JP4401358B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、この発明の第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、図1および図2を用いて説明する。
この実施形態では、シリコン・ゲート電極をポリシリコンで形成したが、アモルファスシリコンを用いて形成してもよい。
次に、この発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、図3を用いて説明する。
次に、この発明の第3の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、図4を用いて説明する。
次に、この発明の第4の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、図5および図6を用いて説明する。
102 素子分離領域
103 pウェル
104 nウェル
105a 高誘電率膜
105b ポリシリコン膜
106,107 高誘電率ゲート絶縁膜
108,109 ポリシリコン・ゲート電極
110,113 サイドウォール
111 n型エクステンション領域
112 n型高濃度不純物領域
114 p型エクステンション領域
115 p型高濃度不純物領域
116 層間膜
117 Ni膜
118 Si膜
119,120 ゲート電極
Claims (9)
- 半導体基板の表面に、第1、第2高誘電率ゲート絶縁膜と、該第1、第2高誘電率ゲート絶縁膜上の第1、第2シリコン・ゲート電極とを形成する第1工程と、
前記第1、第2シリコン・ゲート電極の表面が露出するように、前記半導体基板の表面に層間膜を形成する第2工程と、
前記層間膜および第1、第2シリコン・ゲート電極の表面を覆うように、シリサイド形成用金属の第1膜を形成する第3工程と、
前記第1膜の表面のうち前記第1シリコン・ゲート電極に対向する領域を含み且つ前記第2シリコン・ゲート電極に対向する領域を含まない部分に前記シリサイド形成用金属との間で化合物を形成する化合物形成用材料であるシリコンを供給するとともに、前記第1、第2シリコン・ゲート電極のシリサイド化を行う第4工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第4工程が、前記第1膜の表面のうち前記第1シリコン・ゲート電極に対向する領域を含み且つ前記第2シリコン・ゲート電極に対向する領域を含まない部分に前記化合物形成用材料の第2膜を形成し、その後、加熱処理を行う工程であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1、第2シリコン・ゲート電極が異なる導電型の電界効果トランジスタに設けられたゲート電極であり、且つ、
前記第1、第2シリコン・ゲート電極および前記第1、第2膜の膜厚が、前記第4工程で前記第2シリコン・ゲート電極が完全にシリサイド化され且つ前記第1シリコン・ゲート電極が前記第1高誘電率ゲート絶縁膜との界面付近を残してシリサイド化されるように選択される、
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1、第2シリコン・ゲート電極が異なる導電型の電界効果トランジスタに設けられたゲート電極であり、且つ、
前記第1、第2シリコン・ゲート電極および前記第1、第2膜の膜厚が、前記第1、第2シリコン・ゲート電極が互いに異なる組成のシリサイド・ゲート電極になるように選択される、
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1、第2シリコン・ゲート電極が同一導電型の電界効果トランジスタに設けられたゲート電極であり、
前記第1シリコン・ゲート電極のゲート幅が前記第2シリコン・ゲート電極のゲート幅よりも小さく、且つ、
前記第1、第2シリコン・ゲート電極および前記第1、第2膜の膜厚が、前記第1、第2シリコン・ゲート電極が同じ組成のシリサイド・ゲート電極になるように選択される、
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第4工程が、前記第1膜の表面のうち前記第1シリコン・ゲート電極に対向する領域を含み且つ前記第2シリコン・ゲート電極に対向する領域を含まない部分に前記化合物形成用材料をイオン注入し、その後、加熱処理を行う工程であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1、第2シリコン・ゲート電極が異なる導電型の電界効果トランジスタに設けられたゲート電極であり、且つ、
前記第1、第2シリコン・ゲート電極の膜厚、前記第1膜の膜厚および前記化合物形成用材料の注入量が、前記第4工程で前記第2シリコン・ゲート電極が完全にシリサイド化され且つ前記第1シリコン・ゲート電極が前記第1高誘電率ゲート絶縁膜との界面付近を残してシリサイド化されるように選択される、
ことを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1、第2シリコン・ゲート電極が異なる導電型の電界効果トランジスタに設けられたゲート電極であり、且つ、
前記第1、第2シリコン・ゲート電極の膜厚、前記第1膜の膜厚および前記化合物形成用材料の注入量が、前記第1、第2シリコン・ゲート電極が互いに異なる組成のシリサイド・ゲート電極になるように選択される、
ことを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1、第2シリコン・ゲート電極が同一導電型の電界効果トランジスタに設けられたゲート電極であり、
前記第1シリコン・ゲート電極のゲート幅が前記第2シリコン・ゲート電極のゲート幅よりも小さく、且つ、
前記第1、第2シリコン・ゲート電極の膜厚、前記第1膜の膜厚および前記化合物形成用材料の注入量が、前記第1、第2シリコン・ゲート電極が同じ組成のシリサイド・ゲート電極になるように選択される、
ことを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
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