JP4493527B2 - 光学素子 - Google Patents
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Description
上記非特許文献1に開示されたものは、光学素子に関する発明である。図17は、上記非特許文献1の第一実施例の光学素子の平面図である。
非特許文献2に開示されたものは非特許文献1に開示されたものとほぼ同じであるが、圧電体による動的な特性制御に関して記述はない。
非特許文献3に記載されたものも非特許文献1とほぼ同じであるが、圧電体による動的な特性制御に関して記述はない。
同図に示すように、100nm四方のL字型の金薄膜パターンが格子状にアレイ化されて形成されている。非特許文献1と同様に、本光学素子への入射光に対して透過光の偏光面が回転するものである。しかし、非特許文献4にも、動的な特性制御に関して記述はない。
特許文献1には、高速のスイッチングを可能とする面型光スイッチが開示されている。
請求項1,2,3記載の発明の目的は、光学特性を電気信号などで準静的或いは動的に制御可能な光学素子をポーリングなどの複雑な工程を経ずに作製可能とすることを目的とする。また、光学素子特性の制御の自由度が高く、かつ準静的或いは動的に特性を変化させることができる具体的な光学素子を提供することにある。
さらに請求項1記載の発明は、前記構造物の形状は十字型で、かつ、該十字型の中心寄りの部分を固定部分としていることを特徴とし、請求項2記載の発明は、前記構造物の形状は卍型または逆卍型で、かつ、該卍型または逆卍型の中心寄りの部分を固定部分としていること特徴とし、請求項3記載の発明は、前記構造物の形状はL字型またはV字型またはU字型で、かつ、これらの変曲点寄りの部分を固定部分としていることを特徴としている。
請求項1,2,3の光学素子においては、使用する光の波長よりも小さな寸法の構造物を基板上に複数形成し、前記光を前記構造物に照射するとともに、前記構造物の形状を前記基板と平行な方向に変形させることにより前記光の前記構造物からの反射光または透過光の特性を制御することを特徴とする光学素子において、前記構造物に電圧を印加して生じる静電引力により、前記構造物の変形を生じさせることを特徴とする光学素子であるので、光学特性を電気信号などで準静的或いは動的に制御可能な光学素子をポーリングなどの複雑な工程を経ずに作製可能とすることができる。特に、請求項1の光学素子においては、前記構造物の形状が十字型で、かつ、十字の中心寄りの部分を固定部分としており、請求項2の光学素子においては、前記構造物の形状が卍型で、かつ、卍の中心寄りの部分を固定部分としており、また、請求項3の光学素子においては、前記構造物の形状がL字型、或いは、V字型、或いは、U字型で、かつ、これらの変曲点寄りの部分を固定部分としているので、それぞれ具体的な光学素子を提供することができる。
図1は、本発明の第1の実施例を説明するための図である。ここでは、一例としてn型シリコン基板10にボロンなどの不純物を高濃度に拡散し、拡散部分を低抵抗化してp型の配線領域11を形成する。
図3は、本発明の第2の実施例を説明するための図である。ここでは一例としてn型シリコン基板10にボロンなどの不純物を高濃度に拡散し、拡散部分を低抵抗化してp型の配線領域11を形成する。
図6は、本発明の第3の実施例を説明するための図である。
また、卍型の形状としては、図16のように、直角以外の角度で曲がったものでもよい。作製方法、動作などは、すでに記述した実施例と同じなので省略する。
図10は、本発明の第4の実施例を説明するための図である。構成は図3とほぼ同じである。異なる点は光学要素の形状が十字ではなく、L型になっている点である。また、固定電極183がL字の間にある。図11は、固定部分の実施例を示したものである。この場合の断面図を図12に示す。
11:配線領域
12:第一金属層
13:層間絶縁膜
14:第二金属層
15:静電引力
16:有機物(フォトレジストなど)
17:絶縁膜
18:金属層
181:L字構造物(金属層)
1811:可動部分
1812:固定部分
182:固定電極
20,21:コンタクトホール
22:V字構造物(金属層)
23:U字構造物(金属層)
100:光学素子
101:シリコンウエファ基板
102:金薄膜
200:光学要素
201、202:金属キラル層(金)
203:圧電体層
300:光学素子
Claims (3)
- 使用する光の波長よりも小さな寸法の構造物を基板上に複数形成し、前記光を前記構造物に照射するとともに、前記構造物の形状を前記基板と平行な方向に変形させることにより前記光の前記構造物からの反射光または透過光の特性を制御することを特徴とする光学素子において、
前記構造物の形状の変形は、前記構造物に電圧を印加して生じる静電引力により行われるものであって、
前記構造物の形状は十字型で、かつ、該十字型の中心寄りの部分を固定部分としていることを特徴とする光学素子。 - 使用する光の波長よりも小さな寸法の構造物を基板上に複数形成し、前記光を前記構造物に照射するとともに、前記構造物の形状を前記基板と平行な方向に変形させることにより前記光の前記構造物からの反射光または透過光の特性を制御することを特徴とする光学素子において、
前記構造物の形状の変形は、前記構造物に電圧を印加して生じる静電引力により行われるものであって、
前記構造物の形状は卍型または逆卍型で、かつ、該卍型または逆卍型の中心寄りの部分を固定部分としていること特徴とする光学素子。 - 使用する光の波長よりも小さな寸法の構造物を基板上に複数形成し、前記光を前記構造物に照射するとともに、前記構造物の形状を前記基板と平行な方向に変形させることにより前記光の前記構造物からの反射光または透過光の特性を制御することを特徴とする光学素子において、
前記構造物の形状の変形は、前記構造物に電圧を印加して生じる静電引力により行われるものであって、
前記構造物の形状はL字型またはV字型またはU字型で、かつ、これらの変曲点寄りの部分を固定部分としていることを特徴とする光学素子。
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