JP4481512B2 - サーモサイフォン式冷却器とその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体冷却素子として利用される蒸発部と凝縮部を有する沸騰(サーモサイフォン式)冷却器の改良に係り、押し出し型材からなる冷却用通路部材を冷却用コルゲートフィンを介して積層配置した凝縮部に、押し出し型材からなる蒸発通路部材を直接ろう付けで接合した構成からなり、接続用のヘッダータンクのない高強度、高信頼性を有するサーモサイフォン式冷却器に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般産業分野での交流電源制御技術あるいは鉄道車両の動力として、所謂インバーターモーターが採用され、インバーターによる電源の制御が行われている。ダイオード、トランジスタ、サイリスタなどの半導体素子を使用して電力の変換、制御、開閉を行うパワーエレクトロニクス技術では、かかる半導体素子の冷却が不可欠である。
【0003】
出願人は、先に素子冷却器として、冷媒の凝縮をプレートフィン型熱交換器の凝縮部にて行うようにヘッダータンクを介して接続する蒸発部として、相互に連通する多数の中空通路を有する中空面板を用いこれに半導体素子を着設した構成となし、該中空通路内に表面に微細凹凸加工を施したフィンを設けた構成を提案(特開平8−204075号)した。
【0004】
かかる構成により素子間のアンバランス負荷時においても均熱化が可能で、高密度熱流束や過負荷に対しても放熱性能にすぐれ、特に、素子の取付アレンジや大容量化に対して制約が少なく、小型軽量化が容易になる利点がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成の素子着設側とは反対側に蒸発部を設ける構成の素子冷却器は、凝縮部と蒸発部の間にヘッダータンクが入るため、接合部が多いこと、また、蒸発部の幅が広い場合は、複数の部材を接合する必要があり、これを溶接で行うと変形が大きく修正に手間を要する問題があった。
【0006】
さらに、蒸発部の沸騰性能を向上させるためには、沸騰面を粗くすることが有効であり、従来ブラスト処理等によって粗面化を行っているが、この処理の場合は、押し出し型材のような中空の形材内部までは処理をすることができない問題があった。
【0007】
この発明は、サーモサイフォン式冷却器の上述した問題を解消し、構成部材の接合部を減少させて比較的構造が簡単な構成からなり、さらには中空状の押し出し型材を用いた構成であっても内部の沸騰面を確実に粗面化した構成からなるサーモサイフォン式冷却器の提供を目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
発明者らは、接合部を減少させ構成の冷却器を目的に種々検討した結果、凝縮部と蒸発部を直に繋ぐ構造として、押し出し型材からなる冷却用通路部材を冷却用コルゲートフィンを介して積層配置した凝縮部に、押し出し型材からなる蒸発通路部材を直接ろう付けで接合した構成とすることで、接合用のヘッダータンクのない高強度、高信頼性を有するサーモサイフォン式冷却器が得られることを知見した。
【0009】
さらに、発明者らは、中空状の押し出し型材を用いて蒸発部を形成する際に、酸エッチングにて沸騰面となる内部面を粗面化することで、細長い通路構成であっても所定の粗面が得られ、蒸発部の沸騰性能を向上させることが可能となることを知見し、この発明を完成した。
【0010】
すなわち、この発明は、内部に複数の通路が形成された板状の冷却用通路部材同士を、該部材主面に設けた切り欠き部を覆い厚み端面側に開口部を形成するためのU字型ヘッダー部材と冷却用コルゲートフィンを介して挟み一体化した凝縮部と、内部に複数の通路が形成され外面に発熱体を固着する板状の蒸発通路部材とからなり、冷却用通路部材の切り欠き端面とU字型ヘッダー部材の開口部を閉塞するよう通路の開口部を有する蒸発通路部材の端面が接続されたことを特徴とするサーモサイフォン式冷却器である。
【0011】
また、この発明は、上記の構成において、
冷却用通路部材の切り欠き端面とU字型ヘッダー部材の開口部端面に当接するリング状接続板を介して凝縮部に蒸発通路部材の端面が接続された構成、
一体化並びに接続がろう付けによる構成、
冷却用通路部材と蒸発通路部材が押し出し型材にて形成された構成、
押し出し型材の通路内面がエッチング処理にて粗面化された構成、からなるサーモサイフォン式冷却器を併せて提案する。
【0012】
さらに、この発明は、冷却用通路部材の両主面、U字型ヘッダー部材の両主面、リング状接続板の両面、の各表面にろう材を成膜しておき、複数の冷却用通路部材間にU字型ヘッダー部材と冷却用コルゲートフィンを介して挟み、冷却用通路部材の切り欠き端面及びU字型ヘッダー部材の開口部と、蒸発通路部材の開口部を有する端面との間に接続板を配置して凝縮部と蒸発通路部材との組立を完了し、これを保持したままろう付け温度でろう付け一体化することを特徴とするサーモサイフォン式冷却器の製造方法である。
【0013】
【発明の実施の形態】
この発明によるサーモサイフォン式冷却器の構成の一例を図面に基づいて詳述する。図1に示すごとく、図面の水平方向に蒸発部1を構成する蒸発通路部材2が配置され、その一方端に凝縮部10が配置されたT字型の基本構造を有する。なお、図示の冷却器は、図1Aの右側が上側、左側が下側に配置して使用するもので、白矢印方向に冷却空気が通過する。
【0014】
蒸発通路部材2は、図1Bで垂直面で断面した図1Cに示すごとく、隔壁3を形成して複数の通路4が設けられた押し出し型材からなる1枚の板部材で、この主面の一方又は両面に発熱体である電子デバイスが装着される。また、蒸発通路部材2の他方端部は図1Aに示すごとくエンドキャップで閉塞されている。
【0015】
前記蒸発通路部材2の各通路4には、小さな凹凸からなるフィン面を設けて表面積を拡大させている。さらに、各通路4内は酸エッチング処理にて内表面を所定粗度となるように粗面化処理してある。
【0016】
凝縮部10は、図3に示すごとく隔壁を形成して複数の通路が設けられた押し出し型材からなるが、蒸発通路部材2よりずっと薄い板部材である冷却用通路部材11と、冷却用コルゲートフィン12とを交互に積層配置し、積層両端に板材からなるエンドプレート13を当接一体化した、プレートフィン型熱交換器の構成からなる。
【0017】
蒸発部1の蒸発通路部材2と凝縮部10の各冷却用通路部材11との各通路の連通は、凝縮部10内に形成されるヘッダー部20で行われる。詳述すると、各冷却用通路部材11は図3Aに示すごとく主面の中央部に切り欠き部11a,11bを設けてある。またここでは、冷却用通路部材11の端部は図1Bに示すごとくエンドキャップで閉塞されている。
【0018】
この切り欠き部11a,11bに図4に示すU字型ヘッダー部材21を覆うように当てがい、図3Cのように冷却用通路部材11の厚み端面側に開口部を形成するよう、積層する各冷却用通路部材11間に当接配置することにより、図2に示すごとくU字型ヘッダー部材21内空間を介して蒸発通路部材2の通路4と冷却用通路部材11の通路とが連通する。
【0019】
図1Bに示す凝縮部10の右端の冷却用通路部材11には、図3Bに詳細を示すごとくパイプ用孔が設けられて、作動冷媒の注入用パイプ5を突設可能になっている。
【0020】
この発明による冷却器の構成は、ろう付けによる一体接合が可能で、組立後に一回のろう付け加熱工程で接合を完了できる。治具内に対向配置したエンドプレート13間に、冷却用通路部材11の切り欠き部11a,11bを閉塞するように図4Cの如くU字型ヘッダー部材21を配置し、その両側に冷却用コルゲートフィン12を配置して所要枚数の冷却用通路部材11を積層配置する。
【0021】
次に、蒸発通路部材2を載置するが、冷却用通路部材11の切り欠き部11a端面及びU字型ヘッダー部材21の開口部と、蒸発通路部材2の開口部を有する端面との間に接続板6を配置して、治具上に凝縮部と蒸発通路部材との組立を完了する。
【0022】
ここで、冷却用通路部材11の両主面、U字型ヘッダー部材の両主面、リング状接続板の両面、の各表面にろう材を成膜しておくか、あるいはろう材シートを配置して、治具上の組立体を加熱炉に挿入しろう付け温度まで加熱して所要時間保持することにより、ろう付けによる一体接合が完了する。なお、ろう材の成膜方法は、クラッド、メッキなど公知いずれの方法も採用できる。
【0023】
蒸発通路部材並びに冷却用通路部材は、製造性や気密性から例えばアルミニウム材による押し出し型材として製造することが好ましいが、いずれの製法にて形成されたものも採用可能である。また、蒸発通路部材は、受熱して冷媒の蒸発部として機能するため、被冷却用素子を着設するが直接載置可能なように着設用のねじ孔を設けた構成の他、半導体素子の載置用プレート等を着設する構成など、冷却器として要求される仕様に応じて、種々構成の蒸発通路部材を採用できる。
【0024】
エッチングによる粗面化方法には、蒸発通路部材に用いた材料に応じて酸エッチング液を適宜選定し、要求される面粗度や表面性状に応じて処理時間、液温度などを適宜選定すると良い。アルミニウム材に対するエッチング液組成としては、公知のいずれのものも採用できる。
【0025】
エッチングによる粗面化の効果は、単純な表面積の拡大効果もあるが、表面性状を変化させる、例えば表面の清浄化による気化促進やいわゆる親水性、疎水性の制御によって冷媒の流れを良好にするという効果があると考えられる。
【0026】
【実施例】
実施例1
図1に示す構造で、蒸発部に半導体素子の載置用プレートを設けた構成からなる素子冷却器を、1回の一体ろう付けにより作製した。A6063材を用いて押出し成型した蒸発通路部材と、凝縮部20を構成するためのA3003材からなる押出し成型した冷却用通路部材、エンドプレート、コルゲートフィン、A3003材とA4004材のクラッド材表面にブレージングシートを設けたU字型ヘッダー部材と接続板を用いた。
【0027】
前述した組立方法にて、各部材を治具にて組立配置し、各冷却用通路部材間にはそれぞれブレージングシートを配置し、各ろう材の溶融温度を超える所定温度に保持した炉でろう付けを行った。
【0028】
得られた冷却器に対して、2kg/cm2、10分間の耐圧試験、並びにヘリウムによる1×10-7acc/secの気密試験を行ったところ、何ら問題なく、その後、器内に冷媒を封入した。
【0029】
実施例2
実施例1の冷却器の作製に際して、各蒸発通路部材に対して、硝酸の酸エッチング槽に浸漬して、0.3〜0.7μm程度粗面となるよう特に通路内部面を粗面化した。比較のためエッチング処理しない蒸発通路部材を用いて実施例1の冷却器を作製した。
【0030】
得られた冷却器に半導体素子を着設して、素子取付部の熱流束、沸騰部の温度上昇の状況(素子取付け面温度−冷媒温度)を測定したところ、エッチング前と比べて沸騰部の温度上昇値は約5%〜15%程度下降し、性能が向上することが分かった。
【0031】
【発明の効果】
この発明によると、サーモサイフォン式冷却器における凝縮部と蒸発部との接合用のヘッダータンクのない高強度、高信頼性を有する構成が得られる。すなわち、ヘッダータンクがなくなり、その分だけ通風面積が広く取れるるため放熱性能が向上し、また逆にヘッダータンクの分だけ小型化できる。
【0032】
さらに、蒸発通路部材のような中空形材の内面では、サンドブラストなどでは粗面化することが困難であるが、エッチング処理によって容易に所定の粗面が得られ、エッチングしない場合と比べて沸騰部の性能向上が著しい。
【図面の簡単な説明】
【図1】Aはこの発明によるサーモサイフォン式冷却器の側面説明図、Bは正面説明図、CはBのc−c断面説明図である。
【図2】Aは凝縮部と蒸発部との接合部の構成を示す凝縮部の空気通路方向に見た説明図、BはU字型ヘッダー部材の位置における断面説明図、CはAの空気通路方向の断面説明図である。
【図3】Aは冷却用通路部材の説明図、Bはエンドプレート位置の冷却用通路部材の説明図、CはAの接合要部の断面説明図である。
【図4】AはU字型ヘッダー部材の説明図、Bは開口端面からみた説明図、Cは冷却用通路部材とU字型ヘッダー部材の配置を示す斜視説明図である。
【符号の説明】
1 蒸発部
2 蒸発通路部材
3 隔壁
4 通路
5 注入用パイプ
6 接続板
10 凝縮部
11 冷却用通路部材
11a,11b 切り欠き部
12 冷却用コルゲートフィン
13 エンドプレート
20 ヘッダー部
21 U字型ヘッダー部材
Claims (6)
- 内部に複数の通路が形成された板状の冷却用通路部材同士を、該部材主面に設けた切り欠き部を覆い厚み端面側に開口部を形成するためのU字型ヘッダー部材と冷却用コルゲートフィンを介して挟み一体化した凝縮部と、内部に複数の通路が形成され外面に発熱体を固着する板状の蒸発通路部材とからなり、冷却用通路部材の切り欠き端面とU字型ヘッダー部材の開口部を閉塞するよう通路の開口部を有する蒸発通路部材の端面が接続されたサーモサイフォン式冷却器。
- 冷却用通路部材の切り欠き端面とU字型ヘッダー部材の開口部端面に当接するリング状接続板を介して凝縮部に蒸発通路部材の端面が接続された請求項1に記載のサーモサイフォン式冷却器。
- 一体化並びに接続がろう付けによる請求項1に記載のサーモサイフォン式冷却器。
- 冷却用通路部材と蒸発通路部材が押し出し型材にて形成された請求項1に記載のサーモサイフォン式冷却器。
- 押し出し型材の通路内面がエッチング処理にて粗面化された請求項4に記載のサーモサイフォン式冷却器。
- 冷却用通路部材の両主面、U字型ヘッダー部材の両主面、リング状接続板の両面、の各表面にろう材を成膜又は配置しておき、複数の冷却用通路部材間にU字型ヘッダー部材と冷却用コルゲートフィンを介して挟み、冷却用通路部材の切り欠き端面及びU字型ヘッダー部材の開口部と、蒸発通路部材の開口部を有する端面との間に接続板を配置して凝縮部と蒸発通路部材との組立を完了し、これを保持したままろう付け温度でろう付け一体化する請求項2に記載のサーモサイフォン式冷却器の製造方法。
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JPH10173115A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Toshiba Corp | 沸騰冷却装置及びその製造方法 |
JPH11204709A (ja) * | 1998-01-19 | 1999-07-30 | Denso Corp | 沸騰冷却装置 |
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