JP4442022B2 - シリコン単結晶引上用ルツボ - Google Patents
シリコン単結晶引上用ルツボ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4442022B2 JP4442022B2 JP2000357962A JP2000357962A JP4442022B2 JP 4442022 B2 JP4442022 B2 JP 4442022B2 JP 2000357962 A JP2000357962 A JP 2000357962A JP 2000357962 A JP2000357962 A JP 2000357962A JP 4442022 B2 JP4442022 B2 JP 4442022B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- single crystal
- silicon single
- carbon
- pulling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
【技術分野】
本発明は,例えばチョクラルスキー法によってシリコン単結晶を製造する際に用いられるシリコン結晶引き上げ用ルツボに関する。
【0002】
【従来技術】
従来,シリコン単結晶の作製にはチョクラルスキー法(以下,CZ法)が広く用いられている。
図7に,CZ法で使用するシリコン単結晶製造装置2が示されている。
シリコン単結晶製造装置2は,シリコン融液85が収納され,シリコン単結晶引上を行なうルツボ9と該ルツボ9を載置する受け皿21及び該受け皿21ごとルツボ9を回転させる回転装置210と,上記ルツボ9の周囲に配置されたシリコン材料溶融用ヒータ25とよりなる。また,上記ヒータ25はルツボ9に対し同心円状に配置される。
【0003】
上記シリコン単結晶製造装置2において,シリコン単結晶引上用ルツボ9は石英ルツボ15と該石英ルツボ15を外側から包み込むように構成された炭素ルツボ90よりなる。
【0004】
【解決しようとする課題】
上述したシリコン単結晶8製造の際,シリコン単結晶製造装置2において可能な限り同じ部品を繰り返し使うことがコストの点で重要である。
また,図7に示すごとく,石英ルツボ15はヒーター25が発する輻射熱により軟化するが,上記炭素ルツボ90が石英ルツボ15の形状を保持している。
石英ルツボ15の熱膨張係数が炭素ルツボ90の熱膨張係数よりも小さいため,装置冷却時に高温でいったん炭素ルツボ90に密着した石英ルツボ15は,冷却するにしたがって焼きばめ状態となり,炭素ルツボ90から強い力を受けて割れやひびが生じ,時には炭素ルツボ90に割れやひびが生じることもある。
【0005】
このため,シリコン単結晶引上法において,石英ルツボ15は使い捨てであり,シリコン単結晶引上後に石英ルツボ15は除去される。その後,新品の石英ルツボ15が炭素ルツボ90内に配置される。図8(a)に示すように,黒鉛と石英の反応により,炭素ルツボ90の底部の周囲98と石英ルツボ15との間は空洞99となって残る。
この状態でシリコン単結晶の引上げを行なった場合,熱で石英ルツボ15が軟化して図8(b)に示すごとく,周囲98の形状に合わせて落ち込んでしまう。
この落ち込みに伴って,石英ルツボ15中のシリコン融液85の液面が下がるため,引き上げ中のシリコン単結晶8の制御が不充分となり結晶格子に歪みが生じてしまう。
【0006】
本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので,コストが安価で,結晶格子に歪みが生じない正常なシリコン単結晶を容易に作製可能なシリコン単結晶引上用ルツボを提供しようとするものである。
【0007】
【課題の解決手段】
請求項1に記載の発明は,シリコン材料を収納する石英ルツボと,該石英ルツボを外側から包み込むよう構成された炭素ルツボとよりなるシリコン単結晶引上用ルツボであって,
上記炭素ルツボは上記石英ルツボの外側面に巻回された炭素繊維のみから構成されていることを特徴とするシリコン単結晶引上用ルツボにある。
【0008】
本発明において最も注目すべきことは,炭素ルツボを石英ルツボに対し巻回した黒煙繊維より構成したことにある。
【0009】
次に,本発明の作用効果につき説明する。
本発明にかかる炭素ルツボは炭素繊維が巻かれて構成されているので,炭素ルツボの可撓性は非常に高い。
そのため石英ルツボが膨張した際は,後述する図6に示すごとく,炭素繊維同士の間隔が広くなることで,石英ルツボの膨張の形状変化を吸収することができる。
さらに,その後石英ルツボが収縮した後は,炭素繊維同士の間隔が元どおりに狭まるくことで,石英ルツボの形状変化を吸収できる。
このため,炭素ルツボでのひびや割れは防止できる。
更に,本発明に続くルツボは炭素繊維を巻回だけで作製することができ,また,炭素繊維も安価であるため,コスト的にも安価である。
【0010】
また,本発明にかかるルツボは,コストが安価であるため,炭素ルツボごと石英ルツボをシリコン単結晶引上げ毎に交換することもできる。
従って,各シリコン単結晶引上げの作業において,正確に形状の等しい石英ルツボを使用できると共に,使用中のシリコン融液液面低下が生じないので,シリコン単結晶の結晶格子に歪み等は生じない。
【0011】
以上,本発明によれば,コストが安価で,結晶格子に歪みが生じない正常なシリコン単結晶を容易に作製可能なシリコン単結晶引上用ルツボを提供することができる。
【0012】
次に,請求項2に記載の発明のように,上記炭素繊維は,単繊維,または複数の繊維よりなるストランド,または可撓性のテープ材料であることが好ましい。
これにより,炭素ルツボの厚みを増すことなく,石英ルツボの変形をより小さく抑えることができる。
上記単繊維とは一本の繊維から構成された炭素繊維のことである。
また,複数の繊維よりなるストランドとは2本以上の繊維がよりあわされたりするなどして形成された縄状の炭素繊維のことである。
【0013】
次に,請求項3に記載の発明のように,上記炭素ルツボの厚みは5〜40mmであることが好ましい。
これにより,結晶品位を損なうことなくシリコン単結晶の引上げ操作を行なうルツボを得ることができる。
上記厚みが5mm未満である場合は,シリコン溶融時のルツボの変形が著しく,ヒータとの接触やシリコン結晶品位の低下が生じるおそれがある。厚みが40mmを越えた場合は,ヒータからシリコン融液への伝熱が悪くなり,シリコン結晶品位の低下が生じるおそれがある
【0014】
【発明の実施の形態】
実施形態例
本発明の実施形態例にかかるシリコン単結晶引上用ルツボにつき,図1〜図6を用いて説明する。
図1,図4に示すごとく,本例のシリコン単結晶引上用ルツボ1(以下ルツボ1と省略する)は,シリコン材料を収納する石英ルツボ15と,該石英ルツボ15を外側から包み込むよう構成された炭素ルツボ10とよりなる。
上記炭素ルツボ10は石英ルツボ15の外側面に炭素繊維100を巻回することにより構成されている。
【0015】
以下,詳細に説明する。
上記ルツボ1は,図4に示すごとき,回転体形状の石英ルツボ15と,該石英ルツボ15の外側に設けた炭素ルツボ10とよりなる。
上記石英ルツボ15は,図4より知れるごとく,開口部150,側面151,曲面部152,底部153よりなり,開口部150から側面151は径が一定の円筒形状で,曲面部152から底部153に向かっては徐々に径が小さくなり,底部153の最先端は丸みを帯びた突状で構成されている。
また,上記石英ルツボ15は回転体である。回転体の回転軸Oが石英ルツボ15の中心軸で,後述するシリコン単結晶引上げの際は回転軸Oを中心としてルツボ1は回転する。
【0016】
上記炭素ルツボ10は,図1〜図3に示すごとく,製紐機3を利用して石英ルツボ15の外面に直接炭素繊維100を巻回することで形成されている。巻回の状態を図2に示す。
図3に示すごとく,上記製紐機3は,いわゆる組み紐状に炭素繊維100を石英ルツボ15に巻きつけることが可能な機械で,これを利用して石英ルツボ15の開口部150から底部153に向かって炭素繊維100を巻きつけて,厚さ20mmの炭素ルツボ10を構成する。
【0017】
上記製紐機3は,石英ルツボ15を先端に固定するための架台31と,その内側面に炭素繊維100を保持した多数のボビン30が架台31の先端を中心とした放射状に配置された円筒台32とよりなる。
なお,符号33は製紐機3の制御装置である。
また,炭素繊維100は図2に示すような状態で巻回されており,緩むことがないようにテンションをかけて巻いてある。
また,本例で使用した炭素繊維100は,単繊維で例えば引張強さ20000kg/m2,かさ密度1.7というものである。
【0018】
次に,本例のルツボ1を用いるシリコン単結晶引上装置2について説明する。図5に示すごとく,ルツボ1を載置する架台210と,ルツボ1の周囲に配置されるヒータ25とよりなり,上記ヒータ25は回転体形状である石英ルツボ15の回転軸Oに対し対称となるよう配置されている。
対称に配置することで,ルツボ1内の温度を高く,かつ均一にすることで,ルツボ1内のシリコンの溶融を完全かつ十分なものすることができる。
【0019】
また,ヒータ25の発熱中心とルツボ1内のシリコン融液85の液面との関係が略一定となるようにヒータ25を配置する。具体的には,ヒータ25の発熱中心が常にシリコン融液85の液面より僅かに下方となるようにヒータ25を配置する。
また,上記ヒータ25はカーボンヒータよりなる。
【0020】
上記シリコン単結晶製造装置2を用いてシリコン単結晶を製造する際は,シリコンの融点である1410℃までルツボ1内を加熱し,シリコン材料を溶融,石英ルツボ15をシリコン融液85で満たす。そして,石英ルツボ15の回転軸上においてシリコンの種結晶80をゆっくりと引上げる。
シリコン融液85が殆どなくなるまでこの温度を持続して,上記要領でシリコン単結晶8の引上げを行う。その後,ヒーター25の加熱を停止し,装置を冷却し,一連の引上げ工程を終了する。
【0021】
上記引上げの工程の中で,最初は図6(a)に示すごとく,ルツボ1における炭素ルツボ10は隣接する各炭素繊維100が間隙なくつまった状態にある。
引上げ工程における加熱時,石英ルツボ15は膨張して,径が全体に大きくなる。そのため,図6(b)に示すごとく,隣接する各炭素繊維100の間隙が拡がって,このような状態になる。
【0022】
本例の作用効果について説明する。
本例にかかる炭素ルツボ10は炭素繊維100が巻かれて構成されているので,可撓性が非常に高い。そのため石英ルツボ15の膨張時は図6(a)のように炭素繊維100同士の間隔が広くなり,収縮した後は間隔が元どおりに狭まくなることで,石英ルツボ15の形状変化を吸収できる。このため,炭素ルツボ10でのひびや割れは防止できる。
更に,本例のルツボは炭素繊維100を巻回だけで作製することができる。
【0023】
また,上記ルツボ1は従来のものより安価であるため,炭素ルツボ10ごと石英ルツボ15をシリコン単結晶引上げ事に交換することもできる。従って,各シリコン単結晶8引上げの作業において,正確に形状の等しい新品の石英ルツボ15を使用できると共に,使用中のシリコン融液液面低下が生じないので,シリコン単結晶8の結晶格子に歪み等は生じない。
【0024】
以上,本例によれば,耐久性に優れ,炭素ルツボにひびや割れが生じることなく,コストが安価で,結晶格子に歪みが生じない正常なシリコン単結晶を容易に作製可能なシリコン単結晶引上用ルツボを提供することができる。
【0025】
なお,本例では炭素繊維として単繊維を用いたが,その他,例えば可撓性黒鉛シートを用いることもできる。例えば嵩密度1.0で引張強さ40kg/cm2,嵩密度1.5で引張強さ90kg/cm2等といった物性を持つシートを用いることができる。
【0026】
【発明の効果】
上述のごとく,本発明によれば,コストが安価で,結晶格子に歪みが生じない正常なシリコン単結晶を容易に作製可能なシリコン単結晶引上用ルツボを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態例における,シリコン単結晶引上用ルツボの斜視図。
【図2】実施形態例における,シリコン単結晶引上用ルツボの要部側面図。
【図3】実施形態例における,石英ルツボの外面に炭素繊維を巻回する製紐機の斜視図。
【図4】実施形態例における,シリコン単結晶引上用ルツボの断面説明図。
【図5】実施形態例における,シリコン単結晶引上装置の構造説明図。
【図6】実施形態例における,(a)通常時におけるシリコン単結晶引上用ルツボの要部断面説明図,(b)石英ルツボ膨張時におけるシリコン単結晶引上用ルツボの要部断面説明図。
【図7】従来にかかるシリコン単結晶引上装置の構造説明図。
【図8】従来にかかるルツボの問題を示す説明図。
【符号の説明】
1...シリコン単結晶引上用ルツボ,
10...炭素ルツボ,
100...炭素繊維,
15...石英ルツボ,
Claims (4)
- シリコン材料を収納する石英ルツボと,該石英ルツボを外側から包み込むよう構成された炭素ルツボとよりなるシリコン単結晶引上用ルツボであって,
上記炭素ルツボは上記石英ルツボの外側面に巻回された炭素繊維のみから構成されていることを特徴とするシリコン単結晶引上用ルツボ。 - 請求項1において,上記炭素繊維は,単繊維,または複数の繊維よりなるストランド,または可撓性のテープ材料であることを特徴とするシリコン単結晶引上用ルツボ。
- 請求項1又は2において,上記炭素ルツボの厚みは5〜40mmであることを特徴とするシリコン単結晶引上用ルツボ。
- 請求項1〜3のいずれか一項において、上記炭素ルツボは組紐状に炭素繊維が巻回されてなることを特徴とするシリコン単結晶引上用ルツボ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000357962A JP4442022B2 (ja) | 2000-11-24 | 2000-11-24 | シリコン単結晶引上用ルツボ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000357962A JP4442022B2 (ja) | 2000-11-24 | 2000-11-24 | シリコン単結晶引上用ルツボ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002160996A JP2002160996A (ja) | 2002-06-04 |
JP4442022B2 true JP4442022B2 (ja) | 2010-03-31 |
Family
ID=18829951
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000357962A Expired - Fee Related JP4442022B2 (ja) | 2000-11-24 | 2000-11-24 | シリコン単結晶引上用ルツボ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4442022B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009203091A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Ibiden Co Ltd | ルツボ保持部材 |
JP2009203093A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Ibiden Co Ltd | ルツボ保持部材 |
JP2009203092A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Ibiden Co Ltd | 容器保持部材 |
-
2000
- 2000-11-24 JP JP2000357962A patent/JP4442022B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002160996A (ja) | 2002-06-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4442022B2 (ja) | シリコン単結晶引上用ルツボ | |
KR101474043B1 (ko) | 실리콘 단결정 인상용 석영유리 도가니 및 그 제조방법 | |
JP2012254916A (ja) | 炭素繊維強化炭素複合円筒部材及び炭素繊維強化炭素複合円筒部材の製造方法、並びに炭素繊維強化炭素複合材ルツボ及びこのルツボの製造方法 | |
JP3760769B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP3598634B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP5630400B2 (ja) | 単結晶の製造装置及び製造方法 | |
JP3198914B2 (ja) | 単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ及びその製造方法 | |
JP4166316B2 (ja) | 単結晶製造装置 | |
JPH11255587A (ja) | 単結晶引き上げ用炭素繊維強化炭素材るつぼおよびその製造方法 | |
JPH06293588A (ja) | 半導体単結晶の製造方法 | |
JPH11116390A (ja) | Cz法シリコン単結晶引上炉及びそのヒータ | |
JPH06287098A (ja) | 単結晶引上げ用装置 | |
JP4874888B2 (ja) | シリコン単結晶引上用石英ガラスルツボおよびその製造方法 | |
JP3596435B2 (ja) | 石英ルツボの改質方法 | |
JP4198806B2 (ja) | シリコン単結晶引き上げ装置用の回転軸 | |
JP3573257B2 (ja) | 単結晶製造装置 | |
JP2000319089A (ja) | 単結晶半導体の製造装置における内槽ルツボの分離方法及びその分離部材 | |
JP2570348Y2 (ja) | 単結晶成長装置 | |
TW202421864A (zh) | 水冷裝置和單晶爐 | |
JPS5950627B2 (ja) | 単結晶シリコン引上装置 | |
JPS594108A (ja) | 部分的結晶化非晶質磁性薄帯の製法 | |
JP5776586B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JPH09227272A (ja) | 単結晶の引上げ方法及び装置 | |
JPH0873292A (ja) | 半導体単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ | |
JPH0353274B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071016 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090818 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091015 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091015 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091222 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4442022 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130122 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130122 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |