JP4459715B2 - Image recognition method, image recognition apparatus, and mounting apparatus - Google Patents

Image recognition method, image recognition apparatus, and mounting apparatus Download PDF

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JP4459715B2 JP2004150487A JP2004150487A JP4459715B2 JP 4459715 B2 JP4459715 B2 JP 4459715B2 JP 2004150487 A JP2004150487 A JP 2004150487A JP 2004150487 A JP2004150487 A JP 2004150487A JP 4459715 B2 JP4459715 B2 JP 4459715B2
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Description

この発明はたとえば基板に電子部品を実装する場合などに好適する画像認識方法、画像認識装置及び実装装置に関する。   The present invention relates to an image recognition method, an image recognition apparatus, and a mounting apparatus that are suitable for mounting electronic components on a substrate, for example.

たとえば、基板に電子部品を実装する場合、まず、電子部品に設けられた検査画像としての位置合わせマークを、上記基板に設けられた位置合わせマークに合うようこれら両者を位置決めし、ついで上記電子部品を上記基板に実装するようにしている。   For example, when an electronic component is mounted on a substrate, first, an alignment mark as an inspection image provided on the electronic component is positioned so as to match the alignment mark provided on the substrate, and then the electronic component Is mounted on the substrate.

電子部品と基板に設けられた互いの位置合わせマークを位置合わせするためには、電子部品に設けられた位置合わせマークと、基板に設けられた位置合わせマークをそれぞれ撮像カメラで撮像し、各位置合わせマークの撮像信号によって電子部品と基板との位置を認識し、その認識に基いて電子部品と基板との両者を位置決めするようにしている。このような従来技術は特許文献1に示されている。   In order to align the alignment mark provided on the electronic component and the substrate, the alignment mark provided on the electronic component and the alignment mark provided on the substrate are respectively imaged with an imaging camera, The position of the electronic component and the substrate is recognized based on the imaging signal of the alignment mark, and both the electronic component and the substrate are positioned based on the recognition. Such a prior art is shown in Patent Document 1.

電子部品として最近ではたとえば電子機器の小型化や薄型化に伴い、TCP(Tape Carrier Package)やCOF(Chip on Film)などが多く用いられている。これらの電子部品は、半導体チップが所定間隔でダイボンディングされた樹脂製の薄くて長尺なテープを、所定の形状に打ち抜くことで形成される。そして、上記テープの打ち抜かれる箇所には、上記位置合わせマークがたとえば金メッキなどによって形成されている。
特開平3−46244号公報
Recently, for example, TCP (Tape Carrier Package) and COF (Chip on Film) are often used as electronic components, for example, as electronic devices become smaller and thinner. These electronic components are formed by punching out a thin and long resin-made tape in which semiconductor chips are die-bonded at predetermined intervals into a predetermined shape. And the said alignment mark is formed in the location where the said tape is pierced, for example by gold plating.
JP-A-3-46244

ところで、長尺で、薄いテープから電子部品を打ち抜くと、その際にテープに応力が加わり、テープの打ち抜かれた部分が変形することがある。その場合、テープに形成された位置合わせマークの一部が変形したり、傷付くなどのことがある。   By the way, when an electronic component is punched from a long and thin tape, stress is applied to the tape at that time, and the punched portion of the tape may be deformed. In that case, a part of the alignment mark formed on the tape may be deformed or damaged.

変形したり、傷付いた位置合わせマークを撮像カメラによって撮像すると、変形した部分で光が乱反射したり、傷付いた部分で光が反射しなかったりすることがある。その結果、撮像カメラによって上記位置合わせマークを認識することができなくなるということがあり、そのような場合には電子部品を不良品と判定してしまうことがある。   When an alignment mark that is deformed or damaged is picked up by an imaging camera, light may be irregularly reflected at the deformed portion or light may not be reflected at the damaged portion. As a result, the alignment mark may not be recognized by the imaging camera. In such a case, the electronic component may be determined as a defective product.

つまり、電子部品は位置合わせマークが形成された部分だけが変形したり、傷付いているだけであって、半導体チップが不良でなくても、撮像カメラによる撮像結果は不良となるから、その電子部品は廃棄されることになり、その結果、歩留まりの低下を招く一因となっていた。   In other words, only the part where the alignment mark is formed is deformed or scratched, and even if the semiconductor chip is not defective, the imaging result by the imaging camera is defective. The parts were discarded, and as a result, the yield was reduced.

この発明は、検査画像の一部が欠けたり、写らなくても、この検査画像を確実に認識できるようにした画像認識方法、画像認識装置及び実装装置を提供することにある。   It is an object of the present invention to provide an image recognition method, an image recognition apparatus, and a mounting apparatus that can surely recognize an inspection image even if a part of the inspection image is missing or does not appear.

この発明は、検査画像が基準画像に一致するか否かを判定する画像認識方法であって、
検査画像と基準画像をそれぞれ対応する複数のエリアに分割する工程と、
検査画像の複数のエリアを順次加算し、その検査画像のエリアをそれに対応する基準画像のエリアと比較するとともに、比較の過程で検査画像と基準画像とのエリアに不一致が生じたならば、不一致のエリアを除去し新たなエリアを加算して比較を継続する工程と、
検査画像と基準画像とのエリアの比較回数に対する不一致となった回数の割合を検出し、その割合が基準値以下であるときに上記検査画像が基準画像に一致するか否かを判定する工程と
を具備したことを特徴とする画像認識方法にある。
The present invention is an image recognition method for determining whether or not an inspection image matches a reference image,
Dividing the inspection image and the reference image into a plurality of corresponding areas, and
Multiple areas of the inspection image are added sequentially, the area of the inspection image is compared with the corresponding area of the reference image, and if there is a mismatch between the area of the inspection image and the reference image during the comparison process, the mismatch Removing the area, adding a new area and continuing the comparison,
Detecting a ratio of the number of times of non-coincidence with respect to the number of comparisons between the area of the inspection image and the reference image, and determining whether the inspection image matches the reference image when the ratio is equal to or less than a reference value; An image recognition method characterized by comprising:

この発明は、検査画像が基準画像に一致するか否かを判定する画像認識装置であって、
上記検査画像を撮像する撮像手段と、
この撮像手段からの撮像信号を記憶する検査画像メモリと、
予め設定された基準画像を記憶する基準画像メモリと、
各画像メモリに記憶された検査画像と基準画像をそれぞれ複数のエリアに分割して順次出力させる制御手段と、
この制御手段から出力される各画像のエリアを順次加算して比較するとともに比較の過程で検査画像と基準画像とのエリアに不一致が生じたならば、不一致のエリアを除去し新たなエリアを加算して比較を継続する比較部と、
検査画像と基準画像とのエリアの比較回数に対する不一致となった回数の割合を検出し、その割合が基準値以下であるときに上記検査画像が基準画像に一致するか否かを判定する判定部と
を具備したことを特徴とする画像認識装置にある。
The present invention is an image recognition apparatus that determines whether or not an inspection image matches a reference image,
Imaging means for imaging the inspection image;
An inspection image memory for storing an imaging signal from the imaging means;
A reference image memory for storing a preset reference image;
A control means for dividing the inspection image and the reference image stored in each image memory into a plurality of areas and sequentially outputting them,
The areas of each image output from the control means are sequentially added and compared. If a mismatch occurs between the inspection image and the reference image in the comparison process, the mismatch area is removed and a new area is added. A comparison unit that continues the comparison,
A determination unit that detects a ratio of the number of times of non-coincidence with respect to the number of comparisons between areas of the inspection image and the reference image, and determines whether the inspection image matches the reference image when the ratio is equal to or less than a reference value And an image recognition apparatus characterized by comprising:

この発明によれば、検査画像の一部が欠けたり、写らなくても、その検査画像を複数のエリアに分割して予め設定された基準画像と比較するため、検査画像の一部が異常であっても、その部分の影響を受けずにこの検査画像を認識することが可能となる。   According to the present invention, even if a part of the inspection image is missing or does not appear, since the inspection image is divided into a plurality of areas and compared with a preset reference image, a part of the inspection image is abnormal. Even if it exists, it becomes possible to recognize this test | inspection image, without receiving the influence of the part.

以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明ずる。
図1乃至図4はこの発明の第1の実施の形態を示す。
図2は電子部品としての複数のTCP1を、基板としての液晶表示パネル2の周辺部に所定間隔で実装する状態を示す説明図である。TCP1はキヤリアテープ3から打ち抜かれた後、図示せぬ実装装置によって上記液晶表示パネル2の周辺部に異方性導電テープ4を介して実装される。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
1 to 4 show a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state in which a plurality of TCPs 1 as electronic components are mounted at a predetermined interval on a peripheral portion of a liquid crystal display panel 2 as a substrate. The TCP 1 is punched from the carrier tape 3 and then mounted on the peripheral portion of the liquid crystal display panel 2 via the anisotropic conductive tape 4 by a mounting device (not shown).

上記TCP1を上記液晶表示パネル2に実装する際、TCP1に形成された位置合わせマーク6(図3に示す)を撮像手段としての撮像カメラ7(図1に示す)で撮像し、その撮像信号によってTCP1の位置が認識される。   When the TCP 1 is mounted on the liquid crystal display panel 2, the alignment mark 6 (shown in FIG. 3) formed on the TCP 1 is imaged by an imaging camera 7 (shown in FIG. 1) as imaging means, The position of TCP1 is recognized.

一方、液晶表示パネル2には、TCP1を実装する位置に図示しない位置合わせマークが設けられており、この位置合わせマークを上記撮像カメラ7或いは他の撮像カメラで撮像し、その撮像信号によって液晶表示パネル2の位置が認識される。
そして、認識されたTCP1と、液晶表示パネル2との位置情報に基いて上記TCP1が液晶表示パネル2に対して位置決めされた後、実装されるようになっている。
On the other hand, the liquid crystal display panel 2 is provided with an alignment mark (not shown) at a position where the TCP 1 is mounted. The alignment mark is imaged by the imaging camera 7 or another imaging camera, and the liquid crystal display is performed by the imaging signal. The position of panel 2 is recognized.
Then, after the TCP 1 is positioned with respect to the liquid crystal display panel 2 based on the recognized positional information of the TCP 1 and the liquid crystal display panel 2, the TCP 1 is mounted.

上記TCP1に形成された位置合わせマーク6は、たとえば図3に示すようにリング状であって、この位置合わせマーク6には、TCP1をキヤリアテープ3から打ち抜く際に変形したり、傷付が付くなどした異常部6aが生じることがある。異常部6aが生じると、撮像カメラ7によって位置合わせマーク6を確実に認識できないことがあり、その場合にはTCP1を不良品として判定してしまうことがある。   The alignment mark 6 formed on the TCP 1 has, for example, a ring shape as shown in FIG. 3, and the alignment mark 6 is deformed or scratched when the TCP 1 is punched from the carrier tape 3. An abnormal part 6a may occur. If the abnormal part 6a occurs, the alignment mark 6 may not be reliably recognized by the imaging camera 7, and in this case, the TCP 1 may be determined as a defective product.

そこで、TCP1に形成された位置合わせマーク6の一部に異常部6aがあっても、その位置合わせマーク6は、図1に示す画像認識装置11によって認識できるようにしている。この画像認識装置11は画像処理装置12を備えている。この画像処理装置12は上記撮像カメラ7からの撮像信号をデジタル信号に変換するA/D変換器13を有する。このA/D変換器13で変換されたデジタル信号、つまり撮像された位置合わせマーク6に対応する検査画像X(図4(a)に示す)は検査画像メモリ14に記憶される。   Therefore, even if there is an abnormal portion 6a in a part of the alignment mark 6 formed on the TCP 1, the alignment mark 6 can be recognized by the image recognition device 11 shown in FIG. The image recognition device 11 includes an image processing device 12. The image processing apparatus 12 includes an A / D converter 13 that converts an imaging signal from the imaging camera 7 into a digital signal. The digital signal converted by the A / D converter 13, that is, the inspection image X (shown in FIG. 4A) corresponding to the imaged alignment mark 6 is stored in the inspection image memory 14.

上記画像処理装置12には基準画像メモリ15が設けられている。この基準画像メモリ15には正常な状態、つまり異常部6aのない位置合わせマークの形状に対応する基準画像Y(図4(b)に示す)がデジタル信号で記憶されている。   The image processing apparatus 12 is provided with a reference image memory 15. In this reference image memory 15, a reference image Y (shown in FIG. 4B) corresponding to the normal state, that is, the shape of the alignment mark without the abnormal portion 6a is stored as a digital signal.

画像処理装置12には制御装置16が接続されており、この制御装置16によって上記基準画像メモリ15に正常な状態の位置合わせマークのデジタル信号、つまり上記基準画像メモリYを記憶させることができるようになっている。   A control device 16 is connected to the image processing device 12 so that the reference image memory 15 can store the digital signal of the alignment mark in a normal state, that is, the reference image memory Y. It has become.

上記検査画像メモリ14と基準画像メモリ15とにデジタル信号で貯えられた検査画像Xと基準画像Yは比較部17に出力され、ここで後述するように比較される。比較部17での比較結果は判定部18で判定されるとともに、モニタ19によって表示されるようになっている。   The inspection image X and the reference image Y stored as digital signals in the inspection image memory 14 and the reference image memory 15 are output to the comparison unit 17 where they are compared as will be described later. The comparison result in the comparison unit 17 is determined by the determination unit 18 and displayed on the monitor 19.

上記比較部17は上記制御装置16からの指令に基いて上記検査画像Xと基準画像Yとを比較する。すなわち、検査画像Xと基準画像Yとのそれぞれの全領域は、図4(a),(b)に示すように対応する9つのエリアである、第1乃至第9のエリアに分割される。各画像X、YのエリアをX1〜X9及びY1〜Y9とする。なお、検査画像Xの第4のエリアX4と第8のエリアX8とは、位置合わせマーク6の異常部6aが生じた部位に対応する画像であると仮定し、これらのエリアX4、X8をクロス線で示す。   The comparison unit 17 compares the inspection image X with the reference image Y based on a command from the control device 16. That is, the entire areas of the inspection image X and the reference image Y are divided into first to ninth areas, which are nine areas corresponding to each other as shown in FIGS. The areas of the images X and Y are X1 to X9 and Y1 to Y9. It is assumed that the fourth area X4 and the eighth area X8 of the inspection image X are images corresponding to the part where the abnormal portion 6a of the alignment mark 6 is generated, and these areas X4 and X8 are crossed. Shown with a line.

そして、制御装置16は、検査画像メモリ14と基準画像メモリ15とから分割されたエリアを順次以下のように比較部17に入力させて比較する。まず、検査画像Xの第1のエリアX1と基準画像の第1エリアY1とを比較する。これらのエリアX1、Y1が一致したことが認識されたならば、次に第1のエリアX1、Y1に第2のエリアX2、Y2を加算し、各画像X、Yの第1、第2のエリア(X1+X2)と(Y1+Y2)を比較する。これらが一致したことが認識されたならば、それに第3のエリアX3、Y3を加算し、(X1+X2+X3)と(Y1+Y2+Y3)を比較する。   Then, the control device 16 sequentially inputs the areas divided from the inspection image memory 14 and the reference image memory 15 to the comparison unit 17 as follows. First, the first area X1 of the inspection image X is compared with the first area Y1 of the reference image. If it is recognized that these areas X1 and Y1 match, then the second areas X2 and Y2 are added to the first areas X1 and Y1, and the first and second areas of the images X and Y are added. The areas (X1 + X2) and (Y1 + Y2) are compared. If it is recognized that they match, the third areas X3 and Y3 are added to it, and (X1 + X2 + X3) and (Y1 + Y2 + Y3) are compared.

各画像X、Yの第3のエリアまでの画像が一致したならば、第4のエリアX4、Y4を加算して比較する。ここで、検査画像Xの第4のエリアX4は位置合わせマーク6の異常部6aに対応するエリアであるから、検査画像Xと基準画像Yとの加算された第1乃至第4のエリアの加算された画像(X1+X2+X3+X4)と(Y1+Y2+Y3+Y4)とは不一致となる。   If the images up to the third area of the images X and Y match, the fourth areas X4 and Y4 are added and compared. Here, since the fourth area X4 of the inspection image X is an area corresponding to the abnormal portion 6a of the alignment mark 6, addition of the first to fourth areas obtained by adding the inspection image X and the reference image Y is performed. The images (X1 + X2 + X3 + X4) and (Y1 + Y2 + Y3 + Y4) do not match.

加算された第4のエリアまでの検査画像Xと基準画像Yとが不一致となると、第4の画像X4、Y4を比較の対象から除去(マスク)し、第1乃至第3の画像に第5の画像X5、Y5を加算して比較する。つまり、検査画像Xの加算されたエリア(X1+X2+X3+X5)と基準画像Yの加算されたエリア(Y1+Y2+Y3+Y5)とが比較される。   If the inspection image X and the reference image Y up to the added fourth area do not match, the fourth images X4 and Y4 are removed (masked) from the comparison target, and the first to third images are changed to the fifth. The images X5 and Y5 are added and compared. That is, the area (X1 + X2 + X3 + X5) to which the inspection image X is added is compared with the area (Y1 + Y2 + Y3 + Y5) to which the reference image Y is added.

その比較が一致すれば、それにX6、Y6を加算して比較し、さらにそれが一致すればX7、Y7を加算して比較する。
つぎに、X8、Y8が加算されて比較されるのだが、検査画像Xの第8のエリアX8は位置合わせマーク6の異常部6aに対応する。そのため、検査画像Xの加算されたエリア(X1+X2+X3+X5+X6+X7+X8)と基準画像Yの加算されたエリア(Y1+Y2+Y3+Y5+Y6+Y7+Y8)との画像が不一致となる。不一致となったならば、第8の画像X8、Y8を比較の対象から除去し、つぎの第9の画像X9、Y9を加算して検査画像Xのエリア(Y1+Y2+Y3+Y5+Y6+Y7+Y9)と基準画像Yのエリア(Y1+Y2+Y3+Y5+Y6+Y7+Y9)とを比較する。
If the comparisons match, X6 and Y6 are added and compared, and if they match, X7 and Y7 are added and compared.
Next, X8 and Y8 are added and compared, and the eighth area X8 of the inspection image X corresponds to the abnormal portion 6 a of the alignment mark 6. Therefore, the image of the area (X1 + X2 + X3 + X5 + X6 + X7 + X8) to which the inspection image X is added and the area (Y1 + Y2 + Y3 + Y5 + Y6 + Y7 + Y8) to which the reference image Y is added do not match. If they do not match, the eighth images X8 and Y8 are removed from the comparison target, and the next ninth images X9 and Y9 are added together to add the inspection image X area (Y1 + Y2 + Y3 + Y5 + Y6 + Y7 + Y9) and the reference image Y area ( Y1 + Y2 + Y3 + Y5 + Y6 + Y7 + Y9).

以上の比較の結果は判定部18に入力される。判定部18では全比較回数に対して一致した回数と不一致になった回数との割合を算出し、その不一致の割合が所定値以下、たとえば30%以下であるならば、検査画像Xが位置合わせマーク6であると判定する。   The result of the comparison is input to the determination unit 18. The determination unit 18 calculates a ratio between the number of times of matching and the number of times of mismatching with respect to the total number of comparisons, and if the ratio of mismatching is a predetermined value or less, for example, 30% or less, the inspection image X is aligned. The mark 6 is determined.

したがって、その判定結果により、撮像カメラ7で撮像された位置合わせマーク6の位置情報が実装装置に入力され、その位置情報に基いてTCP1が液晶表示パネル2に対して位置決めされて実装されることになる。   Therefore, based on the determination result, the position information of the alignment mark 6 imaged by the imaging camera 7 is input to the mounting apparatus, and the TCP 1 is positioned and mounted with respect to the liquid crystal display panel 2 based on the position information. become.

このように、撮像カメラ7からの位置合わせマーク6の撮像信号に基づく検査画像Xを複数のエリアに分割する一方、上記位置合わせマーク6に対応する基準画像Yを、検査画像Xと対応する複数のエリアに分割し、各画像のエリアを順次加算しながら比較する。そして、不一致が生じたならば、不一致が生じたエリアを比較の対象から除去して次のエリアを加算して比較を継続し、最終的に比較回数に対する不一致の回数の割合によって検査画像Xが位置合わせマーク6の画像であるか否かを判定するようにした。   In this way, the inspection image X based on the imaging signal of the alignment mark 6 from the imaging camera 7 is divided into a plurality of areas, while the reference image Y corresponding to the alignment mark 6 is a plurality corresponding to the inspection image X. Are compared, and the areas of each image are compared while being sequentially added. If a mismatch occurs, the area in which the mismatch has occurred is removed from the comparison target, the next area is added, and the comparison is continued. Finally, the inspection image X is determined by the ratio of the number of mismatches to the number of comparisons. It is determined whether the image is the image of the alignment mark 6 or not.

そのため、位置合わせマーク6の一部に異常部6aがあっても、その異常部6aによって位置合わせマーク6が認識できずに、TCP1を不良と判定するのを防止できる。しかも、検査画像Xと基準画像Yとの各エリアの比較回数に対する不一致の割合で、その検査画像Xが位置合わせマーク6であるか否かを判定するため、その割合に応じて判定結果の信頼性を高めることができる。   Therefore, even if there is an abnormal portion 6a in a part of the alignment mark 6, it is possible to prevent the TCP 1 from being determined to be defective because the alignment mark 6 cannot be recognized by the abnormal portion 6a. In addition, since it is determined whether or not the inspection image X is the alignment mark 6 based on the ratio of mismatch with respect to the number of comparisons of each area between the inspection image X and the reference image Y, the reliability of the determination result depends on the ratio. Can increase the sex.

さらに、検査画像Xと基準画像Yとの分割された各エリアを1つずつ比較するのでなく、順次加算しながら比較するとともに、途中で不一致のエリアが出たならば、そのエリアを比較の対象から除去し、残りのエリアをさらに加算して比較するようにした。そのため、最終的には位置合わせマーク6に近い検査画像Xと基準画像Yとを比較することになるから、そのことによっても、認識精度を向上させることができる。   Further, the divided areas of the inspection image X and the reference image Y are not compared one by one, but are compared while being sequentially added, and if an inconsistent area appears in the middle, the area is compared. The remaining areas were added and compared. Therefore, the inspection image X close to the alignment mark 6 is finally compared with the reference image Y, which can also improve the recognition accuracy.

図5乃至図8はこの発明の第2の実施の形態を示す。この第2の実施の形態で用いられる画像認識装置11と同じ構成であるが、制御装置16による制御及び位置合わせマークの形状や分割の仕方などが第1の実施の形態と異なる。   5 to 8 show a second embodiment of the present invention. The configuration is the same as that of the image recognition device 11 used in the second embodiment, but the control by the control device 16 and the shape of the alignment mark and the way of division are different from those of the first embodiment.

図5に示すように、この実施の形態の位置合わせマーク60は円形状であって、たとえば電子部品でなく、基板1Aに設けられている。基板1Aに設けられた位置合わせマーク60は、TCP1に設ける場合のように、変形するということはほとんどないが、傷が付いたり、ゴミが付着するなどして異常部60aが生じることがある。   As shown in FIG. 5, the alignment mark 60 of this embodiment is circular, and is provided on the substrate 1A, not an electronic component, for example. The alignment mark 60 provided on the substrate 1A is hardly deformed as in the case of providing it on the TCP 1, but an abnormal portion 60a may be generated due to scratches or adhesion of dust.

上記位置合わせマーク60に対応する検査画像Lと、異常部60aのない位置合わせマーク60に対応する基準画像Mとは、図6に示すようにそれぞれ第1乃至第4の4つのエリアに分割されて比較部17で後述するように比較される。分割された各画像L、Mの第1乃至第4のエリアをL1〜L4、M1〜M4とする。   The inspection image L corresponding to the alignment mark 60 and the reference image M corresponding to the alignment mark 60 without the abnormal portion 60a are each divided into first to fourth areas as shown in FIG. Then, the comparison unit 17 performs comparison as will be described later. The first to fourth areas of the divided images L and M are denoted by L1 to L4 and M1 to M4.

位置合わせマーク60に異常部60aがある場合、検査画像Lにはその異常部60aが対応するエリアに表示されることになる。この実施の形態では第4のエリアL4の画像に異常部60aが表示されている仮定し、そのエリアL4をクロス線で示す。   If the alignment mark 60 has an abnormal portion 60a, the abnormal portion 60a is displayed in the corresponding area on the inspection image L. In this embodiment, it is assumed that the abnormal portion 60a is displayed in the image of the fourth area L4, and the area L4 is indicated by a cross line.

上記比較部17では、制御装置16からの指令によって検査画像メモリ14に貯えられた検査画像Lと、基準画像メモリ15に貯えられた基準画像Mとの4つに分割されたエリアのうち、まず第1段階では、図7(a)に示すように各画像L、Mの第1のエリアL1、M1を除く残りの第2乃至第4のエリアの画像(L2、L3、L4)と(M2、M3、M4)の画像が比較される。この場合、比較される画像には、検査画像Lの第4のエリアL4を含む。そのため、検査画像Lと基準画像Mとは一致しないから、検査画像Lを認識することができない。   In the comparison unit 17, first of the four divided areas of the inspection image L stored in the inspection image memory 14 and the reference image M stored in the reference image memory 15 according to a command from the control device 16. In the first stage, as shown in FIG. 7A, the images (L2, L3, L4) and (M2) of the remaining second to fourth areas excluding the first areas L1, M1 of the images L, M. , M3, M4) are compared. In this case, the image to be compared includes the fourth area L4 of the inspection image L. Therefore, since the inspection image L and the reference image M do not match, the inspection image L cannot be recognized.

第2の段階では、図7(b)に示すように検査画像Lと基準画像Mのうち、第2のエリアL2、M2を除く3つのエリアの画像(L1、L3、L4)と(M1、M3、M4)とが比較される。この場合も、検査画像Lは第4のエリアL4を含むため、基準画像Mとは一致せず、したがって検査画像Lを認識することができない。   In the second stage, as shown in FIG. 7B, among the inspection image L and the reference image M, the three areas of the images (L1, L3, L4) excluding the second areas L2, M2 and (M1, M3, M4) are compared. Also in this case, since the inspection image L includes the fourth area L4, the inspection image L does not coincide with the reference image M, and therefore the inspection image L cannot be recognized.

第3の段階では、図7(c)に示すように検査画像Lと基準画像Mのうち、第3のエリアL3、M3を除く3つのエリアの画像(L1、L2、L4)と(M1、M2、M4)とが比較される。この場合も、検査画像Lの第4のエリアL4を含むため、検査画像Lは基準画像Mと一致せず、認識することができない。   In the third stage, as shown in FIG. 7C, among the inspection image L and the reference image M, the images of three areas (L1, L2, L4) excluding the third areas L3, M3 and (M1, M2, M4) are compared. Also in this case, since the fourth area L4 of the inspection image L is included, the inspection image L does not match the reference image M and cannot be recognized.

第4の段階では、図7(d)に示すように検査画像Lと基準画像Mのうち、第4のエリアL4、M4を除く3つのエリアの画像(L1、L2、L3)と(M1、M2、M3)とを比較する。この場合には、検査画像Lの異常部60aに対応する第4のエリアL4を含まないから、検査画像Lは基準画像Mと一致する。それによって、基準画像Lを認識することができる。   In the fourth stage, as shown in FIG. 7D, among the inspection image L and the reference image M, images (L1, L2, L3) and (M1, M2, M3). In this case, since the fourth area L4 corresponding to the abnormal portion 60a of the inspection image L is not included, the inspection image L matches the reference image M. Thereby, the reference image L can be recognized.

したがって、異常部60a、すなわち第4のエリアL4とM4を除いた検査画像と基準画像での認識結果によって判定部18では検査画像Lが位置合わせマーク60の画像であると判定し、その判定に基き位置合わせマーク60の位置が検出され、その位置情報によって基板が位置決めされることになる。   Therefore, the determination unit 18 determines that the inspection image L is the image of the alignment mark 60 based on the recognition result of the abnormal image 60a, that is, the inspection image excluding the fourth areas L4 and M4 and the reference image. The position of the base alignment mark 60 is detected, and the substrate is positioned based on the position information.

図8は第2の実施の形態の検査画像Lを認識する際のフローチャートを示す。S1では検査画像Lと基準画像MとをそれぞれN個のエリアに分割する。S2では、各画像L、MのN個の画像のうち、順次対応する位置の1つのエリアを除去した(N−1)個のエリアの画像を比較する。   FIG. 8 shows a flowchart for recognizing the inspection image L of the second embodiment. In S1, the inspection image L and the reference image M are each divided into N areas. In S2, among the N images of the images L and M, (N-1) area images obtained by sequentially removing one area at the corresponding position are compared.

S3では、S2で行なわれる各比較ごとに、検査画像Lと基準画像Mの(N−1)個のエリアの画像が一致したか否か、つまり検査画像Lが認識できたか否かが判定される。認識できたならばS4で示すように認識成功となり、検査画像Lに基いて基板1Aの位置決めが行なわれる。   In S3, for each comparison performed in S2, it is determined whether or not the images in the (N−1) areas of the inspection image L and the reference image M match, that is, whether or not the inspection image L has been recognized. The If recognized, the recognition is successful as indicated by S4, and the substrate 1A is positioned based on the inspection image L.

S3で検査画像Lの認識ができなかった場合には、S5に示すようにその比較回数がチェックされ、その回数がN回以下であれば、S2に戻って比較が繰り返される。比較がN回行なわれた場合には、N個のエリアのうち、順次1つのエリアを除いた(N−1)個のエリアの比較を全て行なっても、検査画像Lを認識できなかったことになるから、S6に示すように認識失敗となる。   If the inspection image L cannot be recognized in S3, the number of comparisons is checked as shown in S5. If the number is N or less, the process returns to S2 and the comparison is repeated. When the comparison was performed N times, the inspection image L could not be recognized even when all the (N-1) areas except for one area were sequentially compared among the N areas. Therefore, the recognition fails as shown in S6.

つまり、検査画像Lに対応する位置合わせマーク60の一部に異常部60aがある場合には、最大でN回の比較を行うことで、認識できることになるが、位置合わせマーク60の異常度合が各エリアにわたる大きさであったり、検査画像Lが位置合わせマーク60と異なるような場合には、認識が失敗となる。   That is, when there is an abnormal portion 60a in a part of the alignment mark 60 corresponding to the inspection image L, it can be recognized by performing a maximum of N comparisons. However, the degree of abnormality of the alignment mark 60 is If the size extends over each area or the inspection image L is different from the alignment mark 60, the recognition fails.

なお、この発明は上記各実施の形態に限定されるものでなく、たとえば位置合わせマークの形状はリング状や円形に限られず、他の形状であっても差し支えない。また、第1の実施の形態では電子部品の位置決めを行なう場合について説明し、第2の実施の形態では基板の位置決めを行なう場合について説明したが、第1の実施の形態を基板の位置決めに適用したり、第2の実施の形態を電子部品の位置決めに適用することもできる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments. For example, the shape of the alignment mark is not limited to the ring shape or the circular shape, and may be other shapes. Further, in the first embodiment, the case where the electronic component is positioned is described, and in the second embodiment, the case where the substrate is positioned is described. However, the first embodiment is applied to the positioning of the substrate. The second embodiment can also be applied to positioning of electronic components.

また、検査画像と基準画像との分割する数は限定されず、複数であればよい。さらに、検査画像と基準画像との形状もリング状や円形に限定されず、矩形や十字系状など、他の形状であっても差し支えない。   Moreover, the number of division | segmentation with a test | inspection image and a reference | standard image is not limited, What is necessary is just plural. Further, the shapes of the inspection image and the reference image are not limited to a ring shape or a circular shape, and may be other shapes such as a rectangular shape or a cross shape.

また、第1の実施の形態及び第2の実施の形態において、先ず位置決めマークを一括して撮像カメラで撮像し、その結果、位置決めマークが認識できない場合、つぎにこの発明による画像認識を適用するようにしてもよい。   In the first embodiment and the second embodiment, first, the positioning marks are collectively imaged by the imaging camera. As a result, when the positioning marks cannot be recognized, the image recognition according to the present invention is applied next. You may do it.

この発明の第1の実施の形態を示す画像認識装置のブロック図。1 is a block diagram of an image recognition apparatus showing a first embodiment of the present invention. 液晶表示パネル及びこの液晶表示パネルに実装されるTCPを示す斜視図。The perspective view which shows liquid crystal display panel and TCP mounted in this liquid crystal display panel. 一部に異常部が生じた位置合わせマークを示す図。The figure which shows the alignment mark in which the abnormal part produced in part. 検査画像と基準画像とをそれぞれ9つのエリアに分割した図。The figure which divided | segmented the test | inspection image and the reference | standard image into each of nine areas. この発明の第2の実施の形態を示す異常部が生じた位置合わせマークの図。The figure of the alignment mark in which the abnormal part which shows 2nd Embodiment of this invention produced. 検査画像と基準画像とをそれぞれ4つのエリアに分割した図。The figure which divided | segmented the test | inspection image and the reference image into four areas, respectively. 4つのエリアに分割された検査画像と基準画像とを比較する順序を示す図。The figure which shows the order which compares the test | inspection image divided | segmented into four areas, and a reference | standard image. 検査画像と基準画像との比較の手順を示すフローチャート。The flowchart which shows the procedure of a comparison with a test | inspection image and a reference | standard image.

符号の説明Explanation of symbols

1…TCP(電子部品)2…液晶表示パネル(基板)、6,60…位置合わせマーク、7…撮像カメラ(撮像手段)、11…画像認識装置、12…画像処理装置、14…検査画像メモリ、15…基準画像メモリ、16…制御装置、17…比較部、18…判定部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... TCP (electronic component) 2 ... Liquid crystal display panel (board | substrate) 6,60 ... Position alignment mark, 7 ... Imaging camera (imaging means), 11 ... Image recognition apparatus, 12 ... Image processing apparatus, 14 ... Inspection image memory , 15... Reference image memory, 16... Control device, 17.

Claims (3)

検査画像が基準画像に一致するか否かを判定する画像認識方法であって、
検査画像と基準画像をそれぞれ対応する複数のエリアに分割する工程と、
検査画像の複数のエリアを順次加算し、その検査画像のエリアをそれに対応する基準画像のエリアと比較するとともに、比較の過程で検査画像と基準画像とのエリアに不一致が生じたならば、不一致のエリアを除去し新たなエリアを加算して比較を継続する工程と、
検査画像と基準画像とのエリアの比較回数に対する不一致となった回数の割合を検出し、その割合が基準値以下であるときに上記検査画像が基準画像に一致するか否かを判定する工程と
を具備したことを特徴とする画像認識方法。
An image recognition method for determining whether or not an inspection image matches a reference image,
Dividing the inspection image and the reference image into a plurality of corresponding areas, and
Multiple areas of the inspection image are added sequentially, the area of the inspection image is compared with the corresponding area of the reference image, and if there is a mismatch between the area of the inspection image and the reference image during the comparison process, the mismatch Removing the area, adding a new area and continuing the comparison,
Detecting a ratio of the number of times of non-coincidence with respect to the number of comparisons between the area of the inspection image and the reference image, and determining whether the inspection image matches the reference image when the ratio is equal to or less than a reference value; An image recognition method comprising:
検査画像が基準画像に一致するか否かを判定する画像認識装置であって、
上記検査画像を撮像する撮像手段と、
この撮像手段からの撮像信号を記憶する検査画像メモリと、
予め設定された基準画像を記憶する基準画像メモリと、
各画像メモリに記憶された検査画像と基準画像をそれぞれ複数のエリアに分割して順次出力させる制御手段と、
この制御手段から出力される各画像のエリアを順次加算して比較するとともに比較の過程で検査画像と基準画像とのエリアに不一致が生じたならば、不一致のエリアを除去し新たなエリアを加算して比較を継続する比較部と、
検査画像と基準画像とのエリアの比較回数に対する不一致となった回数の割合を検出し、その割合が基準値以下であるときに上記検査画像が基準画像に一致するか否かを判定する判定部と
を具備したことを特徴とする画像認識装置。
An image recognition device that determines whether an inspection image matches a reference image,
Imaging means for imaging the inspection image;
An inspection image memory for storing an imaging signal from the imaging means;
A reference image memory for storing a preset reference image;
A control means for dividing the inspection image and the reference image stored in each image memory into a plurality of areas and sequentially outputting them,
The areas of each image output from the control means are sequentially added and compared. If a mismatch occurs between the inspection image and the reference image in the comparison process, the mismatch area is removed and a new area is added. A comparison unit that continues the comparison,
A determination unit that detects a ratio of the number of times of non-coincidence with respect to the number of comparisons between areas of the inspection image and the reference image, and determines whether the inspection image matches the reference image when the ratio is equal to or less than a reference value And an image recognition apparatus.
電子部品に形成された検査画像を撮像し、その検査画像が画像認識装置に記憶された基準画像に一致するか否かを判定し、その判定結果に基いて上記電子部品を基板に実装する実装装置であって、
上記画像認識装置は、請求項2に記載された構成であることを特徴とする実装装置。
Mounting that takes an inspection image formed on an electronic component, determines whether the inspection image matches a reference image stored in an image recognition device, and mounts the electronic component on a substrate based on the determination result A device,
The mounting apparatus according to claim 2, wherein the image recognition apparatus has the configuration described in claim 2.
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