JP4431733B2 - 超高真空走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
また、応力印加機構を、超高真空対応ステッピングモーターと、マイクロメーターヘッドと、ジグを用いて構成したので、超高真空対応、最小変位ステップ、十分に大きなトルク、ナノスケールでの一定の変位幅の全条件を満たして、ステッピングモーターの回転をマイクロメーターヘッドを介してジグにナノスケールでの垂直変位として伝え、そのナノスケールでの垂直変位を荷重として、板状試料に印加させることができる。したがって、請求項1の発明と同様の効果をシンプルな構成の応力印加機構で得ることができる。
さらに、上記効果に加え、曲げ変形による表面応力及び歪の量を材料力学的計算により定量的に算出可能となる利点がある。
1 SPMプローブ
2 板状試料
3 試料ホルダー
4 SPMステージ
5 応力印加用ジグ
6 マイクロメーターヘッド
7 超高真空ステッピングモーター
8 垂直応力印加制御機構
9 ビューポート
10 長焦点顕微鏡
11 CCDカメラ
12 モニター
Claims (7)
- 超高真空状態の真空槽内に、
板状試料の一端又は両端を支持する試料ホルダーと、
垂直方向の変位がナノスケールで制御され、板状試料に対し応力を印加する応力印加機構と、
応力が印加された板状試料の表面構造を原子レベルの分解能でその場計測するプローブを備え、
前記垂直応力印加機構が、超高真空対応ステッピングモーターと、超高真空対応ステッピングモーターの回転を、ナノスケールで制御された垂直方向の変位に変換するマイクロメーターヘッドと、マイクロメーターヘッドの先端に取り付けられ、板状試料に対し垂直方向に荷重を印加する電気的絶縁性のジグを有し、
前記試料ホルダーが、板状試料の一端のみを片持梁方式に固定保持するホルダーであり、かつ、ジグが、板状試料の自由端に荷重を上方向又は下方向に印加するものであることを特徴とする超高真空走査型プローブ顕微鏡。 - 板状試料に垂直荷重が印加されることにより応力が加わった状態で、歪による試料中の微小な変位を観察する長焦点顕微鏡と、長焦点顕微鏡で観察された像を撮像するCCDカメラを、真空槽外に有することを特徴とする請求項1記載の超高真空走査型プローブ顕微鏡。
- 板状試料に直流電流を直接通電して加熱昇温させる加熱手段を有することを特徴とする請求項1又は2記載の超高真空走査型プローブ顕微鏡。
- 加熱手段は、高融点金属の箔又はワイヤを、板状試料の自由端部分に接触させて通電加熱させる方式のものであることを特徴とする請求項3記載の超高真空走査型プローブ顕微鏡。
- 4探針プローブを用い、板状試料の表面電気伝導度計測が行えることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の超高真空走査型プローブ顕微鏡。
- 複数のプローブをそれぞれ独立して使用することができることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載超高真空走査型プローブ顕微鏡。
- プローブ交換機構を備えることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の超高真空走査型プローブ顕微鏡。
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