JP4392724B2 - サセプタ - Google Patents
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Description
2 面状ヒーター
3 伝熱プレート
4 押さえ板
5 熱遮へい板
6 押さえ板の接合面
7 伝熱プレートの接合面
8 突起部
8a 凹部
8b 壁部
8c テーパ
8d 角溝
9 溝部
9a 底面
9b 幅広部
9c 角溝
10 ラビリンス
11 シール材
12 冷却剤流路用溝
13 取付溝
14 シーズヒーター
15 冷却パイプ
16 外部接続部
Claims (10)
- 金属製の第1プレートと第2プレートとの間に基板加熱手段又は基板冷却手段を挟んでなるサセプタであって、
前記第1プレートの接合面に、上面に凹部を有する突起部を設けると共に、前記第2プレートの接合面に、断面が略T字状の溝部を前記突起部に対向するように設け、前記突起部を前記溝部に嵌入してかしめることにより前記第1プレートと前記第2プレートとを接合したサセプタ。 - 前記突起部の凹部の底面又は前記溝部の底面に細溝を形成し、該細溝にシール材を載置した請求項1に記載のサセプタ。
- 前記シール材が、Oリング又はメタルシールである請求項2に記載のサセプタ。
- 前記突起部を前記接合面に環状に設けると共に、前記基板加熱手段が前記突起部の内側に設置された金属箔ヒーター、マイカ巻付ヒーター又はシーズヒータからなる請求項1〜3のいずれかに記載のサセプタ。
- 前記突起部を前記接合面に環状に設けると共に、前記基板冷却手段が、前記突起部の内側であって前記第1プレート及び第2プレートの少なくとも一方の接合面に形成された断面が略矩形、略半円状若しくは略U字状の溝からなる冷却材流路、又は該溝内に設置された冷却パイプからなる請求項1〜3のいずれかに記載のサセプタ。
- 前記突起部の凹部の底面及び/又は前記溝部の底面に、断面略半円状又は断面略U字状の溝を形成し、該溝内に前記基板加熱手段又は基板冷却手段を設置した請求項1に記載のサセプタ。
- 前記溝を、一端から他端までが連続する同心円状又は蛇行状に設けた請求項6に記載のサセプタ。
- 前記基板加熱手段がシーズヒータである請求項6又は7に記載のサセプタ。
- 前記基板冷却手段が冷却パイプである請求項6又は7に記載のサセプタ。
- 請求項1〜9のいずれかに記載のサセプタから選ばれる複数のサセプタを積層してなるサセプタ。
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