JP4435353B2

JP4435353B2 - Sputtering equipment

Info

Publication number: JP4435353B2
Application number: JP2000005744A
Authority: JP
Inventors: エドワードブチャナンケイス; リッチポール; ロバートバーゲススティーブン
Original assignee: アビザヨーロッパリミティド
Priority date: 1999-01-06
Filing date: 2000-01-06
Publication date: 2010-03-17
Anticipated expiration: 2020-01-06
Also published as: GB2346155A; US20020000374A1; KR20000053393A; US6660140B2; DE10000019A1; GB9930606D0; GB2346155B; JP2000232068A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作物上に材料を被着させるためのスパッタリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
材料を１つの標的からスパッタリングし、真空チャンバ内でイオン化しその後例えば半導体ウェハである工作物に対し電界を用いて引きつけさせることができるということは周知のことである。
【０００３】
スパッタリングされた材料をイオン化する１つの適切な手段は、無線周波数で駆動される液浸コイルを使用することにあり、かかる装置については、「内蔵高周波コイル型スパッタリング装置の基本的特性」、J.Vac, Sci. Technol.Ａ７（２），Mar/Apr １９８９、の中で記述されている。しかしながら、スパッタリングされた材料を充分に高い割合でイオン化するためには、比較的高い（〜４．０Ｐａ、即ち〜３０ｍＴ）チャンバ圧力が必要とされる。この圧力は、イオン化用ＲＦコイルの存在と組合わさって、例えば典型的に２０〜３０％の表面厚みの標準偏差といった受容できないほど高い被着不均等性を工作物全体に渡って作り出す。非常に不均等ではあるものの、基板上の被着は、半径方向の対称性を有するように、つまり中心が最も厚く縁部が最も薄くなるように工学処理され得る。かかる対称性は、スパッタリング材料の二次的供給源を基板のまわりに同心的に位置づけして付加することによって、かかる不均等性を補償する可能性を提供する。第２の供給源は好ましくは、基板縁部に材料を被着させ、例えば表面厚みの標準偏差＜８％といった受容可能な均等な全体的厚みプロフィールを提供することになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
２部分標的については、米国特許第４６０６８０６号に記述されており、これは、内側平面部分と円錐台形外側部分を含んでいる。欧州特許Ａ−０８０７９５４においては、補償標的は、イオン化コイル及び二次スパッタ供給源の両方として動作する標的材料のソレノイド環を含んで成る。この装置は、金属のグレードが約９９．９９９％の精製率でなくてはならないことから製造が非常に高くつきかつ消費されるにつれて頻繁に交換する必要があるという多大な欠点を有する。かかる材料の成形は非常に高くつき、これらを経済的な形で冷却することは極めて困難である。このことは、結果として生じる熱応力が剥離をもたらすことから、不利である。
【０００５】
かくして、欧州特許Ａ−０８０７９５４では、一次標的から二次標的／コイル上へのスパッタリングを防ぐため、遮蔽リンダが具備されている。多くのプロセスにとって、これは適切にうまく機能するが、好ましくは同じチャンバ内でＴｉとそれに続くＴｉＮから成る種々の層を半導体ウェハ上に被着させるための一般的プロセス必要条件に関して問題が生じる。ＴｉＮは、Ｔｉスパッタリングプロセス中に少量の窒素を流動させることによって被着させられる。こうして、チタン標的表面は窒化させられ、窒化チタンが基板表面上にスパッタリングされる。
【０００６】
ＴｉとＴｉＮは、非常に異なる熱膨張係数を有し、あらゆる熱循環が付加的な応力を作り出して特に未冷却標的コイルからの剥離の確率をさらに高くする。ＥＰ−Ａ−０８０７９４４の装置は、Ｔｉ及びＴｉＮプロセスの間に極度に長いエッチングプロセスを発生させない限り、この問題を充分に克服するものではない。
【０００７】
本発明は、これらの問題の少なくともいくつかを緩和することを目的とし、いくつかの実施形態は、全ての面で有意義な改善を提供している。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
１つの態様によると、本発明は、チャンバ、チャンバ内に露出された標的及びチャンバ内で標的とは反対側に位置設定された工作物サポートを内含する、工作物上に材料を被着させるためのスパッタリング装置において、この装置にはさらに、被着の均等性を高めるべく工作物の周囲上に再度スパッタリングするために、標的材料のコーティングを受けるための導電性非標的材料の工作物と該標的の間に配置された再スパッタリング表面、及びコーティングの再スパッタリングを可能にするため該表面を負にバイアスさせるための手段が含まれていることを特徴とするスパッタリング装置から成る。
【０００９】
好ましくは再スパッタリング表面は、一般にサポートの周辺に配置されており、この再スパッタリング表面又はその一部分はサポートに向かって傾斜させられていてよい。再スパッタリング表面はリングの形をしていてよく該リングは、台形の断面を有していてよい。表面は、ステンレス鋼又はその他の、真空環境内で使用可能で容易に成形され又は頑強である適切な材料でできていてよい。この装置は、さらに表面に対する標的材料の付着性を増強するため、再スパッタリング表面上に例えばモリブデンのコーティングといった付着性増強用コーティングをさらに含んでいてよい。
【００１０】
チャンバ内には、標的と再スパッタリング表面の間にＲＦコイルが配置されていてよい。この場合、ＲＦコイルは好ましくは非標的材料で形成され、非標的材料のスパッタリングを防ぐため標的材料のコーティングを受けるための外側表面又は複数の表面を有する。適切には、再スパッタリング表面は、標的に対して影になっているコイルの部分上に材料をスパッタリングできるようにコイルとサポートの間に位置設定される。
【００１１】
コイル及び／又はスパッタリング表面は、中に液体冷却材のための通路を構成するため中空であってよく、コイルは、ステンレス鋼又はその他の適切な材料で作られていてよい。
これらのケースのいずれにおいても、再スパッタリング表面及び／又はコイル上のコーティングの少なくとも一部分は、装置の前処理作業中、すなわちサポート上への工作物の位置づけに先立って行なわれる作業の間に標的からスパッタリングすることによって形成され得る。
【００１２】
一般的な実践方法であるように、工作物上への被着に先立って、これは、好ましくは標的の予備スパッタリングと同時に行なうことができる。スパッタ材料が工作物サポート上に被着するのを防ぐため、一般にシャッタが利用される。
【００１３】
この装置は、その後に続くプロセスのため標的材料で再スパッタリング表面及び／又はコイルをコーティングするための工作物が存在しない第１の前処理モード及び、標的材料が同じく工作物上に被着される第２の被着モードで装置を作動させるための制御手段を内含していて良い。この制御手段は、全ての特定の選択された第２のモードでの作動のために、第１のモードについて必要な条件を計算するためのコンピュータプログラムを内含することができる。
【００１４】
さらなる態様によると、本発明は、チャンバ、チャンバ内に配置された標的、チャンバ内で標的と反対側に位置設定された工作物サポート、及びチャンバ内で標的とサポートの間に配置されたＲＦコイルを内含する、工作物を処理するためのスパッタリング装置において、コイルが非標的材料で作られており、工作物の処理以前及び／又はその間、標的材料のコーティングを支持するか又は具備していること、及び、最初に言及した標的との関係において影になっているコイルの部分上に材料をスパッタリングするため、コイルとサポートの間にさらなる標的が位置設定されていることを特徴とするスパッタリング装置から成っていてよい。
【００１５】
さらなる標的は環状であってよく、又一般に台形の断面を有していてよい。コイル及び／又はさらなる標的は、中に液体冷却材のための通路を構成するべく中空であってよく、それらの各々又はいずれかはステンレス鋼でできていてよい。コイル上のコーティングは少なくとも部分的に、装置の前処理作業中に標的から、又はさらなる標的が非標的材料でできている場合にはまず第１に最初の標的からスパッタリングすることによって形成することができる。
【００１６】
コイルは、好ましくは、その直流電位を最小限におさえ、かくしてその正味のスパッタリングを最小限にし、かくしてそれが工作物処理全体を通して標的材料でコーティングされた状態に確実にとどまることになるような周波数、電力及びモードで作動させられる。これは、正味の接地電位で、セグメント化された状態で、又はその他の方法で、プロセスと矛盾しない程度に低い負の直流バイアスで作動させることができる。
【００１７】
さらにもう１つの態様によると、本発明は、チャンバ及びチャンバ内に配置された標的を内含する、工作物上に材料を被着させるためのスパッタリング装置において、この装置にはさらに、再スパッタリングするために、標的材料のコーティングを受けるための導電性非標的材料の再スパッタリング用表面、及び、コーティングが表面上に形成されかつ同様に工作物上へのスパッタ被着の間に実質的に再スパッタリング表面全ての上に標的材料のコーティングがつねに存在するような形で再スパッタリングされるように、表面のバイアスを制御するための手段が含まれていることを特徴とする装置から成る。
【００１８】
本発明は更に、非標的材料が処理作業中にスパッタリングされないように及び／又は被着の均等性が増強されるように、非標的材料から作られている装置の予備コーティング要素を内含するスパッタリング装置の作動方法にも関する。本発明は更に、以上に記したその他の段階も内含しうる。
本発明について以上で定義したが、本発明は、以上で述べた又は以下に記載される特徴の発明的な全ての組合せを含むことを理解すべきである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明は、種々の方法で実行でき、次に一例として、添付図面を参照しながら、１つの特定の実施形態について記述する。
【００２０】
全体として１０で表されているスパッタリング装置が、図１に概略的に示されている。この装置は、ポンプ（図示せず）に連結されている排出用出口１２をもつ真空チャンバ１１を内含している。チャンバ１１の上端部は、実質的に、高度に精製された標的材料で作られた標的１３により形成され、その上には標的１３の均等な消耗を高めるため当該技術分野において周知である通りに構成され作動させられるマグネトロンアセンブリ１４が載っている。工作物つまりウェハのサポート１５が、標的１３の反対側に工作物を支持するように位置設定され、ＲＦ電源１７によりバイアスされうる。
【００２１】
チャンバ１１内部でサポート１５と標的１３の間には、標的１３からスパッタリングされた材料をイオン化しかくしてそれが好ましくはサポート１５上の負のバイアスによりウェハ１６に向かって導かれ得るようにするため、コイル１８が配置されている。コイル１８は、ＲＦ電源１９により給電を受け、標的１３は、直流電源２０により負に直流バイアスされる。標的１３から材料をスパッタリングするイオン及び例えば反応性スパッタリングの場合のように何らかのさらなる反応を作り出すガスの導入を可能にするため、ガス入口２１が具備されている。
【００２２】
ここまで、装置は基本的に従来通りであり、その動作は、当該技術分野の範囲内で充分理解される。手順は、John Wyllie and Sonsにより出版された Brian Chapmanによる「グロー放電プロセス」の第６章において特によく記述されており、この章の関連するセクションは本書に参考として内含されている。
しかしながら、以上で説明してきた通り、標的材料からコイルを形成すること及び均等な被着を達成することに関し問題が存在する。これらの問題は、以下の特徴によって現出願の中で対処されている：
【００２３】
１．コイル１８は、矢印Ａで示されているようにコイルの中を通過させることのできる液体冷却材（例えば水）のための通路を構成するような形で、ステンレス鋼管で形成される。
【００２４】
２．コイル１８は、構築に先立って標的材料で予備コーティングしてもよいが、より一般的には、前処理動作で装置１１を作動させることによって、標的材料で少なくとも部分的にコーティングされる。この前処理動作は、どの様な場合でも、この様な装置の標準的な動作の一部分である。いずれの場合でも、コーティングは、ステンレス鋼管のスパッタリングに対して保護し、工作物の処理中にコイルから再スパッタリングされるあらゆる材料が確実に標的材料であるようにする。標的材料のさらなる被着は、工作物処理段階中に起こることになる。
【００２５】
３．二次的標的つまり再スパッタリング表面を、サポートとコイル１８の間及びサポート１５の周辺に配置されるリング２２によって形成することが可能である。このリング２２は、標的１３との関係において影になっているコイルの部分上に標的材料を再スパッタリングすることができる。
【００２６】
４．リング２２は、好ましくは標的材料で形成されているが、それ自体ステンレス鋼で形成し、前処理作業中及び工作物処理中の両方において、標的から再スパッタリングのための標的材料コーティングを獲得することもできる。この場合、リングは、中空で冷却されていてよく、これによっても又ステンレス鋼は保護され得る。
【００２７】
５．標的リング２２は、優先的にウェハ１６の縁部に向かって材料をスパッタリングしかくして均等性を高めるべく位置づけされ形作られる。それが確実に標的材料でコーティングされた状態にとどまるようにするため、その負のバイアス（直流又はＲＦ電源２３）は、中央制御装置２５によって入念に制御される。標的リング２２には、ウェハ１６の縁部上への優先的スパッタリングを増強するため傾斜した表面２４ａが具備されていてよく、このリングは、コイル１８の外側部分に達するための面２４ｂをさらに内含していてよい。
【００２８】
６．コイル１８及び／又はリング２２は、標的材料の付着性を高めるためモリブデンといった材料で予備コーティングされていてよく、さらには標的材料のプリコートを有していてもよい。
【００２９】
これらの特徴の組合せは、均質性の問題に対処すると同時に、比較的廉価で冷却可能な液浸コイルの使用をも可能にするということがわかるだろう。環状の標的は、均等性の補償を提供し、これらの特徴のいずれかを独立して利用することが可能である。コイルが標的リングから別個に使用される場合には、ステンレス鋼がイオン化に対し露出される可能性を克服するべく、ダークスペース遮蔽を利用することができる。
【００３０】
標的リング２２の形状、場所及びサイズは、いずれかの特定のチャンバ又は工作物の幾何形状及びさらには実行されるべきプロセスに従って変動しうるということがわかるだろう。一般に、リングのサイズは、主標的１３より大きくなく、この標的の反対側に位置設定されることになる。内側の傾斜表面２４ａは一般に、基板表面に対して鈍角を成すことになる。電源２３及び１７は、単一電源によって形成されうる。
【００３１】
装置の動作は、適切な制御によって大幅に強化することが可能で、電源、バルブ及びポンプは中央制御装置２５にリード線２６によって接続されていることが観察されるだろう。制御装置２５は好ましくは、前処理及び被着段階中に被着されるべき厚み及び必要とされる動作順序を計算するべく予備プログラミングされうるコンピュータを内含している。
【００３２】
図１に示す装置は、チタン用イオン化スパッタリングのために利用されてきた。各ケースにおいて、標的は直流３kwで、イオン化コイルはＲＦ１．５kwで作動され、４．０Ｐａ（３０ｍＴ）の圧力でアルゴンが供給された。第１の例では、ウェハ及びリング２２は、共用電源により−５０Ｖの比較的低い値まで直流バイアスされ、これにより３０％というフィルム厚みの標準偏差（不均等性）をもたらした。この多少の差こそあれ典型的な結果は、バイアス電圧が、その特定の標的材料について再スパッタリングが起こるためのしきい値近くまたはそれより低いものであり、従って均等性の改善は見られない、ということを表わしている。これらの結果は図２に例示されている。図３では、ウェハ及びリング上の直流バイアスは−３５０Ｖでありかくしてリングからの再スパッタリングを著しく増大させ、不均等性は７．６％まで低減した。測定は、抵抗率マッピングを用いたものであり、等抵抗率ラインが「輪郭」マップとして示されている。
【００３３】
この実験はかくして、イオン化されたスパッタリング装置内の被着の均等性を改善するための再スパッタリングの使用を立証した。
さらなる実験も行なわれ、例としては、以下の結果が達成された。
【００３４】

【００３５】
絶対値では、被着された材料の厚みの増加が、ホールのベースにおいてもフィールド内でもほぼ同じであることがわかるだろう。このことは驚くべきことに、再スパッタリングされた材料が高度にイオン化されていることを示唆している。
さらなる実験は、内側斜面２４ａの角度が好ましくは５０°の領域内にあることを示唆し、５３°という角度が特に適していることが証明された。実際には、２ＭHzが単巻コイルのための適切な駆動周波数であることが証明された。
【００３６】
ＴｉＮをスパッタリングする場合、ウェハは典型的に、−３０〜４０Ｖの直流にバイアスされ、再スパッタリングは、ウェハフィールド全体に渡って受容可能な均等性を提供するよう直流１０００Ｖで駆動された。高い直流電圧は、ＲＦコイルによりクランプされている電流に起因し、従って、ＴｉＮといったさらに低い収量の材料についてはパルス直流又はＲＦ電源を使用することが望ましいかもしれない。このような手段により、電圧を再スパッタリングのリング上で減少させることが可能である。高圧は、真空フィードスルー及び遮蔽及びチャンバ部分に対するアークの発生についての問題をもたらす。
【００３７】
コイル及びさらなる標的の有効なプリスパッタコーティングを可能にする最適化されたプロセス順序は、ＤＲＡＭ相互接続ライナーのためには以下のとおりである。
【００３８】
１．ウェハサポート１５をシャッタでカバーし、チタン１３に例えば１．６Ｐａ（１２ｍＴ）で３０秒間直流１５０００Ｗを給電する。この段階は、全てのスパッタリングシステムにおいて、そして以前にスパッタリングされた材料が窒化チタンであってしかも標的表面が窒素で汚染されることになるために特にこのプロセスフローにおいては、ウェハ上へのチタンのスパッタリングに先立って行なわれる。このシステムでは、この標的清浄段階は同様にイオン化コイル及び第２の標的２２の再スパッタリング表面上に新鮮な材料を「貼りつける」。
【００３９】
２．ウェハを投入し、シャッタを開く。
３．典型的に２０ｎｍの厚さを有するチタンをスパッタリングする。
プロセス：
直流７５０Ｗを標的マグネトロン１４に印加。
直流２５０Ｗを再スパッタリング用第２の標的２２に印加。
直流接地電位イオン化コイル１８に対し２ＭHzのＲＦ電力１０００Ｗを印加。
６０秒間、４．７Ｐａ（３５ｍＴ）で１３．５６mhz のＲＦ電力により、ウェハに−３５Ｖ直流をバイアス。
この段階中、第２の標的２２から旧標的材料のみが再スパッタリングされる。
【００４０】
４．典型的に４０ｎｍの厚さを有する窒化チタンをスパッタリングする。
プロセス：
４，０００Ｗの直流電力を標的マグネトロン１４に印加。
直流２，２００Ｗを再スパッタリング表面標的２２に印加。
直流接地電位イオン化コイル１８に対し３０００Ｗの２ＭHzＲＦ電力を印加。
７０秒間、３．３Ｐａ（２５ｍＴ）で１３．５６mhz のＲＦ電力により、−３５Ｖがウェハに直流バイアス。
この段階中、再スパッタリングされた材料は消費され、再スパッタリング用標的２２の一部も同様に消費され、かくしてこの実験には、再スパッタリング用標的２２が基本的に標的材料と同一の材料の表面を有することが必要とされる。
【００４１】
ＲＦイオン化コイルは直流接地され従ってかなりのスパッタリング力（イオンボンバードメント）を受けていないこと、さらに標的によってその上に被着されず、その結果ＰＲイオン化コイルに対して標的材料の被着が無いので、ＲＦイオン化コイルはスパッタしない。
２５枚のウェハのバッチについての結果は以下の結果を生み出した。
【００４２】

【図面の簡単な説明】
【図１】スパッタリング装置の概略図である。
【図２】１つの条件下でのスパッタリング装置の作動中の均等性レベルを示すチャート及び表である。
【図３】好ましい１セットの条件についての図２と同じ表及びダイアグラムである。
【符号の説明】
１０…スパッタリング装置
１１…真空チャンバ
１２…排出用出口
１３…標的
１４…マグネトロンアセンブリ
１５…サポート
１６…ウェハ
１７…ＲＦ電源
１８…コイル
１９…ＲＦ電源
２０…直流電源
２１…入口
２２…リング
２３…直流又はＲＦ電源
２４…表面
２５…中央制御装置
２６…リード線[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a sputtering apparatus for depositing material on a workpiece.
[0002]
[Prior art]
It is well known that material can be sputtered from one target, ionized in a vacuum chamber, and then attracted to a workpiece, for example a semiconductor wafer, using an electric field.
[0003]
One suitable means of ionizing the sputtered material is to use an immersion coil driven at radio frequency, which is described in "Basic Characteristics of Built-in High Frequency Coil Sputtering Apparatus", J. Vac, Sci. Technol. A7 (2), Mar / Apr 1989. However, a relatively high (˜4.0 Pa, ie ˜30 mT) chamber pressure is required to ionize the sputtered material at a sufficiently high rate. This pressure, combined with the presence of the ionizing RF coil, creates an unacceptably high deposition non-uniformity across the workpiece, such as a standard deviation of surface thickness of typically 20-30%. Although very uneven, the deposition on the substrate can be engineered to have radial symmetry, i.e., with the thickest center and the thinnest edge. Such symmetry offers the possibility of compensating for such non-uniformities by adding a secondary source of sputtering material concentrically positioned around the substrate. The second source will preferably deposit material on the substrate edge to provide an acceptable uniform overall thickness profile, eg, a standard deviation of the surface thickness <8%.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
A two-part target is described in US Pat. No. 4,606,806, which includes an inner planar portion and a frustoconical outer portion. In European Patent A-0807954, the compensation target comprises a solenoid ring of target material that operates as both an ionization coil and a secondary sputter source. This equipment has the great disadvantage that the metal grade must be at a purification rate of about 99.999%, so that production is very expensive and needs to be replaced frequently as it is consumed. The molding of such materials is very expensive and it is extremely difficult to cool them in an economical manner. This is disadvantageous because the resulting thermal stress results in delamination.
[0005]
Thus, in European Patent A-0807954, a shielding Linder is provided to prevent sputtering from the primary target onto the secondary target / coil. For many processes this works reasonably well, but creates problems with the general process requirements for depositing various layers of Ti and subsequent TiN, preferably on the semiconductor wafer, in the same chamber. TiN is deposited by flowing a small amount of nitrogen during the Ti sputtering process. Thus, the titanium target surface is nitrided and titanium nitride is sputtered onto the substrate surface.
[0006]
Ti and TiN have very different coefficients of thermal expansion, and any thermal cycling creates additional stresses, particularly increasing the probability of delamination from the uncooled target coil. The apparatus of EP-A-0807944 does not fully overcome this problem unless an extremely long etching process occurs between the Ti and TiN processes.
[0007]
The present invention aims to alleviate at least some of these problems, and some embodiments provide significant improvements in all aspects.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
According to one aspect, the present invention deposits material on a workpiece, including a chamber, a target exposed in the chamber, and a workpiece support positioned opposite the target in the chamber. The apparatus further includes a conductive non-target material workpiece for receiving a coating of the target material for re-sputtering on the periphery of the workpiece to increase deposition uniformity and the workpiece. A sputtering apparatus characterized in that it includes a resputtering surface disposed between the targets and means for negatively biasing the surface to allow resputtering of the coating.
[0009]
Preferably, the resputtering surface is generally located at the periphery of the support, and the resputtering surface or a portion thereof may be inclined toward the support. The resputtering surface may be in the form of a ring, and the ring may have a trapezoidal cross section. The surface may be made of stainless steel or other suitable material that can be used in a vacuum environment and is easily shaped or robust. The apparatus may further include an adhesion enhancing coating, such as a molybdenum coating, on the resputtered surface to further enhance the adhesion of the target material to the surface.
[0010]
Within the chamber, an RF coil may be disposed between the target and the resputtering surface. In this case, the RF coil is preferably formed of a non-target material and has an outer surface or surfaces for receiving a coating of the target material to prevent sputtering of the non-target material. Suitably, the resputtering surface is positioned between the coil and the support so that material can be sputtered onto the portion of the coil that is shaded against the target.
[0011]
The coil and / or sputtering surface may be hollow to provide a passage for the liquid coolant therein, and the coil may be made of stainless steel or other suitable material.
In any of these cases, at least a portion of the resputtering surface and / or coating on the coil may be removed from the target during the pre-processing operation of the apparatus, i.e., during the work performed prior to positioning the workpiece on the support. It can be formed by sputtering.
[0012]
As is common practice, prior to deposition on the workpiece, this can preferably be done simultaneously with the pre-sputtering of the target. A shutter is generally used to prevent sputter material from depositing on the workpiece support.
[0013]
The apparatus includes a first pretreatment mode in which there is no workpiece for coating a resputtering surface and / or coil with a target material for subsequent processing, and the target material is also deposited on the workpiece. Control means for operating the device in the second deposition mode may be included. The control means may include a computer program for calculating the necessary conditions for the first mode for operation in all specific selected second modes.
[0014]
According to a further aspect, the present invention provides a chamber, a target disposed within the chamber, a workpiece support positioned opposite the target within the chamber, and an RF coil disposed between the target and support within the chamber. In a sputtering apparatus for processing a workpiece, wherein the coil is made of a non-target material and supports or has a coating of the target material before and / or during the processing of the workpiece And a further target is positioned between the coil and the support for sputtering material onto the portion of the coil that is shaded in relation to the first mentioned target. It may consist of
[0015]
The further target may be annular and may generally have a trapezoidal cross section. The coil and / or further target may be hollow to provide a passage for the liquid coolant therein, each or any of them may be made of stainless steel. The coating on the coil may be formed, at least in part, by sputtering from the target during the pre-processing operation of the device or first from the first target if the further target is made of non-target material. it can.
[0016]
The coil preferably has a frequency that minimizes its DC potential and thus minimizes its net sputtering, thus ensuring that it remains coated with the target material throughout the workpiece processing. Operated in power and mode. This can be operated at a net ground potential, in a segmented state, or otherwise, with a negative DC bias as low as not inconsistent with the process.
[0017]
According to yet another aspect, the present invention provides a sputtering apparatus for depositing material on a workpiece, including a chamber and a target disposed within the chamber, wherein the apparatus further resputters. In order to receive a coating of a target material, a resputtering surface of a conductive non-target material, and a coating is formed on the surface and also substantially resputtered during sputter deposition on the workpiece It comprises an apparatus characterized by means for controlling the bias of the surface so that it is resputtered in such a way that there is always a coating of the target material on all the surfaces.
[0018]
The present invention further includes sputtering that includes a pre-coating element of the device made from non-target material so that non-target material is not sputtered during processing operations and / or deposition uniformity is enhanced. It also relates to the method of operation of the device. The present invention may further include other steps as described above.
Although the invention has been defined above, it should be understood that the invention includes all inventive combinations of the features described above or described below.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention may be implemented in various ways and will now be described, by way of example, with respect to one particular embodiment with reference to the accompanying drawings.
[0020]
A sputtering apparatus, indicated generally at 10, is schematically shown in FIG. The apparatus includes a vacuum chamber 11 having a discharge outlet 12 connected to a pump (not shown). The upper end of the chamber 11 is substantially formed by a target 13 made of highly purified target material, on which as is well known in the art to increase the even consumption of the target 13. There is a magnetron assembly 14 to be constructed and operated. A workpiece or wafer support 15 can be positioned to support the workpiece on the opposite side of the target 13 and biased by the RF power source 17.
[0021]
Between the support 15 and the target 13 inside the chamber 11, the material sputtered from the target 13 is ionized, so that it can be guided towards the wafer 16, preferably by a negative bias on the support 15, A coil 18 is arranged. The coil 18 is fed by the RF power source 19 and the target 13 is negatively DC biased by the DC power source 20. A gas inlet 21 is provided to allow for the introduction of ions that sputter material from the target 13 and a gas that creates some further reaction as in, for example, reactive sputtering.
[0022]
Up to now, the apparatus is basically conventional and its operation is well understood within the scope of the art. The procedure is particularly well described in Chapter 6 of the “Glow Discharge Process” by Brian Chapman published by John Wyllie and Sons, and the relevant sections of this chapter are incorporated herein by reference.
However, as explained above, there are problems associated with forming coils from target materials and achieving uniform deposition. These issues are addressed in the current application by the following features:
[0023]
1. The coil 18 is formed of a stainless steel tube in such a way as to form a passage for a liquid coolant (eg water) that can be passed through the coil as indicated by arrow A.
[0024]
2. The coil 18 may be pre-coated with the target material prior to construction, but more generally is at least partially coated with the target material by actuating the device 11 in a pre-treatment operation. This pre-processing operation is in any case part of the standard operation of such a device. In either case, the coating protects against sputtering of the stainless steel tube and ensures that any material resputtered from the coil during workpiece processing is the target material. Further deposition of the target material will occur during the workpiece processing stage.
[0025]
3. A secondary target or resputtering surface can be formed by a ring 22 disposed between the support and the coil 18 and around the support 15. This ring 22 can resputter the target material onto the portion of the coil that is shaded in relation to the target 13.
[0026]
4). Ring 22 is preferably formed of a target material, but is itself formed of stainless steel to obtain a target material coating for resputtering from the target both during pre-processing operations and workpiece processing. You can also. In this case, the ring can be hollow and cooled, which can also protect the stainless steel.
[0027]
5). The target ring 22 is positioned and shaped to preferentially sputter material towards the edge of the wafer 16 thus increasing uniformity. Its negative bias (DC or RF power supply 23) is carefully controlled by the central controller 25 to ensure that it remains coated with the target material. The target ring 22 may be provided with a sloped surface 24a to enhance preferential sputtering onto the edge of the wafer 16, which ring further includes a surface 24b for reaching the outer portion of the coil 18. May be included.
[0028]
6). The coil 18 and / or ring 22 may be pre-coated with a material such as molybdenum to enhance the adhesion of the target material, and may further have a pre-coat of the target material.
[0029]
It will be appreciated that the combination of these features addresses the issue of homogeneity while at the same time allowing the use of a relatively inexpensive and coolable immersion coil. An annular target provides uniformity compensation and any of these features can be utilized independently. If the coil is used separately from the target ring, dark space shielding can be utilized to overcome the potential for stainless steel to be exposed to ionization.
[0030]
It will be appreciated that the shape, location and size of the target ring 22 may vary according to any particular chamber or workpiece geometry and even the process to be performed. In general, the size of the ring will not be larger than the main target 13 and will be located on the opposite side of this target. The inner inclined surface 24a will generally form an obtuse angle with respect to the substrate surface. The

power sources

23 and 17 can be formed by a single power source.
[0031]
It will be observed that the operation of the device can be greatly enhanced by appropriate control and that the power supply, valves and pumps are connected to the central controller 25 by leads 26. The controller 25 preferably includes a computer that can be preprogrammed to calculate the thickness to be applied and the required sequence of operations during the preprocessing and application steps.
[0032]
The apparatus shown in FIG. 1 has been used for ionized sputtering for titanium. In each case, the target was operated at 3 kW DC, the ionization coil was operated at 1.5 kW RF, and argon was supplied at a pressure of 4.0 Pa (30 mT). In the first example, the wafer and ring 22 were DC biased to a relatively low value of −50 V by a shared power supply, which resulted in a standard deviation (non-uniformity) in film thickness of 30%. A typical result to some extent this difference is that the bias voltage is near or below the threshold for resputtering for that particular target material, so no improvement in uniformity is seen, It expresses that. These results are illustrated in FIG. In FIG. 3, the DC bias on the wafer and ring was -350V, thus significantly increasing the resputtering from the ring and reducing the non-uniformity to 7.6%. The measurements were made using resistivity mapping, and the resistivity lines are shown as “contour” maps.
[0033]
This experiment thus demonstrated the use of resputtering to improve deposition uniformity within an ionized sputtering apparatus.
Further experiments were also carried out and, for example, the following results were achieved:
[0034]

[0035]
In absolute terms, it can be seen that the increase in thickness of the deposited material is approximately the same at the base of the hole and in the field. This surprisingly suggests that the resputtered material is highly ionized.
Further experiments have suggested that the angle of the inner bevel 24a is preferably in the region of 50 °, and an angle of 53 ° has proven particularly suitable. In practice, 2 MHz has proven to be a suitable drive frequency for a single turn coil.
[0036]
When sputtering TiN, the wafer was typically biased to a direct current of -30 to 40V and the resputtering was driven at 1000V direct current to provide acceptable uniformity across the wafer field. The high DC voltage is due to the current being clamped by the RF coil, so it may be desirable to use a pulsed DC or RF power supply for lower yield materials such as TiN. By such means it is possible to reduce the voltage on the resputtering ring. The high pressure causes problems with vacuum feedthrough and shielding and the generation of arcs on the chamber parts.
[0037]
The optimized process sequence that allows for effective pre-sputter coating of the coil and further target is as follows for the DRAM interconnect liner.
[0038]
1. The wafer support 15 is covered with a shutter, and direct current 15000 W is supplied to the titanium 13 at 1.6 Pa (12 mT) for 30 seconds. This step is important in all sputtering systems and especially in this process flow because the previously sputtered material is titanium nitride and the target surface is contaminated with nitrogen. Prior to sputtering. In this system, this target cleaning step also “sticks” fresh material onto the ionization coil and the resputtering surface of the second target 22.
[0039]
2. Insert the wafer and open the shutter.
3. Sputter titanium typically having a thickness of 20 nm.
process:
DC 750 W is applied to the target magnetron 14.
DC 250 W is applied to the second target 22 for resputtering.
An RF power of 1000 W at 2 MHz is applied to the DC ground potential ionization coil 18.
Bias -35V DC to wafer with RF power of 13.56mhz at 4.7Pa (35mT) for 60 seconds.
During this phase, only the old target material is resputtered from the second target 22.
[0040]
4). Sputtering is typically titanium nitride having a thickness of 40 nm.
process:
A DC power of 4,000 W is applied to the target magnetron 14.
DC 2,200 W is applied to the resputtering surface target 22.
3000 W of 2 MHz RF power is applied to the DC ground potential ionization coil 18.
-35 V is DC biased to the wafer by RF power of 13.56 mhz at 3.3 Pa (25 mT) for 70 seconds.
During this stage, the resputtered material is consumed and a portion of the resputtering target 22 is consumed as well, so that for this experiment, the resputtering target 22 is essentially the same surface as the target material. It is required to have
[0041]
Because the RF ionization coil is DC grounded and therefore not subject to significant sputtering forces (ion bombardment) and is not deposited on it by the target, so there is no deposition of target material on the PR ionization coil The RF ionization coil is not sputtered.
The results for a batch of 25 wafers produced the following results:
[0042]

[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view of a sputtering apparatus.
FIG. 2 is a chart and table showing uniformity levels during operation of the sputtering apparatus under one condition.
FIG. 3 is the same table and diagram as in FIG. 2 for a preferred set of conditions.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Sputtering apparatus 11 ... Vacuum chamber 12 ... Outlet 13 for discharge ... Target 14 ... Magnetron assembly 15 ... Support 16 ... Wafer 17 ... RF power source 18 ... Coil 19 ... RF power source 20 ... DC power source 21 ... Inlet 22 ... Ring 23 ... DC Or RF power source 24 ... surface 25 ... central control unit 26 ... lead wire

Claims

A sputtering apparatus for depositing material on a workpiece comprising a chamber, a target disposed in the chamber and a workpiece support positioned opposite the target in the chamber. Further comprising a resputtering surface for having a coating of the target material and / or for receiving the coating of the target material for resputtering on the periphery of the workpiece to increase the uniformity of the deposition , means for biasing said re sputtering surface negatively to permit re-sputtering surface disposed between the workpiece support and the target, the re-sputtering of the co computing, and, between the target and the re-sputtering surface A sputtering apparatus comprising: an RF coil disposed on the substrate.

The apparatus of claim 1, wherein the resputtering surface is generally disposed around the support.

The apparatus of claim 1 or 2, wherein the resputtering surface or a portion thereof is inclined toward the support.

The apparatus according to claim 1, wherein the resputtering surface is formed on a ring.

The apparatus of claim 4 wherein the ring has a generally trapezoidal cross section.

6. A device according to any one of the preceding claims, wherein the surface is formed with a coating of the target material or has at least the target material .

The apparatus according to claim 1, wherein the surface is made of stainless steel.

The apparatus of any one of the preceding claims, further comprising an adhesion enhancing coating on the resputtered surface to enhance adhesion of the target coating material to the surface.

9. Apparatus according to any one of the preceding claims, further comprising means for DC biasing the resputtering surface.

The RF coil is formed by non-target material has an outer surface or surfaces for receiving a coating of the target material to prevent the sputtering of non-target material, according to claim 1.

The apparatus of claim 10 , wherein the resputtering surface is positioned between the workpiece support and the RF coil to sputter material onto a portion of the RF coil that is shaded with respect to a target. .

The RF coil and / or the re-sputtering surface, a hollow to constitute a passage for the liquid coolant therein, according to any one of claims 1 to 11.

The RF coil is made of stainless steel, according to any one of claims 1 to 12.

Wherein for coating a re sputtering surface and / or the RF coil in the target material, the first pre-processing mode the workpiece is not present and, second adherend which the target material is deposited on the workpiece to entailment control means for operating the device in the mode a device according to any one of claims 1 to 13.

15. The apparatus of claim 14, wherein the control means includes a computer programmed to calculate the conditions necessary to ensure that a target material is present on the coil and the resputtering surface.

A workpiece comprising a chamber, a target disposed within the chamber, a workpiece support positioned within the chamber opposite the target, and an RF coil disposed between the target and the support within the chamber In a sputtering apparatus for processing objects, the coil is made of a non-target material and supports or has a coating of the target material before processing the workpiece, and first mentioned Sputtering apparatus, wherein a further target is positioned between the coil and the support to sputter material onto a portion of the coil that is shaded in relation to the target.

The apparatus of claim 16 , wherein the additional target is annular.

18. A device according to claim 16 or 17 , wherein the further target has a generally trapezoidal cross section.

19. A device according to any one of claims 16 to 18 , wherein the coil and / or the further target is hollow to constitute a liquid coolant passage therein.

20. Apparatus according to any one of claims 16 to 19 , wherein the coil and / or the further target is made of stainless steel.

Coating on said coil so as to be formed by being sputtered at least in part on the target pretreated working of the apparatus, further comprising a control means for operating the apparatus, according to claim 16 to 20 The apparatus of any one of these.