JP4449847B2 - Method of manufacturing discharge surface treatment electrode and apparatus for manufacturing the same - Google Patents

Method of manufacturing discharge surface treatment electrode and apparatus for manufacturing the same Download PDF

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Description

この発明は、導電性を有する電極と基板との間にパルス状の放電を発生させ、このパルス状の放電エネルギーによって電極の材料を基板の表面に皮膜する放電表面処理技術に用いられる電極の製造方法に関するものである。   The present invention relates to the manufacture of an electrode used in a discharge surface treatment technique in which a pulsed discharge is generated between a conductive electrode and a substrate, and the electrode material is coated on the surface of the substrate by the pulsed discharge energy. It is about the method.

金属または導電性のセラミックスからなる電極と基板との間にパルス状の放電を発生させ、その放電エネルギーによって電極の材料を基板の表面に皮膜する放電表面処理の方法が知られている。この放電表面処理の方法においては、放電加工処理と同様に一般に液中放電が用いられているが、放電エネルギーを電極の先端部に集中させてこの先端部を高温にする必要がある。そのため、電極の熱伝導性を低くする必要があり、電極としては金属または導電性セラミックスの粉末をプレスして固めた圧粉体が用いられていた(例えば、特許文献1参照)。   There is known a discharge surface treatment method in which a pulsed discharge is generated between an electrode made of metal or conductive ceramic and a substrate, and the material of the electrode is coated on the surface of the substrate by the discharge energy. In this discharge surface treatment method, submerged discharge is generally used as in the electric discharge machining treatment. However, it is necessary to concentrate the discharge energy on the tip portion of the electrode so that the tip portion has a high temperature. Therefore, it is necessary to lower the thermal conductivity of the electrode, and a green compact obtained by pressing and hardening a metal or conductive ceramic powder has been used as the electrode (for example, see Patent Document 1).

しかし、このような圧粉体で構成された電極は、製造が容易であるものの、形状を維持することが困難で、放電表面処理中に電極の一部が崩落するという問題があった。その改善のために、電極として金属または導電性セラミックスの粉末をプレスして固めた圧粉体を、焼結温度以下の温度で仮焼結させて焼結体とし、この焼結体を電極として用いることで形状の崩れやすさを解消する技術が開示されていた(例えば、特許文献2参照)。   However, although an electrode made of such a green compact is easy to manufacture, there is a problem that it is difficult to maintain the shape, and part of the electrode collapses during the discharge surface treatment. For this improvement, a green compact obtained by pressing a metal or conductive ceramic powder as an electrode to be sintered at a temperature below the sintering temperature is used as a sintered body, and this sintered body is used as an electrode. There has been disclosed a technique that eliminates the tendency of the shape to collapse by use (see, for example, Patent Document 2).

特開平5−148615号公報(3頁)Japanese Patent Laid-Open No. 5-148615 (page 3) 特開平8−300227号公報(3頁)JP-A-8-300287 (page 3)

しかしながら、金属または導電性セラミックスの粉末をプレスして固めた圧粉体を、焼結温度以下の温度で仮焼結させてポーラスな焼結体とする従来の方法では、圧粉体よりも強度を改善することはできるものの、放電表面処理における皮膜形成の安定性に影響を与える電極の密度や電気伝導性を精度よく制御することが困難であった。つまり、仮焼結のための熱処理温度や熱処理時間の制御だけでは、作製された電極の密度や電気伝導性にばらつきが生じるという問題があった。   However, the conventional method of compacting a green compact by pressing a metal or conductive ceramic powder into a porous sintered body by pre-sintering at a temperature lower than the sintering temperature is stronger than the green compact. However, it is difficult to accurately control the density and electrical conductivity of the electrodes that affect the stability of film formation in the discharge surface treatment. That is, there is a problem that variations in the density and electrical conductivity of the produced electrodes occur only by controlling the heat treatment temperature and heat treatment time for pre-sintering.

この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、所望の密度と電気伝導性とを有する放電表面処理用の電極を精度よく製造することができる放電表面処理用電極の製造方法を提供することを目的としている。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and manufacture of an electrode for discharge surface treatment that can accurately manufacture an electrode for discharge surface treatment having a desired density and electrical conductivity. It aims to provide a method.

この発明に関わる放電表面処理用電極の製造方法においては、プレス治具に導電性を有する粉末を充填し、プレス治具に所定の押し込み距離まで荷重を加えて加圧すると同時に粉末を加熱して焼結させ、その後に粉末に電圧を印加して粉末を流れる電流値に基づいて加圧と焼結とを停止して放電表面処理用電極を製造するものである。   In the method for manufacturing the electrode for discharge surface treatment according to the present invention, the press jig is filled with conductive powder, and the press jig is heated by applying a load up to a predetermined indentation distance and simultaneously heating the powder. After sintering, a voltage is applied to the powder, and pressurization and sintering are stopped based on a current value flowing through the powder to produce an electrode for discharge surface treatment.

この発明は、プレス治具に所定の押し込み距離まで荷重を加えて加圧することで電極の密度を制御し、粉末を加熱して焼結させるときに粉末に電圧を印加して粉末の抵抗値が所定の値となったときに焼結を停止することで電極の電気伝導性を制御しているので、電極の密度と電気伝導性を独立に制御することができ、所望の密度と電気伝導性とを有する放電方面処理用の電極を精度よく製造することができる。   This invention controls the density of the electrodes by applying a load to the pressing jig up to a predetermined indentation distance and pressurizing it, and when the powder is heated and sintered, a voltage is applied to the powder to reduce the resistance value of the powder. Since the electrical conductivity of the electrode is controlled by stopping the sintering when a predetermined value is reached, the density and electrical conductivity of the electrode can be controlled independently, and the desired density and electrical conductivity can be controlled. Can be manufactured with high accuracy.

実施の形態1.
図1は、この発明を実施するための実施の形態1による放電表面処理用電極の製造装置を示す模式図である。図1において、装置上部に油圧プレス機構部1が備えられており、フレーム2と支持台3とを介して金属製の上プレス棒4と下プレス棒5とに圧縮力を加えられるように構成されている。上プレス棒4の押し込み距離は変位計6でモニタできる。チャンバー7は、内部を気密に保持できるようになっており、酸化されやすい金属材料を焼結させるときは、内部を真空にしたり、不活性ガスまたは水素ガスで充填したりすることができるようになっている。ヒータ8は、例えばカーボン製の抵抗ヒータを用いることができ、ヒータ用電源9からこのヒータ8に通電することでヒータ8を加熱し、その輻射熱でプレス型10の温度を上げることができる。プレス型10の内部には電極の材料の粉末11が充填されており、プレス型10には、粉末11の温度が測定できるよう熱電対が備えられている。プレス型10の上下に接触している上プレス棒4と下プレス棒5との間には、抵抗モニタ12が電気的に接続されている。制御ユニット13は、油圧プレス機構部1、変位計6、ヒータ用電源9および抵抗モニタ12などと電気的に接続されており、それぞれの機器からの情報を受け取るとともに、それぞれの機器の動作を制御できるように構成されている。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a schematic diagram showing an apparatus for manufacturing an electrode for discharge surface treatment according to Embodiment 1 for carrying out the present invention. In FIG. 1, a hydraulic press mechanism 1 is provided at the upper part of the apparatus, and a compression force can be applied to a metal upper press bar 4 and lower press bar 5 via a frame 2 and a support 3. Has been. The pushing distance of the upper press bar 4 can be monitored with a displacement meter 6. The chamber 7 can be hermetically maintained. When a metal material that is easily oxidized is sintered, the chamber 7 can be evacuated or filled with an inert gas or hydrogen gas. It has become. As the heater 8, for example, a resistance heater made of carbon can be used. The heater 8 is heated by energizing the heater 8 from the heater power source 9, and the temperature of the press die 10 can be raised by the radiant heat. The press mold 10 is filled with powder 11 of an electrode material, and the press mold 10 is provided with a thermocouple so that the temperature of the powder 11 can be measured. A resistance monitor 12 is electrically connected between the upper press bar 4 and the lower press bar 5 that are in contact with the upper and lower sides of the press die 10. The control unit 13 is electrically connected to the hydraulic press mechanism 1, the displacement meter 6, the heater power supply 9, the resistance monitor 12, etc., and receives information from each device and controls the operation of each device. It is configured to be able to.

図2は、本実施の形態における、プレス型10の中央断面を示した模式図である。プレス型10の一部であるダイ14と上パンチ棒4aと下パンチ棒5aとで囲まれた空間に粉末11が充填され、上パンチ棒4aおよび下パンチ棒5aは、それぞれ上プレス棒4および下プレス棒5を介して油圧プレス機構部1により加圧される。その結果、上パンチ棒4aと下パンチ棒5aとで粉末11がプレスされる。上プレス棒4および下プレス棒5は導電性を有する金属で、上パンチ棒4aおよび下パンチ棒5aは導電性を有するカーボンで構成されており、ダイ14は電気絶縁性のアルミナで構成されている。このため、抵抗モニタ12から上プレス棒4と下プレス棒5とを介して、上パンチ棒4aと下パンチ棒5aとの間に電圧を印加すると粉末11が通電ルートとなるため、この通電ルートの電流を抵抗モニタ12で測定することにより粉末11を流れる電流値を抵抗値としてモニタすることができる。つまり、粉末に電圧を印加する方向とプレス治具に荷重を加える方向とが同じである。   FIG. 2 is a schematic diagram showing a central cross section of the press die 10 in the present embodiment. The space surrounded by the die 14, the upper punch bar 4a and the lower punch bar 5a, which is a part of the press die 10, is filled with the powder 11, and the upper punch bar 4a and the lower punch bar 5a are respectively connected to the upper press bar 4 and Pressure is applied by the hydraulic press mechanism 1 through the lower press bar 5. As a result, the powder 11 is pressed by the upper punch bar 4a and the lower punch bar 5a. The upper press bar 4 and the lower press bar 5 are made of conductive metal, the upper punch bar 4a and the lower punch bar 5a are made of conductive carbon, and the die 14 is made of electrically insulating alumina. Yes. For this reason, when a voltage is applied between the upper punch bar 4a and the lower punch bar 5a from the resistance monitor 12 via the upper press bar 4 and the lower press bar 5, the powder 11 becomes an energization route. The current value flowing through the powder 11 can be monitored as a resistance value. That is, the direction in which the voltage is applied to the powder and the direction in which the load is applied to the press jig are the same.

次に、本実施の形態における放電表面処理用電極の製造方法について説明する。ジェットミル粉砕によって平均粒径約φ1.1μmに調整された55Co−30Cr−12W−3Ni合金粉末を、内径φ10mmのダイ14で構成されるプレス型10に充填する。なお、55Co−30Cr−12W−3Niとは、Coが55wt%、Crが30wt%、Wが12wt%およびNiが3wt%の組成比をもつ合金を表している。この合金はステライトとも呼ばれ、耐磨耗性材料としてよく使用されているものである。粉末11が充填されたプレス型10をチャンバー7の内部にセットし、チャンバー7の内部を真空にする。油圧プレス機構部1を介して上プレス棒4を加圧して、変位計6で押し込み距離をモニタしながらプレス型10内の粉末11の密度が3.0g/cmとなる押し込み距離まで加圧して、所定の押し込み距離になったところで上プレス棒4の変位を停止する。次に、ヒータ用電源9を制御して粉末11が昇温速度10℃/分で加熱されるようにヒータ8を加熱し、粉末11が650℃になったところで昇温を停止して650℃を維持する。さらに、抵抗モニタ12で粉末11の抵抗値をモニタしておき、抵抗モニタ12の示す抵抗値が6.0×10−2Ωとなったところでヒータ8の加熱を停止する。なお、抵抗モニタ12の抵抗値が6.0×10−2Ωを示すときは、あらかじめ標準試料を用いて粉末11の抵抗値が設計値の4.5×10−2Ωとなるときであり、この差異の原因は、上下のパンチ棒4a、5aと粉末11との接触抵抗などによるものである。 Next, the manufacturing method of the electrode for discharge surface treatment in this Embodiment is demonstrated. A 55Co-30Cr-12W-3Ni alloy powder adjusted to an average particle diameter of about 1.1 mm by jet mill grinding is filled into a press die 10 composed of a die 14 having an inner diameter of 10 mm. Note that 55Co-30Cr-12W-3Ni represents an alloy having a composition ratio of 55 wt% Co, 30 wt% Cr, 12 wt% W, and 3 wt% Ni. This alloy is also called stellite and is often used as an abrasion resistant material. The press die 10 filled with the powder 11 is set inside the chamber 7 and the inside of the chamber 7 is evacuated. The upper press bar 4 is pressurized via the hydraulic press mechanism 1 and the displacement distance is monitored by the displacement meter 6 until the density of the powder 11 in the press die 10 becomes 3.0 g / cm 3. Then, the displacement of the upper press bar 4 is stopped when the predetermined pressing distance is reached. Next, the heater power source 9 is controlled to heat the heater 8 so that the powder 11 is heated at a heating rate of 10 ° C./min. When the powder 11 reaches 650 ° C., the heating is stopped to 650 ° C. To maintain. Further, the resistance value of the powder 11 is monitored by the resistance monitor 12, and the heating of the heater 8 is stopped when the resistance value indicated by the resistance monitor 12 becomes 6.0 × 10 −2 Ω. In addition, when the resistance value of the resistance monitor 12 indicates 6.0 × 10 −2 Ω, it is when the resistance value of the powder 11 becomes the design value of 4.5 × 10 −2 Ω using a standard sample in advance. The cause of this difference is due to the contact resistance between the upper and lower punch bars 4a, 5a and the powder 11.

このようにして製造した放電表面処理用電極は、直径がφ10mmで高さが20mmの円柱状の形状をもち、密度は2.9g/cm、抵抗値は4.6×10−2Ωであり、放電表面処理用電極として好ましい特性値をもつものである。抵抗値が高いと放電表面処理用電極として使用したときに充電時間が長くなり、パルス放電の周期に追随できなくなる。一方、抵抗値が低い場合は粉末粒子同士の焼結が進んだ状態であるので、電極の熱伝導性が高くなり、電極の先端部分が十分高温にならない恐れがある。したがって、電極の抵抗値は限られた範囲にある必要があり、本実施の形態においては10−2Ω台であることが好ましい。 The discharge surface treatment electrode thus produced has a cylindrical shape with a diameter of 10 mm and a height of 20 mm, a density of 2.9 g / cm 3 , and a resistance value of 4.6 × 10 −2 Ω. Yes, and has preferable characteristic values as an electrode for discharge surface treatment. When the resistance value is high, the charge time becomes long when used as an electrode for discharge surface treatment, and it becomes impossible to follow the cycle of pulse discharge. On the other hand, when the resistance value is low, sintering of the powder particles is advanced, so that the thermal conductivity of the electrode becomes high and the tip portion of the electrode may not be sufficiently heated. Therefore, the resistance value of the electrode needs to be in a limited range, and is preferably in the range of 10 −2 Ω in the present embodiment.

さらに、上述と同じ製造条件で10本の放電表面処理用電極を作製したところ、10本の特性ばらつきは、密度で±0.1g/cm、抵抗値で±0.3×10−2Ωであり、優れた均一性が得られた。 Furthermore, when 10 discharge surface treatment electrodes were produced under the same production conditions as described above, the 10 characteristic variations were ± 0.1 g / cm 3 in density and ± 0.3 × 10 −2 Ω in resistance. And excellent uniformity was obtained.

比較として、従来の製造方法で放電表面処理用電極を作製するため、本実施の形態と同じ装置で、粉末の抵抗値をモニタせず、ヒータの加熱時間を一定にして放電表面処理用電極を10本作製したが、この場合の10本の特性ばらつきは、密度で±0.3g/cm、抵抗値で±0.8×10−2Ωとなり、とくに抵抗値のばらつきが大きいものとなった。 As a comparison, in order to produce a discharge surface treatment electrode by a conventional manufacturing method, the discharge surface treatment electrode was not monitored for the resistance value of the powder and the heating time of the heater was kept constant with the same apparatus as this embodiment. Ten pieces were produced. In this case, the ten characteristic variations were ± 0.3 g / cm 3 in density and ± 0.8 × 10 −2 Ω in resistance value, and the resistance value variation was particularly large. It was.

なお、本実施の形態においては、加熱を停止するときの判断として、抵抗モニタを用いて粉末の抵抗値を測定しているが、抵抗モニタの替わりに電流モニタを用いて粉末を流れる電流値を直接測定してもよい。この場合も、あらかじめ標準試料を用いて粉末を流れる電流値と電流モニタで計測される電流値とを調べておく必要がある。この差異の原因も、抵抗値をモニタするときと同様に、上下のパンチ棒4a、5aと粉末11との接触抵抗などによるものである。   In this embodiment, the resistance value of the powder is measured using a resistance monitor as a judgment when stopping the heating, but the current value flowing through the powder is measured using a current monitor instead of the resistance monitor. You may measure directly. In this case as well, it is necessary to examine in advance the current value flowing through the powder and the current value measured by the current monitor using a standard sample. The cause of this difference is due to the contact resistance between the upper and lower punch bars 4a and 5a and the powder 11 as in the case of monitoring the resistance value.

また、本実施の形態においては、カーボン製の上下のパンチ棒とアルミナ製のダイを使用したが、焼結のための加熱温度によっては、上下のパンチ棒として金属を用いてもよく、またダイもシリカ系や窒化物系のセラミックなどを用いてもよい。本実施の形態では、電気絶縁性に優れたアルミナ製のダイを用いたが、ダイは必ずしも高い電気絶縁性を有する必要はなく、電気伝導性の上パンチ棒と下パンチ棒との間に電圧を印加したときに粉末を流れる電流が抵抗モニタで測定できる程度の抵抗を有していればよい。   In this embodiment, the upper and lower punch rods made of carbon and the die made of alumina are used. However, depending on the heating temperature for sintering, metal may be used as the upper and lower punch rods. Also, silica-based or nitride-based ceramics may be used. In the present embodiment, an alumina die having excellent electrical insulation is used, but the die does not necessarily have high electrical insulation, and a voltage is applied between the electrically conductive upper punch bar and lower punch bar. It is only necessary that the current flowing through the powder when a voltage is applied has a resistance that can be measured by a resistance monitor.

また、粉末の充填方法として、プレス型に直接粉末を充填しているが、嵩高くなる粉末を用いる場合は、あらかじめプレス成形して体積を小さくした後にプレス型に挿入してもよい。また、本実施の形態においては、平均粒径が約φ1.1μmの粉末を用いたが、平均粒径がφ0.5〜3μmの粉末であれば放電表面処理用電極を作製したときに密度と抵抗値との組み合わせが好ましい値となる。   In addition, as a powder filling method, the powder is directly filled in the press mold. However, when using a powder that becomes bulky, the powder may be inserted into the press mold after press molding to reduce the volume in advance. In this embodiment, a powder having an average particle diameter of about φ1.1 μm is used. However, if the powder has an average particle diameter of φ0.5 to 3 μm, the density and A combination with the resistance value is a preferable value.

さらには、本実施の形態においては、55Co−30Cr−12W−3Ni合金粉末を用いたが、他のコバルト系合金、コバルト−ニッケル系合金などを用いてもよく、この場合の焼結工程の温度は、使用する材料の融点を1としたとき、0.4から0.8の範囲の温度であればよい。金属の粉末粒子同士の接触部分で焼結が起こるためには、粉体粒子相互の物質移動が必要でありそのよう物質移動が開始する温度は材料の融点を1としたときの0.4程度である。したがって、この温度が焼結工程の温度の下限となる。一方、焼結工程の温度が材料の融点に達すると粉末粒子が溶融してしまうので、焼結工程の温度は材料の融点を1としたときの0.8程度が上限となる。   Furthermore, in the present embodiment, 55Co-30Cr-12W-3Ni alloy powder is used, but other cobalt-based alloys, cobalt-nickel-based alloys, etc. may be used, and the temperature of the sintering process in this case The temperature may be in the range of 0.4 to 0.8, where the melting point of the material used is 1. In order for sintering to occur at the contact portion between metal powder particles, mass transfer between the powder particles is necessary, and the temperature at which mass transfer starts is about 0.4 when the melting point of the material is 1. It is. Therefore, this temperature becomes the lower limit of the temperature of the sintering process. On the other hand, when the temperature of the sintering process reaches the melting point of the material, the powder particles are melted, so the upper limit of the sintering process temperature is about 0.8 when the melting point of the material is 1.

実施の形態2.
実施の形態2は、実施の形態1と同様な製造装置を用いて、72Fe−19Cr−9Ni合金粉末を用いて放電表面処理用電極を作製するものである。なお、この合金はSUS304として知られており、耐腐食性に優れた材料としてよく使われているものである。
Embodiment 2. FIG.
In the second embodiment, a discharge surface treatment electrode is produced using 72Fe-19Cr-9Ni alloy powder using the same manufacturing apparatus as in the first embodiment. This alloy is known as SUS304 and is often used as a material having excellent corrosion resistance.

本実施の形態における放電表面処理用電極の製造方法について説明する。なお、製造装置は実施の形態1と同様であるので、図1に基づいて説明する。高圧水アトマイズ法により72Fe−19Cr−9Ni合金粉末を分級して平均粒径φ1.4μmの粉末を選別し、この平均粒径φ1.4μmの粉末を内径φ10mmのダイで構成されるプレス型10に充填する。次に、粉末11を充填したプレス型10をチャンバー7の内部にセットし、チャンバー7の内部を真空にする。油圧プレス機構部1を介して上プレス棒4を加圧して、変位計6で押し込み距離をモニタしながらプレス型10内の粉末11の密度が4.0g/cmとなる押し込み距離まで加圧して、所定の押し込み距離になったところで上プレス棒4の変位を停止する。次に、ヒータ用電源9を制御して粉末11が昇温速度10℃/分で加熱されるようにヒータ8を加熱し、粉末11が700℃になったところで昇温を停止して700℃を維持する。さらに、抵抗モニタ12で粉末11の抵抗値をモニタしておき、抵抗モニタ12の示す抵抗値が2.7×10−2Ωとなったところでヒータ8の加熱を停止する。なお、抵抗モニタ12の抵抗値が2.7×10−2Ωを示すときは、あらかじめ標準試料を用いて粉末11の抵抗値が設計値の1.5×10−2Ωとなるときである。 The manufacturing method of the electrode for discharge surface treatment in this Embodiment is demonstrated. The manufacturing apparatus is the same as that of the first embodiment, and will be described with reference to FIG. The 72Fe-19Cr-9Ni alloy powder is classified by the high pressure water atomization method, and the powder having an average particle diameter of φ1.4 μm is selected. Fill. Next, the press die 10 filled with the powder 11 is set inside the chamber 7 and the inside of the chamber 7 is evacuated. The upper press bar 4 is pressurized via the hydraulic press mechanism 1 and is pressed to the indentation distance at which the density of the powder 11 in the press die 10 becomes 4.0 g / cm 3 while monitoring the indentation distance with the displacement meter 6. Then, the displacement of the upper press bar 4 is stopped when the predetermined pressing distance is reached. Next, the heater power source 9 is controlled to heat the heater 8 so that the powder 11 is heated at a heating rate of 10 ° C./min. When the powder 11 reaches 700 ° C., the heating is stopped to 700 ° C. To maintain. Furthermore, the resistance value of the powder 11 is monitored by the resistance monitor 12, and the heating of the heater 8 is stopped when the resistance value indicated by the resistance monitor 12 becomes 2.7 × 10 −2 Ω. The resistance value of the resistance monitor 12 indicates 2.7 × 10 −2 Ω when the resistance value of the powder 11 becomes the design value of 1.5 × 10 −2 Ω using a standard sample in advance. .

このようにして製造した放電表面処理用電極は、直径がφ10mmで高さが20mmの円柱状の形状をもち、密度は3.9g/cm、抵抗値は1.5×10−2Ωであり、放電表面処理用電極として好ましい特性値をもつものである。さらに、上述と同じ製造条件で10本の放電表面処理用電極を作製したところ、10本の特性ばらつきは、密度で±0.1g/cm、抵抗値で±0.2×10−2Ωであり、優れた均一性が得られた。本実施の形態においては、高圧アトマイズ法によって分級した粉末を用いているので、実施の形態1よりもさらに特性ばらつきが少なくなるという効果がある。 The discharge surface treatment electrode thus produced has a cylindrical shape with a diameter of φ10 mm and a height of 20 mm, a density of 3.9 g / cm 3 , and a resistance value of 1.5 × 10 −2 Ω. Yes, and has preferable characteristic values as an electrode for discharge surface treatment. Furthermore, when 10 discharge surface treatment electrodes were produced under the same production conditions as described above, the 10 characteristic variations were ± 0.1 g / cm 3 in density and ± 0.2 × 10 −2 Ω in resistance value. And excellent uniformity was obtained. In this embodiment, since the powder classified by the high pressure atomizing method is used, there is an effect that the characteristic variation is further reduced as compared with the first embodiment.

なお、本実施の形態においては、平均粒径が約φ1.4μmの粉末を用いたが、平均粒径がφ0.5〜3μmの粉末であれば放電表面処理用電極を作製したときに密度と抵抗値との組み合わせが好ましい値となる。さらには、本実施の形態においては、72Fe−19Cr−9Ni合金粉末を用いたが、他の鉄系合金あるいは鉄でもよく、この場合の焼結工程の温度は、使用する材料の融点を1としたとき、0.4から0.8の範囲の温度であればよい。   In the present embodiment, a powder having an average particle diameter of about φ1.4 μm is used. However, if the powder has an average particle diameter of φ0.5 to 3 μm, the density and A combination with the resistance value is a preferable value. Furthermore, in the present embodiment, 72Fe-19Cr-9Ni alloy powder is used, but other iron alloys or iron may be used. In this case, the temperature of the sintering process is set to 1 as the melting point of the material used. Then, the temperature may be in the range of 0.4 to 0.8.

実施の形態3.
実施の形態3は、実施の形態1と同様な製造装置を用いて、導電性セラミックスであるWC(タングステンカーバイド)粉末を用いて放電表面処理用電極を作製するものである。
Embodiment 3 FIG.
In the third embodiment, a discharge surface treatment electrode is produced using WC (tungsten carbide) powder, which is a conductive ceramic, using the same manufacturing apparatus as in the first embodiment.

本実施の形態における放電表面処理用電極の製造方法について説明する。なお、製造装置は実施の形態1と同様であるので、図1に基づいて説明する。ジェットミル粉砕によって平均粒径φ1.0μmに粉砕したWC粉末を内径φ10mmのダイで構成されるプレス型10に充填する。次に、粉末を充填したプレス型10をチャンバー7の内部にセットし、チャンバー7の内部を真空にする。油圧プレス機構部1を介して上プレス棒4を加圧して、変位計6で押し込み距離をモニタしながらプレス型10内の粉末11の密度が8.0g/cmとなる押し込み距離まで加圧して、所定の押し込み距離になったところで上プレス棒4の変位を停止する。次に、ヒータ用電源9を制御して粉末11が昇温速度10℃/分で加熱されるようにヒータ8を加熱し、粉末11が1700℃になったところで昇温を停止して1700℃を維持する。さらに、抵抗モニタ12で粉末11の抵抗値をモニタしておき、抵抗モニタ12の示す抵抗値が2.5×10−2Ωとなったところでヒータ8の加熱を停止する。なお、抵抗モニタ12の抵抗値が2.5×10−2Ωを示すときは、あらかじめ標準試料を用いて粉末11の抵抗値が設計値の1.5×10−2Ωとなるときである。 The manufacturing method of the electrode for discharge surface treatment in this Embodiment is demonstrated. The manufacturing apparatus is the same as that of the first embodiment, and will be described with reference to FIG. The WC powder pulverized to an average particle diameter of φ1.0 μm by jet mill pulverization is filled into a press die 10 composed of a die having an inner diameter of Φ10 mm. Next, the press mold 10 filled with the powder is set inside the chamber 7 and the inside of the chamber 7 is evacuated. The upper press bar 4 is pressurized via the hydraulic press mechanism 1 and is pressed to a pressing distance at which the density of the powder 11 in the press die 10 becomes 8.0 g / cm 3 while monitoring the pressing distance with the displacement meter 6. Then, the displacement of the upper press bar 4 is stopped when the predetermined pressing distance is reached. Next, the heater power source 9 is controlled to heat the heater 8 so that the powder 11 is heated at a rate of temperature rise of 10 ° C./min. When the powder 11 reaches 1700 ° C., the temperature rise is stopped to 1700 ° C. To maintain. Further, the resistance value of the powder 11 is monitored by the resistance monitor 12, and the heating of the heater 8 is stopped when the resistance value indicated by the resistance monitor 12 becomes 2.5 × 10 −2 Ω. In addition, when the resistance value of the resistance monitor 12 indicates 2.5 × 10 −2 Ω, it is when the resistance value of the powder 11 becomes the design value of 1.5 × 10 −2 Ω using a standard sample in advance. .

このようにして製造した放電表面処理用電極は、直径がφ10mmで高さが20mmの円柱状の形状をもち、密度は7.9g/cm、抵抗値は1.3×10−2Ωであり、放電表面処理用電極として好ましい特性値をもつものである。 The discharge surface treatment electrode thus produced has a cylindrical shape with a diameter of 10 mm and a height of 20 mm, a density of 7.9 g / cm 3 , and a resistance value of 1.3 × 10 −2 Ω. Yes, and has preferable characteristic values as an electrode for discharge surface treatment.

なお、本実施の形態においては、WC粉末を用いたが、TiCなどの炭化セラミックスでもよく、この場合の焼結工程の温度は、使用する材料の融点を1としたとき、0.7から0.95の範囲の温度であればよい。材料が金属の場合は焼結工程の温度範囲は、材料の融点を1としたとき0.4から0.8の範囲であったが、本実施の形態に用いたセラミック系の材料の場合は、金属に比べて焼結に高温が必要なため、より融点に近い温度範囲となる。   In the present embodiment, WC powder is used, but a carbide ceramic such as TiC may be used. In this case, the temperature of the sintering process is 0.7 to 0 when the melting point of the material to be used is 1. The temperature may be in the range of .95. When the material is a metal, the temperature range of the sintering process was 0.4 to 0.8 when the melting point of the material was 1, but in the case of the ceramic material used in the present embodiment, Since a higher temperature is required for sintering than metal, the temperature range is closer to the melting point.

実施の形態4.
実施の形態4においては、実施の形態1と同様な製造装置において、上パンチ棒4aの形状を変えたものである。図3は、本実施の形態における、プレス型10の中央断面を示した模式図である。本実施の形態においては、実施の形態1で用いた上パンチ棒の替わりにつば付き上パンチ棒15を用いたものである。このつば付き上パンチ棒15は、粉末11に接触する面の面積よりつば16の部分の断面積が大きくなっており、つば付き上パンチ棒15で粉末11を上方向から加圧していくときに、つば16がダイ14に当接して、それ以上つば付き上パンチ棒15が下がらないように構成されている。つまり、つば16の位置によって粉末11が加圧されたときの容積を一定にすることができる。そのため、実施の形態1で用いた変位計が不要になる。つば付き上パンチ棒15と下パンチ棒5aとは導電性を有するカーボンで構成されており、プレス型10の一部であるダイ14は電気絶縁性のアルミナで構成されている。このため、つば付き上パンチ棒15と下パンチ棒5aとの間に電圧を印加すると粉末11が通電ルートとなるため、この通電ルートの電流を抵抗モニタ12で測定することにより粉末11の抵抗値をモニタすることができる。
Embodiment 4 FIG.
In the fourth embodiment, the shape of the upper punch bar 4a is changed in the same manufacturing apparatus as in the first embodiment. FIG. 3 is a schematic diagram showing a central cross section of the press die 10 in the present embodiment. In the present embodiment, an upper punch rod 15 with a collar is used instead of the upper punch rod used in the first embodiment. In this upper punch rod 15 with a collar, the cross-sectional area of the portion of the collar 16 is larger than the area of the surface in contact with the powder 11, and when the powder 11 is pressed from above with the upper punch rod 15 with a collar. The collar 16 is configured to abut against the die 14 so that the collared upper punch bar 15 does not fall any further. That is, the volume when the powder 11 is pressurized by the position of the collar 16 can be made constant. Therefore, the displacement meter used in Embodiment 1 becomes unnecessary. The upper punch bar 15 with the collar and the lower punch bar 5a are made of conductive carbon, and the die 14 which is a part of the press die 10 is made of electrically insulating alumina. For this reason, when a voltage is applied between the upper punch bar 15 with the collar and the lower punch bar 5a, the powder 11 becomes an energization route, and the resistance value of the powder 11 is measured by measuring the current of the energization route with the resistance monitor 12. Can be monitored.

次に、本実施の形態における放電表面処理用電極の製造方法について説明する。以下の説明では、製造装置の図番は図1および図3に示したもので説明する。ジェットミル粉砕によって平均粒径約φ1.1μmに調整された55Co−30Cr−12W−3Ni合金粉末を、内径φ10mmのダイ14で構成されるプレス型10に充填する。この粉末を充填したプレス型10をチャンバー7の内部にセットし、チャンバー7の内部を真空にする。油圧プレス機構部1を介してつば付き上パンチ棒15のつば16がダイ14に当接するまで上プレス棒4を加圧する。次に、ヒータ用電源9を制御して粉末11が昇温速度10℃/分で加熱されるようにヒータ8を加熱し、粉末11が600℃になったところで昇温を停止して600℃を維持する。さらに、抵抗モニタ12で粉末11の抵抗値をモニタしておき、抵抗モニタ12の示す抵抗値が3.5×10−2Ωとなったところでヒータ8の加熱を停止する。なお、抵抗モニタ12の抵抗値が3.5×10−2Ωを示すときは、あらかじめ標準試料を用いて粉末11の抵抗値が設計値の2.0×10−2Ωとなるときである。 Next, the manufacturing method of the electrode for discharge surface treatment in this Embodiment is demonstrated. In the following description, the drawing number of the manufacturing apparatus will be described with reference to FIG. 1 and FIG. A 55Co-30Cr-12W-3Ni alloy powder adjusted to an average particle diameter of about 1.1 mm by jet mill grinding is filled into a press die 10 composed of a die 14 having an inner diameter of 10 mm. The press die 10 filled with this powder is set inside the chamber 7 and the inside of the chamber 7 is evacuated. The upper press rod 4 is pressurized until the flange 16 of the upper punch rod 15 with a flange contacts the die 14 via the hydraulic press mechanism 1. Next, the heater power source 9 is controlled to heat the heater 8 so that the powder 11 is heated at a heating rate of 10 ° C./min. When the powder 11 reaches 600 ° C., the heating is stopped and 600 ° C. To maintain. Further, the resistance value of the powder 11 is monitored by the resistance monitor 12, and the heating of the heater 8 is stopped when the resistance value indicated by the resistance monitor 12 becomes 3.5 × 10 −2 Ω. In addition, when the resistance value of the resistance monitor 12 indicates 3.5 × 10 −2 Ω, it is when the resistance value of the powder 11 becomes the design value of 2.0 × 10 −2 Ω using a standard sample in advance. .

このようにして製造した放電表面処理用電極は、直径がφ10mmで高さが20mmの円柱状の形状をもち、密度は3.0g/cm、抵抗値は1.9×10−2Ωであり、放電表面処理用電極として好ましい特性値をもつものである。さらに、上述と同じ製造条件で10本の放電表面処理用電極を作製したところ、10本の特性ばらつきは、密度で±0.08g/cm、抵抗値で±0.15×10−2Ωであり、優れた均一性が得られた。本実施の形態においては、つば付き上パンチ棒を用いることで、放電表面処理用電極の高さが常に一定となり、変位計が不要になると共に放電表面処理用電極の容積のばらつきが小さくなるために、とくに密度のばらつきが小さくなる効果がある。 The discharge surface treatment electrode thus produced has a cylindrical shape with a diameter of φ10 mm and a height of 20 mm, a density of 3.0 g / cm 3 , and a resistance value of 1.9 × 10 −2 Ω. Yes, and has preferable characteristic values as an electrode for discharge surface treatment. Furthermore, when 10 discharge surface treatment electrodes were produced under the same manufacturing conditions as described above, the 10 characteristic variations were ± 0.08 g / cm 3 in density and ± 0.15 × 10 −2 Ω in resistance. And excellent uniformity was obtained. In the present embodiment, by using the upper punch rod with a collar, the height of the discharge surface treatment electrode is always constant, so that a displacement meter is unnecessary and the variation in the volume of the discharge surface treatment electrode is reduced. In particular, there is an effect of reducing variation in density.

実施の形態5.
実施の形態5は、実施の形態4と同様な製造装置を用いて、Cu粉末を用いて放電表面処理用電極を作製するものである。
Embodiment 5. FIG.
In the fifth embodiment, an electrode for discharge surface treatment is produced using Cu powder using the same manufacturing apparatus as in the fourth embodiment.

本実施の形態における放電表面処理用電極の製造方法について説明する。なお、実施の形態4と同様に、製造装置の図番は図1および図3に示したもので説明する。高圧水アトマイズ法によって平均粒径φ1.5μmに分級されたCu粉末を内径φ10mmのダイで構成されるプレス型10に充填する。この粉末を充填したプレス型10をチャンバー7の内部にセットし、チャンバー7の内部を真空にする。油圧プレス機構部1を介してつば付き上パンチ棒15をつば16がダイ14に当接するまで上プレス棒4を加圧する。次に、ヒータ用電源9を制御して粉末11が昇温速度20℃/分で加熱されるようにヒータ8を加熱し、粉末11が550℃になったところで昇温を停止して550℃を維持する。さらに、抵抗モニタ12で粉末11の抵抗値をモニタしておき、抵抗モニタ12の示す抵抗値が2.6×10−2Ωとなったところでヒータ8の加熱を停止する。なお、抵抗モニタ12の抵抗値が2.6×10−2Ωを示すときは、あらかじめ標準試料を用いて粉末11の抵抗値が設計値の1.2×10−2Ωとなるときである。 The manufacturing method of the electrode for discharge surface treatment in this Embodiment is demonstrated. As in the case of the fourth embodiment, the drawing numbers of the manufacturing apparatus will be described with reference to those shown in FIGS. Cu powder classified to an average particle diameter of φ1.5 μm by a high-pressure water atomization method is filled into a press die 10 constituted by a die having an inner diameter of φ10 mm. The press die 10 filled with this powder is set inside the chamber 7 and the inside of the chamber 7 is evacuated. The upper press bar 4 is pressurized through the hydraulic press mechanism 1 until the flange 16 comes into contact with the die 14. Next, the heater power source 9 is controlled to heat the heater 8 so that the powder 11 is heated at a heating rate of 20 ° C./min. When the powder 11 reaches 550 ° C., the heating is stopped and 550 ° C. To maintain. Furthermore, the resistance value of the powder 11 is monitored by the resistance monitor 12, and the heating of the heater 8 is stopped when the resistance value indicated by the resistance monitor 12 becomes 2.6 × 10 −2 Ω. In addition, when the resistance value of the resistance monitor 12 indicates 2.6 × 10 −2 Ω, it is when the resistance value of the powder 11 becomes the design value of 1.2 × 10 −2 Ω using a standard sample in advance. .

このようにして製造した放電表面処理用電極は、直径がφ10mmで高さが20mmの円柱状の形状をもち、密度は3.8g/cm、抵抗値は1.1×10−2Ωであり、放電表面処理用電極として好ましい特性値をもつものである。さらに、上述と同じ製造条件で10本の放電表面処理用電極を作製したところ、10本の特性ばらつきは、密度で±0.09g/cm、抵抗値で±0.3×10−2Ωであり、優れた均一性が得られた。 The discharge surface treatment electrode thus produced has a cylindrical shape with a diameter of φ10 mm and a height of 20 mm, a density of 3.8 g / cm 3 , and a resistance value of 1.1 × 10 −2 Ω. Yes, and has preferable characteristic values as an electrode for discharge surface treatment. Furthermore, when 10 discharge surface treatment electrodes were produced under the same production conditions as described above, the 10 characteristic variations were ± 0.09 g / cm 3 in density and ± 0.3 × 10 −2 Ω in resistance value. And excellent uniformity was obtained.

なお、本実施の形態においては、Cu粉末を用いたが、Cuを主成分とするCu合金でもよく、この場合の焼結工程の温度は、使用する材料の融点を1としたとき、0.4から0.8の範囲の温度であればよい。   In the present embodiment, Cu powder is used. However, a Cu alloy containing Cu as a main component may be used. In this case, the temperature of the sintering process is 0. The temperature may be in the range of 4 to 0.8.

実施の形態6.
図4は、実施の形態6による放電表面処理用電極の製造装置を示す模式図である。図4において、油圧プレス機構部1、フレーム2、支持台3、変位計6およびチャンバー7などは実施の形態1の構成と同様であるが、プレス型10の両サイドに一対の電極棒17が備えられており、この一対の電極棒17に電気的に接続された抵抗モニタ12で粉末11の抵抗値を測定できるように構成している。
Embodiment 6 FIG.
FIG. 4 is a schematic diagram showing an apparatus for manufacturing a discharge surface treatment electrode according to Embodiment 6. In FIG. In FIG. 4, the hydraulic press mechanism 1, the frame 2, the support 3, the displacement meter 6, the chamber 7 and the like are the same as those in the first embodiment, but a pair of electrode rods 17 are provided on both sides of the press die 10. The resistance monitor 12 electrically connected to the pair of electrode rods 17 can measure the resistance value of the powder 11.

図5は、本実施の形態における、プレス型10の中央の構造を模式的に示した斜視図であり、図6は、プレス型10の中央断面を示した模式図である。上パンチ棒4aと下型18とはアルミナで構成された絶縁物である。下型18の両側には、粉末を挟むように一対のプレス側板19が備えられており、このプレス側板19はカーボン製である。抵抗モニタ12から一対の電極棒17を介して一対のプレス側板19に電圧が印加され、上パンチ棒4aと下型18との間に充填されている粉末11に通電して、プレス圧が加えられる方向に対して直角方向の粉末11の抵抗値を測定できるように構成されている。つまり、粉末に電圧を印加する方向と荷重が加えられる方向とが交わっている。   FIG. 5 is a perspective view schematically showing the structure at the center of the press die 10 in the present embodiment, and FIG. 6 is a schematic diagram showing a central cross section of the press die 10. The upper punch bar 4a and the lower mold 18 are insulators made of alumina. A pair of press side plates 19 are provided on both sides of the lower mold 18 so as to sandwich the powder, and the press side plates 19 are made of carbon. A voltage is applied from the resistance monitor 12 to the pair of press side plates 19 through the pair of electrode rods 17, and the powder 11 filled between the upper punch rod 4a and the lower die 18 is energized to apply the press pressure. The resistance value of the powder 11 in a direction perpendicular to the direction to be measured can be measured. That is, the direction in which a voltage is applied to the powder and the direction in which a load is applied intersect.

次に、本実施の形態における放電表面処理用電極の製造方法について説明する。ジェットミル粉砕によって平均粒径約φ1.1μmに調整された55Co−30Cr−12W−3Ni合金粉末を、縦10mm×横40mmの成形エリアを有するプレス型10に充填する。粉末が充填されたプレス型10をチャンバー7の内部にセットし、チャンバー7の内部を真空にする。油圧プレス機構部1を介して上プレス棒4を加圧して、変位計6で押し込み距離をモニタしながらプレス型10内の粉末11の密度が3.0g/cmとなる押し込み距離まで加圧して、所定の押し込み距離になったところで上プレス棒4の変位を停止する。次に、ヒータ用電源9を制御して粉末11が昇温速度10℃/分で加熱されるようにヒータ8を加熱し、粉末11が650℃になったところで昇温を停止して650℃を維持する。さらに、抵抗モニタ12で粉末11の抵抗値をモニタしておき、抵抗モニタ12の示す抵抗値が2.0×10−2Ωとなったところでヒータ8の加熱を停止する。なお、抵抗モニタ12の抵抗値が2.0×10−2Ωを示すときは、あらかじめ標準試料を用いて粉末11の抵抗値が設計値の1.2×10−2Ωとなるときである。 Next, the manufacturing method of the electrode for discharge surface treatment in this Embodiment is demonstrated. A 55Co-30Cr-12W-3Ni alloy powder adjusted to an average particle size of about 1.1 μm by jet milling is filled into a press die 10 having a forming area of 10 mm length × 40 mm width. The press die 10 filled with the powder is set inside the chamber 7 and the inside of the chamber 7 is evacuated. The upper press bar 4 is pressurized via the hydraulic press mechanism 1 and the displacement distance is monitored by the displacement meter 6 until the density of the powder 11 in the press die 10 becomes 3.0 g / cm 3. Then, the displacement of the upper press bar 4 is stopped when the predetermined pressing distance is reached. Next, the heater power source 9 is controlled to heat the heater 8 so that the powder 11 is heated at a heating rate of 10 ° C./min. When the powder 11 reaches 650 ° C., the heating is stopped to 650 ° C. To maintain. Further, the resistance value of the powder 11 is monitored by the resistance monitor 12, and the heating of the heater 8 is stopped when the resistance value indicated by the resistance monitor 12 becomes 2.0 × 10 −2 Ω. The resistance value of the resistance monitor 12 is 2.0 × 10 −2 Ω when the resistance value of the powder 11 is the designed value of 1.2 × 10 −2 Ω using a standard sample in advance. .

このようにして製造した放電表面処理用電極は、高さが5mm、縦10mm、横40mmの薄板状の形状をもち、密度は2.9g/cm、抵抗値は1.1×10−2Ωであり、放電表面処理用電極として好ましい特性値をもつものである。さらに、上述と同じ製造条件で10本の放電表面処理用電極を作製したところ、10本の特性ばらつきは、密度で±0.1g/cm、抵抗値で±0.2×10−2Ωであり、優れた均一性が得られた。 The discharge surface treatment electrode thus produced has a thin plate shape having a height of 5 mm, a length of 10 mm, and a width of 40 mm, a density of 2.9 g / cm 3 , and a resistance value of 1.1 × 10 −2. It has a characteristic value preferable as an electrode for discharge surface treatment. Furthermore, when 10 discharge surface treatment electrodes were produced under the same production conditions as described above, the 10 characteristic variations were ± 0.1 g / cm 3 in density and ± 0.2 × 10 −2 Ω in resistance value. And excellent uniformity was obtained.

このように構成することにより、薄板状の放電表面処理用電極を作製する場合、放電表面処理装置で使用するときの通電方向と同じ長手方向の抵抗値を直接測定することにできるので、さらに特性ばらつきの少ない放電表面処理用電極を作製することができる。また、実施の形態1で説明した製造方法で薄板状の放電処理用電極を作製する場合は、プレス圧が加えられる方向に粉末を高く充填する必要ありプレス圧が加えられる面積が小さくなり、プレス圧が粉末全体に均一に行き渡らない恐れがある。本実施の形態においては、実施の形態1に比べてプレス圧が加えられる面積が大きいので、さらに均一性が向上する。   By constructing in this way, when producing a thin plate-shaped discharge surface treatment electrode, it is possible to directly measure the resistance value in the same longitudinal direction as the energization direction when used in the discharge surface treatment apparatus, and thus further characteristics An electrode for discharge surface treatment with little variation can be produced. Further, in the case where a thin plate-like electrode for electric discharge treatment is produced by the manufacturing method described in the first embodiment, it is necessary to fill the powder in a direction in which the press pressure is applied, and the area to which the press pressure is applied is reduced. There is a risk that the pressure does not spread evenly throughout the powder. In the present embodiment, since the area to which the press pressure is applied is larger than that in the first embodiment, the uniformity is further improved.

なお、本実施の形態においては、電気絶縁性に優れたアルミナ製の上パンチ棒4aと下型18とを用いたが、これらは必ずしも高い電気絶縁性を有する必要はなく、電気伝導性の一対のプレス側板19に電圧を印加したときに粉末を流れる電流が抵抗モニタで測定できる程度の抵抗を有していればよい。   In this embodiment, the upper punch rod 4a made of alumina and the lower die 18 having excellent electrical insulation are used. However, these need not necessarily have high electrical insulation, and a pair of electrical conductivity is not necessary. It is sufficient that the current flowing through the powder when a voltage is applied to the press side plate 19 has a resistance that can be measured by a resistance monitor.

実施の形態7.
図7は、実施の形態7による放電表面処理用電極の製造装置を示す模式図である。図7において、油圧プレス機構部1、フレーム2、支持台3、上プレス棒4、下プレス棒5、変位計6、およびチャンバー7などは実施の形態1の構成と同様であるが、加熱方法が実施の形態1と異なっている。本実施の形態においては、上プレス棒4と下プレス棒5との間にパルス電源20を電気的に接続し、このパルス電源20から上パンチ棒4aおよび下パンチ棒5aを介して粉末11にパルス状の電流を通電し、そのジュール熱により粉末11を加熱するように構成したものである。上パンチ棒4aあるいは下パンチ棒5aのいずれかには、粉末11の温度が測定できるように熱電対が備えられている。パルス電源20は、制御ユニット13に接続されており、油圧プレス機構部1、変位計6および抵抗モニタ12と同様に、制御ユニット13によって制御されている。また、抵抗モニタ12によって粉末11の抵抗値の測定は、パルス通電の影響を避けるために、パルス通電のブランキング期間(パルス状の電流が通電していない期間)に行うように制御されている。
Embodiment 7 FIG.
FIG. 7 is a schematic diagram showing an apparatus for manufacturing a discharge surface treatment electrode according to Embodiment 7. In FIG. In FIG. 7, the hydraulic press mechanism 1, the frame 2, the support 3, the upper press bar 4, the lower press bar 5, the displacement meter 6, the chamber 7, and the like are the same as those in the first embodiment. Is different from the first embodiment. In the present embodiment, a pulse power source 20 is electrically connected between the upper press bar 4 and the lower press bar 5, and the powder 11 is supplied from the pulse power source 20 via the upper punch bar 4a and the lower punch bar 5a. It is configured such that a pulsed current is applied and the powder 11 is heated by the Joule heat. Either the upper punch bar 4a or the lower punch bar 5a is provided with a thermocouple so that the temperature of the powder 11 can be measured. The pulse power source 20 is connected to the control unit 13 and is controlled by the control unit 13 in the same manner as the hydraulic press mechanism 1, the displacement meter 6 and the resistance monitor 12. In addition, the resistance monitor 12 controls the measurement of the resistance value of the powder 11 during a blanking period of pulse energization (period in which no pulsed current is energized) in order to avoid the influence of pulse energization. .

次に、本実施の形態における放電表面処理用電極の製造方法について説明する。ジェットミル粉砕によって平均粒径約φ1.1μmに調整された55Co−30Cr−12W−3Ni合金粉末を、内径φ10mmのダイで構成されるプレス型10に充填する。粉末が充填されたプレス型10をチャンバー7の内部にセットし、チャンバー7の内部を真空にする。油圧プレス機構部1を介して上プレス棒4を加圧して、変位計6で押し込み距離をモニタしながらプレス型10内の粉末11の密度が3.0g/cmとなる押し込み距離まで加圧して、所定の押し込み距離になったところで上プレス棒4の変位を停止する。次に、粉末11が昇温速度20℃/分で加熱されるように、パルス電源20から上下のパンチ棒4a、5aにパルス状の電流を通電し、粉末11が600℃になったところで昇温が停止するようにパルス状の電流を制御して600℃を維持する。さらに、抵抗モニタ12で粉末11の抵抗値をモニタしておき、抵抗モニタ12の示す抵抗値が0.24Ωとなったところでパルス電源19からの通電を停止する。なお、抵抗モニタ12の抵抗値が0.24Ωを示すときは、あらかじめ標準試料を用いて粉末11の抵抗値が設計値の0.20Ωとなるときである。 Next, the manufacturing method of the electrode for discharge surface treatment in this Embodiment is demonstrated. A 55Co-30Cr-12W-3Ni alloy powder adjusted to an average particle size of about φ1.1 μm by jet mill grinding is filled into a press die 10 composed of a die having an inner diameter of φ10 mm. The press die 10 filled with the powder is set inside the chamber 7 and the inside of the chamber 7 is evacuated. The upper press bar 4 is pressurized via the hydraulic press mechanism 1 and the displacement distance is monitored by the displacement meter 6 until the density of the powder 11 in the press die 10 becomes 3.0 g / cm 3. Then, the displacement of the upper press bar 4 is stopped when the predetermined pressing distance is reached. Next, a pulsed current is applied to the upper and lower punch rods 4a and 5a from the pulse power source 20 so that the powder 11 is heated at a temperature rising rate of 20 ° C./min. The pulsed current is controlled so that the temperature stops, and 600 ° C. is maintained. Further, the resistance value of the powder 11 is monitored by the resistance monitor 12, and the energization from the pulse power source 19 is stopped when the resistance value indicated by the resistance monitor 12 becomes 0.24Ω. In addition, when the resistance value of the resistance monitor 12 shows 0.24Ω, it is when the resistance value of the powder 11 becomes 0.20Ω as a design value using a standard sample in advance.

このようにして製造した放電表面処理用電極は、直径がφ10mmで高さが20mmの円柱状の形状をもち、密度は2.9g/cm、抵抗値は0.21Ωであり、放電表面処理用電極として好ましい特性値をもつものである。さらに、上述と同じ製造条件で10本の放電表面処理用電極を作製したところ、10本の特性ばらつきは、密度で±0.1g/cm、抵抗値で±0.02Ωであり、優れた均一性が得られた。 The discharge surface treatment electrode thus produced has a cylindrical shape with a diameter of 10 mm and a height of 20 mm, a density of 2.9 g / cm 3 , a resistance value of 0.21Ω, and a discharge surface treatment. It has a characteristic value preferable as a working electrode. Furthermore, when 10 discharge surface treatment electrodes were produced under the same manufacturing conditions as described above, the 10 characteristic variations were ± 0.1 g / cm 3 in density and ± 0.02Ω in resistance value, which was excellent. Uniformity was obtained.

パルス通電による粉末11の加熱は、プレス型10に充填した粉末11の粉末粒子同士の接触部分にパルス状の電流が流れることで、接触部分の接触抵抗によりこの接触部分が優先的に加熱され、かつパルス状の電気的な衝撃によりこの接触部分の酸化皮膜が破壊されるので、比較的低い温度であっても、粉末粒子同士の接触部分の焼結が促進される。本発明の目的である放電表面処理用電極では、粉末粒子同士の接触部分のみがわずかに焼結した状態が好ましく、このような粉末粒子同士の接触部分の酸化膜が除去されて焼結が促進されるのは望ましい状態である。また、実施の形態1に示したような、カーボンヒータによりプレス型を加熱して粉末を加熱する場合は、まずプレス型の温度を上昇させることが必要であり、粉末を加熱するのに時間を要するが、パルス通電による粉末の加熱は、プレス型を加熱する必要がないので、加熱する時間も短くなり、より短時間で所定の抵抗値を得ることができる。   In the heating of the powder 11 by pulse energization, a pulsed current flows through the contact portion between the powder particles of the powder 11 filled in the press die 10, and this contact portion is preferentially heated by the contact resistance of the contact portion, In addition, since the oxide film at the contact portion is broken by a pulsed electric shock, sintering of the contact portion between the powder particles is promoted even at a relatively low temperature. In the electrode for discharge surface treatment which is the object of the present invention, it is preferable that only the contact portion between the powder particles is slightly sintered, and the oxide film at the contact portion between the powder particles is removed to promote the sintering. It is a desirable condition. Further, when the powder is heated by heating the press die with the carbon heater as shown in the first embodiment, it is necessary to first increase the temperature of the press die, and it takes time to heat the powder. However, since the heating of the powder by pulse energization does not require heating of the press die, the heating time is shortened and a predetermined resistance value can be obtained in a shorter time.

なお、本実施の形態においては、プレス圧を加える方向、粉末の抵抗値を測定する方向およびパルス通電する方向とが同じ方向である場合について説明したが、実施の形態6に示したように、プレス圧を加える方向と粉末の抵抗値を測定する方向とが直角の場合、パルス通電する方向を粉末の抵抗値を測定する方向と同じ方向にすることができる。その場合、実施の形態6で用いた一対の電極棒の間にパルス電源を電気的に接続すればよい。   In the present embodiment, the case where the direction in which the pressing pressure is applied, the direction in which the resistance value of the powder is measured, and the direction in which the pulse energization is the same direction has been described, but as shown in the sixth embodiment, When the direction in which the pressing pressure is applied is perpendicular to the direction in which the resistance value of the powder is measured, the direction in which the pulse current is applied can be the same as the direction in which the resistance value of the powder is measured. In that case, a pulse power source may be electrically connected between the pair of electrode rods used in Embodiment 6.

また、パルス通電による加熱を行う場合の加熱温度は、実施の形態1などと同様に、使用する材料の融点を1としたとき、0.4から0.8の範囲の温度であればよい。   In addition, the heating temperature in the case of performing heating by pulse energization may be a temperature in the range of 0.4 to 0.8 when the melting point of the material to be used is 1, as in the first embodiment.

さらには、本実施の形態においては、上プレス棒の押し込み距離を変位計で測定して、所定の密度となる押し込み距離で上プレス棒の変位を停止したが、実施の形態4に示したつば付きパンチ棒を用いて上プレス棒の押し込み距離を一定にしてもよい。   Further, in the present embodiment, the indentation distance of the upper press bar is measured with a displacement meter, and the displacement of the upper press bar is stopped at the indentation distance having a predetermined density, but the collar shown in the fourth embodiment is used. The pressing distance of the upper press bar may be made constant by using the attached punch bar.

実施の形態8.
実施の形態8は、実施の形態7と同様な製造装置を用いて、72Fe−19Cr−9Ni合金粉末を用いて放電表面処理用電極を作製したものである。
Embodiment 8 FIG.
In the eighth embodiment, a discharge surface treatment electrode is produced using 72Fe-19Cr-9Ni alloy powder using the same manufacturing apparatus as in the seventh embodiment.

本実施の形態における放電表面処理用電極の製造方法について説明する。高圧水アトマイズ法により72Fe−19Cr−9Ni合金粉末を分級し、平均粒径約φ1.4μmとした合金粉末を、内径φ10mmのダイで構成されるプレス型10に充填する。粉末を充填したプレス型10をチャンバー7の内部にセットし、チャンバー7の内部を真空にする。油圧プレス機構部1を介して上プレス棒4を加圧して、変位計6で押し込み距離をモニタしながらプレス型10内の粉末11の密度が4.0g/cmとなる押し込み距離まで加圧して、所定の押し込み距離になったところで上プレス棒4の変位を停止する。次に、粉末11が昇温速度20℃/分で加熱されるように、パルス電源20から上下のパンチ棒4a、5aにパルス状の電流を通電し、粉末11が650℃になったところで昇温が停止するようにパルス状の電流を制御して650℃を維持する。さらに、抵抗モニタ12で粉末11の抵抗値をモニタしておき、抵抗モニタ12の示す抵抗値が3.0×10−2Ωとなったところでパルス電源20からの通電を停止する。なお、抵抗モニタ12の抵抗値が3.0×10−2Ωを示すときは、あらかじめ標準試料を用いて粉末11の抵抗値が設計値の2.0×10−2Ωとなるときである。 The manufacturing method of the electrode for discharge surface treatment in this Embodiment is demonstrated. The 72Fe-19Cr-9Ni alloy powder is classified by the high-pressure water atomization method, and the alloy powder having an average particle diameter of about φ1.4 μm is filled into a press die 10 composed of a die having an inner diameter of φ10 mm. The press die 10 filled with the powder is set inside the chamber 7 and the inside of the chamber 7 is evacuated. The upper press bar 4 is pressurized via the hydraulic press mechanism 1 and is pressed to the indentation distance at which the density of the powder 11 in the press die 10 becomes 4.0 g / cm 3 while monitoring the indentation distance with the displacement meter 6. Then, the displacement of the upper press bar 4 is stopped when the predetermined pressing distance is reached. Next, a pulsed current is applied to the upper and lower punch rods 4a and 5a from the pulse power source 20 so that the powder 11 is heated at a temperature rising rate of 20 ° C./min. When the powder 11 reaches 650 ° C., the temperature rises. The pulsating current is controlled so that the temperature stops to maintain 650 ° C. Further, the resistance value of the powder 11 is monitored by the resistance monitor 12, and the energization from the pulse power source 20 is stopped when the resistance value indicated by the resistance monitor 12 becomes 3.0 × 10 −2 Ω. The resistance value of the resistance monitor 12 indicates 3.0 × 10 −2 Ω when the resistance value of the powder 11 becomes the design value of 2.0 × 10 −2 Ω using a standard sample in advance. .

このようにして製造した放電表面処理用電極は、直径がφ10mmで高さが20mmの円柱状の形状をもち、密度は4.0g/cm、抵抗値は1.9×10−2Ωであり、放電表面処理用電極として好ましい特性値をもつものである。さらに、上述と同じ製造条件で10本の放電表面処理用電極を作製したところ、10本の特性ばらつきは、密度で±0.08g/cm、抵抗値で±0.2×10−2Ωであり、優れた均一性が得られた。 The discharge surface treatment electrode thus produced has a cylindrical shape with a diameter of φ10 mm and a height of 20 mm, a density of 4.0 g / cm 3 , and a resistance value of 1.9 × 10 −2 Ω. Yes, and has preferable characteristic values as an electrode for discharge surface treatment. Furthermore, when 10 discharge surface treatment electrodes were produced under the same production conditions as described above, the 10 characteristic variations were ± 0.08 g / cm 3 in density and ± 0.2 × 10 −2 Ω in resistance value. And excellent uniformity was obtained.

実施の形態1による放電表面処理用電極の製造装置を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing an apparatus for manufacturing a discharge surface treatment electrode according to Embodiment 1; 実施の形態1におけるプレス型の中央断面を示した模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a central section of a press die in the first embodiment. 実施の形態4におけるプレス型の中央断面を示した模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing a central cross section of a press die in a fourth embodiment. 実施の形態6による放電表面処理用電極の製造装置を示す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram showing an apparatus for manufacturing a discharge surface treatment electrode according to a sixth embodiment. 実施の形態6におけるプレス型構造を模式的に示した斜視図である。It is the perspective view which showed typically the press die structure in Embodiment 6. FIG. 実施の形態6におけるプレス型の中央断面を示した模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram showing a central cross section of a press die in a sixth embodiment. 実施の形態7による放電表面処理用電極の製造装置を示す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram showing an apparatus for manufacturing a discharge surface treatment electrode according to a seventh embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 油圧プレス機構部
2 フレーム
3 支持台
4 上プレス棒
4a 上パンチ棒
5 下プレス棒
5a 下パンチ棒
6 変位計
7 チャンバー
8 ヒータ
9 ヒータ用電源
10 プレス型
11 粉末
12 抵抗モニタ
13 制御ユニット
14 ダイ
15 つば付き上パンチ棒
16 つば
17 電極棒
18 下型
19 プレス側板
20 パルス電源
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Hydraulic press mechanism part 2 Frame 3 Support stand 4 Upper press bar 4a Upper punch bar 5 Lower press bar 5a Lower punch bar 6 Displacement meter 7 Chamber 8 Heater 9 Heater power supply 10 Press type 11 Powder 12 Resistance monitor 13 Control unit 14 Die 15 Upper punch rod with collar 16 Brim 17 Electrode rod 18 Lower die 19 Press side plate 20 Pulse power supply

Claims (9)

プレス治具に導電性を有する粉末を充填する充填工程と、
この充填工程の後に前記プレス治具に所定の押し込み距離まで荷重を加える加圧工程と、
前記粉末を加熱する焼結工程と、
前記加圧工程と前記焼結工程との後に前記粉末に電圧を印加して前記粉末に流れる電流値に基づいて前記加圧工程と前記焼結工程とを停止する停止制御工程と
を有する放電表面処理用電極の製造方法。
A filling step of filling the pressing jig with conductive powder;
A pressurizing step of applying a load to the press jig to a predetermined pushing distance after the filling step;
A sintering step of heating the powder;
A discharge surface having a stop control step of applying a voltage to the powder after the pressing step and the sintering step and stopping the pressing step and the sintering step based on a current value flowing through the powder. A method for manufacturing a processing electrode.
粉末に電圧を印加する方向とプレス治具に荷重を加える方向とが同じであることを特徴とする請求項1記載の放電表面処理用電極の製造方法。 2. The method for producing an electrode for discharge surface treatment according to claim 1, wherein a direction in which a voltage is applied to the powder and a direction in which a load is applied to the pressing jig are the same. プレス治具は、絶縁性のダイと導電性を有する一対のパンチ棒とを備え、
前記一対のパンチ棒に電圧を印加することにより粉末に電圧を印加することを特徴とする請求項2記載の放電表面処理用電極の製造方法。
The pressing jig includes an insulating die and a pair of conductive punch bars,
3. The method for producing an electrode for discharge surface treatment according to claim 2, wherein a voltage is applied to the powder by applying a voltage to the pair of punch bars.
粉末に電圧を印加する方向と荷重が加えられる方向とが交わることを特徴とする請求項1記載の放電表面処理用電極の製造方法。 2. The method for producing an electrode for discharge surface treatment according to claim 1, wherein a direction in which a voltage is applied to the powder and a direction in which a load is applied intersect. プレス治具は、電気的に絶縁された一対の導電性の側板を有するダイと絶縁性の一対のパンチ棒とを備え、
前記一対の導電性の側板に電圧を印加することにより粉末に電圧を印加することを特徴とする請求項4記載の放電表面処理用電極の製造方法。
The pressing jig includes a die having a pair of electrically insulated side plates and a pair of insulating punch bars,
The method for producing an electrode for discharge surface treatment according to claim 4, wherein a voltage is applied to the powder by applying a voltage to the pair of conductive side plates.
焼結工程は、プレス治具を加熱することを特徴とする請求項1記載の放電表面処理用電極の製造方法。 The method for manufacturing an electrode for discharge surface treatment according to claim 1, wherein the sintering step heats a pressing jig. プレス治具は、絶縁性のダイと導電性を有する一対のパンチ棒とを備え、
焼結工程は、前記一対のプレス棒にパルス状の電圧を印加して粉末を通電加熱することを特徴とする請求項1記載の放電表面処理用電極の製造方法。
The pressing jig includes an insulating die and a pair of conductive punch bars,
2. The method of manufacturing an electrode for discharge surface treatment according to claim 1, wherein the sintering step includes applying a pulsed voltage to the pair of press rods to energize and heat the powder.
プレス治具は、電気的に絶縁された一対の導電性の側板を有するダイと絶縁性の一対のパンチ棒とを備え、
焼結工程は、前記一対の導電性の側板にパルス状の電圧を印加して粉末を通電加熱することを特徴とする請求項1記載の放電表面処理用電極の製造方法。
The pressing jig includes a die having a pair of electrically insulated side plates and a pair of insulating punch bars,
2. The method of manufacturing an electrode for discharge surface treatment according to claim 1, wherein the sintering step includes applying a pulse voltage to the pair of conductive side plates to heat the powder.
導電性を有する粉末が充填されたプレス治具に所定の押し込み距離まで荷重を加える加圧手段と、
前記粉末を加熱する焼結手段と、
前記粉末に電圧を印加して前記粉末に流れる電流値に基づいて前記加圧手段と前記焼結手段とを停止する停止制御手段と
を備えた放電表面処理用電極の製造装置。
A pressurizing means for applying a load to a predetermined pressing distance into a press jig filled with conductive powder;
Sintering means for heating the powder;
An apparatus for manufacturing an electrode for discharge surface treatment, comprising: a stop control unit that applies a voltage to the powder and stops the pressurizing unit and the sintering unit based on a current value flowing through the powder.
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