JP4450736B2 - カンチレバー型機器用完全デジタル式コントローラ - Google Patents
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Description
本発明は、原理的に不可能な部分は別として、デジタル電子回路を用いて、カンチレバー型機器の動作を制御するための装置、および本装置を用いるための一般的な方法に関する。
上記のように、本明細書で開示する本発明は、AFM、および他のカンチレバー型機器用のコントローラであり、コントローラ内の主要部に配置され、性能およびフレキシビリティの改良を担うデジタル電子回路を用いる。本発明者らは、機器のフレキシビリティを大きく改良する混成アナログ/デジタル装置により、信号ルーティング能力も改良した。この新アーキテクチャは、過去のAFMコントローラの機能全てを踏襲できるだけでなく、アナログ式電子回路では従来達成不可能であった多くの新機能を可能にする。
FPGAはロジックブロックアレイ、およびブロック間の相互接続からなるプログラム可能なハードウエアである。ロジックブロックおよび相互接続は、ともに動的に構成および再構成して、極めて多数の低レベルおよび高レベルのハードウエア機能を実行できる。更に、動的に構成および再構成して、多くのタスクを一斉に(並列に)実行できる。この本質的な並列性により、FPGAは典型的なマイクロプロセッサまたはDSPよりも数百倍または数千倍高速な演算を実行できる。
開示するコントローラの一部を形成するDSP32は、他の走査型プローブ顕微鏡の場合のように、インターフェースコンピュータ内部ではなくコントローラ自体の内部に配置される。この設計によりDSPと、FPGA、ADC、DAC、およびクロスポイントスイッチ等の補助装置との間のデータ転送が簡単になる。DSPがコントローラ内にあるので、コントローラとコンピュータとの間で標準的なインターフェースを用いることが可能になる。好適な実施の形態ではUSBインターフェースを利用した。この編成はまた、FPGAとDSPとの間でのタスクのやり取りが便利になる。一般に、DSPはFPGAよりもプログラミングが簡単であり、一方、FPGAはDSPよりもずっと高速である。
DSPと同様に開示するコントローラの一部を形成するクロスポイントスイッチ33は、他の走査型プローブ顕微鏡の場合と同様に、インターフェースコンピュータまたは他の物理的に分離した容器の内部ではなく、コントローラ自体の内部に配置される。DSPの場合と同様に、この設計によりクロスポイントスイッチと、FPGA、ADC、DAC、およびDSP等の補助装置との間のデータ転送が簡単になる。
Basicを含む高レベルソフトウエア制御言語にコントローラをリンクする本発明者らが開発した低レベルコマンドを用いて、AFMまたは他のカンチレバー型機器を操作することが可能となる。これにより、機器が多数の既存ルーチンおよび制御を活用でき、ひいては、試料のナノリソグラフィおよびナノ操作、自動ばね校正、およびコンピュータのメモリのみに制限される画像(例えば、4096×4096ピクセル)の生成等の新ルーチンの開発およびプロトタイプ化が可能となる。更に、高レベルソフトウエア制御言語は、ユーザの計測、データ解析、および出版品質の図形の創生を容易にする。これは、制作者がAFMソフトウエアのこれら特徴全てを踏襲するように強いられるか、またはユーザが自らの要件全てを達成するために2つ以上のソフトウエアパッケージの実行を強いられるかのいずれかである、有標AFMソフトウエアを越える著しい利点である。
以下は、MFP−3Dを用いて行った操作およびリソグラフィ実験を幾つか収集したものである。この収集は、全てMicroAngelo(登録商標)インターフェースを用いて行った。大部分の操作シーケンスは初期基準画像で開始する。続いて、この画像に一連の曲線が描き込まれる。これらは、リソグラフィ/操作段階中のカンチレバー先端部のプログラムされた移動を表す。すると、リソグラフィ効果を示す「応答」画像が現れる。このプロセスは、場合によっては何回も、繰り返すことができる。単純な手書き曲線および直線に加えて、MicroAngelo(登録商標)は、数学的に定義された曲線およびアレイを創成できる。幾つかのこのサンプルを最後に含める。カンチレバー先端部を周囲に移動させるのに加えて、MicroAngeloは、リソグラフ/操作プロセス中に計測もできる。実施例は、カンチレバーの高さ、振幅、撓み、位相、電流、または外部信号を含む他のデータチャンネルの監視も含む。
AC240カンチレバー、および約200nNの負荷ポイントを用いて、Lexanポリカーボネートの表面上に境界線をトレースした。リソグラフィ処理の後、100nmの振幅で、AC/反発モードで画像化を実行した。得られた画像を図9Bに示す。明らかに、AFM先端部は表面を修正し、元画像図の9Aの境界を再生している。
Claims (4)
- カンチレバーの撓みを検出するとともにその撓みを表す信号を出力する位置検出器、及び、前記カンチレバーの基部の垂直方向位置を修正するための修正部を有する原子間力顕微鏡用のコントローラであって、
前記原子間力顕微鏡の前記位置検出器の出力と、前記カンチレバー基部の垂直方向位置を修正する前記修正部との間に接続される、デジタル信号プロセッサを含むフィードバック回路と、
前記位置検出器からの出力をデジタル出力信号に変換するA/Dコンバータと、
前記A/Dコンバータからの前記デジタル出力信号を直接受信し、前記位置検出器からの前記デジタル出力信号を完全にデジタル方式で処理するとともに少なくとも前記デジタル信号プロセッサから受信した信号を処理するようにプログラムされるとともに、前記信号の少なくとも1つに基づいて、ロックイン全体がデジタル式であり且つソフトウエアにより記述される完全デジタル式位相ロックインを実行するフィールドプログラマブルゲートアレイと;
を備え、
前記フィールドプログラマブルゲートアレイは、
0°同相信号と90°直交位相信号とを有するデジタル基準信号を生成する直接デジタルシンセサイザと、
前記完全デジタル式位相ロックインを用いて前記デジタル基準信号の前記0°同相信号及び前記90°直交位相信号のそれぞれを前記デジタル出力信号とデジタル的に混合して混合同相信号と混合直交位相信号とを生成するデジタル混合器と、
前記混合同相信号と前記混合直交位相信号とをフィルタ処理するデジタルフィルタ回路と、
を備え、
前記デジタル信号プロセッサは、前記フィールドプログラマブルゲートアレイとは別に、前記位置検出器からのデータを処理するようにプログラムされるとともに、前記デジタル信号プロセッサは、前記デジタルフィルタ処理された同相信号と前記デジタルフィルタ処理された直交位相信号とをデジタル的に処理して振幅成分と位相成分とを有するデジタル信号プロセッサ出力を生成するようにプログラムされた、コントローラ。 - 請求項1に記載のコントローラにおいて、
前記フィールドプログラマブルゲートアレイは、
前記直接デジタルシンセサイザの前記デジタル基準信号をフィルタリングするデジタルローパスフィルタを含むようにプログラムされた、コントローラ。 - 請求項1に記載のコントローラにおいて、
前記フィールドプログラマブルゲートアレイ内において、前記デジタル混合器はデジタル式2相ロックイン混合器を備えた、コントローラ。 - カンチレバーの撓みを検出するとともにその撓みを表す信号を出力する位置検出器、及び、前記カンチレバーの基部の垂直方向位置を修正するための修正部を有する原子間力顕微鏡からの出力信号を処理するコントローラであって、
前記原子間力顕微鏡の前記位置検出器の出力と、前記カンチレバー基部の垂直方向位置を修正する前記修正部との間に接続される、デジタル信号プロセッサを含むフィードバック回路と、
前記位置検出器からの出力をデジタル出力信号に変換するA/Dコンバータと、
前記A/Dコンバータからの前記デジタル出力信号を直接受信し、前記受信したデジタル出力信号を処理するフィールドプログラマブルゲートアレイであって、少なくともデジタル式2相ロックイン装置、直接デジタルシンセサイザ、及びデジタルフィルタを含むとともに前記出力信号をデジタル的に処理するように構成されたフィールドプログラマブルゲートアレイを備え、
前記デジタル式2相ロックイン装置は、ピーク検出器を備え、
前記直接デジタルシンセサイザは、0°同相信号と90°直交位相信号とを有するデジタル基準信号を生成するように構成され、
前記デジタル式2相ロックイン装置は、前記デジタル基準信号の前記0°同相信号及び前記90°直交位相信号のそれぞれを前記デジタル出力信号とデジタル的に混合して混合同相信号と混合直交位相信号とを生成するように構成され、
前記ピーク検出器は、前記デジタル出力信号におけるピークを検出するように構成され、
前記デジタルフィルタは、前記混合同相信号と前記混合直交位相信号とをフィルタ処理するように構成され、
前記デジタル信号プロセッサは、前記フィールドプログラマブルゲートアレイとは別に、前記位置検出器からのデータを処理するようにプログラムされるとともに、前記デジタル信号プロセッサは、前記デジタルフィルタ処理された同相信号と前記デジタルフィルタ処理された直交位相信号とをデジタル的に処理して振幅成分と位相成分とを有するデジタル信号プロセッサ出力を生成するようにプログラムされた、コントローラ。
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DE102005041301A1 (de) * | 2005-08-31 | 2007-03-01 | Advanced Micro Devices Inc., Sunnyvale | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von Oberflächeneigenschaften unter Anwendung von SPM-Techniken mit akustischer Anregung und Echtzeitdigitalisierung |
KR100695165B1 (ko) * | 2005-11-10 | 2007-03-14 | 삼성전자주식회사 | 마이크로 기어를 구비한 정보저장장치 |
EP1952120B1 (de) * | 2005-11-22 | 2018-07-11 | WITec Wissenschaftliche Instrumente und Technologie GmbH | Rastersonden-mikroskop mit einer programmierbaren logik |
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JP2008051556A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-03-06 | Sii Nanotechnology Inc | 光学式変位検出機構及びそれを用いた表面情報計測装置 |
JP2008051555A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-03-06 | Sii Nanotechnology Inc | 光学式変位検出機構及びそれを用いたプローブ顕微鏡 |
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US9297827B2 (en) | 2008-06-16 | 2016-03-29 | Roger B. Proksch | Quantitative measurements using multiple frequency atomic force microscopy |
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US8920700B1 (en) | 2010-02-10 | 2014-12-30 | University Of South Florida | Telescopic nanotube device for hot nanolithography |
JP2011215168A (ja) * | 2011-08-04 | 2011-10-27 | Sii Nanotechnology Inc | 走査型プローブ顕微鏡の変位検出方法 |
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FR3036807B1 (fr) * | 2015-05-26 | 2018-11-09 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Dispositif et procede numerique de mesure d'une phase d'un signal sinusoidal |
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Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US4935634A (en) | 1989-03-13 | 1990-06-19 | The Regents Of The University Of California | Atomic force microscope with optional replaceable fluid cell |
US5025658A (en) | 1989-11-28 | 1991-06-25 | Digital Instruments, Inc. | Compact atomic force microscope |
US5519212A (en) * | 1992-08-07 | 1996-05-21 | Digital Instruments, Incorporated | Tapping atomic force microscope with phase or frequency detection |
US6243652B1 (en) * | 1998-06-10 | 2001-06-05 | Hubbell Incorporated | System for concurrent digital measurement of peak voltage and RMS voltage in high voltage system |
CN1222672A (zh) * | 1998-12-27 | 1999-07-14 | 浙江大学现代光学仪器研究所 | 激光扫描力显微镜 |
EP1216176B1 (de) * | 1999-09-15 | 2006-07-19 | Continental Teves AG & Co. oHG | Vorrichtung mit mindestens zwei sensoren, insbesondere reifen-seitenwandtorsions(swt)-sensoren |
US6346807B1 (en) * | 1999-10-22 | 2002-02-12 | Bently Nevada Corporation | Digital eddy current proximity system: apparatus and method |
US20020175677A1 (en) | 2000-11-30 | 2002-11-28 | Roger Proksch | Linear variable differential transformers for high precision position measurements |
DE10062049A1 (de) * | 2000-12-13 | 2002-06-27 | Witec Wissenschaftliche Instr | Verfahren zur Abbildung einer Probenoberfläche mit Hilfe einer Rastersonde sowie Rastersondenmikroskop |
CN1338613A (zh) * | 2001-10-12 | 2002-03-06 | 章燕申 | 导航级循环干涉型集成光学陀螺仪 |
US7103327B2 (en) * | 2002-06-18 | 2006-09-05 | Broadcom, Corp. | Single side band transmitter having reduced DC offset |
US7136431B2 (en) * | 2002-10-24 | 2006-11-14 | Broadcom Corporation | DC offset correcting in a direct conversion or very low IF receiver |
AU2003303160A1 (en) * | 2002-12-18 | 2004-07-14 | Asylum Research Corporation | Fully digital controller for cantilever-based instruments |
US7165445B2 (en) * | 2003-08-25 | 2007-01-23 | Asylum Research Corporation | Digital control of quality factor in resonant systems including cantilever based instruments |
US7332980B2 (en) | 2005-09-22 | 2008-02-19 | Samsung Electronics Co., Ltd. | System and method for a digitally tunable impedance matching network |
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