JP4434063B2 - 光学式検出装置 - Google Patents

Description

本発明は、検出通路に照射された光を受光することにより、被検出対象物が検出通路を通過したか否かを検出する光学式検出装置に関する。

従来、生産工場等において、小型の部品（たとえば、ＬＥＤチップに代表される半導体チップ、抵抗、コンデンサ等の電子部品）の数を数える装置として、光学式検出装置が利用されている。この光学式検出装置は、４つの壁面にて規定される通路に被検出対象物である小型部品が通過する透明のパイプを挿通配置し、一の壁面から照射された光を対向する壁面にて検出することにより、パイプ中を通過する小型部品の数を数えるように構成されたものである。

この種の光学式検出装置が開示された文献として、実開昭６１−１７４６８４号公報（特許文献１）がある。この特許文献１に開示された光学式検出装置にあっては、透明パイプが挿通配置される検出通路を規定する一の壁面に発光素子を直線方向に複数個連設するとともに、この一の壁面に対向する壁面に広大な受光面を有する受光素子を配設し、さらにこれら発光素子が配設された壁面と受光素子が配設された壁面とを架け渡す一対の壁面の表面を鏡面とすることにより、受光素子の受光面において均一な照度が得られるように工夫がなされている。
実開昭６１−１７４６８４号公報

この種の光学式検出装置においては、検出エリアを小型の部品がエアブローもしくは自由落下により通過するように構成される場合が多く、そのため小型部品の落下位置が定まらないことになり、ある程度の大きさの検出エリアが必要となる。このある程度の大きさをもった検出エリア内において、確実に小型部品の通過の有無を検出するためには、検出エリア内における個々の位置での検出精度を均一化することが重要となる。しかしながら、上記特許文献１に開示の光学式検出装置においては、検出エリア内の一部分に被検出対象物である小型部品が通過するパイプが配置される構成であるため、検出エリア内、特にパイプ中においての検出精度を均一化することが困難であり、以下のような課題が生じていた。

まず、第１に、被検出対象物である部品の小型化により、上記構成のままではその検出精度に自ずと限界が生じてしまうことが挙げられる。たとえば、近年において生産ラインに投入される被検出対象物としての半導体チップにあっては、０．２ｍｍ角程度にまで小型化されたものも見られるようになっており、上記構成の光学式検出装置にあっては、このような小型の部品の正確な検出が非常に困難となってきている。これは、部品の小型化により、部品によって遮光される光の量も非常に小さいものとなっているためであり、通路中に配置されるパイプの存在により、その光路が複雑化した上記構成の光学式検出装置においては、単に受光面における照度の均一化を図ったのみでは、パイプ内の端の部分を通過する小型部品の検出が行なえない場合があり、検出精度の向上には必ずしもつながらないためである。

第２に、複数個の発光素子が必要となり、製造コストを圧迫するという課題が挙げられる。これは、湾曲面を有するパイプの表面において光が屈折したり反射したりするためであり、被検出対象物が通過するパイプの中にまで十分な量の光が届くようにするためには、そもそもの照射量を多くすることが必要となり、そのため必然的に発光素子の量を増やすことが必要となるためである。

このように、従来の構成の光学式検出装置においては、製造コストが高い上に検出精度に限界が生じてきており、何らかの改良を行う必要があった。

したがって、本発明は、上述の問題点を解決すべくなされたものであり、安価に製造が可能でかつ小型の部品についても精度よく検出できる高性能の光学式検出装置を提供することを目的とする。

本発明に基づく光学式検出装置は、被検出対象物が通過する検出通路に光を照射する投光部と、上記検出通路に照射された光を受光する受光部とを備えてなるものである。上記検出通路は、上記投光部から出射された光が透過する投光窓を有する第１の壁面と、上記第１の壁面に対向して配置され、上記検出通路に照射された光が透過する受光窓を有する第２の壁面と、これら第１および第２の壁面に交差し、かつ互いに対向して配置された鏡面からなる第３および第４の壁面とによって規定される。上記投光部は、単一の光源と、上記光源から出射される光を透過する投光レンズとを含み、上記投光窓は、上記検出通路における被検出対象物の通過方向に沿って絞ることでスリット形状に整形して上記検出通路に照射するための第１絞り板を含んでいる。上記光源は、上記投光レンズの焦点位置を含む領域に配設されている。

このように被検出対象物が通過する検出通路を４つの壁面にて構成し、かつ光源を投光レンズの略焦点位置に配置し、さらに光軸と平行な方向に延在する壁面を鏡面にて構成することにより、光源を単一の光源にて構成することが可能で、かつ検出エリアの個々の点における検出精度を均一化させた光学式検出装置とすることができる。したがって、高性能の光学式検出装置を安価に提供することが可能になる。なお、上記における鏡面とは、必ずしも全反射面までをも要求するものではなく、検出通路のどの部分を被検出対象物が通過しても確実に検出できる程度に検出通路内における光強度分布を実質的に均一化することができる反射特性を有した面のことを意味している。

上記本発明に基づく光学式検出装置にあっては、上記投光窓が、上記第１の壁面が上記第３の壁面と交差する部分から上記第１の壁面が上記第４の壁面と交差する部分にまで延在していることが好ましい。

このように構成することにより、投光窓を透過して検出通路に出射された光が、検出通路の幅方向の全域にわたって照射されるようになるため、鏡面である第３および第４の壁面への入射光が実質的にすべて検出通路に反射されるようになり、確実に検出エリアの個々の点における検出精度を均一化することができる。
上記本発明に基づく光学式検出装置にあっては、上記受光部が、上記検出通路に照射された光を集光する受光レンズと、当該受光レンズによって集光された光を受光する単一の受光面とを含んでいることが好ましく、また、上記受光窓が、上記検出通路における被検出対象物の通過方向に沿って絞ることでスリット形状に整形して上記受光レンズに照射するための第２絞り板を含んでいることが好ましい。その場合に、上記受光面は、上記受光レンズの焦点位置を含む領域に配設されていることが好ましい。
このように構成することにより、受光面における照度の均一化も同時に図られることになる。

上記本発明に基づく光学式検出装置にあっては、上記受光窓が、上記第２の壁面が上記第３の壁面と交差する部分から上記第２の壁面が上記第４の壁面と交差する部分にまで延在していることが好ましい。

このように構成することにより、検出通路に照射された光が実質的にすべて受光窓を介して受光部に導入されるようになるため、精度よく被検出対象物を検出することができる。

上記本発明に基づく光学式検出装置にあっては、上記第３および第４の壁面が実質的に平行に配置されていることが好ましい。

このように構成することにより、検出エリアの個々の点における検出精度をより均一化させることが可能になる。

上記本発明に基づく光学式検出装置にあっては、上記検出通路の上記投光窓および上記受光窓が形成された部分よりも入口側に位置する部分に、上記検出通路側に向かって突出する突出部が設けられていることが好ましい。

このように構成することにより、検出エリアに面する部分の検出通路表面に被検出対象物が接触することが防止されるようになるため、検出エリアに面する部分の検出通路表面を保護することが可能になり、長期間使用しても検出精度が低下しない光学式検出装置とすることができる。

上記本発明に基づく光学式検出装置にあっては、上記突出部が上記検出通路を囲繞するように上記第１ないし第４の壁面に連続して形成されていることが好ましい。

このように構成することにより、投光窓および受光窓の表面ならびに鏡面を確実に保護できるようになるため、長期間にわたって高精度の検出精度が維持された光学式検出装置とすることができる。

上記本発明に基づく光学式検出装置にあっては、上記検出通路の開口面積が入口側から出口側に向かうにつれて減じることとなるように、上記突出部の入口側の表面が傾斜面にて構成されていることが好ましい。

このように構成することにより、検出通路に突出部を設けた場合にも被検出対象物の投入可能エリアを広く確保することができるとともに、被検出対象物の検出通路内における詰まりが防止されるようになる。
上記本発明に基づく光学式検出装置は、さらに、被検出対象物が通過するパイプを上記検出通路が中継するように、上記検出通路の上流側および下流側においてそれぞれ上記検出通路を上記パイプの中空部に接続する一組のアタッチメントを備えていることが好ましい。
このように構成することにより、検出通路が上流側および下流側においてそれぞれパイプの中空部に接続されることになるため、検出通路中にパイプが挿通配置されることがなくなり、検出通路を規定する第１ないし第４の壁面によって囲われた空間のすべてを検出エリアにすることができる。

本発明によれば、安価に製造が可能でかつ小型の部品についても精度よく検出できる高性能の光学式検出装置とすることができる。

以下、本発明の一実施の形態について、図を参照して説明する。なお、以下に示す一実施の形態においては、本発明が適用される光学式検出装置の検出ヘッド部分について特に詳細に説明することとする。

図１は、本発明の一実施の形態における光学式検出装置の検出ヘッドの概略斜視図である。また、図２は、図１に示す光学式検出装置の検出ヘッドの図１中におけるＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図であり、図３は、ＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。まず、これらの図を参照して、本実施の形態における光学式検出装置の検出ヘッドの構造について説明する。

図１ないし図３に示すように、本実施の形態における光学式検出装置の検出ヘッド１００は、筐体としての下部ケース１１１と上部ケース１１２とを備える。下部ケース１１１は、上面に開口を有する有底箱状の形状を有しており、上部ケース１１２は、この下部ケース１１１の開口を閉塞するように下部ケース１１１に取り付けられる。これら下部ケース１１１および上部ケース１１２からなる筐体の内部には、各種の部品が収容されている。筐体の長手方向の一方の端面からは、光ファイバ１２５と電気コード１２６とが引き出されている。

下部ケース１１１と上部ケース１１２とが組付けられた状態において、これらの略中央部には、上下方向に貫通する検出通路１１４が形成されている。この検出通路１１４は、水平方向の断面が矩形となるように第１ないし第４の４つの壁面にて構成されている。このうち、図２に示すように、下部ケース１１１と上部ケース１１２とからなる筐体の長手方向には、互いに対向しかつ平行に配置された第１および第２の壁面１１５ａ，１１５ｂが位置しており、下部ケース１１１と上部ケース１１２とからなる筐体の短手方向には、互いに対向しかつ平行に配置された第３および第４の壁面１１５ｃ，１１５ｄが位置している。これら第１ないし第４の壁面１１５ａ，１１５ｂ，１１５ｃ，１１５ｄによって規定される検出通路１１４は、被検出対象物である小型の部品が通過する通路である。

図２に示すように、下部ケース１１１と上部ケース１１２とからなる筐体の長手方向の一端部には、光源としての発光素子（ＬＥＤ）１２２が配置されている。この発光素子１２２は、配線基板１２１に実装されており、この配線基板１２１を介して上述の電気コード１２６に電気的に接続されている。

発光素子１２２と検出通路１１４との間には、発光素子１２２側から順に、投光レンズ１２３、絞り板１３１およびカバーガラス１３２が配置されている。投光レンズ１２３は、発光素子１２２から出射された光を略平行光として検出通路１１４に照射するためのレンズである。絞り板１３１は、投光レンズ１２３を介して照射される光をスリット形状に絞るための板である。カバーガラス１３２は、検出通路１１４の第１の壁面１１５ａの一部を構成するものであり、投光レンズ１２３を保護するためのカバーである。ここで、発光素子１２２および投光レンズ１２３が、検出通路１１４に光を照射するための投光部に相当し、絞り板１３１およびカバーガラス１３２によって、投光部から出射された光が透過する投光窓が形成されることになる。

また、図２に示すように、下部ケース１１１と上部ケース１１２とからなる筐体の長手方向の他端部には、光ファイバ１２５が配置されている。この光ファイバ１２５は、後述する受光レンズ１２４によって集光された光を後述する光学式検出装置の本体に伝送するためのものである。

光ファイバ１２５と検出通路１１４との間には、検出通路１１４側から順に、カバーガラス１３３、絞り板１３４および受光レンズ１２４が配置されている。カバーガラス１３３は、検出通路１１４の壁面１１５ｂの一部を構成するものであり、受光レンズ１２４を保護するためのカバーである。絞り板１３４は、検出通路１１４に照射された光をスリット形状に絞るための板である。受光レンズ１２４は、検出通路１１４に照射された光を集光するためのレンズである。ここで、受光レンズ１２４、光ファイバ１２５および後述する受光素子が、検出通路１１４に照射された光を受光するための受光部に相当し、カバーガラス１３３および絞り板１３４によって、検出通路１１４に照射された光が透過する受光窓が形成されることになる。

図１ないし図３においては図示を省略しているが、検出ヘッド１００から引き出された光ファイバ１２５および電気コード１２６は、光学式検出装置の本体部に接続される。光学式検出装置の本体部には、アンプ部が設けられ、このアンプ部より電気コード１２６を介して検出ヘッド１００内に配設された発光素子１２２に電流が供給される。また、光学式検出装置の本体部に設けられたアンプ部には、受光素子（ＰＤ）が設置されており、検出ヘッド１００内に一端が配置された光ファイバ１２５を介して伝送された光は、この受光素子によって受光される。受光素子によって受光された光は、電気信号に変換され、アンプ部内部にて閾値と比較・判定され、その結果が出力されることとなる。

図４は、本実施の形態における光学式検出装置の検出ヘッドを実際に生産ラインに取付けた状態を示す模式断面図である。図４に示すように、本実施の形態における光学式検出装置の検出ヘッド１００を実際に生産ラインに取付けた状態においては、上述の検出ヘッド１００の検出通路１１４がパイプ２０１の中空部２０１ａおよびパイプ２０２の中空部２０２ａを中継するように取付けられる。より具体的には、検出ヘッド１００の上面側において、検出ヘッド１００とパイプ２０１とがアタッチメント２１１，２１２，２１３によって取付けられ、検出ヘッド１００の下面側において、検出ヘッド１００とパイプ２０２とがアタッチメント２１４，２１５によって取付けられる。これにより、検出ヘッド１００の検出通路１１４がパイプ２０１の中空部２０１ａおよびパイプ２０２の中空部２０２ａのそれぞれに接続されることになり、パイプ２０１内の中空部２０１ａを通過した被検出対象物である小型部品が、光学式検出装置の検出ヘッド１００に設けられた検出通路１１４を通過し、その後、パイプ２０２内の中空部２０２ａへと導入されることになる。したがって、本実施の形態における光学式検出装置においては、検出ヘッド１００の検出通路１１４中にパイプが挿通配置されることがなく、上述の検出通路１１４を規定する第１ないし第４の壁面１１５ａ，１１５ｂ，１１５ｃ，１１５ｄによって囲われた空間のすべてが検出エリアに相当することになる。なお、本実施の形態における光学式検出装置の検出ヘッド１００は、図４に示す如くのアタッチメント２１１〜２１５を用いた取付け構造以外の取付け構造を採用して生産ラインに取付けることも当然に可能である。また、本実施の形態における光学式検出装置の検出ヘッド１００は、検出通路１１４中をパイプが挿通するように取付けることも可能であり、具体的な取付け構造は、使用条件等を考慮して適宜変更されるものである。

図５は、本実施の形態における光学式検出装置の検出部を模式的に表した図である。図５に示すように、本実施の形態における光学式検出装置の検出ヘッド１００においては、投光レンズ１２３の焦点位置を含む領域に、光源としての発光素子１２２が配設される。すなわち、光源としての発光素子１２２の特定の部分（たとえば図示する検出部中央）から放射状に出射された光の各々が、投光レンズ１２３によって平行光となるような位置関係に、発光素子１２２と投光レンズ１２３とが配置されている。

実際には、図５に示すように、光源としての発光素子１２２は、点光源として作用せずに面光源として作用するため、このように発光素子１２２と投光レンズ１２３を配置した場合にも、発光素子１２２から出射される光のすべてが平行光化されるわけではなく、実際には幾何光学的に広がりをもったものとなる。このため、本実施の形態における光学式検出装置においては、検出通路１１４を規定する第３および第４の壁面１１５ｃ，１１５ｄを鏡面とすることにより、完全には平行光化されずにこれら第３および第４の壁面１１５ｃ，１１５ｄに入射する光をほぼすべて正反射させることにより、検出エリアの個々の点における検出精度の均一化を実現している。

ここで、鏡面とは、当該面に沿った入射角で入射した光を鏡面的に反射することができる程度の反射面に仕上げられた面のことを意味し、面単体の表面粗さとしてみれば、いわゆる拡散面と呼ばれる表面状態に相当する面ではなく、光沢面と呼ばれる表面状態に相当する面である。具体的には、中心線平均粗さ（Ｒａ）で±５μｍ以下、好ましくは±２μｍ以下、さらに好ましくは０．２μｍ以下とする。なお、上述の鏡面的に反射するとは、検出通路を通過する被検出対象物を誤検知しないように検出通路内の光強度分布を実質的に均一にすることができるように反射するということを意味しており、厳密な意味での鏡面、たとえば全反射面までをも要求するものではない。

なお、図５に示すように、光ファイバ１２５の受光面は、受光レンズ１２４の焦点位置を含む領域に配設される。これにより、受光面における照度の均一化も同時に図られることになる。

また、本実施の形態における光学式検出装置にあっては、第１の壁面１１５ａと第３の壁面１１５ｃとが交差する検出通路１１４のコーナー部から第１の壁面１１５ａと第４の壁面１１５ｄとが交差する検出通路１１４のコーナー部にまで達するように、投光窓が形成されている。さらに、本実施の形態における光学式検出装置にあっては、第２の壁面１１５ｂと第３の壁面１１５ｃとが交差する検出通路１１４のコーナー部から第２の壁面１１５ｂと第４の壁面１１５ｄとが交差する検出通路１１４のコーナー部にまで達するように、受光窓が形成されている。このように構成することにより、投光窓を透過して検出通路１１４に出射された光が、検出通路１１４の幅方向の全域にわたって照射されるようになるため、鏡面である第３および第４の壁面１１５ｃ，１１５ｄへの入射光が実質的にすべて検出通路１１４に反射されるようになり、また、検出通路１１４に照射された光が実質的にすべて受光窓を介して受光部に導入されるようになる。その結果、確実に検出エリア１１４の個々の点における検出精度を均一化することができるようになり、精度よく被検出対象物を検出することができるようになる。

以上のように構成することにより、光源を単一の発光素子にて構成することが可能で、かつ検出エリアにおける個々の点において検出精度を均一化させることが可能になり、検出精度が高く維持された高性能の光学式検出装置とすることができる。その結果、近年の微細化された電子部品に代表されるような０．２ｍｍ角程度の小型部品にあっても、確実にその通過が検出されるようになり、検出漏れが防止されるようになる。したがって、高性能の光学式検出装置を安価に提供することが可能になる。

本実施の形態における光学式検出装置にあっては、上述のように、検出通路１１４を規定する第１ないし第４の壁面１１５ａ，１１５ｂ，１１５ｃ，１１５ｄの検出エリアに面する部分が、カバーガラス１３２，１３３または鏡面にて構成されている。このため、これら検出エリアに面する部分にワークが衝突し、表面に傷等が生じることによって凹凸ができた場合には、カバーガラス１３２，１３３の表面においては光の屈折や反射が生じ、また鏡面においては乱反射が生じることとなり、長期間の使用によって徐々に検出エリア内における検出精度の均一化が阻害され、検出精度の低下を引き起こすおそれがある。そこで、本実施の形態における光学式検出装置にあっては、図１ないし図３に示すように、検出通路１１４の所定位置に、ワークの通過位置を規制する突出部としてのガイド突部１１２ａを設けている。以下においては、このガイド突部１１２ａについて詳説する。

図６は、本実施の形態における光学式検出装置の検出通路近傍における一部破断斜視図である。また、図７および図８は、本実施の形態における光学式検出装置の検出通路を通過するワークの経路を示す模式断面図であり、図７は、図６に示す矢印Ｘ方向と平行な方向に検出ヘッドを切断した場合の断面図であり、図８は、図６に示す矢印Ｙ方向と平行な方向に検出ヘッドを切断した場合の断面図である。

図６ないし図８に示すように、本実施の形態における光学式検出装置の検出ヘッド１００にあっては、投光窓１３６および受光窓（図示せず）が形成された部分よりも入口側（ワークの通過方向（図６中における矢印Ｗ方向）の上流側）に位置する部分の検出通路１１４の壁面に、検出通路１１４の内側に向かって突出する突出部としてのガイド突部１１２ａが設けられている。このガイド突部１１２ａは、検出ヘッド１００を上方から見た場合に、検出エリア１３８に面する部分の検出通路１１４の壁面部分よりも内側に突出するように設けられており、検出エリア１３８に導入される直前にワーク３００を検出通路１１４の中央部に集める働きをするものである。

このように構成することにより、エアブローや自由落下によって検出ヘッドの検出通路に導入されたワークが、これら検出エリアに面する部分に衝突することが回避されるようになるため、投光窓の表面や受光窓の表面ならびに鏡面に傷等が生じることがなくなり、長期間使用した場合の検出精度の低下が防止されるようになる。したがって、高性能でかつ高信頼性の光学式検出装置とすることができる。

なお、本実施の形態における光学式検出装置にあっては、このガイド突部１１２ａが、検出通路１１４を囲繞するように第１ないし第４の壁面１１５ａ，１１５ｂ，１１５ｃ，１１５ｄに連続して設けられている。このため、図７ないし図８に示すように、検出エリア１３８に面する部分の検出通路１１４の壁面部分のすべてが上記ガイド突部１１２ａの先端よりも後退した位置（外側の位置）に配置されることになり、ワーク３００がこれらの面と接触することが回避されるようになる。

また、このガイド突部１１２ａの入口側の表面は、入口側から出口側に向かうにつれてその開口面積が減じることとなるように傾斜面にて構成されている。このため、ワーク３００を投入することができる投入可能エリアＡ１を減じることなくワーク３００の実落下エリアＡ２を絞ることができ、ワーク３００の投光窓および受光窓ならびに鏡面への接触を回避することができるとともに、ワーク３００がこのガイド突部１１２ａの形成位置において詰まることも防止されるようになる。

図９は、本実施の形態における光学式検出装置の変形例を示す模式断面図である。上述の本実施の形態における光学式検出装置においては、ガイド突部を、その表面が入口側から出口側に向かうにつれてその開口面積が減じることとなるように傾斜面にて構成した場合を例示したが、ガイド突部の形状は必ずしもこのような形状に限定されるものではなく、適宜変更が可能である。たとえば、図９に示すように、特に表面を傾斜面とすることなく、検出エリア１３８の上流側において検出通路１１４の開口面積が小さく、かつ検出エリア１３８を含む部分から下流側において検出通路１１４の開口面積が大きくなるようなガイド突部１１２ｂの形状としてもよい。また、ガイド突部は必ずしも設けられている必要はなく、必要に応じて設置することとすればよい。

また、図１０は、本実施の形態における光学式検出装置の検出部の変形例を示す模式図である。上述の実施の形態においては、鏡面である第３および第４の壁面が平行に配置された場合を例示して説明を行なったが、必ずしもこれらの壁面が平行に配置される必要はなく、たとえば図１０に示すように、投光部側において第３および第４の壁面の間の距離が大きくかつ受光部側においてこれらの間の距離が短くなるように、第３および第４の壁面を設置してもよい。

また、上述の実施の形態においては、受光レンズと受光素子との間に光ファイバを設置し、これら受光レンズ、光ファイバおよび受光素子によって受光部を構成した場合を例示して説明を行なったが、光ファイバを用いずに検出ヘッドに受光素子を配置し、受光レンズと受光素子のみによって受光部を構成することとしてもよい。

このように、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって画定され、また特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。

本発明の実施の形態における光学式検出装置の検出ヘッドの概略斜視図である。 図１に示す光学式検出装置の検出ヘッドの図１中におけるＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。 図１に示す光学式検出装置の検出ヘッドの図１中におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。 本発明の実施の形態における光学式検出装置の検出ヘッドを実際に生産ラインに取付けた状態を示す模式断面図である。 本発明の実施の形態における光学式検出装置の検出部を模式的に表した図である。 本発明の実施の形態における光学式検出装置の検出通路近傍における一部破断斜視図である。 本発明の実施の形態における光学式検出装置の検出通路を通過するワークの経路を示す検出ヘッドの長手方向に沿った模式断面図である。 本発明の実施の形態における光学式検出装置の検出通路を通過するワークの経路を示す検出ヘッドの短手方向に沿った模式断面図である。 本発明の実施の形態における光学式検出装置の変形例を示す模式断面図である。 本発明の実施の形態における光学式検出装置の検出部の変形例を示す模式図である。

符号の説明

１００ 検出ヘッド、１１１ 下部ケース、１１２ 上部ケース、１１２ａ，１１２ｂ ガイド突部、１１４ 検出通路、１１５ａ，１１５ｂ，１１５ｃ，１１５ｄ 壁面、１２１ 配線基板、１２２ 発光素子、１２３ 投光レンズ、１２４ 受光レンズ、１２５ 光ファイバ、１２６ 電気コード、１３１，１３４ 絞り板、１３１ａ，１３４ａ スリット、１３２，１３３ カバーガラス、１３６ 投光窓、１３８ 検出エリア、２０１，２０２ パイプ、２０１ａ，２０２ａ 中空部、２１１，２１２，２１３，２１４，２１５ アタッチメント、３００ ワーク。

Claims (9)

1. 被検出対象物が通過する検出通路に光を照射する投光部と、前記検出通路に照射された光を受光する受光部とを備えた光学式検出装置であって、
   前記検出通路は、前記投光部から出射された光が透過する投光窓を有する第１の壁面と、前記第１の壁面に対向して配置され、前記検出通路に照射された光が透過する受光窓を有する第２の壁面と、これら第１および第２の壁面に交差し、かつ互いに対向して配置された鏡面からなる第３および第４の壁面とによって規定され、
   前記投光部は、単一の光源と、前記光源から出射される光を透過する投光レンズとを含み、
   前記投光窓は、前記投光レンズを透過した光を前記検出通路における被検出対象物の通過方向に沿って絞ることでスリット形状に整形して前記検出通路に照射するための第１絞り板を含み、
   前記光源は、前記投光レンズの焦点位置を含む領域に配設されている、光学式検出装置。
2. 前記投光窓は、前記第１の壁面が前記第３の壁面と交差する部分から前記第１の壁面が前記第４の壁面と交差する部分にまで延在している、請求項１に記載の光学式検出装置。
3. 前記受光部は、前記検出通路に照射された光を集光する受光レンズと、当該受光レンズによって集光された光を受光する単一の受光面とを含み、
   前記受光窓は、前記検出通路に照射された光を前記検出通路における被検出対象物の通過方向に沿って絞ることでスリット形状に整形して前記受光レンズに照射するための第２絞り板を含み、
   前記受光面は、前記受光レンズの焦点位置を含む領域に配設されている、請求項１または２に記載の光学式検出装置。
4. 前記受光窓は、前記第２の壁面が前記第３の壁面と交差する部分から前記第２の壁面が前記第４の壁面と交差する部分にまで延在している、請求項３に記載の光学式検出装置。
5. 前記第３および第４の壁面は、平行に配置されている、請求項１から４のいずれかに記載の光学式検出装置。
6. 前記検出通路は、前記投光窓および前記受光窓が形成された部分よりも入口側に位置する部分に、前記検出通路の内側に向かって突出する突出部を有している、請求項１から５のいずれかに記載の光学式検出装置。
7. 前記突出部は、前記検出通路を囲繞するように、前記第１ないし第４の壁面に連続して形成されている、請求項６に記載の光学式検出装置。
8. 前記突出部の入口側の表面は、前記検出通路の開口面積が入口側から出口側に向かうにつれて減じることとなるように傾斜面にて構成されている、請求項６または７に記載の光学式検出装置。
9. 被検出対象物が通過するパイプを前記検出通路が中継するように、前記検出通路の上流側および下流側においてそれぞれ前記検出通路を前記パイプの中空部に接続する一組のアタッチメントをさらに備えた、請求項１から８のいずれかに記載の光学式検出装置。

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