JP4400436B2 - デバイスハンドラー装置 - Google Patents
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Description
この際、試験を高温度環境内で実施する場合(高温で試験を実施すると特性不良近傍のICをスクリーニング出来る)も一般的に良く実施され、高温環境の提供はデバイスハンドラー装置で実施している。
デバイスハンドラー装置での高温環境の生成は、ヒーターエアーブロー12で暖められた空気をチャンバー11内に循環させ、チャンバー11内を高温にしている。温度制御は、チャンバー11内に設置するチャンバー温度センサー18から温調器19がPID制御を実施している。デバイスであるICの測定温度とチャンバー11内の雰囲気温度は必ずしも一致しないため、通常は予め温度構成を施して使用する。
このような構成の装置において、先ず、1、2の位置で未測定の2個のデバイスを受け入れ、次に、3、4の位置でコンタクトヘッドで2個のデバイスを吸着してそれぞれをデバイスソケットに載置して、それぞれのデバイスを測定する。次に、測定完了後には、5、6の位置において測定結果に従って良品、不良品の分別を行って搬出され、次に、7、8の位置で空きのコンタクトヘッドが次の未測定のデバイスを受け入れる準備をして、1、2の位置に行くことを順次繰り返して実施される。
ここで、2個のデバイスを同時に測定する手法を説明したが、この測定する個数は2個に限定されることなく、個数に合わせてデバイスソケット等を用意することで複数のデバイスを同時に測定することができる。
(2)前記デバイスソケットに載置されたデバイスの近傍位置に、該デバイスの温度を上昇させる温風吹き付け手段を設け、前記温風吹き付け手段は、前記デバイスソケットに載置されたデバイスの温度に基づいて動作し、前記温風吹き付け手段からの温風の開始/停止に関する温度設定条件は、前記デバイスの種類で個別に設定できることを特徴とする(1)に記載のデバイスハンドラー装置。
又、複数のデバイスを同時に測定する装置の場合には、それぞれのデバイス毎に温度を測定して温風の制御をすることで温度のバラツキを均一化できる。
デバイス温度温度センサー20は、コンタクトヘッド15のデバイス13と接触するデバイス13表面近傍に埋設等して付加された構造となっている。
デバイス13の温度が予め設定する温度になった場合には、エアー吹き付けノズル21を停止して、チャンバー11が提供するヒータエアーブロー12からの温風による高温度にてデバイス13に熱を供給する。
このエアー吹き付けノズル21からの送風の開始/停止に関する温度設定条件は、デバイス13の種類で個別に設定が可能であり、テスト開始前に作業を予め登録される品種条件より選択を行い、デバイスの種類に関わらず最適な温度制御を実施できるのである。
デバイス温度温度センサー20は、コンタクトヘッド15のデバイス13と接触するデバイス13表面近傍に埋設等して付加された構造となっている。
このエアー吹き付けノズル21からの送風の開始/停止に関する温度設定条件は、デバイス13の種類で個別に設定が可能であり、テスト開始前に作業を予め登録される品種条件より選択を行い、デバイスの種類に関わらず最適な温度制御を実施できるのである。
12 ヒーターエアーブロー
13 デバイス
14 吸着パッド
15 コンタクトヘッド
16 デバイスソケット
17 テスター
18 チャンバー温度センサー
19 温調器
20 デバイス温度センサー
21 エアー吹き付けノズル
22 制御部
23 温風吹き付けノズル
Claims (2)
- チャンバー内に熱風を発生させるヒータ手段と、
デバイスを吸着する吸着パッドを収容して鉛直方向にガイドするコンタクトヘッドと、
前記コンタクトヘッドを移動させ、前記吸着パッドで吸着されているデバイスを、デバイスソケットに載置することで、前記デバイスの高温による電気的特性を検査する検査手段と、
前記デバイスソケットに載置されたデバイスの温度に基づいて前記ヒータ手段を制御するヒータ制御手段と、
前記デバイスソケットに載置されたデバイスの近傍位置に、該デバイスの温度を降下させるためのエアー吹き付け手段とを設け、
前記エアー吹き付け手段は、前記デバイスソケットに載置されたデバイスの温度に基づいて動作し、
前記エアー吹き付け手段からの送風の開始/停止に関する温度設定条件は、前記デバイスの種類で個別に設定できることを特徴とするデバイスハンドラー装置。 - 前記デバイスソケットに載置されたデバイスの近傍位置に、該デバイスの温度を上昇させる温風吹き付け手段を設け、
前記温風吹き付け手段は、前記デバイスソケットに載置されたデバイスの温度に基づいて動作し、
前記温風吹き付け手段からの温風の開始/停止に関する温度設定条件は、前記デバイスの種類で個別に設定できることを特徴とする請求項1に記載のデバイスハンドラー装置。
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