JP4433419B2 - 球状体の形状測定方法 - Google Patents
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Description
従って本発明は、多数のボールの形状を、効率的にかつ精度よく測定する方法を提供することを目的としている。
また、微小なボールを対象とした場合、測定板は数mm角程度の小さなガラス板でよく、測定済みのボールを接着剤で固着したままで保存しても大きなスペースを要しないため、検査記録の現品資料として残しておくことができる。
また、接着剤を用いない場合には、ボールが小さくなっても信頼性高く測定できる。また、測定板は同一測定板で広いサイズ範囲のボールにも適用でき、かつ繰り返し使用できるため製作数は少なくてよい。
(実施の形態1)
図1に示すように、本形態は、多数のボールの中から数十〜数百個程度の所定数のボールを整列した状態で取出し、接着剤を付け、測定板上に整列した状態で固定するマウント工程と、測定板上のボールの形状を自動的に測定する測定工程とに大別することができる。
図2(a)に示すように、測定対象のボール1は、底部から圧縮空気を噴き上げるようになっている試料容器2に収納されており、この中から所定数のボール1を吸着ヘッド3で捕捉する。吸着ヘッド3は箱状体で、加減圧装置(図示せず)と配管で連なり、内部を減圧又は加圧状態にすることができる。下面は、ボールを吸着保持する吸引穴6が所定寸法で形成された吸着板5で構成されており、測定対象のボールの大きさや測定個数に合せて形成された吸引穴6を有するものと適宜交換することができる。
測定装置4は、平面的に移動できるXYステージ11と、コリメータやミラーを備えて、XYステージ11にセットされた測定板9を下方から垂直方向上方に透過する平行光13を照射する投光手段12と、セットされた測定板9の上方に配置し、測定板9を透過した平行光13による像をテレセントリックレンズ15を介してCCDカメラなどで撮像する撮像手段14と、撮像手段14と電気的に接続された演算処理手段17と、XYステージ11の位置制御や撮像手段14の合焦制御を行うためのモータ制御手段16とを有している。
なお、測定板の測定装置へのセットは、自動装置で行うこともできるし、作業者による手操作で行ってもよい。
前記実施の形態1においては、接着剤がボールの投影像からはみ出さないようにマウントしなければ測定の信頼性がなくなってしまうが、ボールが小径になるほど技術的に難しくなり、ボールの大きさによっては適用が難しくなる。
本形態は、接着剤を使用せずにボールを測定板に位置決め保持するものであり、測定板に載置されたボールを測定することは実施の形態1と同様であるので、位置決め保持に係わる技術について以下説明する。
本形態における測定板19は、光を透過する平滑板をベース材とするが、所定整列位置にボール1が求心的に保持されるような凹部20が形成されたものを用いる。凹部としては、図4に示すように外形部が対象ボールの投影面内に収まりかつ内接円を描くことができる、例えば円柱状穴や球状穴や正方形状穴形状の有低穴や貫通穴とすることができ、その形状と大きさに合わせて機械加工やレーザ加工などで形成することができるが、円柱状の貫通穴21とすると、加工も容易であり、かつ後述するようにボール保持の信頼性を高めることができるので好ましい。
凹部20へのボール1の入れ込みは、測定板19に振動を与えたり、傾けたり、表面を刷毛などで掃くなどで行うことができるが、貫通穴21で凹部を形成した測定板19aを用い、測定板19aの裏面側を減圧できるようにセットすると、貫通穴21を通じて表面に減圧吸引力が作用し、ボール1の凹部へのはまり込みが短時間で確実に行え、余剰ボールの刷き出しも容易になり作業性が向上するので好ましい。凹部20を円状の貫通穴21で形成した場合、貫通穴直径に対して約7倍の直径のボールを吸引保持できることを確認しており、例えば直径80μmの貫通穴を有する測定板を用意すれば、直径が約90μm〜500μmのボールについて対応することができる。これより、測定対象のボール1が直径90μm〜900μmであれば、少なくとも2種類の測定板19を用意するだけで全サイズのボールの測定が可能となり、汎用的に適用することができる。
5…吸着板、 6…吸引穴、 7…接着剤、 8…転写板、 9…測定板、
11…XYステージ、 12…投光手段、 13…平行光、 14…撮像手段、
15…テレセントリックレンズ、 16…モータ制御手段、
17…演算処理手段、 19…測定板、 20…凹部、 21…貫通穴。
Claims (1)
- 透光性を有する測定板の上面に開口するとともに当該上面の所定の領域に縦横方向に所定の配列で設けられた貫通穴の上部開口に複数の球状体を減圧吸引力で保持した後余剰球を測定板から刷き出し、貫通穴に保持された複数の球状体を含むように測定板を透過させた平行光をテレセントリックレンズを介して撮像し、その画像を画像処理して球状体の形状を算出する球状体の形状測定方法であって、要求される球状体の測定精度に基づいて撮像倍率を設定し、その撮像倍率から測定視野の大きさを求め、測定視野の大きさに応じ測定板を送りながら球状体を撮像することを特徴とする球状体の形状測定方法。
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