に沿って伸びる可変選択線71に沿って走査された放射照度を示すグラフ16を生成するために、検出器26及び放射計制御装置50は可変選択されることも可能である。従って、部品表面28に沿って走査している間に検出器26により受信されるラジアンスを部品表面28に沿った異なる場所で測定することができる。グラフ14に示すように、部品表面28に沿った欠陥70は、いずれも、ピーク74として現れる。
レーザービーム34が予熱された部品表面28に沿って走査されている間、ビーム34の通過に従って選択的な局所加熱が起こる。特に、レーザービーム34は当初は部品表面28に沿って第1の方向に走査され、その後、第1の方向と同じではない第2の方向へ再度走査される。この両方向走査により、垂直ではない欠陥70からより深い亀裂70を識別することが容易になる。部品表面28から放出されたラジアンスは検出器26により検出され、ビデオ表示装置44にグラフとして表示される。特に、レーザービーム34が欠陥70を通過する間、欠陥70の吸収率及び放射力が周囲の材料と比較して高いために、グラフ16に対してラジアンスはピークを示す(図4に80として示す)。従って、レーザービーム34による走査によって、欠陥70の検出能力は向上する。特に、各々の走査場所で記録され且つ/又は格納される一連の赤外線画像12は、欠陥70から受信されるラジアンスがレーザービーム34が実際に欠陥70を照射しているピーク80から減衰して、走査後に元の強さレベルに戻るまでの過渡応答の解析及び観測を容易にする。
一連の画像12は、合わせてレーザー走査後の欠陥70からのラジアンスの遷移又は過渡応答を表すグラフ14及び/又は16に類似するグラフの形態に変換される。更に、画像12に基づいてコンピュータ当てはめ校正曲線が生成される。次に、校正曲線に基づいて欠陥深さマップが生成される。特に、深さ判定曲線は、ほぼ一様な特性をもって製造された材料の試料片に刻み込まれた様々に異なる深さの亀裂の過渡熱を測定した後に生成される。次に、測定値は亀裂の深さの実際値と比較され、「最適適合」指数曲線当てはめアルゴリズムを使用して校正曲線が作成される。
選択された時間周期にわたる連続する画像12のピークの間の減衰の量又は程度が解析され、部品の故障をもたらす可能性がある欠陥70と、部品10の選択された表面28の内部の他のわずかな欠陥82とが識別される。部品10の故障の原因になると考えられる欠陥70の過渡応答の減衰時間は、通常、その欠陥又は亀裂70の大きさに応じて、わずかな表面異常82の約2から4倍の長さである。わずかな表面異常82と、部品10の故障につながる可能性がある欠陥70との識別を容易にするために、部品表面28からのラジアンスの過渡応答が解析される。
欠陥又は亀裂70と、その欠陥70を取り囲んでいる部品10の領域とのコントラストが向上する理由の1つは、欠陥70がレーザー照射を受けている間に信号対雑音比が高くなることである。SNR値はレーザービーム34による走査の直後は高いままであるが、欠陥70からのラジアンスの強さレベルの減衰速度に対応する所定の速度でレーザー走査前の元の値まで減衰する。従って、欠陥70を部品表面28内部の背景アーティファクトから識別する定性分析の補助手段としてSNR値を使用しても良い。別の実施例においては、亀裂又は欠陥が表面の下方にあり、表面28に近接している場合、部品表面においてそのような欠陥を検出するのを容易にするために、部品10に応力が誘導される。
一般に、検査システムの基礎は、欠陥又は亀裂70が材料を通して熱が伝播する経路を変化させることである。最も単純なケースでは、材料を通って伝播する熱の最も効率の良い経路が欠陥70の周囲をめぐるように、亀裂又は欠陥70は断熱境界を形成する。材料中の熱伝播速度を判定し、それを加熱ゾーンと、検査されるべき部品表面28上の2つ以上の測定ポイントとの間の物理的距離と比較することにより、熱エネルギーが実際にたどった経路の長さを判定できる。欠陥70の下方を進む熱はエネルギー経路の経路長をほぼ亀裂の深さの2倍増加させ、それにより、欠陥境界における熱の伝達速度を遅くする。その結果、欠陥の一方の側で熱の増加が起こり、欠陥の反対側では熱の欠落が誘発される。
上述の欠陥検査システムは費用効率に優れ、信頼性も高い。システムは、検査されるべき部品の表面で検出された温度変化を相関することにより、欠陥の深さの判定を可能にする。その結果、部品表面の検査中、部品の故障を引き起こす可能性がある欠陥をわずかな表面異常から費用効率良く、高い信頼性をもって識別することを容易にするために、各欠陥の深さが判定される。特に、欠陥検査システムの感度と正確さによって、金属又は複合材料における多孔率及び/又は空隙率などの他の種類の欠陥の検出も可能になる。
以上、検査システムの実施例を説明した。検査システム及びそれと関連する使用方法はここで説明した特定の実施例に限定されず、各アセンブリの構成要素はここで説明した他の構成要素とは別個に、独立して利用されても良い。検査システムの各々の構成要素及び使用方法は他の検査システム構成要素と組み合わせて使用されることも可能である。
なお、特許請求の範囲に記載された符号は、理解容易のためであってなんら発明の技術的範囲を実施例に限縮するものではない。
非破壊評価検査システムの一例の概略図。 図1に示す検査システムを使用して検査のために選択された部品の一部の赤外線ビデオ画像の一例を示す図。 所定の均一な温度で、図2に示す赤外線ビデオ画像に表示された部品部分から放出されたラジアンスのグラフの一例を示す図。 走査中に、図2に示す赤外線ビデオ画像に表示された部品部分から放出されたラジアンスのグラフの一例を示す図。
符号の説明
8…非破壊評価試験システム、10…部品、12…ビデオ画像、22…固定器具、24…光路、26…検出器、28…部品表面、30…レーザー、32…集束光学系、34…レーザービーム、36…2−D走査ミラー構造、44…関数発生器、50…放射計制御装置、52…イメージディジタイザ、54…ビデオ表示装置、56…プロセッサ、60…画像記録装置、62…端末、66…レーザーコンソール、68…入出力ドライバレジスタA、70…欠陥(亀裂)

Claims (10)

  1. 部品表面まで達する亀裂(70)を検出する方法において、
    検査されるべき部品(10)の表面(28)を少なくとも1つの赤外線放射検出器(26)の光路(24)内に位置決めすることと、
    部品表面に存在する欠陥からのラジアンスの増加を発生させるために、波長帯域が前記赤外線放射検出器(26)の波長帯域と干渉する電磁放射を行う熱源(30)の電磁放射を使用して部品表面を加熱することと、
    部品表面に沿った複数の所定の場所で表面放射照度が測定されるように、前記少なくとも1つの赤外線放射検出器を使用して部品表面内部の温度変化を検出することと、
    前記赤外線放射検出器(26)により受信された、前記部品表面の照射時からピークが元のレベルに戻るまでの放射過渡応答データを解析することにより、前記部品(10)の亀裂(70)を検出することと、
    検出された亀裂(70)の深さを判定するために、温度変化を放射過渡応答データと相関することと
    から成り、
    前記部品表面内部の温度変化を検出することは、前記熱源が除去された後に前記部品表面から放出される放射を検出することを含む方法。
  2. 前記赤外線放射検出器(26)により検出された放射照度を使用して、加熱された表面(28)の一連のビデオ画像(12)を生成することと、
    ピーク放射照度強さレベルの判定を容易にするために、前記部品表面に沿った放射照度と距離との関係を表す一連のグラフ(14)を生成することとを更に含む請求項1記載の方法。
  3. 前記赤外線放射検出器(26)を使用して部品表面(28)内部の温度変化を検出することは、
    放射照度の強さレベルを判定することと、
    熱を除去した後の放射照度強さレベルの減衰速度を判定することとを更に含む請求項1記載の方法。
  4. 前記赤外線放射検出器(26)により受信された放射過渡応答データを解析することにより、前記部品(10)の亀裂(70)を検出することは、部品表面(28)に沿った両方向走査を使用することを更に含む請求項1記載の方法。
  5. 電磁放射を使用して部品表面(28)を加熱することは、部品表面上にレーザービーム(34)を集束することを更に含む請求項1記載の方法。
  6. 部品表面(28)上にレーザービーム(34)を集束することは、円形投射及びS字形投射のうちの少なくとも一方を有するレーザービームを使用することを更に含み、電磁放射を使用して部品表面(28)を加熱することは、レーザービーム(34)を部品表面に対してほぼ垂直に維持することを更に含む請求項5記載の方法。
  7. 部品(10)における亀裂(70)の深さを判定する方法において、
    検査されるべき部品の表面(28)を少なくとも1つの赤外線放射検出器(26)の光路(24)内に、光路が部品表面と平行な平面に対してほぼ垂直になるように位置決めすることと、
    部品表面に存在する欠陥からのラジアンスの増加を発生させるために、波長帯域が前記赤外線放射検出器(26)の波長帯域と干渉する電磁放射を行う熱源(30)の電磁放射を使用して、熱が部品表面に対してほぼ垂直に前記部品に加えられるように前記部品を加熱することと、
    前記少なくとも1つの赤外線放射検出器(26)を使用して、部品表面に沿った複数の所定の場所で表面放射照度が測定されるように、部品表面内部の温度変化を検出することと、
    前記赤外線放射検出器(26)により受信された、前記部品表面の照射からピークが元のレベルに戻るまでの放射過渡応答データを解析することにより、前記部品(10)の亀裂(70)を検出することと、
    検出された亀裂(70)の深さを判定するために、温度変化を放射過渡応答データと相関することとから成り、
    前記部品表面内部の温度変化を検出することは、前記熱源が除去された後に前記部品表面から放出される放射を検出することを含む方法。
  8. 前記部品(10)の亀裂(70)を検出することは、亀裂を検出するためにリアルタイムフィードバックを使用することを更に含み、方法は、
    前記赤外線放射検出器(26)により検出された放射照度を使用して、加熱された表面の一連のビデオ画像(12)を生成することと、
    部品表面(28)に存在するわずかな表面異常(82)から部品表面に形成された亀裂(70)を識別することを容易にするために、一連のビデオ画像をデジタル化することとを更に含む請求項7記載の方法。
  9. 電磁放射を使用して部品表面(28)を加熱することは、S字形及び拡張可能である円形のうちの少なくとも一方によってビームが投射されるようにレーザービーム(34)を部品表面(28)上に集束することを更に含み、部品表面(28)上にレーザービーム(34)を集束することは、所望のレーザービーム形状を作成するためにフーリエ平面でマスクを使用することを更に含む請求項7記載の方法。
  10. 部品表面(28)に近接する表面下欠陥の検出を容易にするために前記部品(10)に応力を加えることを更に含み、表面下欠陥の検出を容易にするために前記部品に応力を加えることは、前記部品の特性損傷閾値応力拡大係数以下である応力を前記部品に加えることを更に含む請求項7記載の方法。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7591583B2 (en) * 2005-05-18 2009-09-22 Federal-Mogul World Wide, Inc. Transient defect detection algorithm
US7467049B2 (en) * 2005-05-27 2008-12-16 American Electric Power Company, Inc. System and method for detecting impaired electric power equipment
US7632012B2 (en) * 2005-09-01 2009-12-15 Siemens Energy, Inc. Method of measuring in situ differential emissivity and temperature
US7553070B2 (en) * 2006-11-06 2009-06-30 The Boeing Company Infrared NDI for detecting shallow irregularities
JP5027606B2 (ja) * 2007-09-26 2012-09-19 株式会社キーエンス レーザ加工装置、加工データ生成方法及びコンピュータプログラム
US8393784B2 (en) * 2008-03-31 2013-03-12 General Electric Company Characterization of flaws in composites identified by thermography
US20130124426A1 (en) * 2008-10-02 2013-05-16 ecoATM, Inc. Method And Apparatus For Recycling Electronic Devices
CA2926097C (en) 2008-10-02 2020-11-10 ecoATM, Inc. Secondary market and vending system for devices
US7881965B2 (en) 2008-10-02 2011-02-01 ecoATM, Inc. Secondary market and vending system for devices
US11010841B2 (en) 2008-10-02 2021-05-18 Ecoatm, Llc Kiosk for recycling electronic devices
US9881284B2 (en) 2008-10-02 2018-01-30 ecoATM, Inc. Mini-kiosk for recycling electronic devices
US10853873B2 (en) 2008-10-02 2020-12-01 Ecoatm, Llc Kiosks for evaluating and purchasing used electronic devices and related technology
US20100140236A1 (en) * 2008-12-04 2010-06-10 General Electric Company Laser machining system and method
US8725430B2 (en) * 2009-03-17 2014-05-13 West Nippon Expressway Engineering Shikoku Company Limited Method and apparatus for determining structural damage depth, and method and apparatus for determining structural damage treatment
JP5414058B2 (ja) * 2010-03-10 2014-02-12 独立行政法人産業技術総合研究所 熱拡散率測定装置
CA3210819A1 (en) 2011-04-06 2012-10-11 Ecoatm, Llc Method and kiosk for recycling electronic devices
US8755044B2 (en) * 2011-08-15 2014-06-17 Kla-Tencor Corporation Large particle detection for multi-spot surface scanning inspection systems
KR101429348B1 (ko) 2012-09-05 2014-08-13 한국원자력연구원 시편의 내부결함 검출을 위한 비접촉식 영상 검사 방법 및 장치
US9041408B2 (en) * 2013-01-16 2015-05-26 Hrl Laboratories, Llc Removable surface-wave networks for in-situ material health monitoring
US8759770B1 (en) * 2013-04-08 2014-06-24 General Electric Company System and method for qualifying usability risk associated with subsurface defects in a multilayer coating
KR101580844B1 (ko) * 2014-05-08 2015-12-30 한국수력원자력(주) 발전소 가열 및 냉각 운전 과도사건의 피로평가에서 보정계수 산출방법
JP6304880B2 (ja) * 2014-06-17 2018-04-04 株式会社Ihi 非破壊検査装置
JP6652060B2 (ja) * 2014-09-25 2020-02-19 日本電気株式会社 状態判定装置および状態判定方法
US10401411B2 (en) 2014-09-29 2019-09-03 Ecoatm, Llc Maintaining sets of cable components used for wired analysis, charging, or other interaction with portable electronic devices
WO2016054435A1 (en) 2014-10-02 2016-04-07 ecoATM, Inc. Application for device evaluation and other processes associated with device recycling
EP4446968A2 (en) 2014-10-02 2024-10-16 ecoATM, LLC Wireless-enabled kiosk for recycling consumer devices
US10445708B2 (en) 2014-10-03 2019-10-15 Ecoatm, Llc System for electrically testing mobile devices at a consumer-operated kiosk, and associated devices and methods
US10417615B2 (en) 2014-10-31 2019-09-17 Ecoatm, Llc Systems and methods for recycling consumer electronic devices
US10572946B2 (en) 2014-10-31 2020-02-25 Ecoatm, Llc Methods and systems for facilitating processes associated with insurance services and/or other services for electronic devices
CA3227945A1 (en) 2014-11-06 2016-05-12 Ecoatm, Llc Methods and systems for evaluating and recycling electronic devices
WO2016094789A1 (en) 2014-12-12 2016-06-16 ecoATM, Inc. Systems and methods for recycling consumer electronic devices
CN105784754A (zh) * 2016-02-25 2016-07-20 山西省交通科学研究院 一种预应力混凝土结构预应力孔道密实度检测系统及方法
FR3049701B1 (fr) * 2016-03-31 2018-04-27 Espci Procede, methode et dispositif de determination de la profondeur d'une fissure dans un solide
US10127647B2 (en) 2016-04-15 2018-11-13 Ecoatm, Llc Methods and systems for detecting cracks in electronic devices
US9885672B2 (en) 2016-06-08 2018-02-06 ecoATM, Inc. Methods and systems for detecting screen covers on electronic devices
US10269110B2 (en) 2016-06-28 2019-04-23 Ecoatm, Llc Methods and systems for detecting cracks in illuminated electronic device screens
FR3053469B1 (fr) * 2016-06-30 2018-08-17 Areva Np Procede d'inspection d'une surface metallique et dispositif associe
CN109804119B (zh) * 2016-12-30 2021-03-19 同济大学 基于红外热像图分析的沥青路面裂缝发育程度检测方法
US10241036B2 (en) * 2017-05-08 2019-03-26 Siemens Energy, Inc. Laser thermography
CN108254410B (zh) * 2017-12-27 2020-04-03 中国人民解放军陆军装甲兵学院 基于红外检测的喷涂层接触疲劳寿命预测方法及装置
US10551327B2 (en) * 2018-04-11 2020-02-04 General Electric Company Cooling hole inspection system
CN109614892A (zh) * 2018-11-26 2019-04-12 青岛小鸟看看科技有限公司 一种疲劳驾驶检测方法、装置和电子设备
KR20210106493A (ko) 2018-12-19 2021-08-30 에코에이티엠, 엘엘씨 이동 전화기 및 다른 전자 디바이스의 판매 및/또는 구매를 위한 시스템 및 방법
KR20210125526A (ko) 2019-02-12 2021-10-18 에코에이티엠, 엘엘씨 전자 디바이스 키오스크를 위한 커넥터 캐리어
EP3924918A1 (en) 2019-02-12 2021-12-22 ecoATM, LLC Kiosk for evaluating and purchasing used electronic devices
CN111738402A (zh) 2019-02-18 2020-10-02 埃科亚特姆公司 基于神经网络的电子设备物理状况评估及相关系统和方法
WO2022040668A1 (en) 2020-08-17 2022-02-24 Ecoatm, Llc Evaluating an electronic device using optical character recognition
US11922467B2 (en) 2020-08-17 2024-03-05 ecoATM, Inc. Evaluating an electronic device using optical character recognition
US11810288B2 (en) 2020-09-04 2023-11-07 General Electric Company Systems and methods for generating a single observation image to analyze coating defects
US11603593B2 (en) 2020-09-04 2023-03-14 General Electric Company Systems and methods for automatic detection of coating defects

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62126339A (ja) * 1985-11-28 1987-06-08 Komatsu Ltd 内部欠陥の検出方法および装置
JPH01151246A (ja) * 1987-12-08 1989-06-14 Ricoh Co Ltd 半導体集積回路装置の多層配線
JPH0212044A (ja) * 1988-06-30 1990-01-17 Nkk Corp 赤外線カメラによる欠陥部の検出方法
JPH05296956A (ja) * 1992-04-24 1993-11-12 Toshiba Corp 表面探傷装置
JPH11337511A (ja) * 1998-05-25 1999-12-10 Advantest Corp 回路検査装置および方法
JP2002541452A (ja) * 1999-04-06 2002-12-03 サーマル・ウェーブ・イメージング、インク キッシングアンボンド欠陥検出方法および装置

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US511048A (en) * 1893-12-19 Work-bench for saloons
USRE32166E (en) * 1979-01-17 1986-06-03 Elkem A/S Detection of flaws in metal members
US4266185A (en) * 1979-02-16 1981-05-05 Dover & Partners Limited Probes and apparatus for and methods of measuring crack depths
US4345457A (en) * 1979-12-27 1982-08-24 Kuroki Kogyosho Co., Ltd. Method for detecting the depth of cracks in rolls used for transferring hot steel ingot bloom and rolls used therefor
DE3034944C2 (de) * 1980-09-01 1985-01-17 Gerhard Dr. 8029 Sauerlach Busse Verfahren und Einrichtung zur photothermischen Struktur-Untersuchung fester Körper
US4647220A (en) * 1984-07-09 1987-03-03 Lockheed Corporation Method of and apparatus for detecting corrosion utilizing infrared analysis
GB2197465B (en) * 1986-09-17 1990-05-30 Atomic Energy Authority Uk Crack sizing
US4760304A (en) * 1986-11-24 1988-07-26 General Electric Company Dark field coaxial ultrasonic transducer
US4983836A (en) * 1988-06-30 1991-01-08 Nkk Corporation Method for detecting thinned out portion on inner surface or outer surface of pipe
US5131758A (en) * 1990-05-16 1992-07-21 Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Method of remotely characterizing thermal properties of a sample
US5111048A (en) * 1990-09-27 1992-05-05 General Electric Company Apparatus and method for detecting fatigue cracks using infrared thermography
US5748003A (en) * 1991-07-29 1998-05-05 Colorado State University Research Foundation Microwaves used for determining fatigue and surface crack features on metal surfaces
US5302830A (en) * 1993-03-05 1994-04-12 General Research Corporation Method for measuring thermal differences in infrared emissions from micro devices
US5810477A (en) * 1993-04-30 1998-09-22 International Business Machines Corporation System for identifying surface conditions of a moving medium
US20020018510A1 (en) * 1996-07-31 2002-02-14 Murphy John C. Thermal-based methods for nondestructive evaluation
FR2760528B1 (fr) * 1997-03-05 1999-05-21 Framatome Sa Procede et dispositif d'examen photothermique d'un materiau
US6437334B1 (en) * 1999-09-16 2002-08-20 Wayne State University System and method for detecting cracks in a tooth by ultrasonically exciting and thermally imaging the tooth
US6236049B1 (en) * 1999-09-16 2001-05-22 Wayne State University Infrared imaging of ultrasonically excited subsurface defects in materials
US6751342B2 (en) * 1999-12-02 2004-06-15 Thermal Wave Imaging, Inc. System for generating thermographic images using thermographic signal reconstruction
DE10158095B4 (de) * 2001-05-05 2012-03-22 Lpkf Laser & Electronics Ag Vorrichtung zur Kontrolle einer Schweißnaht in einem aus schweißfähigem Kunststoff bestehenden Werkstück

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62126339A (ja) * 1985-11-28 1987-06-08 Komatsu Ltd 内部欠陥の検出方法および装置
JPH01151246A (ja) * 1987-12-08 1989-06-14 Ricoh Co Ltd 半導体集積回路装置の多層配線
JPH0212044A (ja) * 1988-06-30 1990-01-17 Nkk Corp 赤外線カメラによる欠陥部の検出方法
JPH05296956A (ja) * 1992-04-24 1993-11-12 Toshiba Corp 表面探傷装置
JPH11337511A (ja) * 1998-05-25 1999-12-10 Advantest Corp 回路検査装置および方法
JP2002541452A (ja) * 1999-04-06 2002-12-03 サーマル・ウェーブ・イメージング、インク キッシングアンボンド欠陥検出方法および装置

Also Published As

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