JP4396199B2 - 陽極接合装置 - Google Patents
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- Resistance Heating (AREA)
Description
そして、ベースプレートに位置決め用のガイド孔を有し、加熱手段からの熱をベースプレートに伝達する手段として、位置決め用のベースプレートガイドを具備した窒化アルミ硼素セラミックスからなる加熱プレートを備えているので、ベースプレートガイドにガイド孔を嵌め合わせることによって、ベースプレートを加熱プレートを介していつも同じ状態で加熱手段にセットすることができる。しかも、窒化アルミ硼素セラミックスからなる加熱プレートは熱伝導性に優れ、その加工も容易である。
そして、ベースプレートに位置決め用のガイド孔を有し、加熱手段からの熱をベースプレートに伝達する手段として、位置決め用のベースプレートガイドを具備した窒化アルミ硼素セラミックスからなる加熱プレートを備えているので、ベースプレートを加熱プレートを介していつも同じ状態で加熱手段にセットすることができる。しかも、窒化アルミ硼素セラミックスからなる加熱プレートは熱伝導性に優れ、その加工も容易である。したがって、この発明によれば、加熱手段からの熱を効率良く且つ再現性良くベースプレートに伝達することができる。
ビッカース硬度 : 390 HV
体積抵抗率 : 1012 Ω・cm
最高使用温度 : 1,000 ℃(酸化雰囲気中)
熱膨張係数 : 4.4×10-6/℃(RT〜400℃)
熱伝導度 : 90 W/m・K
加熱プレート6は、加熱板61とベースプレートガイド62とで構成され、加熱ヒータ3の上面に取り付けられている。ベースプレートガイド62は、しまり嵌め合い寸法で作成され、加熱板61に形成された嵌め合い孔に圧入されている。
11、11a 導電性膜
2 シリコンウェハ
3 加熱ヒータ
4 下側用電極板
5 下側用陰電極棒
5a 上側用陰電極棒
5b 陽電極棒
51 止めピン
6 加熱プレート
61 加熱板
62 ベースプレートガイド
7 ベースプレート
・ 保持板
711 ガイド孔 712 下側用電極溝
72 ワークガイド
73 金ペースト膜
731 下側用電極パッド
74 電極材
8 電極プレート
81 貫通孔
9 冷却プレート
10 ターンテーブル
101 セット・取出しエリア 102 予備加熱エリア
103 接合エリア 104 冷却エリア
12 接合物
Claims (4)
- ガラス基板とシリコンウェハ等の導電性基板とを接触させて所定の温度に加熱し、ガラス基板を陽電位に導電性基板を陰電位にして直流電圧を印加することによって、ガラス基板と導電性基板とを接触面で直接接合させる陽極接合装置であって、
ガラス基板および導電性基板を保持・位置決めするための部材として、窒化アルミニウムおよび窒化ホウ素を主成分とするセラミックスからなるベースプレートを備えたものにおいて、
前記ベースプレートに位置決め用のガイド孔を有し、
前記ガラス基板および前記導電性基板を加熱するための加熱手段からの熱を前記ベースプレートに伝達する手段として、ベースプレートの前記ガイド孔に嵌め合わされる位置決め用のベースプレートガイドを具備した、窒化アルミニウムおよび窒化ホウ素を主成分とするセラミックスからなる加熱プレートを備えている、
ことを特徴とする陽極接合装置。 - 前記ベースプレートが、ガラス基板および導電性基板を保持する保持板と、保持板に嵌め込まれてガラス基板および導電性基板を位置決めするワークガイドと、で構成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の陽極接合装置。 - 前記保持板のガラス基板等の保持面に、基板保持領域の外側および内側にまたがり且つその底面に導電性膜を形成された溝を有し、
この溝の基板保持領域の内側部分で基板外周部より内側に、溝の深さより僅かに大きい高さを有する導電部材を備えている、
ことを特徴とする請求項2に記載の陽極接合装置。 - 前記ベースプレートを保持した状態で所定の時間間隔で所定の角度ずつ回動し、ベースプレートに搭載された接合対象基板であるガラス基板および導電性基板またはこれらの接合物を保持・搬送するターンテーブルを備え、
ターンテーブルが回動する領域に、少なくとも、接合対象基板のセッティングおよび接合物の取り外しを実行するセット・取外しエリアと、ベースプレートへの着脱が制御できる加熱ヒータによって接合対象基板を予備加熱する予備加熱エリアと、ベースプレートへの着脱が制御できる加熱ヒータによって接合対象基板を所定温度に加熱し且つ接合対象基板への着脱が制御できる電極棒群を介して接合対象基板に所定の電圧を印加して接合対象基板を接合させる接合エリアと、ベースプレートへの着脱が制御できる冷却手段によって接合物を冷却する冷却エリアと、を設けている、
ことを特徴とする請求項1に記載の陽極接合装置。
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