JP4409516B2 - 帯電ナノ粒子製造方法及び帯電ナノ粒子製造システム並びに帯電ナノ粒子堆積システム - Google Patents
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図1は、本発明に係るイオン化装置の具体的実施形態であるクラスターイオン発生器10の概略構成を示す。このクラスターイオン発生器10は、筒状の容器又はハウジング12を有する。ハウジング12は、電気的に絶縁性を有する材料で形成されており、図面上左側の一端が閉鎖され、図面上右側の他端が外部空間14に開放されている。外部空間14に対して開放されたハウジング12の他端側は導電材料からなる隔壁(第1の電極)16によって閉鎖されており、これによりハウジング12の内側に内部空間18が形成されている。隔壁16は小径(例えば、内径が0.1〜0.4mm)の臨界オリフィス(孔)20を備えており、この臨界オリフィス20を通じて内部空間18と外部空間14が流体的に接続されている。臨界オリフィス20の外側には筒状の断熱部(断熱部材)22が配置されており、臨界オリフィス20から外部空間14に向けて逆テーパ状に広がる拡大管(断熱空間)24が形成されている。一方、臨界オリフィス20の内側には、臨界オリフィス20と所定の間隔をあけて、臨界オリフィス20に対向する針状電極(第2の電極)26が配置されている。本実施形態において、針状電極26は臨界オリフィス20の中心軸上に配置されて絶縁ハウジング12に支持されている。
上述したクラスターイオン発生器10において、ハウジング12等の具体的構成を図3に示す。この図に示すハウジング12は、円筒体40と、円筒体40の一端(図面上左側の端部)を閉鎖する基端部材42とからなる。これら円筒体40と基端部材42は、共に電気的に絶縁性の材料で形成されている。円筒体40の他端(図面上右側の端部)は、導電性の材料からなる電極板(隔壁)44で閉鎖されており、この電極板44の中央に約0.1〜0.4mmの貫通孔(臨界オリフィス)46が形成されている。一方、基端部材42の中央には貫通孔46の中心軸と同軸上に別の貫通孔48が形成されており、ハウジング12の内部(内部空間)50に配置されている導電性の針状電極支持部材52が当該別の貫通孔48にはめ込まれている。
図4は、イオン発生器10Aと、このイオン発生器10Aで得られたイオンを利用するイオン化CVD成膜装置72を含むシステム70の構成を示す。システム70において、イオン発生器10Aは、実施の形態1で説明したイオン発生器10も使用可能であるが、このイオン発生器10から断熱部22を除いたイオン発生器であってもよい。イオン発生器10Aの内部空間は、CVD成膜法に利用される原料分子を供給するための原料分子供給部(気体供給部)74に接続されている。
図5は、イオン発生器10Aと、このイオン発生器10Aで得られたイオンを利用する気流混合装置92を含む帯電ナノ粒子製造システム90の構成を示す。イオン発生器10Aにおいて、ハウジング内部はガス供給装置94に接続されており、このガス供給装置94からハウジング内部に所定の高圧ガスが供給されるようにしてある。気流混合装置92において、混合容器96は、イオン発生器10の臨界オリフィスと、ナノ粒子供給装置98に接続されている。
図6は、イオン発生器10Aと、このイオン発生器10Aで得られたイオンを利用するナノ粒子堆積装置102を含む帯電ナノ粒子堆積システム100の構成を示す。このシステム100において、イオン発生器10Aは、堆積装置102の容器104に接続され、イオン発生器10Aで生成されたイオンが容器104に供給されるようにしてある。堆積装置102の容器104には、その上部と下部にそれぞれ電極106,108が配置されている。電極106,108には直流電源110が接続され、これらの間に電界が形成されている。下部の電極108は、例えば金属又は非金属の電界ナノ粒子堆積基板112を支持している。容器104はまた、ナノ粒子供給装置114に接続されており、上部の電極106の下方領域にナノ粒子が供給されるようにしてある。
10A:イオン発生器
12:ハウジング(容器)
14:外部空間
16:隔壁(第1の電極)
18:内部空間
20:臨界オリフィス
22:断熱部(断熱部材)
24:拡大管
26:針状電極(第2の電極)
28:高圧電源
36:クラスターイオン
Claims (3)
- 所定の物質からなるイオンとナノ粒子とを一つの容器内に別々に供給し、前記容器内で前記イオンとナノ粒子とを混合して前記ナノ粒子の表面に前記イオンを付着させることにより該ナノ粒子を帯電させて帯電ナノ粒子を得ることを特徴とする帯電ナノ粒子製造方法。
- イオン化装置10Aと、ナノ粒子供給装置98と、前記イオン化装置10Aとナノ粒子供給装置98に接続された混合容器96を有し、前記混合容器96内で前記ナノ粒子供給装置98から供給されるナノ粒子と前記イオン化装置10Aから供給されるイオンとを混合して前記ナノ粒子の表面に前記イオンを付着させて前記ナノ粒子に電荷を与えることを特徴とする帯電ナノ粒子製造システム。
- 混合容器104内に配置された一対の電極106,108と、前記一対の電極106,108の間に所定の電圧を印加し、請求項2の帯電ナノ粒子製造システムで製造された帯電ナノ粒子を前記一対の電極106,108の間に配置された被沈着部材112に向かって付勢する電界を形成する電源110を備えたことを特徴とする帯電ナノ粒子堆積システム。
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