JP4490364B2 - Electronic component mounting equipment - Google Patents
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Description
この発明は供給ステージに供給されたトイレから電子部品を取り出して基板に実装する電子部品の実装装置に関する。 The present invention relates to an electronic component mounting apparatus that takes out an electronic component from a toilet supplied to a supply stage and mounts the electronic component on a substrate.
たとえば、電子部品としての半導体チップを基板に実装する場合、いわゆるフリップチップ方式の実装装置が用いられる。通常、実装装置は上記基板を搬送する基板搬送手段と、半導体チップを供給ステージに供給する部品供給手段と、供給ステージに供給された半導体チップを取り出して上記基板に実装する実装手段から構成されている。 For example, when a semiconductor chip as an electronic component is mounted on a substrate, a so-called flip chip mounting device is used. Usually, the mounting apparatus is composed of substrate transport means for transporting the substrate, component supply means for supplying the semiconductor chip to the supply stage, and mounting means for taking out the semiconductor chip supplied to the supply stage and mounting it on the substrate. Yes.
上記供給ステージへ半導体チップを供給するには、通常、ウエハリングを上記供給ステージに供給するということが行なわれている。上記ウエハリングには、多数の半導体チップにダイシングされた半導体ウエハが貼着されている。しかしながら、ウエハリングに設けられた1枚の半導体ウエハに含まれる不良品の数が多い場合には、実装装置の稼働率が低下するということになる。 In order to supply a semiconductor chip to the supply stage, usually, a wafer ring is supplied to the supply stage. A semiconductor wafer diced into a large number of semiconductor chips is attached to the wafer ring. However, when the number of defective products included in one semiconductor wafer provided in the wafer ring is large, the operating rate of the mounting apparatus is reduced.
そこで、ダイシングされた半導体ウエハから予め良品の半導体チップだけを選択し、その半導体チップをトレイに収納し、そのトレイを供給ステージに供給することで、実装装置の稼働率を向上させるようにすることが行なわれている。 Therefore, by selecting only good semiconductor chips from the diced semiconductor wafer in advance, storing the semiconductor chips in a tray, and supplying the tray to the supply stage, the operating rate of the mounting apparatus is improved. Has been done.
一方、基板の用途によっては、1枚の基板に複数種の半導体チップを実装するということが行なわれる。そのような場合、異なる種類の半導体チップを収納した複数のトレイを上記供給ステージに供給し、各トレイに収納載置されたそれぞれの種類の半導体チップを基板に順次実装するということが行なわれる。 On the other hand, depending on the use of the substrate, a plurality of types of semiconductor chips are mounted on one substrate. In such a case, a plurality of trays storing different types of semiconductor chips are supplied to the supply stage, and the respective types of semiconductor chips stored and placed in the respective trays are sequentially mounted on the substrate.
従来、異なる種類の半導体チップを収納した複数のトレイを供給ステージに供給する場合、複数のトレイをトレイキヤリアに載置し、このトレイキヤリアを供給ステージに供給し、各トレイから取り出した半導体チップを実装ツールに受け渡して上記基板に実装するということが行なわれていた。 Conventionally, when supplying a plurality of trays containing different types of semiconductor chips to a supply stage, the plurality of trays are placed on a tray carrier, the tray carriers are supplied to the supply stage, and the semiconductor chips taken out from each tray are It has been performed to transfer to a mounting tool and mount on the board.
ところで、トレイキヤリアに設けられる複数のトレイには、それぞれ種類の異なる半導体チップが収容載置されているものの、各トレイ毎に数が異なるということがある。しかも、基板に実装される半導体チップはそれぞれの種類毎に数が異なることもある。 By the way, although a plurality of types of semiconductor chips are accommodated and placed in the plurality of trays provided in the tray carrier, the number may differ for each tray. Moreover, the number of semiconductor chips mounted on the substrate may be different for each type.
そのため、基板に複数種の半導体チップを実装するということを繰り返して行なうと、トレイキヤリアに設けられた複数のトレイに収容された半導体チップが同時になくならず、特定のトレイの半導体チップだけがなくなるということが生じる。そのような場合、半導体チップがなくなったトレイに手動で半導体チップを補充するということが行なわれていたので、作業者に掛かる負担が大きくなるばかりか、生産性の低下を招くということがある。 Therefore, when it is repeatedly performed that a plurality of types of semiconductor chips are mounted on the substrate, the semiconductor chips housed in the plurality of trays provided in the tray carrier are not lost at the same time, and only the semiconductor chips in a specific tray are lost. That happens. In such a case, since the semiconductor chip is manually replenished to the tray in which the semiconductor chip is exhausted, the burden on the operator is increased and the productivity may be reduced.
この発明は、供給ステージに供給された複数のトレイのうち、電子部品が空になったトレイに対し、電子部品を自動的に供給することができるようにした電子部品の実装装置を提供することにある。 The present invention provides an electronic component mounting apparatus capable of automatically supplying an electronic component to a tray in which the electronic component is empty among a plurality of trays supplied to a supply stage. It is in.
この発明は、基板に電子部品を実装する実装装置であって、
上記基板を搬送位置決めする基板搬送手段と、
上記電子部品を収納したトレイを供給ステージに供給する部品供給手段と、
この部品供給手段によって上記供給ステージに供給されたトレイから上記電子部品を取り出して上記基板に実装する実装手段を具備し、
上記部品供給手段は、
並設されているとともに、それぞれ異なる種類の電子部品が収納載置された上記トレイが出し入れ可能に設けられた複数のトレイスタッカと、
上記供給ステージ上に上記トレイスタッカと同じ方向に並設された複数のコンベアユニットを有し、異なる電子部品が収納載置された各トレイスタッカのトレイを上記コンベアユニットに選択的に供給搬送するとともに、空になった上記コンベアユニットから上記トレイをそれぞれの上記トレイスタッカに回収搬送するトレイ搬送手段と、
上記コンベアユニットに上記トレイスタッカのトレイを選択的に供給するとき、及び空になった上記トレイを上記トレイスタッカに回収するときには上記コンベアユニットの一端が上記トレイスタッカに接近するよう上記供給ステージを駆動し、上記実装手段が上記トレイから電子部品を取り出して上記基板に実装するときには上記コンベアユニットの一端が上記トレイスタッカから離れ上記トレイの電子部品が上記実装手段によって取り出される位置になるよう上記供給ステージを駆動する駆動手段と
によって構成されていることを特徴とする電子部品の実装装置にある。
The present invention is a mounting apparatus for mounting electronic components on a substrate,
Substrate transport means for transporting and positioning the substrate;
Component supply means for supplying a tray storing the electronic components to a supply stage;
A mounting means for taking out the electronic component from the tray supplied to the supply stage by the component supply means and mounting the electronic component on the substrate;
The component supply means is
A plurality of tray stackers provided in parallel so that the trays in which different types of electronic components are stored and placed are detachable; and
A plurality of conveyor units arranged side by side in the same direction as the tray stacker on the supply stage , and selectively feeding and conveying the trays of each tray stacker on which different electronic components are stored and mounted to the conveyor unit Tray transport means for collecting and transporting the tray from the conveyor unit that has been emptied to the respective tray stacker;
When the tray of the tray stacker is selectively supplied to the conveyor unit, and when the empty tray is recovered to the tray stacker, the supply stage is driven so that one end of the conveyor unit approaches the tray stacker. When the mounting means takes out the electronic component from the tray and mounts it on the substrate, the supply stage is arranged such that one end of the conveyor unit is separated from the tray stacker and the electronic component on the tray is taken out by the mounting means. Driving means for driving
The electronic component mounting apparatus is characterized by comprising:
上記複数のトレイスタッカは、上記供給ステージと一体的に設けられていることが好ましい。 The plurality of tray stackers are preferably provided integrally with the supply stage.
上記供給ステージに供給された上記トレイは撮像手段によって撮像され、上記トレイ搬送手段は上記撮像手段からの撮像信号に基いて空になったトレイを上記供給ステージから上記トレイスタッカに格納し、新たなトレイを上記供給ステージに供給することが好ましい。 The tray supplied to the supply stage is picked up by the image pickup means, and the tray transport means stores the empty tray based on the image pickup signal from the image pickup means from the supply stage into the tray stacker, and creates a new one. It is preferable to supply the tray to the supply stage.
複数のトレイ搬送手段は上記基板の搬送方向と同じ方向に並設されていて、各搬送手段から上記供給ステージに供給される複数のトレイは、この供給ステージ上で上記基板の搬送方向に沿って一列に並べられることが好ましい。 The plurality of tray transfer means are arranged in parallel in the same direction as the substrate transfer direction, and the plurality of trays supplied from each transfer means to the supply stage are along the substrate transfer direction on the supply stage. It is preferable that they are arranged in a line.
この発明によれば、トレイが出し入れ可能に設けられた複数のトレイスタッカに対し、それぞれのトレイを供給ステージに搬送したり、搬出する複数のトレイ搬送手段を供給ステージと一体的に設けた。そのため、電子部品が取り出されて空になったトレイだけを搬送手段によって回収し、新たなトレイをトレイストッカから供給ステージに自動で供給することが可能となる。 According to this invention, with respect to the plurality of tray stackers provided so that the trays can be taken in and out, a plurality of tray conveying means for conveying each tray to the supply stage or carrying it out is provided integrally with the supply stage. Therefore, it is possible to collect only the tray that has been emptied after the electronic components are taken out by the conveying means, and automatically supply a new tray from the tray stocker to the supply stage.
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1乃至図3はこの発明の第1の実施の形態を示し、図1に示すフリップチップ方式の実装装置は部品供給手段1を有する。この部品供給手段1は供給ステージ2を備えている。この供給ステージ2は駆動手段3によってX、Y及びθ方向に駆動可能となっている。
1 to 3 show a first embodiment of the present invention. The flip-chip mounting apparatus shown in FIG. The component supply means 1 includes a
上記駆動手段3は、装置本体4の一端部上面に設けられたベース5を有する。このベース5にはXテーブル6が図1に矢印で示すX方向に沿って移動可能に設けられている。このXテーブル6は上記ベース5の一端に設けられたX駆動源6aによってX方向に駆動されるようになっている。
The driving means 3 has a
上記Xテーブル6にはYテーブル7が上記X方向と直交するY方向に沿って移動可能に設けられている。このYテーブル7は、上記Xテーブル6の一端に設けられたY駆動源7aによってY方向に駆動されるようになっている。
The X table 6 is provided with a Y table 7 movably along the Y direction perpendicular to the X direction. The Y table 7 is driven in the Y direction by a
上記Yテーブル7にはθテーブル8が設けられている。このθテーブル8は上記Yテーブル7に設けられたθ駆動源8aによって回転方向に駆動可能となっている。そして、上記θテーブル8に上記供給ステージ2が設けられている。それによって、供給ステージ2はX、Y及びθ方向に駆動されるようになっている。
The Y table 7 is provided with a θ table 8. The θ table 8 can be driven in the rotational direction by a
図1と図2に示すように、上記供給ステージ2上にはトレイ搬送手段としての4つのコンベアユニット101が上記Y方向に沿って並設されている。コンベアユニット101は側面形状がL字状のフレーム102を有し、このフレーム102に設けられた一対のローラ103間に無端状のベルト104が張設されている。一方のローラ103は図示しない駆動源によって回転駆動されるようになっている。それによって、上記ベルト104は正方向或いは逆方向に選択的に無端駆動可能となっている。
As shown in FIGS. 1 and 2, on the
4つのコンベアユニット101の一端にはそれぞれトレイスタッカ105が対向して設けられている。つまり、各トレイスタッカ105はコンベアユニット101の並設方向と同じY方向に沿って並設されている。各トレイスタッカ105には図1に示すように複数のトレイ106が収容されていて、そのトレイ106がそれぞれのコンベアユニット101に後述するように供給される。
A
図1に示すように、各トレイスタッカ105は前面及び上面が開放した箱型状の外筐107を有する。この外筐107は上記ベース5の一端部上面に立設されていて、内部には可動ケース108が設けられている。この可動ケース108は上記外筐107の両側内面に設けられたリニアガイド109にガイドされて上下方向に移動可能となっている。
As shown in FIG. 1, each
上記リニアガイド109をリニアモータとすることで、上記可動ケース108を図1に実線で示す下降位置から鎖線で示す上昇位置に駆動することができる。なお、可動ケース108の上下駆動はリニアモータによらず、シリンダを用いたり、滑車とワイヤを用いて行うようにしてもよく、その駆動手段は特定されるものでない。
By using the
上記可動ケース108は前面が開放しているとともに、内部には上下方向に所定間隔で複数の棚110が区画形成されている。各棚110にはそれぞれ上記トレイ106が可動ケース108の前面開口から出し入れ可能に収納されている。棚110に収納されたトレイ106は、上記外筐107の背面の上記コンベアユニット101のベルト104とほぼ同じ高さに設けられたプッシャ111によって押し出されるようになっている。
The
上記供給ステージ2がX方向に駆動されて上記コンベアユニット101の一端が上記トレイスタッカ105の前面に接近して対向すると、上記プッシャ111が作動してこのプッシャ111と同じ高さ位置の棚110に載置されたトレイ106がベルト104上に押し出される。
When the
トレイ106がベルト104上に供給されると、このベルト104が走行駆動してトレイ106がX方向に沿うコンベアユニット101の他端、つまり供給ステージ2のX方向に沿う径方向の中央部に搬送される。ベルト104によって搬送されたトレイ106はフレーム102の端部に設けられたストッパ102aに当接して位置決めされる。
When the
供給ステージ2に供給される各トレイ106には電子部品としての半導体チップが収納載置されている。図2に示すように、4つのトレイ106には大きさや性能などがそれぞれ異なる、つまり種類の異なるそれぞれ複数の第1乃至第4の半導体チップT1〜T4が収容載置されている。
Each
後述するように、各トレイ106に収納されたそれぞれの半導体チップT1〜T4が基板22に実装されて4つのトレイ106のうち、たとえば第1の半導体チップT1が載置されたトレイ106が空になると、供給ステージ2が図2に矢印で示すトレイスタッカ105の方向に駆動される。コンベアユニット101の一端が供給ステージ2に近接すると、供給ステージ2のX方向に沿う駆動が停止される。ついで、コンベアユニット101のベルト104が駆動され、空になったトレイ106がトレイスタッカ105の空いた棚110に収納される。
As will be described later, each of the semiconductor chips T1 to T4 housed in each
空のトレイ106が棚110に収納されると、可動ケース108が一段分だけ上昇方向に駆動される、ついで、プッシャ111が作動して半導体チップT1が載置された新たなトレイ106がベルト104上に供給されることになる。
When the
上記各トレイ106に収容された第1乃至第4の半導体チップT1〜T4はピックアップ装置を構成するピックアップツール11によって取り出される。このピックアップツール11は図1に示すようにL字状をなし、支軸12を支点として同図に鎖線で示す位置と実線で示す位置との180度の範囲で矢印方向に回転駆動させることができるとともに、先端部には半導体チップを真空吸着する吸着ノズル13が設けられている。さらに、ピックアップツール11は図示しない駆動手段によってX、Y方向(水平方向)及びZ方向(上下方向)に駆動可能となっている。
The first to fourth semiconductor chips T1 to T4 accommodated in the
上記ベース5の他端部には支持体15が設けられている。この支持体15の上面には、一端部を支持体15に固定し、他端部を上記供給テージ2側に突出させた第1のベース16が水平に設けられている。この第1のベース16の他端部の上面にはステージテーブル17が設けられている。
A
このステージテーブル17はXテーブル18と、このXテーブル18上に設けられ上記供給ステージ2に対して接離するX方向に駆動されるYテーブル19及びこのYテーブル19上に設けられて上記X、Y方向に駆動される実装ステージ20を有する。
The stage table 17 is provided with an X table 18, a Y table 19 provided on the X table 18 and driven in the X direction so as to be in contact with and away from the
上記Xテーブル18にはYテーブル19をX方向に駆動するX駆動源18aが設けられ、Yテーブル19には実装ステージ20をY方向に駆動するY駆動源19aが設けられている。実装ステージ20はZ駆動源20aによって上下方向である、Z方向に駆動されるようになっている。つまり、実装ステージ20はX、Y及びZ方向に駆動可能となっている。
The X table 18 is provided with an
上記実装ステージ20の上方には搬送ガイド21が設けられている。この搬送ガイド21には、上記ピックアップツール11によって後述するごとくトレイ106から取り出された第1乃至第4の半導体チップT1〜T4が実装されるリードフレームなどの基板22が所定方向、この実施の形態では上記X方向と直交するY方向沿ってピッチ送りされるようになっている。そして、基板22は、第1乃至第4の半導体チップT1〜T4を実装する実装位置で位置決めされる。なお、上記搬送ガイド21及び基板22をピッチ送りする図示しない駆動機構によって基板搬送手段23を構成している。
A
上記実装ステージ20には図示しないヒータが内蔵されている。このヒータは実装ステージ20を、たとえば300〜400℃に加熱する。加熱された実装ステージ20が上昇方向に駆動されると、その上面で上記搬送ガイド21によって搬送されて実装位置で位置決めされた基板22の下面を支持する。それによって、基板22は実装ステージ20によって300〜400℃に加熱される。
The mounting
上記第1のベース16の一端部には第1のスペーサ24を介して第2のベース25が一端部を固定して水平に設けられている。この第2のベース25は上記第1のベース16よりも長さ寸法が短く、他端部は上記供給ステージ2側に突出している。
A
上記第2のベース25の他端部の上面にはカメラテーブル26が設けられている。このカメラテーブル26はXテーブル27を有する。このXテーブル27上にはX駆動源27aによってX方向に駆動されるYテーブル28が設けられている。このYテーブル28上にはY駆動源28aによってY方向に駆動される取り付け部材29が設けられている。
A camera table 26 is provided on the upper surface of the other end of the
上記取り付け部材29には撮像手段を構成するカメラユニット31が設けられている。このカメラユニット31は、内部に上記搬送ガイド21に沿って搬送される基板22を撮像する第1のカメラ32と、上記ピックアップツール11から後述する実装ツール49の吸着面49aに受け渡された第1乃至第4の半導体チップT1〜T4を撮像する第2のカメラ33とが設けられている。各カメラ32,33は図3に示す。
The
一方、上記供給ステージ2の上方には、コンベアユニット101によって上記供給ステージ2上に供給位置決めされたトレイ106を撮像する第3のカメラ34が設けられている。つまり、第3のカメラ34の撮像信号によって各トレイ106に収納された第1乃至第4の半導体チップT1〜T4の有無や位置などが認識される。なお、各カメラ32,33,34はたとえばCCD(固体撮像素子)からなる。
On the other hand, above the
図3に示すように、各カメラ32,33,34からの撮像信号は制御装置39に設けられた画像処理部40に入力し、ここで処理されてデジタル信号に変換されるようになっている。なお、制御装置39は図1に示すように上記支持体15に設けられている。
As shown in FIG. 3, the imaging signals from the
図1に示すように、上記第2のベース25の一端部の上面には第2のスペーサ41が設けられている。この第2のスペーサ41には第3のベース42が一端部を固定して水平に設けられている。第3のベース42の他端部の上面にはヘッドテーブル43が設けられている。このヘッドテーブル43はXテーブル44を有する。このXテーブル44の上面にはX駆動源44aによってX方向に駆動されるYテーブル45が設けられている。このYテーブル45の上面にはY駆動源45aによってY方向に駆動される取り付け体46が設けられている。
As shown in FIG. 1, a
上記取り付け体46の前端面にはZテーブル47が設けられ、このZテーブル47にはZ駆動源47aによって上記X方向とY方向とがなす平面に対して直交するZ方向に駆動される実装ヘッド48が設けられている。
A Z table 47 is provided on the front end surface of the mounting
上記実装ヘッド48の先端には断面形状が矩形状の図示しないヒータを内蔵した上記実装ツール49がθテーブル50によって水平方向の回転角度の調整可能に設けられている。つまり、上記実装ツール49はX、Y、Z及びθ方向に駆動可能となっている。実装ツール49は供給ステージ2のトレイ106から取り出して吸着保持した半導体チップT1〜T4を、たとえば300〜400℃程度に加熱する。
At the tip of the mounting
図3は制御回路のブロック図である。上記制御装置39は制御部55、上記画像処理部40及び駆動出力部57を有する。上記制御部55にはタッチパネルやキーボードなどのデータ入力手段58及びHDDなどのデータ保存媒体59が接続されている。上記データ入力手段58は、上記制御部55に上記基板22に第1乃至第4の半導体チップT1〜T4を実装するときの実装条件、たとえば第1乃至第4の半導体チップT1〜T4を実装する位置や数などを入力できるようになっている。
FIG. 3 is a block diagram of the control circuit. The
上記画像処理部40には上記カメラユニット31に設けられた上記第1のカメラ32と第2のカメラ33及び上記供給ステージ2に供給されたトレイ106を撮像する上記第3のカメラ34からの撮像信号が入力される。第1のカメラ32、第2のカメラ33及び第3のカメラ34からの撮像信号を取り込んだ上記画像処理部40は、その撮像信号をデジタル信号に変換して上記制御部55に出力する。なお、第1、第2のカメラ32,33からの撮像信号は、上記画像処理部40に接続されたモニタ61に表示できるようになっている。
The
上記制御部55は、デジタル信号に変換された第1、第2のカメラ32,33の撮像信号を画像処理することで、搬送ガイド21に位置決めされた基板22と、実装ツール49に保持された第1乃至第4の半導体チップT1〜T4のいずれかの半導体チップの中心位置を算出し、その算出に基いて実装ツール49をX、Y方向に駆動してその半導体チップの中心が基板22の実装中心に一致する実装位置に位置決めする。そして、位置決めされた半導体チップは上記基板22に実装される。
The
さらに、制御部55は第3のカメラ34の撮像信号を画像処理することで、4つのトレイ106に収容された第1乃至第4の半導体チップT1〜T4の有無を検出し、トレイ106に半導体チップが有る場合には各半導体チップT1〜T4の位置を認識し、その認識に基いて上記ピックアップツール11を所定の半導体チップT1〜T4の上方に位置決めするようになっている。
Further, the
上記制御部55による上記供給ステージ21、ピックアップツール11、実装ステージ20、基板搬送手段23、カメラユニット31、実装ツール49及び4つのコンベアユニット101の駆動は、制御部55に接続された上記駆動出力部57から出力される駆動信号によって行われる。
The drive of the
つぎに、上記構成の実装装置の動作について説明する。
供給ステージ2上に4つのコンベアユニット101によってそれぞれ異なる種類の第1乃至第4の半導体チップT1〜T4が載置された4つのトレイ106がベルト104によって搬送され、フレーム102のストッパ102aに当たって位置決めされると、これらトレイ106が第3のカメラ34によって撮像される。
Next, the operation of the mounting apparatus having the above configuration will be described.
Four
第3のカメラ34の撮像信号が制御部55で画像処理されることで、各トレイ106に第1乃至第4の半導体チップT1〜T4が有るか否かが判別され、有る場合にはそれぞれの半導体チップT1〜T4の位置が求められる。
The image pickup signal of the
ピックアップツール11は第3のカメラ34の撮像に基いて位置決めされ、供給ステージ2上の4つのトレイ106にそれぞれ載置収容された異なる種類の、第1乃至第4の半導体チップT1〜T4をデータ入力手段58によって設定された条件に基いて順次取り出す。
The pick-up
ピックアップツール11によってトレイ106から取り出された第1乃至第4の半導体チップT1〜T4は実装ツール49に受け渡され、この実装ツール49によって実装位置に位置決めされた基板22の所定の実装位置に実装される。
The first to fourth semiconductor chips T1 to T4 taken out from the
このような実装を繰り返すことで、4つのトレイ106のうち、たとえば第1の半導体チップT1が設けられたトレイ106が空になり、そのことが第3の撮像カメラ34の撮像信号を制御部55が画像処理することで認識されると、この制御部55から駆動出力部57に、供給ステージ2をトレイスタッカ105に接近するX方向(図2に矢印で示す)に駆動する駆動信号が出力される。
By repeating such mounting, among the four
それによって、供給ステージ2は駆動出力部57からの駆動信号によってX方向に駆動される。それによって、供給ステージ2に設けられた4つのコンベアユニット101の一端がそれぞれトレイスタッカ105の前面に接近して対向する。
Thereby, the
ついで、制御部55から駆動出力部57には、第1の半導体チップT1が設けられたトレイ106を収容したトレイスタッカ105に対応する第1のコンベアユニット101を駆動する駆動信号が出力される。
Next, a drive signal for driving the
それによって、ベルト104がトレイスタッカ105に向かう方向に走行駆動され、第1の半導体チップT1が全て取り出されて空になったトレイ106がトレイスタッカ105の空になった棚110に収容される。
As a result, the
空のトレイ106が棚110に収容されると、トレイスタッカ105の可動ケース108が一段分だけ上昇方向に駆動され、上記ベルト104と同じ高さに第1の半導体チップT1が載置された新たなトレイ106が位置決めされる。ついで、プッシャ111が作動してそのトレイ106をベルト104上に突き出す。トレイ106がベルト104に移載されると、このベルト104が先程とは逆方向に走行駆動される。それによって、第1の半導体チップT1が設けられた新たなトレイ106が供給ステージ2上で位置決めされる。
When the
上記トレイ106がベルト104上に移載されると同時に、供給ステージ2はトレイスタッカ105から離れるX方向に駆動され、ピックアップツール11によって各トレイ106から半導体チップT1〜T4を取り出すことのできる取り出し位置に戻る。第2乃至第4の半導体チップT2〜T4がなくなったときにも、第1の半導体チップT1のときと同様に、新たなトレイ106が供給ステージ2に供給されて位置決めされることになる。
At the same time as the
このように、それぞれ種類の異なる第1乃至第4の半導体チップT1〜T4を基板22に実装する場合、供給ステージ2上に供給位置決めされた複数のトレイ106のうち、所定のトレイ106の半導体チップがなくなったならば、そのことが第3のカメラ34によって認識され、その認識に基いて空のトレイ106を半導体チップが収容載置された新たなトレイ106に自動的に交換することができる。
As described above, when the first to fourth semiconductor chips T1 to T4 of different types are mounted on the
そのため、半導体チップがなくなったトレイを作業者が手作業で交換する場合に比べて作業者に掛かる負担を大幅に軽減することができるばかりか、生産性を向上させることができる。 Therefore, compared to the case where the operator manually replaces the tray with no semiconductor chips, the burden on the operator can be greatly reduced, and productivity can be improved.
供給ステージ2に供給される複数のトレイ106は、それぞれコンベアユニット101によって基板22の搬送方向と同じ方向である、Y方向に沿って一列に位置決めされて並設される。つまり、複数のトレイ106はX方向に対して同じ位置にある。
The plurality of
そのため、複数のトレイ106がY方向だけでなく、X方向に対しても異なる位置にある場合に比べ、複数のトレイ106からピックアップツール11が第1乃至第4の半導体チップT1〜T4を取り出す際に、そのピックアップツール11のX方向の移動距離を小さくできるから、その分、実装に要するタクトタイムを短縮することが可能となる。
Therefore, when the pick-up
図4(a),(b)はこの発明の第2の実施の形態を示す供給ステージ2Aの平面図である。この実施の形態は、供給ステージ2Aに対して第1乃至第4のコンベアユニット101だけでなく、トレイスタッカ105も一体的に設けられている。すなわち、供給ステージ2Aに一体的に設けられたコンベアユニット101のフレーム102Bにはトレイスタッカ105を保持する保持部102Cが一体に形成されていて、各フレーム102Bの保持部102Cにそれぞれトレイスタッカ105が設けられている。
4A and 4B are plan views of a
また、上記供給ステージ2はベース5に直接設けられてX、Y及びθ方向に対して移動不能となっていて、コンベアユニット101によって位置決めされたトレイ106からピックアップユニット11が第1乃至第4の半導体チップT1〜T4を取り出すことができる位置に固定的に配置されている。
The
このような構成によれば、トレイスタッカ105が供給ステージ2Aと一体的に設けられているから、4つのトレイ106のうちのいずれかに設けられた半導体チップ、たとえば第1の半導体チップT1がなくなり、そのことが第3のカメラ34の撮像信号によって認識されると、第1の半導体チップT1が設けられたトレイ106を収容載置したトレイスタッカ105に対応位置する、第1のコンベアユニット101のベルト104が駆動される。
According to such a configuration, since the
それによって、第1の半導体チップT1が実装され終わった空のトレイ106がトレイスタッカ105に収容される。ついで、そのトレイスタッカ105の可動ケース108が一段分上昇してプッシャ111が作動し、第1の半導体チップT1が収容載置された新たなトレイ106がベルト104上に突き出された後、ベルト104が先程と逆方向に走行させられてそのトレイ106が所定の位置に位置決めされる。
As a result, the
このように、この実施の形態によれば、空になったトレイ106を新たなトレイ106に交換する場合、供給ステージ2を移動させずに、その交換を行なうことができる。そのため、トレイ106の交換作業を迅速に行なうことができるばかりか、交換時に他のトレイ106の第2乃至第4の半導体チップT2〜T4を基板22に実装する実装作業を継続することができるから、これらのことによって実装に要するタクトタイムを大幅に短縮することが可能となる。
Thus, according to this embodiment, when the
上記各実施の形態では電子部品として半導体チップを例に挙げて説明したが、電子部品は半導体チップに限定されず、チップ状のコンデンサなどの他の電子部品であっても、この発明を適用することができる。 In each of the above-described embodiments, the semiconductor chip is described as an example of the electronic component. However, the electronic component is not limited to the semiconductor chip, and the present invention is applied to other electronic components such as a chip-shaped capacitor. be able to.
1…部品供給手段、2…供給ステージ、T1〜T4…第1乃至第4の半導体チップ(電子部品)、21…搬送ガイド、22…基板、23…基板搬送手段、34…第3のカメラ、49…実装ツール、105…トレイスタッカ、106…トレイ。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Component supply means, 2 ... Supply stage, T1-T4 ... 1st thru | or 4th semiconductor chip (electronic component), 21 ... Conveyance guide, 22 ... Substrate, 23 ... Substrate conveyance means, 34 ... Third camera, 49 ... Mounting tool, 105 ... Tray stacker, 106 ... Tray.
Claims (4)
上記基板を搬送位置決めする基板搬送手段と、
上記電子部品を収納したトレイを供給ステージに供給する部品供給手段と、
この部品供給手段によって上記供給ステージに供給されたトレイから上記電子部品を取り出して上記基板に実装する実装手段を具備し、
上記部品供給手段は、
並設されているとともに、それぞれ異なる種類の電子部品が収納載置された上記トレイが出し入れ可能に設けられた複数のトレイスタッカと、
上記供給ステージ上に上記トレイスタッカと同じ方向に並設された複数のコンベアユニットを有し、異なる電子部品が収納載置された各トレイスタッカのトレイを上記コンベアユニットに選択的に供給搬送するとともに、空になった上記コンベアユニットから上記トレイをそれぞれの上記トレイスタッカに回収搬送するトレイ搬送手段と、
上記コンベアユニットに上記トレイスタッカのトレイを選択的に供給するとき、及び空になった上記トレイを上記トレイスタッカに回収するときには上記コンベアユニットの一端が上記トレイスタッカに接近するよう上記供給ステージを駆動し、上記実装手段が上記トレイから電子部品を取り出して上記基板に実装するときには上記コンベアユニットの一端が上記トレイスタッカから離れ上記トレイの電子部品が上記実装手段によって取り出される位置になるよう上記供給ステージを駆動する駆動手段と
によって構成されていることを特徴とする電子部品の実装装置。 A mounting device for mounting electronic components on a substrate,
Substrate transport means for transporting and positioning the substrate;
Component supply means for supplying a tray storing the electronic components to a supply stage;
A mounting means for taking out the electronic component from the tray supplied to the supply stage by the component supply means and mounting the electronic component on the substrate;
The component supply means is
A plurality of tray stackers provided in parallel so that the trays in which different types of electronic components are stored and placed are detachable; and
A plurality of conveyor units arranged side by side in the same direction as the tray stacker on the supply stage , and selectively feeding and conveying the trays of each tray stacker on which different electronic components are stored and mounted to the conveyor unit Tray transport means for collecting and transporting the tray from the conveyor unit that has been emptied to the respective tray stacker;
When the tray of the tray stacker is selectively supplied to the conveyor unit, and when the empty tray is recovered to the tray stacker, the supply stage is driven so that one end of the conveyor unit approaches the tray stacker. When the mounting means takes out the electronic component from the tray and mounts it on the substrate, the supply stage is arranged such that one end of the conveyor unit is separated from the tray stacker and the electronic component on the tray is taken out by the mounting means. Driving means for driving
Mounting apparatus of electronic components, characterized in that it is constituted by.
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