JP4474167B2 - Ink jet printer head unit and method of manufacturing ink jet printer head unit - Google Patents

Ink jet printer head unit and method of manufacturing ink jet printer head unit Download PDF

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Description

本発明は、インクジェットプリンタヘッドユニット及びインクジェットプリンタヘッドユニットの製造方法に関する。   The present invention relates to an inkjet printer head unit and a method for manufacturing an inkjet printer head unit.

インクジェットプリンタ等のインクジェット記録装置は、ノズル孔からインクをインク滴として吐出させるインクジェットプリンタヘッドを備え、このインクジェットプリンタヘッドにより用紙等の記録媒体にインク滴を付着させることで画像形成を行う。   2. Description of the Related Art An ink jet recording apparatus such as an ink jet printer includes an ink jet printer head that ejects ink as ink droplets from nozzle holes, and forms an image by attaching ink droplets to a recording medium such as paper using the ink jet printer head.

インクジェットプリンタヘッドは、基本的に、インクを収容するインク室（圧力室）、このインク室に連通するノズル孔（オリフィス）を有するノズルプレート（オリフィスプレート）、インク室内のインクをノズル孔からインク滴として吐出させる駆動手段等から構成されている。このようなインクジェットプリンタヘッドは、インクジェットプリンタヘッドを駆動制御する駆動回路を有する駆動回路基板と共にベースプレートに設けられ、インクジェットプリンタヘッドユニットとしてユニット化されている。   The ink jet printer head basically includes an ink chamber (pressure chamber) for containing ink, a nozzle plate (orifice plate) having nozzle holes (orifices) communicating with the ink chamber, and ink droplets from the nozzle holes into ink droplets. It is comprised from the drive means etc. which are discharged as. Such an ink jet printer head is provided on a base plate together with a drive circuit substrate having a drive circuit for driving and controlling the ink jet printer head, and is unitized as an ink jet printer head unit.

高速印字や高解像度等の印字を行うためには、インクジェットプリンタヘッドユニットの解像度を高める必要がある。そこで、インクジェットプリンタヘッドのノズルプレートのノズル孔及びインク室を２列に形成することでインクジェットプリンタヘッドユニットの解像度を高める方法（特許文献１参照）や２つのインクジェットプリンタヘッドを貼り合わせることによってインクジェットプリンタヘッドユニットの解像度を高める方法（特許文献２参照）等が提案されている。   In order to perform high-speed printing or high-resolution printing, it is necessary to increase the resolution of the inkjet printer head unit. Therefore, a method of increasing the resolution of the ink jet printer head unit by forming the nozzle holes and the ink chambers of the nozzle plate of the ink jet printer head in two rows (see Patent Document 1), or by bonding the two ink jet printer heads together. A method of increasing the resolution of the head unit (see Patent Document 2) has been proposed.

通常、インクジェットプリンタヘッドユニットは、ノズルプレートにノズル孔を形成し、そのノズルプレートをインクジェットプリンタヘッド本体に取り付けてインクジェットプリンタヘッドを製造し、その後、製造した２つのインクジェットプリンタヘッドを貼り合わせることによって形成されている。   Usually, an ink jet printer head unit is formed by forming nozzle holes in a nozzle plate, attaching the nozzle plate to the ink jet printer head body to manufacture an ink jet printer head, and then bonding the two manufactured ink jet printer heads together. Has been.

特開平４−１８２１３８号公報JP-A-4-182138 特開平４−２５９５６３号公報JP-A-4-259563

しかしながら、レーザ加工やプレス加工等によるノズル孔形成時には、ノズル孔がノズルプレートの板面に対して垂直ではなく、わずかに傾いて形成されることがある。これにより、ノズル孔から吐出したインク滴は、ノズルプレート面に対して垂直ではなく、わずかに傾いて進行することになる。この傾きの発生は、例えば、ノズル形成時に使用したレーザ加工装置におけるレーザパワーの分布の偏りやレーザ入射角の傾き等に依存している。なお、複数のノズル孔はノズルプレートの板面に対して一様に傾いているため、インク滴の吐出方向は一様に傾いてしまう。図１１に示すように、このようなインクジェットプリンタヘッド１００が複数のノズル孔からインク滴を吐出すると、各インク滴は一様に傾いて平行に進行することになる。   However, when nozzle holes are formed by laser processing, press processing, or the like, the nozzle holes may be formed slightly inclined rather than perpendicular to the plate surface of the nozzle plate. As a result, the ink droplets ejected from the nozzle holes are not perpendicular to the nozzle plate surface but are slightly inclined. The occurrence of this inclination depends on, for example, the deviation of the distribution of laser power in the laser processing apparatus used at the time of nozzle formation, the inclination of the laser incident angle, and the like. Since the plurality of nozzle holes are uniformly inclined with respect to the plate surface of the nozzle plate, the ink droplet ejection direction is uniformly inclined. As shown in FIG. 11, when such an ink jet printer head 100 ejects ink droplets from a plurality of nozzle holes, each ink droplet is uniformly inclined and proceeds in parallel.

このように吐出方向が一様に傾いている２つのインクジェットプリンタヘッド１００を貼り合わせて積層すると、それらのインクジェットプリンタヘッド１００毎に吐出方向が異なる場合がある。図１２に示すように、このようなインクジェットプリンタヘッドユニット１０１が複数のノズル孔からインク滴を吐出すると、２つのインクジェットプリンタヘッド１００から吐出された各インク滴は、互いに平行に進行することなく用紙等の記録媒体に着弾することになり、理想の着弾位置からずれてしまい、着弾位置間の距離である印字ピッチも本来の印字ピッチからずれてしまう。   When the two ink jet printer heads 100 whose discharge directions are uniformly inclined are bonded and stacked in this manner, the ink jet printer heads 100 may have different discharge directions. As shown in FIG. 12, when such an ink jet printer head unit 101 ejects ink droplets from a plurality of nozzle holes, the ink droplets ejected from the two ink jet printer heads 100 do not travel in parallel with each other. The recording medium is landed on a recording medium such as the above, and the ideal landing position is deviated, and the printing pitch that is the distance between the landing positions is also deviated from the original printing pitch.

本発明の目的は、高解像度で印字精度が高いインクジェットプリンタヘッドユニットを提供することである。   An object of the present invention is to provide an ink jet printer head unit having high resolution and high printing accuracy.

本発明では、複数のインク室が形成されたヘッド基板の一面に前記インク室の一部を形成する蓋部材を設けて前記インク室をノズルプレートで覆い、当該ノズルプレートに形成されて前記インク室に連通する複数のノズル孔から選択的にインクをインク滴として吐出させる一対のインクジェットプリンタヘッドは、前記ノズルプレートに対する垂直な軸線からのインク滴の吐出方向の傾きをＸ（ｒａｄ）とすると、相対的に２Ｘ（ｒａｄ）の傾きを持って互いの前記一面と反対側の面を接合させて積層されている。 In the present invention, provided with a lid member forming a part of the ink chamber on one side of the head substrate having a plurality of ink chambers are formed to cover the ink chamber with a nozzle plate, the ink chamber is formed in the nozzle plate A pair of ink jet printer heads that selectively eject ink as ink droplets from a plurality of nozzle holes communicating with the nozzle plate are relative to each other when the inclination of the ink droplet ejection direction from the axis perpendicular to the nozzle plate is X (rad). In other words, the surfaces opposite to each other are bonded to each other with an inclination of 2X (rad) .

本発明では、複数のインク室が形成されたヘッド基板の一面に前記インク室の一部を形成する蓋部材を設けて前記インク室をノズルプレートで覆い、当該ノズルプレートに形成されて前記インク室に連通する複数のノズル孔から選択的にインクをインク滴として吐出させる一対のインクジェットプリンタヘッドは、前記ノズルプレートに対する垂直な軸線からのインク滴の吐出方向の傾きをＸ（ｒａｄ）とし、前記ノズルプレートから着弾位置までの距離をＹとし、ずらし量をｄとすると、相対的にｄ＝２ＸＹだけずらされて互いの前記一面と反対側の面を接合させて積層されている。

In the present invention, provided with a lid member forming a part of the ink chamber on one side of the head substrate having a plurality of ink chambers are formed to cover the ink chamber with a nozzle plate, the ink chamber is formed in the nozzle plate A pair of inkjet printer heads that selectively eject ink as ink droplets from a plurality of nozzle holes communicating with the nozzle plate , wherein an inclination of an ink droplet ejection direction from an axis perpendicular to the nozzle plate is X (rad), and the nozzle When the distance from the plate to the landing position is Y and the shift amount is d, the surfaces are laminated with the surfaces opposite to each other being bonded by a relative shift of d = 2XY .

本発明によれば、インク滴は理想の着弾位置に着弾し、着弾位置間の距離である印字ピッチを一定に維持することができる。これにより、高解像度で印字精度が高いインクジェットプリンタヘッドユニットを提供することができる。   According to the present invention, ink droplets land at ideal landing positions, and the printing pitch, which is the distance between the landing positions, can be maintained constant. Thereby, it is possible to provide an ink jet printer head unit having high resolution and high printing accuracy.

本発明の第一の実施の形態を図１ないし図７に基づいて説明する。   A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

＜インクジェットプリンタヘッドユニット＞
図１はインクジェットプリンタヘッドユニット１を概略的に示す斜視図、図２はインクジェットプリンタヘッドユニット１が備えるノズルプレート部分を概略的に示す平面図、図３はそのＡ−Ａ線断面を拡大して示す断面図である。 <Inkjet printer head unit>
1 is a perspective view schematically showing an ink jet printer head unit 1, FIG. 2 is a plan view schematically showing a nozzle plate portion provided in the ink jet printer head unit 1, and FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view taken along line AA. It is sectional drawing shown.

図１に示すように、インクジェットプリンタヘッドユニット１は、ベースプレート２、このベースプレート２の表裏に設けられた２つの駆動回路基板３、ベースプレート２の表裏に設けられた２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂ等から構成されている。   As shown in FIG. 1, an ink jet printer head unit 1 includes a base plate 2, two drive circuit boards 3 provided on the front and back of the base plate 2, two ink jet printer heads 4A and 4B provided on the front and back of the base plate 2, and the like. It is composed of

駆動回路基板３は、その表面に複数のＩＣ回路チップ５を備えている。このＩＣ回路チップ５は、駆動回路基板３に形成された回路（図示せず）にリード端子６により接続されている。また、駆動回路基板３に形成された回路には、制御部や電源（いずれも図示せず）に接続されたフレキシブルケーブル７が接続されている。このフレキシブルケーブル７を介して、駆動パルス電圧や印字信号等が駆動回路基板３に入力される。なお、本実施の形態では、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂに対応させて２つの駆動回路基板３を設けているが、これに限るものではなく、例えば、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂに対応させて駆動回路基板３を１つだけ設けても良い。この場合、２つのインクジェットプリンタヘッドを駆動させるために必要とするＩＣ回路チップ５は、１つの駆動回路基板３に設けられる。   The drive circuit board 3 includes a plurality of IC circuit chips 5 on the surface thereof. The IC circuit chip 5 is connected to a circuit (not shown) formed on the drive circuit board 3 by lead terminals 6. Further, a flexible cable 7 connected to a control unit and a power source (both not shown) is connected to the circuit formed on the drive circuit board 3. A drive pulse voltage, a print signal, and the like are input to the drive circuit board 3 through the flexible cable 7. In the present embodiment, the two drive circuit boards 3 are provided corresponding to the two inkjet printer heads 4A and 4B. However, the present invention is not limited to this. For example, the two inkjet printer heads 4A and 4B are provided on the two inkjet printer heads 4A and 4B. Correspondingly, only one drive circuit board 3 may be provided. In this case, the IC circuit chip 5 necessary for driving the two inkjet printer heads is provided on one drive circuit board 3.

インクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、供給されたインクを内部に収容し、内部に連通する複数のノズル孔８からインクをインク滴として吐出させように構成されている。このようなインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、インクを収容する複数のインク室９（図３参照）を有する吐出ユニット１０及び複数のノズル孔８が形成されたノズルプレート１１等を備えている。ノズルプレート１１は接着剤等により吐出ユニット１０に設けられており、複数のインク室９の一部を形成している。   The inkjet printer heads 4A and 4B are configured to store the supplied ink therein and eject the ink as ink droplets from a plurality of nozzle holes 8 communicating with the inside. Such ink jet printer heads 4A and 4B are provided with a discharge unit 10 having a plurality of ink chambers 9 (see FIG. 3) for containing ink, a nozzle plate 11 in which a plurality of nozzle holes 8 are formed, and the like. The nozzle plate 11 is provided in the discharge unit 10 with an adhesive or the like, and forms part of the plurality of ink chambers 9.

吐出ユニット１０は、複数のインク室９が形成されたヘッド基板１２及びそのヘッド基板１２に設けられインク室９の一部を形成する蓋部材１３から構成されている。蓋部材１３には、各インク室９にインクを供給するためのインク供給路（図示せず）が形成されており、このインク供給路には、インクタンク（図示せず）に連通するインク供給管１４が接続されている。   The discharge unit 10 includes a head substrate 12 in which a plurality of ink chambers 9 are formed, and a lid member 13 that is provided on the head substrate 12 and forms a part of the ink chamber 9. An ink supply path (not shown) for supplying ink to each ink chamber 9 is formed in the lid member 13, and an ink supply communicating with an ink tank (not shown) is formed in the ink supply path. A tube 14 is connected.

複数のインク室９はそれぞれ隔壁１５（図３参照）によって仕切られている。インク室９の内面及びヘッド基板１２の表面には、リード端子１６を介して対応するＩＣ回路チップ５に接続されている複数の電極１７（図３参照）が設けられている。複数の電極１７は、例えば無電解メッキ方法の一つである無電解ニッケルメッキ法により形成されている。ここでは、ヘッド基板１２は圧電素子により形成されており、圧電部材として機能している。   Each of the plurality of ink chambers 9 is partitioned by a partition wall 15 (see FIG. 3). A plurality of electrodes 17 (see FIG. 3) connected to the corresponding IC circuit chip 5 via lead terminals 16 are provided on the inner surface of the ink chamber 9 and the surface of the head substrate 12. The plurality of electrodes 17 are formed by, for example, an electroless nickel plating method which is one of the electroless plating methods. Here, the head substrate 12 is formed of a piezoelectric element and functions as a piezoelectric member.

なお、本実施の形態においては、圧電素子（例えばピエゾ素子）を利用する圧電方式のインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂが用いられているが、これに限るものではなく、例えば、発熱体を利用するサーマルインクジェット方式のインクジェットプリンタヘッドが用いられても良い。   In the present embodiment, piezoelectric ink jet printer heads 4A and 4B that use piezoelectric elements (for example, piezo elements) are used. However, the present invention is not limited to this, and for example, thermal that uses a heating element. An ink jet type ink jet printer head may be used.

図２に示すように、インクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂのノズルプレート１１には、複数のノズル孔８が所定のピッチで一列に並ぶように形成されている。そして、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、各ノズルプレート１１のノズル孔８がその配列方向に半ピッチずれるように設けられている。また、図３に示すように、ノズル孔８はインクの吐出方向に向かって徐々に径が小さくなるテーパ形状に形成されている。すなわち、ノズル孔８は、インク吐出側が狭く、インク室９側が広く形成されている。これにより、インク滴の吐出に圧力を有効に利用することが可能になり、インクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは効率良くインクをインク滴として吐出させることができる。なお、ノズルプレート１１は、例えばポリイミドフィルム等の高分子材料で形成されており、ノズルプレート１１の板面には、撥インク特性を有するようにフッ素含有膜等の薄膜が形成されていても良い。   As shown in FIG. 2, the nozzle plates 11 of the ink jet printer heads 4A and 4B are formed with a plurality of nozzle holes 8 arranged in a line at a predetermined pitch. The two inkjet printer heads 4A and 4B are provided such that the nozzle holes 8 of the nozzle plates 11 are shifted by a half pitch in the arrangement direction. Further, as shown in FIG. 3, the nozzle holes 8 are formed in a tapered shape whose diameter gradually decreases in the ink ejection direction. That is, the nozzle hole 8 is formed narrow on the ink discharge side and wide on the ink chamber 9 side. This makes it possible to effectively use pressure for ink droplet ejection, and the ink jet printer heads 4A and 4B can efficiently eject ink as ink droplets. The nozzle plate 11 is made of a polymer material such as a polyimide film, and a thin film such as a fluorine-containing film may be formed on the plate surface of the nozzle plate 11 so as to have ink repellency. .

２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの位置関係について図４を参照して説明する。図４は２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの位置関係を説明するための説明図である。なお、図４中の矢印はインク滴の吐出方向を示す。   The positional relationship between the two inkjet printer heads 4A and 4B will be described with reference to FIG. FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining the positional relationship between the two inkjet printer heads 4A and 4B. In addition, the arrow in FIG. 4 shows the discharge direction of an ink drop.

図４に示すように、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、基準となるインクジェットプリンタヘッド４Ａに対してもう一方のインクジェットプリンタヘッド４Ｂを傾けることで、それらの複数のノズル孔８から吐出するインク滴の吐出方向が全て同じになるように積層されている。ここで、ノズルプレート１１の板面に対する垂直な軸線からのインク滴の吐出方向の傾きをＸｍｒａｄとすると、２つのインクジェットプリンタヘッドは、相対的に２Ｘｍｒａｄの傾きを持って積層されている。   As shown in FIG. 4, the two ink jet printer heads 4A and 4B are configured to incline ink from the plurality of nozzle holes 8 by tilting the other ink jet printer head 4B with respect to the reference ink jet printer head 4A. The droplets are stacked so that the discharge directions are all the same. Here, if the inclination of the ink droplet ejection direction from the axis perpendicular to the plate surface of the nozzle plate 11 is Xmrad, the two inkjet printer heads are stacked with a relative inclination of 2Xmrad.

例えば、ノズル孔８の形成方向の傾き、すなわちノズルプレート１１に対する垂直な軸線からのインク滴の吐出方向の傾きがＸ＝５ｍｒａｄである場合には、ノズルプレート１１と用紙等の記録媒体の着弾位置との離反距離を１ｍｍとすると、ノズル孔８から吐出したインク滴は、理想の着弾位置から５μｍずれて着弾する。この場合には、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、相対的に２Ｘ＝１０ｍｒａｄの傾きを持って積層されている。これにより、複数のノズル孔８から吐出するインク滴の吐出方向が全て同じになる。   For example, when the inclination of the nozzle hole 8 formation direction, that is, the inclination of the ink droplet ejection direction from the axis perpendicular to the nozzle plate 11 is X = 5 mrad, the landing position of the nozzle plate 11 and the recording medium such as paper If the separation distance is 1 mm, the ink droplets ejected from the nozzle holes 8 land with a deviation of 5 μm from the ideal landing position. In this case, the two inkjet printer heads 4A and 4B are laminated with a relative inclination of 2X = 10 mrad. Thereby, the ejection directions of the ink droplets ejected from the plurality of nozzle holes 8 are all the same.

このような構成において、インクジェットプリンタヘッドユニット１は、インクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの各電極１７へ駆動電圧を印加し、隔壁１５を変形させることによりインク室９に圧力を発生させて、ノズル孔８からインクをインク滴として吐出させる。詳述すると、印字に際して、インク室９内にインクを供給した状態で所定の電極１７に電圧が印加される。電圧が印加された電極１７に対応する隔壁１５は、インク室９の容積を大きくする方向へ変形する。この電極１７に印加する電圧の極性を逆転させると、隔壁１５が急激に初期位置に復帰する。そして、隔壁１５が初期位置に復帰した際に、インク室９内のインクが加圧されて、インク室９内のインクの一部がインク滴となってノズル孔８から吐出する。   In such a configuration, the ink jet printer head unit 1 applies a driving voltage to the electrodes 17 of the ink jet printer heads 4A and 4B and deforms the partition wall 15 to generate a pressure in the ink chamber 9 to thereby generate the nozzle holes 8. Ink is ejected as ink droplets. More specifically, during printing, a voltage is applied to the predetermined electrode 17 while ink is supplied into the ink chamber 9. The partition 15 corresponding to the electrode 17 to which the voltage is applied is deformed in a direction of increasing the volume of the ink chamber 9. When the polarity of the voltage applied to the electrode 17 is reversed, the partition wall 15 rapidly returns to the initial position. When the partition wall 15 returns to the initial position, the ink in the ink chamber 9 is pressurized, and a part of the ink in the ink chamber 9 is ejected from the nozzle hole 8 as ink droplets.

このとき、図４に示すように、複数のノズル孔８から吐出するインク滴の吐出方向は同じになり、すなわち、吐出した複数のインク滴は同一方向に平行に進行するため、インク滴は理想の着弾位置に着弾し、着弾位置間の距離である印字ピッチを一定に維持することができる。これにより、高解像度で印字精度が高いインクジェットプリンタヘッドユニット１を得ることができる。   At this time, as shown in FIG. 4, the ejection direction of the ink droplets ejected from the plurality of nozzle holes 8 is the same, that is, the plurality of ejected ink droplets travel in parallel in the same direction. The printing pitch that is the distance between the landing positions can be kept constant. Thereby, the inkjet printer head unit 1 with high resolution and high printing accuracy can be obtained.

＜レーザ加工装置＞
インクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの製造に用いられるレーザ加工装置３０について図５を参照して説明する。図５はレーザ加工装置の構成を概略的に示す説明図である。 <Laser processing equipment>
A laser processing apparatus 30 used for manufacturing the ink jet printer heads 4A and 4B will be described with reference to FIG. FIG. 5 is an explanatory diagram schematically showing the configuration of the laser processing apparatus.

図５に示すように、レーザ加工装置３０は、エキシマレーザ発振器３１、バリアブルアッテネータ３２、アップコリメータ３３、イメージローテータ３４、ミラー３５、アレイレンズ照明系３６、リレーレンズ３７、マスク３８、投影レンズ（結像レンズ）３９、ｘステージ４０ａ、ｙステージ４０ｂ及びｚステージ４０ｃ等を備えている。   As shown in FIG. 5, the laser processing apparatus 30 includes an excimer laser oscillator 31, a variable attenuator 32, an up collimator 33, an image rotator 34, a mirror 35, an array lens illumination system 36, a relay lens 37, a mask 38, a projection lens (a connection lens). Image lens) 39, x stage 40a, y stage 40b, z stage 40c, and the like.

エキシマレーザ発振器３１は、波長４００ｎｍ以下の紫外域でパルス状のレーザ光（エキシマレーザ光）ＬＢを出力する。バリアブルアッテネータ３２、アップコリメータ３３、イメージローテータ３４及びミラー３５は、エキシマレーザ発振器３１から出力されるレーザ光ＬＢの光路上に配置されている。そして、アレイレンズ照明系３６、リレーレンズ３７、マスク３８及び投影レンズ３９は、ミラー３５の反射光路上に配置されている。また、ｘステージ４０ａ、ｙステージ４０ｂ及びｚステージ４０ｃは、投影レンズ３９の光軸方向に設けられ、ｚステージ４０ｃ上に被加工物として載置されるインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂのノズルプレート１１をそれぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に構成している。なお、インクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、ノズルプレート１１が吐出ユニット１０に接着固定された状態でｚステージ４０ｃ上に被加工物として載置される。また、ノズルプレート１１だけがｚステージ４０ｃ上に被加工物として載置されても良い。ｘステージ４０ａ及びｙステージ４０ｂが位置移動装置を実現し、ｚステージ４０ｃがフォーカス位置可変装置を実現する。   The excimer laser oscillator 31 outputs pulsed laser light (excimer laser light) LB in the ultraviolet region having a wavelength of 400 nm or less. The variable attenuator 32, the up collimator 33, the image rotator 34, and the mirror 35 are disposed on the optical path of the laser beam LB output from the excimer laser oscillator 31. The array lens illumination system 36, the relay lens 37, the mask 38, and the projection lens 39 are arranged on the reflected light path of the mirror 35. Further, the x stage 40a, the y stage 40b, and the z stage 40c are provided in the optical axis direction of the projection lens 39, and the nozzle plates 11 of the ink jet printer heads 4A and 4B placed as workpieces on the z stage 40c. Each is configured to be movable in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. The ink jet printer heads 4A and 4B are placed as workpieces on the z stage 40c in a state where the nozzle plate 11 is bonded and fixed to the discharge unit 10. Further, only the nozzle plate 11 may be placed as a workpiece on the z stage 40c. The x stage 40a and the y stage 40b realize a position moving device, and the z stage 40c realizes a focus position varying device.

このようなレーザ加工装置３０は、コンピュータ等の微細加工コントローラ４１によって制御される。微細加工コントローラ４１は、エキシマレーザ発振器３１に対してレーザ制御信号（トリガ信号）を送出し、エキシマレーザ発振器３１の動作制御を行う。また、微細加工コントローラ４１は、イメージローテータ３４に対して回転速度制御信号を送出し、例えばノズルプレート１１の孔開け加工に必要な約２００〜５００パルスのレーザ光ＬＢの照射の間にイメージローテータ３４を連続して回転させる制御を行う。さらに、微細加工コントローラ４１は、バリアブルアッテネータ３２に対してフルエンス制御信号を送出し、エキシマレーザ発振器３１から出力されるレーザ光ＬＢのパルス数に応じてレーザ光ＬＢの出力強度を調整する制御を行う。加えて、微細加工コントローラ４１は、オートフォーカスユニット４２に対してフォーカス制御信号を送出し、マスク像をノズルプレート１１に結像させる制御を行う。   Such a laser processing apparatus 30 is controlled by a fine processing controller 41 such as a computer. The microfabrication controller 41 sends a laser control signal (trigger signal) to the excimer laser oscillator 31 to control the operation of the excimer laser oscillator 31. Further, the microfabrication controller 41 sends a rotational speed control signal to the image rotator 34, and the image rotator 34 is irradiated during the irradiation of the laser beam LB of about 200 to 500 pulses necessary for drilling the nozzle plate 11, for example. Is controlled to rotate continuously. Further, the microfabrication controller 41 sends a fluence control signal to the variable attenuator 32 and performs control to adjust the output intensity of the laser beam LB in accordance with the number of pulses of the laser beam LB output from the excimer laser oscillator 31. . In addition, the microfabrication controller 41 sends a focus control signal to the autofocus unit 42 and performs control to form a mask image on the nozzle plate 11.

オートフォーカスユニット４２にはカメラ４３が接続されており、微細加工コントローラ４１は、カメラ４３により撮像されるノズルプレート１１上のマスク像に基づいてフォーカスのずれを求め、このフォーカスのずれを無くす駆動信号をオートフォーカスユニット４２に送出し、ｚドライバ４４を介してｚステージ４０ｃを動作させてフォーカス位置を調整する制御を行う。また、微細加工コントローラ４１は、ｘｙドライバ４５に対して位置制御信号を送出し、マスク像をノズルプレート１１上に投影させるようにｘステージ４０ａ及びｙステージ４０ｂを動作させる制御を行う。   A camera 43 is connected to the autofocus unit 42, and the microfabrication controller 41 obtains a focus shift based on the mask image on the nozzle plate 11 imaged by the camera 43, and a drive signal for eliminating this focus shift. Is sent to the autofocus unit 42, and the z stage 40c is operated via the z driver 44 to perform control for adjusting the focus position. Further, the microfabrication controller 41 sends a position control signal to the xy driver 45, and performs control to operate the x stage 40a and the y stage 40b so that the mask image is projected onto the nozzle plate 11.

ここで、アレイレンズ照明系３６、リレーレンズ３７、マスク３８及び投影レンズ３９からなる光学系の具体的構成について図６を参照して説明する。図６はレーザ加工装置３０の光学系を展開して示す説明図である。   Here, a specific configuration of the optical system including the array lens illumination system 36, the relay lens 37, the mask 38, and the projection lens 39 will be described with reference to FIG. FIG. 6 is an explanatory view showing the optical system of the laser processing apparatus 30 in a developed state.

図６に示すように、レーザ光ＬＢの光路上には、アレイレンズ照明系３６、リレーレンズ３７、マスク３８及び投影レンズ３９が配置されている。アレイレンズ照明系３６は、２つのシリンドリカルレンズ３６ａ，３６ｂを互いに垂直に交わる方向に間隔Ｌ０だけ離して配置されて構成されている。これらのシリンドリカルレンズ３６ａ，３６ｂの各集光面５０（集光点を含む面）は、シリンドリカルレンズ３６ｂから距離Ｌ１の同一面に一致するようになっている。また、これらシリンドリカルレンズ３６ａ，３６ｂの集光面５０をリレーレンズ３７により投影レンズ３９の入射瞳（絞り）５１の面に結像し、これにより投影レンズ３９に対して、テレセントリックな条件が成立するようにアレイレンズ照明系３６、リレーレンズ３７、入射瞳５１及び投影レンズ３９に対してマスク３８が配置されている。   As shown in FIG. 6, an array lens illumination system 36, a relay lens 37, a mask 38, and a projection lens 39 are arranged on the optical path of the laser beam LB. The array lens illumination system 36 is configured such that two cylindrical lenses 36a and 36b are spaced apart from each other by a distance L0 in a direction perpendicular to each other. The condensing surfaces 50 (surfaces including the condensing point) of these cylindrical lenses 36a and 36b coincide with the same surface at a distance L1 from the cylindrical lens 36b. Further, the condensing surfaces 50 of the cylindrical lenses 36 a and 36 b are imaged on the surface of the entrance pupil (aperture) 51 of the projection lens 39 by the relay lens 37, whereby a telecentric condition is established for the projection lens 39. Thus, a mask 38 is arranged for the array lens illumination system 36, the relay lens 37, the entrance pupil 51, and the projection lens 39.

このようなテレセントリックな光学系を通してレーザ光ＬＢをインク吐出側から照射することにより、ノズルプレート１１の板面に対して略垂直な軸線を有してレーザ光ＬＢの入射方向（ノズル孔８の形成方向）に向かって徐々に径が大きくなる逆テーパ形状のノズル孔８が形成される。なお、マスク３８は、細長い長方形状に形成され、その長手方向にノズル孔８を形成するための複数の開口部（図示せず）が所定のピッチ間隔で設けられている。また、加工条件を変えることによって、ノズルプレート１１の板面に対して略垂直な軸線を有してレーザ光ＬＢの入射方向（ノズル孔８の形成方向）に向かって徐々に径が小さくなる順テーパ形状のノズル孔８も形成される。   By irradiating the laser beam LB from the ink ejection side through such a telecentric optical system, the incident direction of the laser beam LB (formation of the nozzle holes 8) has an axis substantially perpendicular to the plate surface of the nozzle plate 11. A reverse-tapered nozzle hole 8 whose diameter gradually increases toward (direction) is formed. The mask 38 is formed in an elongated rectangular shape, and a plurality of openings (not shown) for forming the nozzle holes 8 in the longitudinal direction are provided at a predetermined pitch interval. Further, by changing the processing conditions, the diameter gradually decreases toward the incident direction of the laser beam LB (the formation direction of the nozzle holes 8) having an axis substantially perpendicular to the plate surface of the nozzle plate 11. A tapered nozzle hole 8 is also formed.

ここで、図７はレーザ加工装置３０による加工後のノズルプレート１１を拡大して示し、（ａ）は順テーパ加工によるノズルプレート１１を示す断面図、（ｂ）逆テーパ加工によるノズルプレート１１を示す断面図である。図７（ａ）に示すように、順テーパ加工では、ノズル孔８はノズルプレート１１の板面に対して略垂直な軸線を有してレーザ光ＬＢの入射方向に向かって徐々に径が小さくなる順テーパ形状に形成される。また、図７（ｂ）に示すように、逆テーパ加工では、ノズル孔８はノズルプレート１１の板面に対して略垂直な軸線を有してレーザ光ＬＢの入射方向に向かって徐々に径が大きくなる逆テーパ形状に形成される。なお、実際には、ノズル孔８は、レーザ加工装置３０におけるレーザパワー分布の偏りやレーザ入射角の傾き等によって、ノズルプレート１１の板面に対して傾いて形成される。すなわち、複数のノズル孔８の形成方向は、レーザ加工装置３０におけるレーザパワー分布の偏りやレーザ入射角の傾きに依存して変化する。   Here, FIG. 7 shows an enlarged view of the nozzle plate 11 after being processed by the laser processing apparatus 30, (a) is a sectional view showing the nozzle plate 11 by forward taper processing, and (b) the nozzle plate 11 by reverse taper processing. It is sectional drawing shown. As shown in FIG. 7A, in forward taper processing, the nozzle hole 8 has an axis substantially perpendicular to the plate surface of the nozzle plate 11 and gradually decreases in diameter toward the incident direction of the laser beam LB. The forward tapered shape is formed. Further, as shown in FIG. 7B, in the reverse taper processing, the nozzle hole 8 has an axis substantially perpendicular to the plate surface of the nozzle plate 11 and gradually has a diameter toward the incident direction of the laser beam LB. Is formed in a reverse taper shape. In practice, the nozzle hole 8 is formed to be inclined with respect to the plate surface of the nozzle plate 11 due to a deviation in the laser power distribution in the laser processing apparatus 30 or a tilt of the laser incident angle. That is, the forming direction of the plurality of nozzle holes 8 changes depending on the bias of the laser power distribution in the laser processing apparatus 30 and the inclination of the laser incident angle.

＜インクジェットプリンタヘッドユニットの製造方法＞
インクジェットプリンタヘッドユニット１の製造方法について図４を参照して説明する。 <Inkjet printer head unit manufacturing method>
A method of manufacturing the ink jet printer head unit 1 will be described with reference to FIG.

インクジェットプリンタヘッドユニット１の製造方法は、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの各吐出ユニット１０に２枚のノズルプレート１１をそれぞれ取り付ける取付工程と、２枚のノズルプレート１１に複数のノズル孔８を複数のインク室９にそれぞれ対応させて形成する形成工程と、複数のノズル孔８を有するノズルプレートが吐出ユニット１０に取り付けられた２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂを積層する積層工程と、から構成されている。   The manufacturing method of the ink jet printer head unit 1 includes an attaching step of attaching the two nozzle plates 11 to the discharge units 10 of the two ink jet printer heads 4A and 4B, and a plurality of nozzle holes 8 in the two nozzle plates 11. A forming process for forming a plurality of ink chambers 9 corresponding to each of the ink chambers 9 and a stacking process for stacking two inkjet printer heads 4A and 4B each having a nozzle plate having a plurality of nozzle holes 8 attached to a discharge unit 10 are configured. Has been.

まず、取付工程では、複数のノズル孔８が形成されていないノズルプレート１１が、インクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの吐出ユニット１０に接着されて取り付けられる。次に、形成工程では、取付工程でノズルプレート１１が取り付けられたインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂがレーザ加工装置３０のｚステージ４０ｃに載置され、レーザ加工装置３０による逆テーパ加工によって複数のノズル孔８がインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂのノズルプレート１１に形成される。ここで、インクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂが完成する。   First, in the attaching step, the nozzle plate 11 in which the plurality of nozzle holes 8 are not formed is attached to the discharge unit 10 of the ink jet printer heads 4A and 4B. Next, in the forming process, the inkjet printer heads 4A and 4B to which the nozzle plate 11 is attached in the attaching process are placed on the z stage 40c of the laser processing apparatus 30, and a plurality of nozzle holes are formed by reverse taper processing by the laser processing apparatus 30. 8 is formed on the nozzle plate 11 of the ink jet printer heads 4A and 4B. Here, the inkjet printer heads 4A and 4B are completed.

なお、ここでは、ノズルプレート１１に複数のノズル孔８を形成する前にそのノズルプレート１１をインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの吐出ユニット１０に取り付けているが、これに限るものではなく、例えば、ノズルプレート１１に複数のノズル孔８を形成した後にそのノズルプレート１１をインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの吐出ユニット１０に取り付けるようにしても良い。すなわち、形成工程及び取付工程のどちらを先に行っても良い。なお、取付工程の前に形成工程を行う場合には、レーザ加工装置３０によるレーザ加工方法としては、順テーパ加工及び逆テーパ加工のどちらを用いても良い。ここで、１枚のノズルプレート１１における複数のノズル孔８は、レーザ加工装置３０から出射されたレーザ光ＬＢの傾きに依存するため一様に同一方向に傾くことになる。   Here, before forming the plurality of nozzle holes 8 in the nozzle plate 11, the nozzle plate 11 is attached to the ejection unit 10 of the ink jet printer heads 4A and 4B. However, the present invention is not limited to this. After forming a plurality of nozzle holes 8 in the plate 11, the nozzle plate 11 may be attached to the ejection unit 10 of the ink jet printer heads 4A and 4B. That is, either the formation process or the attachment process may be performed first. In addition, when performing a formation process before an attachment process, as a laser processing method by the laser processing apparatus 30, either a forward taper process or a reverse taper process may be used. Here, the plurality of nozzle holes 8 in one nozzle plate 11 are uniformly inclined in the same direction because they depend on the inclination of the laser beam LB emitted from the laser processing apparatus 30.

最後に、積層工程では、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、ベースプレート２を介して対向する位置に位置付けられてベースプレート２に貼り合わされる。さらに、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、各ノズルプレート１１のノズル孔８がその配列方向に半ピッチずれるように貼り合わされる。このとき、図４に示すように、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、基準となるインクジェットプリンタヘッド４Ａに対して他のインクジェットプリンタヘッド４Ｂを傾けることで、それらの複数のノズル孔８から吐出するインク滴の吐出方向が全て同じになるように積層される。例えば、ノズルプレート１１の板面に対する垂直な軸線からのインク滴の吐出方向の傾きをＸｍｒａｄとすると、２つのインクジェットプリンタヘッドは、相対的に２Ｘｍｒａｄの傾きを持って積層される。   Finally, in the laminating process, the two inkjet printer heads 4A and 4B are positioned at positions facing each other via the base plate 2 and are bonded to the base plate 2. Further, the two inkjet printer heads 4A and 4B are bonded so that the nozzle holes 8 of the nozzle plates 11 are shifted by a half pitch in the arrangement direction. At this time, as shown in FIG. 4, the two inkjet printer heads 4A and 4B are discharged from the plurality of nozzle holes 8 by tilting the other inkjet printer head 4B with respect to the reference inkjet printer head 4A. The ink droplets are stacked such that the ejection directions of the ink droplets are the same. For example, if the inclination of the ink droplet ejection direction from the axis perpendicular to the plate surface of the nozzle plate 11 is Xmrad, the two inkjet printer heads are stacked with a relative inclination of 2Xmrad.

インク滴の吐出方向の傾きは、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂを仮にベースプレート２に貼り合わせて、そのインクジェットプリンタヘッドユニット１に実際にインク滴を吐出させることで、その着弾位置と理想の着弾位置とのずれ量から求められる。そして、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、ずれ量から求められた傾き値に基づいて、基準となるインクジェットプリンタヘッド４Ａに対して他のインクジェットプリンタヘッド４Ｂを傾けて貼り合わされる。なお、インク滴の吐出方向の傾きは、レーザ加工装置３０のレーザ光ＬＢの傾き等から理論的に求められる場合もある。   The inclination of the ejection direction of the ink droplets is such that the two ink jet printer heads 4A and 4B are temporarily bonded to the base plate 2 and the ink jet printer head unit 1 actually ejects the ink droplets. It is obtained from the amount of deviation from the position. Then, the two inkjet printer heads 4A and 4B are bonded to each other with the other inkjet printer head 4B tilted with respect to the reference inkjet printer head 4A based on the tilt value obtained from the shift amount. The inclination of the ink droplet ejection direction may be theoretically obtained from the inclination of the laser beam LB of the laser processing apparatus 30 or the like.

このようにインクジェットプリンタヘッドユニット１を製造することによって、図４に示すように、複数のノズル孔８から吐出するインク滴の吐出方向は同じになり、すなわち、吐出した複数のインク滴は同一方向に平行に進行するため、インク滴は理想の着弾位置に着弾し、着弾位置間の距離である印字ピッチを一定に維持することができる。これにより、高解像度で印字精度が高いインクジェットプリンタヘッドユニット１を得ることができる。   By manufacturing the inkjet printer head unit 1 in this way, as shown in FIG. 4, the ejection direction of the ink droplets ejected from the plurality of nozzle holes 8 is the same, that is, the plurality of ejected ink droplets are in the same direction. Therefore, the ink droplets land at ideal landing positions, and the printing pitch, which is the distance between the landing positions, can be kept constant. Thereby, the inkjet printer head unit 1 with high resolution and high printing accuracy can be obtained.

また、本実施の形態においては、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂを仮に積層し、その状態でノズル孔８からインク滴を吐出させ、ノズルプレート１１に対する垂直な軸線からのインク滴の吐出方向の傾きを求め、求めたインク滴の吐出方向の傾きに基づいて、基準となるインクジェットプリンタヘッド４Ａに対して他のインクジェットプリンタヘッド４Ｂを傾けるようにしたことから、正確に着弾位置間の距離である印字ピッチを一定に維持することができる。   Further, in the present embodiment, two inkjet printer heads 4A and 4B are temporarily stacked, and ink droplets are ejected from the nozzle holes 8 in this state, and the ink droplet ejection direction from the axis perpendicular to the nozzle plate 11 is determined. Since the inclination is obtained, and the other ink jet printer head 4B is inclined with respect to the reference ink jet printer head 4A based on the obtained inclination of the ejection direction of the ink droplet, it is the distance between the landing positions accurately. The printing pitch can be kept constant.

本発明の第二の実施の形態を図８に基づいて説明する。   A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

＜インクジェットプリンタヘッドユニット＞
本実施の形態のインクジェットプリンタヘッドユニット１Ａは、第一の実施の形態のインクジェットプリンタヘッドユニット１と基本的に同じ構造であり、それらの相違点は、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの位置関係が異なることである。また、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの位置関係が異なるため、インクジェットプリンタヘッドユニット１Ａの製造方法も、第一の実施の形態のインクジェットプリンタヘッドユニット１の製造方法とは部分的に異なる。なお、第一の実施の形態と同一部分は、同一符号で示し、その説明も省略する。 <Inkjet printer head unit>
The ink jet printer head unit 1A of the present embodiment has basically the same structure as the ink jet printer head unit 1 of the first embodiment, and the difference between them is the positional relationship between the two ink jet printer heads 4A and 4B. Is different. Further, since the positional relationship between the two ink jet printer heads 4A and 4B is different, the manufacturing method of the ink jet printer head unit 1A is partially different from the manufacturing method of the ink jet printer head unit 1 of the first embodiment. In addition, the same part as 1st embodiment is shown with the same code | symbol, and the description is also abbreviate | omitted.

２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの位置関係について図８を参照して説明する。図８は２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの位置関係を説明するための説明図である。なお、図８中の矢印はインク滴の吐出方向を示し、Ｒは理想の着弾位置を示し、Ｚは実際の着弾位置（２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂをずらす前の着弾位置）を示す。   The positional relationship between the two inkjet printer heads 4A and 4B will be described with reference to FIG. FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining the positional relationship between the two inkjet printer heads 4A and 4B. 8 indicates the ink droplet ejection direction, R indicates the ideal landing position, and Z indicates the actual landing position (the landing position before the two inkjet printer heads 4A and 4B are shifted).

図８に示すように、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、基準となるインクジェットプリンタヘッド４Ａに対してもう一方のインクジェットプリンタヘッド４Ｂを複数のノズル孔８の配列方向に沿ってずらすことで複数のノズル孔８から吐出するインク滴の着弾位置が所定位置、すなわち理想の着弾位置になるように積層されている。ここで、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、ノズル孔８の形成方向の傾き、すなわちノズルプレート１１に対する垂直な軸線からのインク滴の吐出方向の傾きをＸｍｒａｄとし、ノズルプレート１１から着弾位置までの距離をＹｍｍとし、ずらし量をｄμｍとすると、相対的にｄ＝２ＸＹだけ複数のノズル孔８の配列方向に沿ってずらされている。ここでは、図８に示すように、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂをそれぞれ逆方向にＸＹだけずらすことで、インクジェットプリンタヘッド４Ｂは、基準となるインクジェットプリンタヘッド４Ａに対して２ＸＹだけずらされている。   As shown in FIG. 8, two ink jet printer heads 4A and 4B are provided by shifting the other ink jet printer head 4B along the arrangement direction of the plurality of nozzle holes 8 with respect to the reference ink jet printer head 4A. The ink droplets ejected from the nozzle holes 8 are stacked so that the landing positions thereof are predetermined positions, that is, ideal landing positions. Here, the two inkjet printer heads 4A and 4B have an inclination of the nozzle hole 8 forming direction, that is, an inclination of an ink droplet ejection direction from an axis perpendicular to the nozzle plate 11 as Xmrad, and from the nozzle plate 11 to the landing position. If the distance is Ymm and the shift amount is d μm, the distance is relatively shifted by d = 2XY along the arrangement direction of the plurality of nozzle holes 8. Here, as shown in FIG. 8, by shifting the two inkjet printer heads 4A and 4B in the opposite directions by XY, the inkjet printer head 4B is shifted by 2XY relative to the reference inkjet printer head 4A. Yes.

例えば、ノズル孔８の形成方向の傾き、すなわちノズルプレート１１に対する垂直な軸線からのインク滴の吐出方向の傾きがＸ＝５ｍｒａｄである場合には、ノズルプレート１１から着弾位置までの距離、すなわちノズルプレート１１と用紙等の記録媒体の着弾位置との離反距離をＹ＝１ｍｍとすると、ノズル孔８から吐出したインク滴は、理想の着弾位置からＸＹ＝５μｍずれて着弾する。この場合には、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、基準となるインクジェットプリンタヘッド４Ａに対して他のインクジェットプリンタヘッド４Ｂを複数のノズル孔８の配列方向に沿ってｄ＝１０μｍだけずらされる。また、同じ条件で、離反距離をＹ＝２ｍｍとすると、ずらし量はｄ＝２０μｍとなる。   For example, when the inclination of the nozzle hole 8 formation direction, that is, the inclination of the ink droplet ejection direction from the axis perpendicular to the nozzle plate 11 is X = 5 mrad, the distance from the nozzle plate 11 to the landing position, that is, the nozzle If the separation distance between the plate 11 and the landing position of a recording medium such as paper is Y = 1 mm, the ink droplets ejected from the nozzle holes 8 land with a deviation of XY = 5 μm from the ideal landing position. In this case, the two inkjet printer heads 4A and 4B are shifted from the reference inkjet printer head 4A by d = 10 μm along the arrangement direction of the plurality of nozzle holes 8 with respect to the other inkjet printer head 4B. Further, if the separation distance is Y = 2 mm under the same conditions, the shift amount is d = 20 μm.

このような構成において、インクジェットプリンタヘッドユニット１は、インクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの各電極１７へ駆動電圧を印加し、隔壁１５を変形させることによりインク室９に圧力を発生させて、ノズル孔８からインク滴を吐出させる。このとき、インク滴は理想の着弾位置に着弾するため、着弾位置間の距離である印字ピッチを一定に維持することができる。これにより、高解像度で印字精度が高いインクジェットプリンタヘッドユニット１を得ることができる。   In such a configuration, the ink jet printer head unit 1 applies a driving voltage to the electrodes 17 of the ink jet printer heads 4A and 4B and deforms the partition wall 15 to generate a pressure in the ink chamber 9 to thereby generate the nozzle holes 8. Ink droplets are ejected from. At this time, since the ink droplets land at ideal landing positions, the printing pitch, which is the distance between the landing positions, can be maintained constant. Thereby, the inkjet printer head unit 1 with high resolution and high printing accuracy can be obtained.

＜レーザ加工装置＞
本実施の形態のレーザ加工装置３０は、第一の実施の形態のレーザ加工装置３０と同じ装置である。なお、第一の実施の形態と同一部分は、同一符号で示し、その説明も省略する。 <Laser processing equipment>
The laser processing apparatus 30 of this embodiment is the same apparatus as the laser processing apparatus 30 of the first embodiment. In addition, the same part as 1st embodiment is shown with the same code | symbol, and the description is also abbreviate | omitted.

＜インクジェットプリンタヘッドユニットの製造方法＞
インクジェットプリンタヘッドユニット１Ａの製造方法について図８を参照して説明する。 <Inkjet printer head unit manufacturing method>
A method of manufacturing the ink jet printer head unit 1A will be described with reference to FIG.

インクジェットプリンタヘッドユニット１Ａの製造方法は、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの吐出ユニット１０に２枚のノズルプレート１１をそれぞれ取り付ける取付工程と、２枚のノズルプレート１１に複数のノズル孔８を複数のインク室９にそれぞれ対応させて形成する形成工程と、複数のノズル孔８を有するノズルプレート１１が吐出ユニット１０に取り付けられた２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂを積層する積層工程と、から構成されている。   The manufacturing method of the ink jet printer head unit 1A includes an attaching step of attaching the two nozzle plates 11 to the discharge units 10 of the two ink jet printer heads 4A and 4B, and a plurality of nozzle holes 8 in the two nozzle plates 11. Forming a process corresponding to each of the ink chambers 9 and a stacking process of stacking two inkjet printer heads 4A and 4B each having a nozzle plate 11 having a plurality of nozzle holes 8 attached to the discharge unit 10. Has been.

まず、取付工程では、複数のノズル孔８が形成されていないノズルプレート１１が、インクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの吐出ユニット１０に接着されて取り付けられる。次に、形成工程では、取付工程でノズルプレート１１が取り付けられたインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂがレーザ加工装置３０のｚステージ４０ｃに載置され、レーザ加工装置３０による逆テーパ加工によって複数のノズル孔８がインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂのノズルプレート１１に形成される。ここで、インクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂが完成する。   First, in the attaching step, the nozzle plate 11 in which the plurality of nozzle holes 8 are not formed is attached to the discharge unit 10 of the ink jet printer heads 4A and 4B. Next, in the forming process, the inkjet printer heads 4A and 4B to which the nozzle plate 11 is attached in the attaching process are placed on the z stage 40c of the laser processing apparatus 30, and a plurality of nozzle holes are formed by reverse taper processing by the laser processing apparatus 30. 8 is formed on the nozzle plate 11 of the ink jet printer heads 4A and 4B. Here, the inkjet printer heads 4A and 4B are completed.

なお、ここでは、ノズルプレート１１に複数のノズル孔８を形成する前にそのノズルプレート１１をインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの吐出ユニット１０に取り付けているが、これに限るものではなく、例えば、ノズルプレート１１に複数のノズル孔８を形成した後にそのノズルプレート１１をインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂの吐出ユニット１０に取り付けるようにしても良い。すなわち、形成工程及び取付工程のどちらを先に行っても良い。なお、取付工程の前に形成工程を行う場合には、レーザ加工装置３０によるレーザ加工方法としては、順テーパ加工及び逆テーパ加工のどちらを用いても良い。ここで、１枚のノズルプレート１１における複数のノズル孔８は、レーザ加工装置３０から出射されたレーザ光ＬＢの傾きに依存するため一様に同一方向に傾くことになる。   Here, before forming the plurality of nozzle holes 8 in the nozzle plate 11, the nozzle plate 11 is attached to the ejection unit 10 of the ink jet printer heads 4A and 4B. However, the present invention is not limited to this. After forming a plurality of nozzle holes 8 in the plate 11, the nozzle plate 11 may be attached to the ejection unit 10 of the ink jet printer heads 4A and 4B. That is, either the formation process or the attachment process may be performed first. In addition, when performing a formation process before an attachment process, as a laser processing method by the laser processing apparatus 30, either a forward taper process or a reverse taper process may be used. Here, the plurality of nozzle holes 8 in one nozzle plate 11 are uniformly inclined in the same direction because they depend on the inclination of the laser beam LB emitted from the laser processing apparatus 30.

最後に、積層工程では、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、ベースプレート２を介して対向する位置に位置付けられてベースプレート２に貼り合わされる。さらに、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、各ノズルプレート１１の面が同一面内に位置するように貼り合わされる。このとき、図８に示すように、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、基準となるインクジェットプリンタヘッド４Ａに対して他のインクジェットプリンタヘッド４Ｂを複数のノズル孔８の配列方向に沿ってずらすことで複数のノズル孔８から吐出するインク滴の着弾位置が所定位置、すなわち理想の着弾位置になるように積層されている。２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは、ノズル孔８の形成方向の傾き、すなわちノズルプレート１１に対する垂直な軸線からのインク滴の吐出方向の傾きをＸｍｒａｄとし、ノズルプレート１１から着弾位置までの距離をＹｍｍとし、ずらし量をｄμｍとすると、相対的にｄ＝２ＸＹだけ複数のノズル孔８の配列方向に沿ってずらされる。ここでは、図８に示すように、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂをそれぞれ逆方向にＸＹだけずらすことで、インクジェットプリンタヘッド４Ｂは、基準となるインクジェットプリンタヘッド４Ａに対して２ＸＹだけずらされる。   Finally, in the laminating process, the two inkjet printer heads 4A and 4B are positioned at positions facing each other via the base plate 2 and are bonded to the base plate 2. Further, the two ink jet printer heads 4A and 4B are bonded so that the surfaces of the nozzle plates 11 are positioned in the same surface. At this time, as shown in FIG. 8, the two inkjet printer heads 4 </ b> A and 4 </ b> B shift the other inkjet printer head 4 </ b> B along the arrangement direction of the plurality of nozzle holes 8 with respect to the reference inkjet printer head 4 </ b> A. Thus, the ink droplets ejected from the plurality of nozzle holes 8 are stacked so that the landing positions thereof are predetermined positions, that is, ideal landing positions. The two inkjet printer heads 4A and 4B have the inclination of the nozzle hole 8 forming direction, that is, the inclination of the ink droplet ejection direction from the axis perpendicular to the nozzle plate 11 as Xmrad, and the distance from the nozzle plate 11 to the landing position. If Ymm is set and the shift amount is dμm, the nozzles 8 are relatively shifted along the arrangement direction of the plurality of nozzle holes 8 by d = 2XY. Here, as shown in FIG. 8, the two inkjet printer heads 4A and 4B are shifted in the opposite directions by XY, so that the inkjet printer head 4B is shifted by 2XY relative to the reference inkjet printer head 4A.

インク滴の吐出方向の傾きは、レーザ加工装置３０のレーザ光ＬＢの傾き等から理論的に求められる。そして、ｄ＝２ＸＹの関係式から、ずらし量が求められる。また、ずらし量は、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂを仮にベースプレート２に貼り合わせて、そのインクジェットプリンタヘッドユニット１Ａに実際にインク滴を吐出させることで、その着弾位置と理想の着弾位置とのずれ量から求める場合もある。   The inclination of the ink droplet ejection direction is theoretically obtained from the inclination of the laser beam LB of the laser processing apparatus 30 and the like. Then, the shift amount is obtained from the relational expression of d = 2XY. Further, the amount of shift is determined by temporarily bonding two ink jet printer heads 4A and 4B to the base plate 2 and actually ejecting ink droplets to the ink jet printer head unit 1A. It may be obtained from the amount of deviation.

このようにインクジェットプリンタヘッドユニット１Ａを製造することによって、インク滴は理想の着弾位置に着弾し、着弾位置間の距離である印字ピッチを一定に維持することができる。これにより、高解像度で印字精度が高いインクジェットプリンタヘッドユニット１Ａを得ることができる。   By manufacturing the ink jet printer head unit 1A in this way, the ink droplets land at ideal landing positions, and the printing pitch, which is the distance between the landing positions, can be maintained constant. Thereby, the inkjet printer head unit 1A having high resolution and high printing accuracy can be obtained.

また、本実施の形態においては、２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂを仮に積層し、その状態でノズル孔８からインク滴を吐出させ、ノズル孔８から吐出したインク滴の着弾位置と所定位置、すなわち理想の着弾位置とのずれ量を求め、求めたずれ量に基づいて、基準となるインクジェットプリンタヘッド４Ａに対して他のインクジェットプリンタヘッド４Ｂを複数のノズル孔８の配列方向に沿ってずらすようにしたことから、正確に着弾位置間の距離である印字ピッチを一定に維持することができる。   In the present embodiment, two ink jet printer heads 4A and 4B are temporarily stacked, ink droplets are ejected from the nozzle holes 8 in this state, and the landing positions and predetermined positions of the ink droplets ejected from the nozzle holes 8 are as follows: That is, the amount of deviation from the ideal landing position is obtained, and the other inkjet printer head 4B is displaced along the arrangement direction of the plurality of nozzle holes 8 with respect to the reference inkjet printer head 4A based on the obtained amount of deviation. As a result, the printing pitch, which is the distance between the landing positions, can be kept constant.

なお、各実施の形態では、複数のノズル孔８はレーザ加工装置３０によるレーザ加工によって形成されているが、これに限るものではなく、例えばプレス装置によるプレス加工によって形成されても良い。また、各実施の形態においては、形成工程ではレーザ加工によりノズル孔８を形成することで、簡単に精度良くノズル孔８を形成することができる。また、形成工程では逆テーパ加工によりノズル孔８を形成することで、ノズルプレート１１をインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂに取り付けてから、ノズルプレート１１にインク滴の吐出に有効に圧力を利用することが可能なノズル孔８を形成することができる。これにより、インクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂは効率良くインクを吐出することができる。   In each embodiment, the plurality of nozzle holes 8 are formed by laser processing using the laser processing apparatus 30, but the present invention is not limited thereto, and may be formed by press processing using a press apparatus, for example. In each embodiment, the nozzle hole 8 can be easily and accurately formed by forming the nozzle hole 8 by laser processing in the forming step. Further, in the forming process, the nozzle hole 8 is formed by reverse taper processing, so that the nozzle plate 11 is attached to the ink jet printer heads 4A and 4B, and then the pressure can be effectively used for ejecting ink droplets to the nozzle plate 11. Possible nozzle holes 8 can be formed. Thereby, the ink jet printer heads 4A and 4B can efficiently eject ink.

第一又は第二の実施の形態のインクジェットプリンタヘッドユニット１，１Ａ（以下、本発明のインクジェットプリンタヘッドユニット１，１Ａという）と従来のインクジェットプリンタヘッドユニットとを用いて実際に用紙に印字することによって、印字ピッチずれ量を測定した。ここで、印字ピッチずれ量を測定する測定方法について図９を参照して説明する。図９は印字ピッチずれ量の測定方法を説明するための説明図である。   Actually printing on paper using the ink jet printer head unit 1, 1A of the first or second embodiment (hereinafter referred to as the ink jet printer head unit 1, 1A of the present invention) and the conventional ink jet printer head unit. Was used to measure the print pitch deviation. Here, a measurement method for measuring the print pitch deviation amount will be described with reference to FIG. FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining a method of measuring the print pitch deviation amount.

本発明のインクジェットプリンタヘッドユニット１，１Ａ及び従来のインクジェットプリンタヘッドユニットを用いてライン印字を行う。例えば、１つのインクジェットプリンタヘッド４Ａのノズル孔８のピッチが１４０μｍである場合には、インクジェットプリンタヘッドユニット１のノズル孔８のピッチは７０μｍになる（図２参照）。ここで、図９（ａ）に示す２つのインクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂにおいて、全てのノズル孔８からインク滴を吐出させた場合には、図９（ｂ）に示すように、ベタ印字となり、印字ピッチを測定することは困難になる。なお、図９（ｂ）では、線間を設けているが、実際には、線間がつぶれてベタ印字となる。そこで、本実施例では、ノズル孔１ａ，２ｂ，４ａ，５ｂ・・・のように所定のノズル孔８からだけインク滴を吐出させることで、印字ピッチの測定を可能にする。例えば、インクジェットプリンタヘッド４Ａは、１＋３Ｎ（Ｎ＝０，１，２・・・）番目のノズル孔８からインク滴を吐出させ、インクジェットプリンタヘッド４Ｂは、Ｎ＝２＋３Ｎ（Ｎ＝０，１，２・・・）番目のノズル孔８からインク滴を吐出させる。   Line printing is performed using the inkjet printer head units 1 and 1A of the present invention and the conventional inkjet printer head unit. For example, when the pitch of the nozzle holes 8 of one inkjet printer head 4A is 140 μm, the pitch of the nozzle holes 8 of the inkjet printer head unit 1 is 70 μm (see FIG. 2). Here, in the two inkjet printer heads 4A and 4B shown in FIG. 9A, when ink droplets are ejected from all the nozzle holes 8, solid printing is performed as shown in FIG. It becomes difficult to measure the print pitch. In FIG. 9B, the line spacing is provided, but actually the line spacing is crushed and solid printing is performed. Therefore, in this embodiment, the print pitch can be measured by ejecting ink droplets only from the predetermined nozzle holes 8 like the nozzle holes 1a, 2b, 4a, 5b. For example, the ink jet printer head 4A ejects ink droplets from the 1 + 3N (N = 0, 1, 2,...) -Th nozzle hole 8, and the ink jet printer head 4B has N = 2 + 3N (N = 0, 1, 2,. ...) Ink droplets are ejected from the second nozzle hole 8.

このようにして印字すると、その印字ピッチは、図９（ｃ）に示すように、本来、ＡＢ間及びＢＡ間ともに２１０μｍとなる。しかしながら、ノズル孔８に傾きがあり、その傾き方向が各ノズルプレート１１で異なっていると、印字ピッチは、例えば、図９（ｄ）に示すように、ＡＢ間が１９５μｍとなり、ＢＡ間が２２５μｍとなる。この場合、インクジェットプリンタヘッド４Ａ，４Ｂのノズルプレート１１と用紙との離反距離を１ｍｍとすると、ノズル孔８はノズルプレート１１の板面に対して垂直な軸線から７．５ｍｒａｄだけ傾いていることになる。   When printing is performed in this manner, the printing pitch is originally 210 μm between AB and BA, as shown in FIG. 9C. However, if the nozzle hole 8 is inclined and the inclination direction is different for each nozzle plate 11, the print pitch is, for example, 195 μm between AB and 225 μm between BA as shown in FIG. 9D. It becomes. In this case, if the separation distance between the nozzle plate 11 of the inkjet printer heads 4A and 4B and the paper is 1 mm, the nozzle hole 8 is inclined by 7.5 mrad from the axis perpendicular to the plate surface of the nozzle plate 11. Become.

印字ピッチずれ量は、印字ピッチを測定し、測定した印字ピッチと本来の印字ピッチとから絶対ずれ量を算出することによって求められる。例えば、本来の印字ピッチが２１０μｍである場合、測定した印字ピッチが１９５μｍ及び２２５μｍであると、印字ピッチずれ量は１５μｍとなる。   The print pitch deviation amount is obtained by measuring the print pitch and calculating the absolute deviation amount from the measured print pitch and the original print pitch. For example, when the original print pitch is 210 μm, the print pitch deviation amount is 15 μm when the measured print pitch is 195 μm and 225 μm.

図１０は印字ピッチずれ量の測定結果を示す説明図である。図１０に示す値は、印字ピッチずれ量の平均値である。なお、図１０において、「ユニット１〜４」は本発明のインクジェットプリンタヘッドユニット１，１Ａであり、「従来」は従来のインクジェットプリンタヘッドユニットである。図１０に示すように、本発明のインクジェットプリンタヘッドユニットでは、印字ピッチずれ量が１．１〜７．２μｍとなっており、従来のインクジェットプリンタヘッドユニットでは、印字ピッチずれ量が１５．３μｍとなっている。したがって、本発明のインクジェットプリンタヘッドユニット１を用いることによって、印字ピッチずれ量を低減させ、１０μｍ以下に抑えることが可能であることが確認された。これにより、高解像度で良好な印字精度を得ることができる。   FIG. 10 is an explanatory diagram showing the measurement result of the print pitch deviation amount. The value shown in FIG. 10 is an average value of the print pitch deviation amount. In FIG. 10, “units 1 to 4” are the inkjet printer head units 1 and 1A of the present invention, and “conventional” is a conventional inkjet printer head unit. As shown in FIG. 10, in the ink jet printer head unit of the present invention, the print pitch deviation amount is 1.1 to 7.2 μm, and in the conventional ink jet printer head unit, the print pitch deviation amount is 15.3 μm. It has become. Therefore, it was confirmed that by using the ink jet printer head unit 1 of the present invention, it is possible to reduce the printing pitch deviation amount and suppress it to 10 μm or less. As a result, it is possible to obtain good printing accuracy with high resolution.

インクジェットプリンタヘッドユニットを概略的に示す斜視図である。It is a perspective view showing an ink jet printer head unit roughly. インクジェットプリンタヘッドユニットが備えるノズルプレート部分を概略的に示す平面図である。It is a top view which shows roughly the nozzle plate part with which an inkjet printer head unit is provided. 図２におけるＡ−Ａ線断面を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows the AA line cross section in FIG. 本発明の第一の実施の形態の２つのインクジェットプリンタヘッドの位置関係を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the positional relationship of the two inkjet printer heads of 1st embodiment of this invention. レーザ加工装置の構成を概略的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of a laser processing apparatus roughly. レーザ加工装置の光学系を展開して示す説明図である。It is explanatory drawing which expand | deploys and shows the optical system of a laser processing apparatus. レーザ加工装置による加工後のノズルプレートを拡大して示し、（ａ）は順テーパ加工によるノズルプレートを示す断面図、（ｂ）は逆テーパ加工によるノズルプレートを示す断面図である。The nozzle plate after processing by a laser processing apparatus is shown enlarged, (a) is sectional drawing which shows the nozzle plate by forward taper processing, (b) is sectional drawing which shows the nozzle plate by reverse taper processing. 本発明の第二の実施の形態の２つのインクジェットプリンタヘッドの位置関係を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the positional relationship of the two inkjet printer heads of 2nd embodiment of this invention. 印字ピッチずれ量の測定方法を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the measuring method of printing pitch deviation | shift amount. 印字ピッチずれ量の測定結果を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the measurement result of printing pitch deviation | shift amount. 従来のインクジェットプリンタヘッドの吐出方向を説明するための図であり、（ａ）はインクジェットプリンタヘッドの正面図、（ｂ）はその側面図である。It is a figure for demonstrating the discharge direction of the conventional inkjet printer head, (a) is a front view of an inkjet printer head, (b) is the side view. 従来のインクジェットプリンタヘッドユニットの吐出方向を説明するための図であり、（ａ）はインクジェットプリンタヘッドユニットの正面図、（ｂ）はその側面図である。It is a figure for demonstrating the discharge direction of the conventional inkjet printer head unit, (a) is a front view of an inkjet printer head unit, (b) is the side view.

符号の説明Explanation of symbols

１ インクジェットプリンタヘッドユニット
１Ａ インクジェットプリンタヘッドユニット
４Ａ インクジェットプリンタヘッド
４Ｂ インクジェットプリンタヘッド
８ ノズル孔
１１ ノズルプレート
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inkjet printer head unit 1A Inkjet printer head unit 4A Inkjet printer head 4B Inkjet printer head 8 Nozzle hole 11 Nozzle plate

Claims (4)

複数のインク室が形成されたヘッド基板の一面に前記インク室の一部を形成する蓋部材を設けて前記インク室をノズルプレートで覆い、当該ノズルプレートに形成されて前記インク室に連通する複数のノズル孔から選択的にインクをインク滴として吐出させる一対のインクジェットプリンタヘッドを備えるインクジェットプリンタヘッドユニットにおいて、
前記一対のインクジェットプリンタヘッドは、前記ノズルプレートに対する垂直な軸線からのインク滴の吐出方向の傾きをＸ（ｒａｄ）とすると、相対的に２Ｘ（ｒａｄ）の傾きを持って互いの前記一面と反対側の面を接合させて積層されている、
ことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドユニット。 A cover member that forms a part of the ink chamber is provided on one surface of the head substrate on which a plurality of ink chambers are formed, the ink chamber is covered with a nozzle plate, and a plurality of nozzle chambers that are formed on the nozzle plate and communicate with the ink chamber. In an inkjet printer head unit comprising a pair of inkjet printer heads that selectively eject ink as ink droplets from the nozzle holes of
The pair of inkjet printer heads has a relative inclination of 2X (rad) and is opposite to the one surface when the inclination of the ink droplet ejection direction from the axis perpendicular to the nozzle plate is X (rad). It is laminated by joining the side surfaces ,
An ink jet printer head unit. 複数のインク室が形成されたヘッド基板の一面に前記インク室の一部を形成する蓋部材を設けて前記インク室をノズルプレートで覆い、当該ノズルプレートに形成されて前記インク室に連通する複数のノズル孔から選択的にインクをインク滴として吐出させる一対のインクジェットプリンタヘッドを備えるインクジェットプリンタヘッドユニットにおいて、
前記一対のインクジェットプリンタヘッドは、前記ノズルプレートに対する垂直な軸線からのインク滴の吐出方向の傾きをＸ（ｒａｄ）とし、前記ノズルプレートから着弾位置までの距離をＹとし、ずらし量をｄとすると、相対的にｄ＝２ＸＹだけずらされて互いの前記一面と反対側の面を接合させて積層されている、
ことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドユニット。 A cover member that forms a part of the ink chamber is provided on one surface of the head substrate on which a plurality of ink chambers are formed, the ink chamber is covered with a nozzle plate, and a plurality of nozzle chambers that are formed on the nozzle plate and communicate with the ink chamber. In an inkjet printer head unit comprising a pair of inkjet printer heads that selectively eject ink as ink droplets from the nozzle holes of
In the pair of inkjet printer heads, an inclination of an ink droplet ejection direction from an axis perpendicular to the nozzle plate is X (rad), a distance from the nozzle plate to the landing position is Y, and a shift amount is d. , And is laminated with the surfaces opposite to each other being bonded to each other by being shifted by d = 2XY .
An ink jet printer head unit. 複数のインク室が形成されたヘッド基板の一面に前記インク室の一部を形成する蓋部材を設けて前記インク室をノズルプレートで覆い、当該ノズルプレートに形成されて前記インク室に連通する複数のノズル孔から選択的にインクをインク滴として吐出させる一対のインクジェットプリンタヘッドを備えるインクジェットプリンタヘッドユニットを製造するインクジェットプリンタヘッドユニットの製造方法において、
前記ノズルプレートに対する垂直な軸線からの前記ノズル孔から吐出するインク滴の吐出方向の傾きをＸ（ｒａｄ）とすると、前記一対のインクジェットプリンタヘッドが相対的に２Ｘ（ｒａｄ）の傾きを持つように前記一対のインクジェットプリンタヘッドを互いの前記一面と反対側の面を接合させて積層するようにした、
ことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドユニットの製造方法。 A cover member that forms a part of the ink chamber is provided on one surface of the head substrate on which a plurality of ink chambers are formed, the ink chamber is covered with a nozzle plate, and a plurality of nozzle chambers that are formed on the nozzle plate and communicate with the ink chamber. In an inkjet printer head unit manufacturing method for manufacturing an inkjet printer head unit comprising a pair of inkjet printer heads that selectively eject ink as ink droplets from the nozzle holes of
When the inclination of the ejection direction of the ink droplet ejected from the nozzle hole from the axis perpendicular to the nozzle plate is X (rad), the pair of inkjet printer heads have a relative inclination of 2X (rad). The pair of inkjet printer heads are laminated by bonding the surfaces opposite to each other .
A method for manufacturing an ink jet printer head unit. 複数のインク室が形成されたヘッド基板の一面に前記インク室の一部を形成する蓋部材を設けて前記インク室をノズルプレートで覆い、当該ノズルプレートに形成されて前記インク室に連通する複数のノズル孔から選択的にインクをインク滴として吐出させる複数のインクジェットプリンタヘッドを備えるインクジェットプリンタヘッドユニットを製造するインクジェットプリンタヘッドユニットの製造方法において、
前記ノズルプレートに対する垂直な軸線からのインク滴の吐出方向の傾きをＸ（ｒａｄ）とし、前記ノズルプレートから着弾位置までの距離をＹとし、ずらし量をｄとすると、ｄ＝２ＸＹだけ前記一対のインクジェットプリンタヘッドを相対的にずらし互いの前記一面と反対側の面を接合させて積層するようにした、
ことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドユニットの製造方法。 A cover member that forms a part of the ink chamber is provided on one surface of the head substrate on which a plurality of ink chambers are formed, the ink chamber is covered with a nozzle plate, and a plurality of nozzle chambers that are formed on the nozzle plate and communicate with the ink chamber. In an inkjet printer head unit manufacturing method for manufacturing an inkjet printer head unit comprising a plurality of inkjet printer heads that selectively eject ink as ink droplets from the nozzle holes of
When the inclination of the ink droplet ejection direction from the axis perpendicular to the nozzle plate is X (rad), the distance from the nozzle plate to the landing position is Y, and the shift amount is d, the pair of pairs is only d = 2XY . The ink jet printer head is relatively shifted and the opposite surface to the other surface is bonded and laminated .
A method for manufacturing an ink jet printer head unit.
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