JP4391858B2 - Release film for green sheet molding - Google Patents

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本発明は離型フィルムに関し、詳しくはセラミック積層コンデンサー、セラミック基板等のセラミック電子部品製造時に使用するグリーンシート成形用として、離型フィルムの離型面から真空吸引等により垂直方向にグリーンシートを剥離する、いわゆる面剥離方式を採用する剥離工程に対応可能な離型フィルムに関するものである。   TECHNICAL FIELD The present invention relates to a release film, and in particular, for green sheet forming used in the production of ceramic electronic components such as ceramic multilayer capacitors and ceramic substrates, the green sheet is peeled vertically from the release surface of the release film by vacuum suction or the like. It is related with the release film which can respond to the peeling process which employs what is called a surface peeling system.

従来、ポリエステルフィルムを基材とする離型フィルムがセラミック積層コンデンサー、セラミック基板等の各種セラミック電子部品製造時に使用するグリーンシート成形用に使用されている。近年、セラミック積層コンデンサーの小型化・大容量化が進むに伴い、グリ−ンシートの厚みも益々薄膜化する傾向にある。グリーンシートの更なる薄膜化に伴い、特に厚みが2μm以下の薄膜グリーンシートを成形しようとした場合、離型フィルムの離型層表面の表面粗度が高い場合には、セラミックスラリー塗工時にスラリーのはじきあるいはピンホールの発生、グリーンシート剥離時にはグリーンシートの破断等の不具合を生じる場合がある。   Conventionally, a release film based on a polyester film has been used for forming a green sheet used in manufacturing various ceramic electronic components such as a ceramic multilayer capacitor and a ceramic substrate. In recent years, as the ceramic multilayer capacitor has been reduced in size and capacity, the thickness of the green sheet tends to become thinner. With the further thinning of the green sheet, especially when trying to form a thin green sheet with a thickness of 2 μm or less, when the surface roughness of the release layer surface of the release film is high, the slurry is applied during ceramic slurry coating. There may be problems such as repellency or pinholes, and green sheet breakage when the green sheet is peeled off.

上記不具合を解決するために、表面粗度の低いポリエステルフィルムを基材とする離型フィルムを使用すると、離型フィルムをロール状に巻取った際にブロッキングあるいはシワ等が発生する等の不具合を生じる場合がある。   In order to solve the above problems, if a release film based on a polyester film having a low surface roughness is used, blocking or wrinkles may occur when the release film is wound into a roll. May occur.

一方、グリーンシートの剥離工程においては、真空吸引等により、離型面からグリーンシートを垂直方向に剥離する、いわゆる面剥離方式を採用する場合がある(特許文献1、2等に記載例がある)。面剥離方式を採用する剥離工程においては、従来、セラミック離型用として汎用的に使用されている離型フィルムでは対応が困難な場合がある。そのため、離型面がより平坦でかつグリーンシートを面剥離する剥離工程に対応可能な離型フィルムが必要とされている。   On the other hand, in the green sheet peeling process, a so-called surface peeling method in which the green sheet is peeled in the vertical direction from the release surface by vacuum suction or the like may be employed (examples described in Patent Documents 1 and 2). ). In the peeling process that employs the surface peeling method, it is sometimes difficult to cope with a release film that is conventionally used for ceramic release. Therefore, there is a need for a release film that has a flat release surface and can handle a peeling process for peeling the green sheet.

特開2000―49060号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2000-49060 特開2002−254421号公報JP 2002-254421 A 特開2002−67018号公報JP 2002-67018 A

本発明は上記実情に鑑みなされたものであって、その解決課題は、セラミック積層コンデンサー、セラミック基板等、各種電子部品製造時に使用するグリーンシート成形用として、離型面より垂直方向にグリーンシ−トを剥離する、いわゆる面剥離方式を採用する剥離工程に対応可能な離型フィルムを提供するものである。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and its solution is to form a green sheet in a direction perpendicular to the mold release surface for forming a green sheet used when manufacturing various electronic components such as ceramic multilayer capacitors and ceramic substrates. It is intended to provide a release film that can be applied to a peeling process employing a so-called surface peeling method.

本発明者らは上記実状に鑑み、鋭意検討した結果、特定の構成からなる離型フィルムを用いれば、上述の課題を容易に解決できることを知見し、本発明を完成させるに至った。   As a result of intensive studies in view of the above circumstances, the present inventors have found that the above-mentioned problems can be easily solved by using a release film having a specific configuration, and have completed the present invention.

すなわち、本発明の要旨は、ポリエステルフィルムの一方の面に、T単位(SiO 3/2 )構造を有するシリコーン系化合物を含有する離型層を有するフィルムであり、下記式(1)および(2)を同時に満足することを特徴とするグリーンシート成形用離型フィルムに存する。
F(300m/min)/F(30m/min)≦2.0 …(1)
0.01≦Si≦0.10 …(2)
(上記式中、F(300m/min)およびF(30m/min)は離型フィルムにおいて、剥離速度が各々300m/min、30m/minにおける離型層表面とアクリル系粘着テープとの剥離力(mN/cm)、Siは離型層の厚み(g/m)を表す。)
That is, the gist of the present invention is a film having a release layer containing a silicone compound having a T unit (SiO 3/2 ) structure on one surface of a polyester film, and the following formulas (1) and (2 ) At the same time, a release film for forming a green sheet.
F (300 m / min) / F (30 m / min) ≦ 2.0 (1)
0.01 ≦ Si ≦ 0.10 (2)
(In the above formula, F (300 m / min) and F (30 m / min) are release films, and the release force between the release layer surface and the acrylic pressure-sensitive adhesive tape at release rates of 300 m / min and 30 m / min, respectively ( mN / cm), Si represents the thickness (g / m 2 ) of the release layer.

以下、本発明をさらに詳細に説明する。
本発明の離型フィルムを構成するポリエステルフィルムは、単層構成であっても積層構成であってもよく、例えば、A/B、A/B/A、A/B/C、A/B/A´等の2層、3層構成以外にも、本発明の要旨を越えない限り、4層またはそれ以上の多層であってもよく、特に限定されるものではない。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
The polyester film constituting the release film of the present invention may have a single layer structure or a laminated structure. For example, A / B, A / B / A, A / B / C, A / B / In addition to the two-layer and three-layer structure such as A ′, four or more layers may be used as long as the gist of the present invention is not exceeded, and there is no particular limitation.

さらにポリエステルフィルムに使用するポリエステルは、ホモポリエステルであっても共重合ポリエステルであってもよい。ホモポリエステルからなる場合、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものが好ましい。芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、2,6−ナフタレンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、1,4−シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン−2,6−ナフタレンジカルボキシレート(PEN)等が例示される。   Furthermore, the polyester used for the polyester film may be a homopolyester or a copolyester. In the case of a homopolyester, those obtained by polycondensation of an aromatic dicarboxylic acid and an aliphatic glycol are preferred. Examples of the aromatic dicarboxylic acid include terephthalic acid and 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, and examples of the aliphatic glycol include ethylene glycol, diethylene glycol, and 1,4-cyclohexanedimethanol. Representative polyesters include polyethylene terephthalate (PET), polyethylene-2,6-naphthalenedicarboxylate (PEN), and the like.

一方、共重合ポリエステルの場合は30モル%以下の第三成分を含有した共重合体であることが好ましい。共重合ポリエステルのジカルボン酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、2,6−ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸セバシン酸、オキシカルボン酸(例えば、P−オキシ安息香酸など)等の一種または二種以上が挙げられ、グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、1,4−シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール等の一種または二種以上が挙げられる。   On the other hand, in the case of a copolymerized polyester, a copolymer containing 30 mol% or less of the third component is preferable. Examples of the dicarboxylic acid component of the copolyester include one or two of isophthalic acid, phthalic acid, terephthalic acid, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, adipic acid sebacic acid, oxycarboxylic acid (for example, P-oxybenzoic acid), and the like. The glycol component includes one or more of ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, butanediol, 1,4-cyclohexanedimethanol, neopentyl glycol, and the like.

何れにしても本発明でいうポリエステルとは、通常80モル%以上、好ましくは90モル%以上がエチレンテレフタレート単位であるポリエチレンテレフタレート、エチレン−2,6−ナフタレート単位であるポリエチレン−2,6−ナフタレート等であるポリエステルを指す。   In any case, the polyester referred to in the present invention is usually 80 mol% or more, preferably 90 mol% or more of polyethylene terephthalate having ethylene terephthalate units and polyethylene-2,6-naphthalate having ethylene-2,6-naphthalate units. Refers to a polyester that is the like.

本発明におけるポリエステル層中には易滑性付与を主たる目的として粒子を配合することが好ましい。配合する粒子の種類は、易滑性付与可能な粒子であれば特に限定されるものではなく、具体例としては、例えば、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン、酸化アルミニウム、酸化チタン等の粒子が挙げられる。また、特公昭59−5216号公報、特開昭59−217755号公報等に記載されているような耐熱性有機粒子を用いてもよい。この他の耐熱性有機粒子の例として、熱硬化性尿素樹脂、熱硬化性フェノール樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂等が挙げられる。さらにポリエステル製造工程中、触媒等の金属化合物の一部を沈殿、微分散させた析出粒子を用いることもできる。   In the polyester layer in the present invention, it is preferable to blend particles for the main purpose of imparting slipperiness. The kind of the particle to be blended is not particularly limited as long as it is a particle capable of imparting slipperiness. Specific examples thereof include silica, calcium carbonate, magnesium carbonate, barium carbonate, calcium sulfate, calcium phosphate, and phosphoric acid. Examples of the particles include magnesium, kaolin, aluminum oxide, and titanium oxide. Further, heat-resistant organic particles as described in JP-B-59-5216, JP-A-59-217755 and the like may be used. Examples of other heat-resistant organic particles include thermosetting urea resins, thermosetting phenol resins, thermosetting epoxy resins, benzoguanamine resins, and the like. Furthermore, precipitated particles obtained by precipitating and finely dispersing a part of a metal compound such as a catalyst during the polyester production process can also be used.

一方、使用する粒子の形状に関しても特に限定されるわけではなく、球状、 塊状、棒状、扁平状等の何れを用いてもよい。また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。これら一連の粒子は必要に応じて2種類以上を併用してもよい。   On the other hand, the shape of the particles to be used is not particularly limited, and any of a spherical shape, a lump shape, a rod shape, a flat shape, and the like may be used. Moreover, there is no restriction | limiting in particular also about the hardness, specific gravity, a color, etc. These series of particles may be used in combination of two or more if necessary.

また、本発明において用いる粒子の平均粒径は、0.1〜5μmの範囲であることが好ましく、さらに好ましくは0.5〜3μm、最も好ましくは0.5〜2μmの範囲である。平均粒径が0.1μm未満の場合には、粒子が凝集しやすい傾向があり、フィルム中での分散性が不十分となることがあり、一方、5μmを超える場合には、フィルムの表面粗度が粗くなりすぎて、後工程において離型層を設ける場合等に不具合を生じることがある。   Moreover, it is preferable that the average particle diameter of the particle | grains used in this invention is the range of 0.1-5 micrometers, More preferably, it is 0.5-3 micrometers, Most preferably, it is the range of 0.5-2 micrometers. If the average particle size is less than 0.1 μm, the particles tend to aggregate and the dispersibility in the film may be insufficient. On the other hand, if it exceeds 5 μm, the surface roughness of the film The degree becomes too rough, and a problem may occur when a release layer is provided in a later process.

ポリエステル中の粒子含有量は、0.01〜5重量%の範囲を満足するのが好ましく、さらに好ましくは0.01〜3重量%の範囲である。粒子含有量が0.01重量%未満の場合には、フィルムの易滑性が不十分になる場合があり、一方、5重量%を超えて添加する場合には、フィルム表面の平滑性が不十分になる場合がある。   The content of particles in the polyester preferably satisfies the range of 0.01 to 5% by weight, more preferably 0.01 to 3% by weight. When the particle content is less than 0.01% by weight, the slipperiness of the film may be insufficient. On the other hand, when the content exceeds 5% by weight, the smoothness of the film surface is poor. It may be enough.

ポリエステル中に粒子を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、ポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後、重縮合反応を進めてもよい。また、ベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールまたは水などに分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、または混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法などによって行われる。   The method for adding particles to the polyester is not particularly limited, and a conventionally known method can be adopted. For example, it can be added at any stage for producing the polyester, but the polycondensation reaction may proceed preferably after the esterification stage or after the transesterification reaction. Also, a method of blending a slurry of particles dispersed in ethylene glycol or water with a vented kneading extruder and a polyester raw material, or a method of blending dried particles and a polyester raw material using a kneading extruder Etc.

本発明の離型フィルムを構成するポリエステルフィルムの厚みは、特にグリーンシートに対する離型性を軽剥離化する点を配慮した場合、フィルムの腰による影響を低減させるため、より薄膜であるのが好ましい。しかしながら、一方においては後述する離型層積層時のフィルム平面性確保の必要があり、離型フィルムを構成するポリエステルフィルム厚みが薄膜化しすぎる場合には、熱しわ等により、フィルム平面性が損なわれる場合が多い。   The thickness of the polyester film constituting the release film of the present invention is preferably a thin film in order to reduce the influence of the film's waist, particularly when considering the point of light release of the release property to the green sheet. . However, on the one hand, it is necessary to ensure film flatness at the time of release layer lamination described later, and when the thickness of the polyester film constituting the release film is too thin, the film flatness is impaired by thermal wrinkles or the like. There are many cases.

このような観点から、本発明における離型フィルムを構成するポリエステルフィルムの厚みは9〜38μmであるのが好ましく、さらに好ましくは9〜30μmの範囲が良い。   From such a viewpoint, the thickness of the polyester film constituting the release film in the present invention is preferably 9 to 38 μm, and more preferably 9 to 30 μm.

本発明における離型フィルムを構成するポリエステルフィルムの長手方向および幅方向のフィルム厚みむらは共に5%以下に抑えるのが用途上、好ましく、さらに好ましくは、当該フィルム厚みむらが長手方向および幅方向共に3%以下である。フィルム厚みむらを上述の範囲に抑えるための具体的手法としては、例えば、同時二軸延伸法を採用する方法等が例示される。フィルム厚みむらに関して、フィルム厚みむらが長手方向または幅方向の少なくとも一方が5%を超える場合、当該ポリエステルフィルムから構成される離型フィルムを用いてグリーンシートを成形した場合、得られるグリーンシートは厚みむらが大きくなる傾向があり、例えば、グリーンシートの積層数が400層以上の高容量のセラミック積層コンデンサー製造用には不適当となる場合がある。   For the purpose of use, it is preferable to suppress the film thickness unevenness in the longitudinal direction and the width direction of the polyester film constituting the release film in the present invention to 5% or less, more preferably, the film thickness unevenness in both the longitudinal direction and the width direction. 3% or less. As a specific method for suppressing the film thickness unevenness within the above-described range, for example, a method of employing a simultaneous biaxial stretching method is exemplified. Regarding film thickness unevenness, if at least one of the film thickness unevenness exceeds 5% in the longitudinal direction or the width direction, when a green sheet is formed using a release film composed of the polyester film, the resulting green sheet is thick The unevenness tends to increase, and may be inappropriate for manufacturing a high-capacity ceramic multilayer capacitor having 400 or more green sheets stacked, for example.

次に本発明におけるポリエステルフィルムの製造例について具体的に説明するが、以下の製造例に何ら限定されるものではない。
まず、先に述べたポリエステル原料を使用し、ダイから押し出された溶融シートを冷却ロールで冷却固化して未延伸シートを得る。この場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転冷却ドラムとの密着性を高めることが好ましく、静電印加密着法および/または液体塗布密着法が好ましく採用される。次に得られた未延伸シートは二軸方向に延伸される。その場合、まず、前記の未延伸シートを一方向にロールまたはテンター方式の延伸機により延伸する。延伸温度は、通常70〜120℃、好ましくは80〜110℃であり、延伸倍率は通常2.5〜7倍、好ましくは3.0〜6倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する延伸温度は通常130〜170℃であり、延伸倍率は通常3.0〜7倍、好ましくは3.5〜6倍である。そして、引き続き180〜270℃の温度で緊張下または30%以内の弛緩下で熱処理を行い、二軸配向フィルムを得る。
Next, although the manufacture example of the polyester film in this invention is demonstrated concretely, it is not limited to the following manufacture examples at all.
First, the polyester raw material described above is used, and the molten sheet extruded from the die is cooled and solidified with a cooling roll to obtain an unstretched sheet. In this case, in order to improve the flatness of the sheet, it is preferable to improve the adhesion between the sheet and the rotary cooling drum, and an electrostatic application adhesion method and / or a liquid application adhesion method is preferably employed. Next, the obtained unstretched sheet is stretched in the biaxial direction. In that case, first, the unstretched sheet is stretched in one direction by a roll or a tenter type stretching machine. The stretching temperature is usually 70 to 120 ° C., preferably 80 to 110 ° C., and the stretching ratio is usually 2.5 to 7 times, preferably 3.0 to 6 times. Subsequently, the extending | stretching temperature orthogonal to the extending | stretching direction of the 1st step is 130-170 degreeC normally, and a draw ratio is 3.0-7 times normally, Preferably it is 3.5-6 times. Subsequently, heat treatment is performed at a temperature of 180 to 270 ° C. under tension or under relaxation within 30% to obtain a biaxially oriented film.

上記の延伸においては、一方向の延伸を2段階以上で行う方法を採用することもできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うのが好ましい。また、同時二軸延伸を行うことも可能である。同時二軸延伸法としては、前記の未延伸シートを通常70〜120℃、好ましくは80〜110℃で温度コントロールされた状態で機械方向および幅方向に同時に延伸し配向させる方法で、延伸倍率としては、面積倍率で4〜50倍、好ましくは7〜35倍、さらに好ましくは10〜25倍である。そして、引き続き、170〜250℃の温度で緊張下または30%以内の弛緩下で熱処理を行い、延伸配向フィルムを得る。   In the above-described stretching, a method in which stretching in one direction is performed in two or more stages can be employed. In that case, it is preferable to carry out so that the draw ratios in the two directions finally fall within the above ranges. It is also possible to perform simultaneous biaxial stretching. The simultaneous biaxial stretching method is a method in which the unstretched sheet is usually stretched and oriented in the machine direction and the width direction at 70 to 120 ° C., preferably 80 to 110 ° C., and the stretching ratio is as follows. Is 4 to 50 times, preferably 7 to 35 times, and more preferably 10 to 25 times in terms of area magnification. Subsequently, heat treatment is performed at a temperature of 170 to 250 ° C. under tension or under relaxation within 30% to obtain a stretched oriented film.

上述の延伸方式を使用する同時二軸延伸装置に関しては、スクリュー方式、パンタグラフ方式、リニアー駆動式等、従来から公知の延伸方式を採用することができる。   As for the simultaneous biaxial stretching apparatus using the above-described stretching method, a conventionally known stretching method such as a screw method, a pantograph method, a linear drive method, or the like can be adopted.

本発明において、同時二軸延伸により離型フィルムを構成するポリエステルフィルムを延伸することによれば、従来、逐次二軸延伸では面積倍率が大きくなる場合において、延伸時に破断する等の不具合を生じる場合があったが、同時二軸延伸においては延伸追従性が良好であるため、フィルム長手方向および幅方向において、逐次二軸延伸よりもさらに面積倍率を大きくすることが可能なため、さらにフィルム厚みむらの小さいポリエステルフィルムを製造することが可能となるので好ましい。   In the present invention, when the polyester film constituting the release film is stretched by simultaneous biaxial stretching, conventionally, when the area magnification becomes large by sequential biaxial stretching, a problem such as breaking at the time of stretching occurs. However, since the film following property is good in the simultaneous biaxial stretching, the area magnification can be further increased in the film longitudinal direction and the width direction as compared with the sequential biaxial stretching. It is preferable because a polyester film having a small thickness can be produced.

また、上述のポリエステルフィルムの延伸工程中にフィルム表面を処理する、いわゆる塗布延伸法(インラインコーティング)を施すことができる。それは以下に限定するものではないが、例えば、逐次二軸延伸においては特に1段目の延伸が終了して、2段目の延伸前にコーティング処理を施すことができる。塗布延伸法にてポリエステルフィルム上に塗布層が設けられる場合には、延伸と同時に塗布が可能になると共に塗布層の厚みを延伸倍率に応じて薄くすることができ、ポリエステルフィルムとして好適なフィルムを製造できる。   In addition, a so-called coating stretching method (in-line coating) for treating the film surface during the above-described stretching process of the polyester film can be performed. Although it is not limited to the following, for example, in the sequential biaxial stretching, in particular, the first-stage stretching is completed, and the coating treatment can be performed before the second-stage stretching. When a coating layer is provided on a polyester film by a coating stretching method, coating can be performed simultaneously with stretching and the thickness of the coating layer can be reduced according to the stretching ratio. Can be manufactured.

次に本発明の離型層の形成について説明する。
本発明における離型フィルムを構成する離型層は上述の塗布延伸法(インラインコーティング)によりポリエステルフィルム上に設けられてもよいが、一旦製造したフィルム上に系外で塗布する、いわゆるオフラインコーティングを採用してもよく、むしろその方が好ましい。
Next, formation of the release layer of the present invention will be described.
The release layer constituting the release film in the present invention may be provided on the polyester film by the above-described coating stretching method (in-line coating), but a so-called off-line coating that is applied outside the system on the film once produced. It may be adopted, but it is preferable.

本発明における離型フィルムを構成する離型層は離型性を有するものであれば特に限定されるわけではなく、中でも硬化型シリコーン樹脂を含有することによれば、特に離型性が良好となるのでよい。   The release layer constituting the release film in the present invention is not particularly limited as long as it has releasability, and among them, by containing a curable silicone resin, the releasability is particularly good. It will be good.

硬化型シリコーン樹脂の種類としては付加型・縮合型・紫外線硬化型・電子線硬化型・無溶剤型等、何れの硬化反応タイプでも用いることができる。これらの中でも硬化反応が早い点で付加型が好ましく、さらに付加型の中でも、紫外線硬化型・電子線硬化型・無溶剤型からなるタイプが、より低温で硬化可能であるために好ましい。また、離型層の剥離性等を調整するために剥離コントロール剤を併用してもよい。   As the type of the curable silicone resin, any of the curing reaction types such as an addition type, a condensation type, an ultraviolet curable type, an electron beam curable type, and a solventless type can be used. Among these, the addition type is preferable in terms of fast curing reaction, and among the addition types, the ultraviolet curing type, the electron beam curing type, and the solventless type are preferable because they can be cured at a lower temperature. Further, a release control agent may be used in combination in order to adjust the release property of the release layer.

本発明者らは離型フィルムを構成する離型層に関して、面剥離方式を採用する剥離工程において、軽剥離化を実現するための手法の一つとして、離型層の薄膜化が有効であることを知見した。離型層の薄膜化に伴い、得られる離型面の剛性が増し、グリーンシート剥離時の剥離性に大きく寄与するためと考えられる。   The inventors of the present invention are effective in reducing the thickness of the release layer as one of the methods for realizing light release in the release process employing the surface release method for the release layer constituting the release film. I found out. It is considered that as the release layer becomes thinner, the rigidity of the obtained release surface increases, which greatly contributes to the releasability when the green sheet is peeled off.

そのため、本発明における離型フィルムを構成する離型層に関して、離型層の塗工量(乾燥後)(Si)が0.01〜0.10g/mの範囲にある必要があり、好ましくは0.01〜0.08g/m、さらに好ましくは0.01〜0.06g/mの範囲である。Siが0.01g/m未満の場合、塗工性の面より安定性に欠け、均一な塗膜を得るのが困難になる。一方、Siが0.10g/mを超える場合、面剥離方式を採用する剥離工程において、剥離困難になる等の不具合を生じる様になる。 Therefore, regarding the release layer constituting the release film in the present invention, the coating amount of the release layer (after drying) (Si) needs to be in the range of 0.01 to 0.10 g / m 2 , preferably Is 0.01 to 0.08 g / m 2 , more preferably 0.01 to 0.06 g / m 2 . When Si is less than 0.01 g / m 2 , the coating property is lacking in stability and it becomes difficult to obtain a uniform coating film. On the other hand, when Si exceeds 0.10 g / m < 2 >, in the peeling process which employ | adopts a surface peeling system, troubles, such as becoming difficult to peel, will arise.

本発明において、ポリエステルフィルムに離型層を設ける方法として、リバースグラビアコート、ダイレクトグラビアコート、バーコート、ダイコート等、従来公知の塗工方式を用いることができる。なお、塗工方式に関しては「コーティング方式」槇書店 原崎勇次著1979年発行に記載例がある。   In the present invention, conventionally known coating methods such as reverse gravure coating, direct gravure coating, bar coating, and die coating can be used as a method of providing a release layer on the polyester film. As for the coating method, there is an example described in “Coating Method” published by Yoji Harasaki in 1979.

本発明において、離型層を形成する際の硬化条件に関しては特に限定されるわけではなく、例えば、オフラインコートによりポリエステルフィルム上に離型層を設ける場合、通常、80〜200℃で3〜40秒間、好ましくは100〜180℃で3〜40秒間を目安として熱処理を行うのが良い。   In the present invention, the curing conditions for forming the release layer are not particularly limited. For example, when the release layer is provided on the polyester film by off-line coating, it is usually 3 to 40 at 80 to 200 ° C. The heat treatment may be performed for 2 seconds, preferably 100 to 180 ° C. for 3 to 40 seconds.

また、必要に応じて熱処理と紫外線照射等の活性エネルギー線照射とを併用してもよく、その場合、活性エネルギー線照射による硬化のためのエネルギー源としては、従来公知の装置,エネルギー源を用いることができる。具体例としては、殺菌灯、紫外線用蛍光灯、カーボンアーク、キセノンランプ、複写用高圧水銀灯、中圧または高圧水銀灯、超高圧水銀灯、無電極ランプ、メタルハライドランプ、自然光等を光源とする紫外線、または走査型、カーテン型電子線加速器による電子線等を使用する方法が挙げられる。また、活性エネルギー線照射による硬化においては反応効率化の点で窒素ガス等の不活性ガス雰囲気下で照射することも可能である。   Further, if necessary, heat treatment and active energy ray irradiation such as ultraviolet ray irradiation may be used in combination. In this case, a conventionally known apparatus or energy source is used as an energy source for curing by active energy ray irradiation. be able to. Specific examples include germicidal lamps, ultraviolet fluorescent lamps, carbon arcs, xenon lamps, high pressure mercury lamps for copying, medium or high pressure mercury lamps, ultra high pressure mercury lamps, electrodeless lamps, metal halide lamps, ultraviolet light using natural light as a light source, or Examples include a method using an electron beam by a scanning type or curtain type electron beam accelerator. Moreover, in the hardening by active energy ray irradiation, it is also possible to irradiate in inert gas atmosphere, such as nitrogen gas, at the point of reaction efficiency improvement.

本発明における離型フィルムを構成するポリエステルフィルムには予めコロナ処理、プラズマ処理等の表面処理を施してもよい。   The polyester film constituting the release film in the present invention may be subjected to surface treatment such as corona treatment or plasma treatment in advance.

さらに本発明における離型フィルムを構成するポリエステルフィルムには予め接着層、帯電防止層等の塗布層が設けられていてもよい。   Furthermore, the polyester film constituting the release film in the present invention may be provided with a coating layer such as an adhesive layer and an antistatic layer in advance.

本発明においては、面剥離方式を剥離伝搬速度がより速い、高速剥離領域での剥離方式と捉え、特に30m/min以上の剥離速度領域における剥離力を軽剥離化することが面剥離方式に対応可能な離型フィルムを設計する上で重要であることを知見した。すなわち、本発明における離型フィルムにおいては、面剥離方式を採用する剥離工程に対応するため、異なる剥離速度における剥離力の比率(F(300m/min)/F(30m/min))が、2.0以下、好ましくは1.5以下である。F(300m/min)/F(30m/min)が2.0を超える場合、成形後のグリーンシートを面剥離させる際に剥離困難になる。   In the present invention, the surface peeling method is regarded as a peeling method in a high-speed peeling region having a higher peeling propagation speed, and in particular, the peeling force in the peeling speed region of 30 m / min or more can be lightly peeled. It was found to be important in designing possible release films. That is, in the release film according to the present invention, in order to correspond to the peeling process adopting the surface peeling method, the ratio of peeling force at different peeling speeds (F (300 m / min) / F (30 m / min)) is 2. 0.0 or less, preferably 1.5 or less. When F (300 m / min) / F (30 m / min) exceeds 2.0, it becomes difficult to peel off the green sheet after molding.

本発明における離型フィルムの離型層の特性が上記関係を満足するための具体的手法として、例えば、離型層が硬化型シリコーン樹脂を含有する場合、離型層の構成単位として、T単位(SiO3/2)構造を有するシリコーン系化合物を併用する方法等が挙げられる。さらにT単位を有するシリコーン系化合物の具体例として、分岐構造を有する 溶剤型シリコーン樹脂、あるいは分岐構造を有する無溶剤型シリコーン樹脂等が挙げられる。 As a specific method for satisfying the above relationship, the properties of the release layer of the release film in the present invention include, for example, when the release layer contains a curable silicone resin, as a constituent unit of the release layer, a T unit. Examples thereof include a method in which a silicone compound having a (SiO 3/2 ) structure is used in combination. Furthermore, specific examples of the silicone compound having a T unit include a solvent-type silicone resin having a branched structure or a solvent-free silicone resin having a branched structure.

本発明における離型フィルムを構成する離型層中にT単位構造を有するシリコーン系化合物を併用することにより、離型層形成過程において、離型層を形成するバインダー樹脂側(例えば、上述の分岐構造を有する硬化型シリコーン樹脂を使用する等)から架橋反応における架橋点を意図的に増加させることが可能となる。その結果、得られる離型層自体の架橋密度がさらに向上することにより、面剥離方式を採用する剥離工程、例えば、セラミック積層コンデンサー製造時に使用するシート状のセラミックグリーンシートを成形後に離型フィルムの離型面より剥離する工程等に対応可能となる。   By using a silicone compound having a T unit structure in the release layer constituting the release film in the present invention, in the release layer forming process, the binder resin side (for example, the above-mentioned branch) is formed. It is possible to intentionally increase the number of crosslinking points in the crosslinking reaction from the use of a curable silicone resin having a structure. As a result, by further improving the crosslink density of the obtained release layer itself, a release step employing a surface release method, for example, after forming a sheet-like ceramic green sheet used in manufacturing a ceramic multilayer capacitor, It becomes possible to deal with a process of peeling from the release surface.

また、本発明における離型フィルムに関して、剥離速度300(m/min)における離型層表面とアクリル系粘着テープとの剥離力(F(300m/min))は、200mN/cm以下、さらには150mN/cm以下であることが好ましい。F(300m/min)が200mN/cmを超える場合には、グリーンシート剥離時に剥離困難になる場合がある。本発明の離型フィルムは上記の追加的要件を同時に満足することにより、面剥離方式を採用する剥離工程において、更なる軽剥離化が可能となる。   Moreover, regarding the release film in the present invention, the peeling force (F (300 m / min)) between the release layer surface and the acrylic pressure-sensitive adhesive tape at a peeling speed of 300 (m / min) is 200 mN / cm or less, further 150 mN. / Cm or less is preferable. When F (300 m / min) exceeds 200 mN / cm, it may be difficult to peel off the green sheet. When the release film of the present invention satisfies the above additional requirements at the same time, further light peeling can be achieved in the peeling process employing the surface peeling method.

さらに本発明の離型フィルムにおいては離型面の平坦性を確保するため、離型面の最大粗さ(P−V(Si))が700nm以下であることが好ましく、さらに好ましくは500nm以下、特に好ましくは300(nm)以下である。P−V(Si)が700nmを超える場合には、離型面の平坦性が不十分となり、例えば、平坦な表面を有するグリーンシートを得るのが困難になる場合がある。P−V(Si)の下限に関しては、離型フィルムの巻取り性あるいは搬送性等を考慮して、50nmとするのが好ましい。   Furthermore, in the release film of the present invention, in order to ensure the flatness of the release surface, the maximum roughness of the release surface (P-V (Si)) is preferably 700 nm or less, more preferably 500 nm or less, Particularly preferably, it is 300 (nm) or less. When PV (Si) exceeds 700 nm, the flatness of the release surface becomes insufficient, and for example, it may be difficult to obtain a green sheet having a flat surface. The lower limit of PV (Si) is preferably 50 nm in consideration of the winding property or transportability of the release film.

さらに本発明の離型フィルムにおいては、背面(離型層が設けられていない面)におけるフィルム巻取り性あるいは搬送性を良好とするために、離型層が設けられていない面の最大粗さ(P−V)が300nm以上を満足するのが好ましい。一方、P−Vの上限に関しては、グリーンシートが積層された離型フィルムを巻取った後、離型層が設けられていない面からグリーンシート表面への粗度転写等を考慮し、700nmを上限とするのが好ましい。   Furthermore, in the release film of the present invention, the maximum roughness of the surface where no release layer is provided in order to improve the film winding property or transportability on the back surface (the surface where the release layer is not provided). (PV) preferably satisfies 300 nm or more. On the other hand, regarding the upper limit of PV, after winding up the release film on which the green sheet is laminated, 700 nm is taken into consideration in consideration of roughness transfer from the surface where the release layer is not provided to the surface of the green sheet. The upper limit is preferable.

本発明における離型フィルムに関して、離型層の残留接着率は成形するグリーンシート表面への離型成分の移行あるいは転着を抑制するため、90%以上が好ましく、さらに好ましくは95%以上が良い。残留接着率が90%未満の場合、離型フィルムの離型面と接する相手方グリーンシート表面への離型成分の移行が多くなり、例えば、グリーンシート積層時にシート間接着力が低下する等の不具合を生じる場合がある。   Regarding the release film in the present invention, the residual adhesion rate of the release layer is preferably 90% or more, more preferably 95% or more in order to suppress the migration or transfer of the release component to the green sheet surface to be molded. . When the residual adhesion rate is less than 90%, the release component moves to the surface of the counterpart green sheet that comes into contact with the release surface of the release film. For example, the adhesive strength between sheets decreases when the green sheets are laminated. May occur.

本発明の離型フィルムは離型面から真空吸引等により垂直方向にグリーンシートを剥離する、いわゆる面剥離方式を採用する剥離工程に対応可能な離型フィルムを提供するため、その工業的価値は極めて高い。   The release film of the present invention provides a release film that can be applied to a peeling process employing a so-called surface peeling method, in which a green sheet is peeled from a release surface in the vertical direction by vacuum suction or the like. Extremely expensive.

以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。また、本発明で用いた測定法は次のとおりである。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to a following example, unless the summary is exceeded. The measuring method used in the present invention is as follows.

(1)ポリエステルの固有粘度の測定
ポリエステルに非相溶な他のポリマー成分および顔料を除去したポリエステル1gを精秤し、フェノール/テトラクロロエタン=50/50(重量比)の混合溶媒100mlを加えて溶解させ、30℃で測定した。
(1) Measurement of intrinsic viscosity of polyester 1 g of polyester from which other polymer components and pigments incompatible with polyester have been removed are precisely weighed, and 100 ml of a mixed solvent of phenol / tetrachloroethane = 50/50 (weight ratio) is added. It was dissolved and measured at 30 ° C.

(2)平均粒径(d50:μm)の測定
遠心沈降式粒度分布測定装置((株)島津製作所(製)SA−CP3型)を使用して測定した等価球形分布における積算(重量基準)50%の値を平均粒径とした。
(2) Measurement of average particle size (d 50 : μm) Integration (weight basis) in equivalent spherical distribution measured using centrifugal sedimentation type particle size distribution measuring device (Shimadzu Corporation SA-CP3 type) The value of 50% was taken as the average particle size.

(3)離型フィルムの剥離力(F)の評価
試料フィルムの離型層に粘着テープ(日東電工製「No.31B」)を貼り付けた後、50mm×300mmのサイズにカットし、室温にて1時間放置後の剥離力を測定する。剥離力は引張試験機((株)インテスコ製「インテスコモデル2001型」)を使用し、引張速度0.3m/minの条件下、180°剥離を行った。
(3) Evaluation of release film release force (F) Adhesive tape (Nitto Denko “No. 31B”) was applied to the release layer of the sample film, then cut to a size of 50 mm × 300 mm and brought to room temperature. Measure the peel force after standing for 1 hour. For the peeling force, a tensile tester (“Intesco model 2001 type” manufactured by Intesco Co., Ltd.) was used, and 180 ° peeling was performed under a tensile speed of 0.3 m / min.

(4)離型フィルムの剥離力(F(30m/min)、F(300m/min))評価
試料フィルムの離型層表面に粘着テープ(日東電工製「No.31B」)を貼り付けた後、50mm×300mmのサイズにカットし、室温にて1時間放置後の剥離力を測定する。剥離力はテスター産業(製)高速剥離試験機「TE−702型」を使用し、 試料フィルムの離型面が上面になるように固定し、貼り合わせている相手方No.31B粘着テープ側を剥離する方法にて、剥離速度が各々、30m/min、300m/minの条件下、180°剥離を行った。
(4) Evaluation of release film release force (F (30 m / min), F (300 m / min)) After sticking an adhesive tape (“Nitto Denko“ No. 31B ”) to the release layer surface of the sample film , Cut to a size of 50 mm x 300 mm, and measure the peel force after standing at room temperature for 1 hour. The peeling force was measured using a tester industry (manufactured by) high-speed peeling tester “TE-702 type”. In the method of peeling the 31B adhesive tape side, 180 ° peeling was performed under the conditions of peeling speeds of 30 m / min and 300 m / min, respectively.

(5)離型フィルムの剥離力(F(H))の評価(面剥離力測定の代用評価)
試料フィルムの離型面に下記樹脂組成物からなる樹脂シートを湿潤状態で150(g/m)の塗布量にて塗布した後、熱風式オーブン中において、120℃、1分間乾燥し、塗布厚み(乾燥後)が5g/mの樹脂シートが積層された積層フィルムを得た。次に得られた積層フィルムを40mm角に切り出した後、ステンレス製平板治具(サイズ:50mm角、厚み1mm)2枚を用いて、積層フィルムの両面に日東電工製No.502両面粘着テープを用いて貼付した。次に両面に治具を貼り付けた積層フィルムにおいて、樹脂シート面側が上面になるように(株)インテスコ製「インテスコモデル2001型」に固定し、積層フィルムのフィルム面に対して垂直方向に400mm/minの剥離速度で離型面から樹脂シートを面剥離した。同様の作業を10回繰り返した後の剥離成功率(%)を用いて、下記判定基準により判定を行った。なお、試料フィルムの離型面より樹脂シートが全面に剥離した場合にのみ、「剥離成功」と判定した。部分的に剥離する場合、あるいは剥離困難な場合には「剥離不成功」として判定を行った。
(5) Evaluation of release film peeling force (F (H)) (substitute evaluation of surface peeling force measurement)
A resin sheet made of the following resin composition was applied to the release surface of the sample film in a wet state at a coating amount of 150 (g / m 2 ), and then dried in a hot air oven at 120 ° C. for 1 minute. A laminated film in which a resin sheet having a thickness (after drying) of 5 g / m 2 was laminated was obtained. Next, after cutting out the obtained laminated film into a 40 mm square, using a stainless steel flat plate jig (size: 50 mm square, thickness 1 mm), Nitto Denko no. Affixed using 502 double-sided adhesive tape. Next, in the laminated film with the jigs attached on both sides, the resin sheet surface side is fixed to “Intesco Model 2001” manufactured by Intesco Co., Ltd. in a direction perpendicular to the film surface of the laminated film. The resin sheet was peeled from the release surface at a peeling speed of 400 mm / min. Using the peeling success rate (%) after repeating the same operation 10 times, the determination was made according to the following criteria. In addition, it was determined as “successful peeling” only when the resin sheet peeled from the release surface of the sample film. In the case of partial peeling or difficulty in peeling, the judgment was made as “unsuccessful peeling”.

《樹脂シート組成物》
・ポリビニルブチラール樹脂(積水化学製 エスレックBM−S) 20部
・フタ−ル酸ジオクチル 5部
・トルエン/エタノール(混合比率は6:4) 100部
<Resin sheet composition>
・ Polyvinyl butyral resin (Sekisui Chemical S-REC BM-S) 20 parts ・ Dioctyl phthalate 5 parts ・ Toluene / ethanol (mixing ratio 6: 4) 100 parts

《判定基準》
○ …剥離成功率が90%以上(実用上問題ないレベル)
△ …剥離成功率が70%以上90%未満(実用上問題となる場合があるレベル)
× …剥離成功率が50%以上70%未満(実用上、問題あるレベル)
×× …剥離成功率が50%未満(実用上、特に問題あるレベル)
<Criteria>
○ ... Peeling success rate of 90% or more (a level that is not problematic for practical use)
Δ: Peeling success rate of 70% or more and less than 90% (a level that may cause a practical problem)
×: Peeling success rate of 50% or more and less than 70% (practical problem level)
XX ... Peeling success rate is less than 50% (practically problematic level)

(6)離型フィルムの離型面および離型層が設けられていない面の最大粗さ(P−V(Si)、P−V)評価
直接位相検出干渉法、いわゆるマイケルソンの干渉を利用した2光束干渉法を用いた、非接触表面計測システム「マイクロマップ社製(Micromap512)」により、試料フィルムの離型面の最大粗さ(P−V(Si))および離型層が設けられていない面の最大粗さ(P−V)を計測した。なお、測定波長は554nmとし、対物レンズは20倍を用いて、20視野計測し、その平均値を採用した。
(6) Maximum roughness (P-V (Si), PV) evaluation of the release film and the release-layer surface of the release film Utilizing direct phase detection interferometry, so-called Michelson interference The maximum roughness (PV (Si)) of the release surface of the sample film and the release layer are provided by the non-contact surface measurement system “Micromap 512” using the two-beam interference method. The maximum roughness (P-V) of the uncoated surface was measured. The measurement wavelength was 554 nm, the objective lens was 20 times using 20 magnifications, and the average value was adopted.

(7)離型層の塗布量(Si)測定
蛍光X線測定装置((株)島津製作所(製)型式「XRF−1500」)を用いてFP(Fundamental Parameter Method)法により、下記測定条件下、離型フィルムの離型層が設けられた面および離型層がない面の珪素元素量を測定し、その差をもって、離型層中の珪素元素量とした。次に得られた珪素元素量を用いて、−SiO(CHのユニットとしての塗布量(Si)(g/m)を算出した。
(7) Measurement of release layer coating amount (Si) Using a fluorescent X-ray measurement device (Shimadzu Corporation, model “XRF-1500”) by the FP (Fundamental Parameter Method) method, the following measurement conditions The amount of silicon element on the surface of the release film provided with the release layer and the surface without the release layer was measured, and the difference was taken as the amount of silicon element in the release layer. Next, the coating amount (Si) (g / m 2 ) as a unit of —SiO (CH 3 ) 2 was calculated using the obtained amount of silicon element.

《測定条件》
分光結晶:PET(ペンタエリスリトール)
2θ:108.88°
管電流:95mA
管電圧:40kv
"Measurement condition"
Spectral crystal: PET (pentaerythritol)
2θ: 108.88 °
Tube current: 95 mA
Tube voltage: 40 kv

(8)離型フィルムの残留接着率評価
(i)残留接着力
試料フィルムの離型面に日東電工(製)No.31B粘着テープを2kgゴムローラーにて1往復圧着し、100℃で1時間加熱処理する。次いで、圧着したサンプルからNo.31B粘着テープを剥がし、JIS−C−2107(ステンレス板に対する粘着力、180°引き剥がし法)の方法に準じて接着力を測定する。これを残留接着力とする。
(8) Evaluation of residual adhesion rate of release film (i) Residual adhesion strength Nitto Denko (manufactured) No. The 31B adhesive tape is subjected to one reciprocating pressure bonding with a 2 kg rubber roller, and heat-treated at 100 ° C. for 1 hour. Next, no. The 31B pressure-sensitive adhesive tape is peeled off, and the adhesive strength is measured according to the method of JIS-C-2107 (adhesive strength to stainless steel plate, 180 ° peeling method). This is the residual adhesive strength.

(ii)基礎接着力
残留接着力の場合と同じ粘着テープ(No.31B)を用いて、JIS−C−2107に準じてステンレス板に粘着テープを圧着して、同様の要領にて測定を行う。この時の値を基礎接着力とする。これらの測定値を用いて、下記式に基づいて残留接着率を求める。
残留接着率(%)=(残留接着力/基礎接着力)×100
なお、測定は20±2℃、65±5%RHにて行う。
(Ii) Basic adhesive strength Using the same adhesive tape (No. 31B) as the residual adhesive strength, press the adhesive tape on the stainless steel plate according to JIS-C-2107, and measure in the same manner. . The value at this time is defined as the basic adhesive strength. Using these measured values, the residual adhesion rate is determined based on the following equation.
Residual adhesion rate (%) = (residual adhesive force / basic adhesive force) × 100
The measurement is performed at 20 ± 2 ° C. and 65 ± 5% RH.

(9)離型フィルムの長手方向および幅方向のフィルム厚みむら測定
試料フィルムを30mm幅×3m長に切り出す。その後、安立電気社製連続フィルム厚み測定器(電子マイクロメーター使用)により測定し、下記式によりフィルム厚みむらを算出した。
厚みむら(%)=(最大厚み−最小厚み)/平均厚み×100
例えば、試料サンプルがA4カット判サイズの場合には30mm幅に切り出したサンプル同士をつなぎ合わせて、測定長3m分(つなぎ部は除く)を確保する要領にて測定を行うことができる。
(9) Measurement of film thickness unevenness in the longitudinal direction and the width direction of the release film A sample film is cut into 30 mm width × 3 m length. Then, it measured with the continuous film thickness measuring device (electronic micrometer use) by Anritsu Electric Co., Ltd., and calculated film thickness nonuniformity by the following formula.
Unevenness of thickness (%) = (maximum thickness−minimum thickness) / average thickness × 100
For example, when the sample sample is an A4 cut size, the samples cut into a width of 30 mm can be joined together, and measurement can be performed in a manner of securing a measurement length of 3 m (excluding the joining portion).

(10)セラミックグリーンシートの厚みむら評価
下記組成から構成されるセラミックスラリーを公知の手法により湿潤状態で12μmとなるようにスロットダイを用いて、試料フィルムの離型面にセラミック層を塗設し、セラミックグリーンシートを作成し、セラミックグリーンシートの厚さを非接触式のβ線厚さ計にてフィルム上における縦方向、横方向のセラミック層の厚さを実測し、その結果を基に下記判定基準にて判定を行った。
(10) Evaluation of thickness unevenness of ceramic green sheet A ceramic layer having the following composition is coated on the mold release surface of the sample film using a slot die so that the thickness becomes 12 μm in a wet state by a known method. The ceramic green sheet was prepared, and the thickness of the ceramic green sheet was measured with the non-contact β-ray thickness meter on the film in the vertical and horizontal directions. Judgment was made based on the judgment criteria.

<セラミックスラリー組成>
セラミック粉体(チタン酸バリウム) 100部
結合剤(ポリビニルブチラール樹脂) 5部
可塑剤(フタル酸ジオクチル) 1部
トルエン/MEK混合溶媒(1:1の配合比率) 100部
<Ceramic slurry composition>
Ceramic powder (barium titanate) 100 parts Binder (polyvinyl butyral resin) 5 parts Plasticizer (dioctyl phthalate) 1 part Toluene / MEK mixed solvent (1: 1 mixing ratio) 100 parts

<グリーンシート厚さムラ判定基準>
○:厚みむらが3%未満(実用上問題のないレベル)
×:厚みむらが3%以上(実用上問題あるレベル)
<Green sheet thickness unevenness criteria>
○: Unevenness of thickness is less than 3% (a level with no practical problem)
×: Thickness unevenness of 3% or more (practically problematic level)

〈ポリエステルの製造〉
製造例1(ポリエチレンテレフタレートA1)
テレフタル酸86部、エチレングリコール70部を反応器にとり、約250℃で4時間エステル交換反応を行った。三酸化アンチモンを0.03部およびリン酸0.01部、平均粒径0.2μmの酸化アルミニウム粒子を0.2部加え、250℃から285℃まで徐々に昇温すると共に圧力を徐々に減じて0.5mmHgとした。4時間後、重合反応を停止し、極限粘度0.65のポリエチレンテレフタレートA1を得た。
<Manufacture of polyester>
Production Example 1 (Polyethylene terephthalate A1)
86 parts of terephthalic acid and 70 parts of ethylene glycol were placed in a reactor and subjected to a transesterification reaction at about 250 ° C. for 4 hours. Add 0.03 part of antimony trioxide, 0.01 part of phosphoric acid, 0.2 part of aluminum oxide particles with an average particle size of 0.2 μm, gradually raise the temperature from 250 ° C. to 285 ° C. and gradually reduce the pressure. 0.5 mmHg. After 4 hours, the polymerization reaction was stopped to obtain polyethylene terephthalate A1 having an intrinsic viscosity of 0.65.

製造例2(ポリエチレンテレフタレートA2)
製造例1において、平均粒径0.2μmの酸化アルミニウム粒子0.2部用いる代わりに平均粒径1.5μmの二酸化珪素粒子0.1部用いる以外は製造例2と同様にして製造し、ポリエチレンテレフタレートA2を得た。
Production Example 2 (Polyethylene terephthalate A2)
In Production Example 1, polyethylene oxide is produced in the same manner as in Production Example 2 except that 0.1 part of silicon dioxide particles having an average particle diameter of 1.5 μm is used instead of 0.2 part of aluminum oxide particles having an average particle diameter of 0.2 μm. Terephthalate A2 was obtained.

製造例3(ポリエチレンテレフタレートA3)
製造例1において、平均粒径0.2μmの酸化アルミニウム粒子0.2部用いる代わりに平均粒径0.7μmの炭酸カルシウム粒子0.2部を用いる以外は製造例2と同様にして製造し、ポリエチレンテレフタレートA3を得た。
Production Example 3 (Polyethylene terephthalate A3)
In Production Example 1, instead of using 0.2 parts of aluminum oxide particles having an average particle diameter of 0.2 μm, 0.2 parts of calcium carbonate particles having an average particle diameter of 0.7 μm are used, and the production is performed in the same manner as in Production Example 2, Polyethylene terephthalate A3 was obtained.

製造例4(ポリエチレンテレフタレートA4)
製造例1において、平均粒径0.2μmの酸化アルミニウム粒子0.2部を用いる代わりに平均粒径0.2μmの酸化アルミニウム粒子1部を用いる以外は製造例1と同様にして製造し、ポリエチレンテレフタレートA4を得た。
Production Example 4 (polyethylene terephthalate A4)
In Production Example 1, polyethylene oxide is produced in the same manner as in Production Example 1, except that 1 part of aluminum oxide particles having an average particle diameter of 0.2 μm is used instead of 0.2 part of aluminum oxide particles having an average particle diameter of 0.2 μm. Terephthalate A4 was obtained.

製造例5(ポリエチレンテレフタレートA5)
製造例2において、平均粒径1.5μmの二酸化珪素粒子0.1部用いる代わりに平均粒径1.5μmの二酸化珪素粒子4部用いる以外は製造例1と同様にして製造し、ポリエチレンテレフタレートA5を得た。
Production Example 5 (polyethylene terephthalate A5)
In Production Example 2, polyethylene terephthalate A5 was produced in the same manner as in Production Example 1 except that 0.1 part of silicon dioxide particles having an average particle diameter of 1.5 μm was used instead of 4 parts of silicon dioxide particles having an average particle diameter of 1.5 μm. Got.

〈ポリエステルフィルムの製造〉
製造例6(PETフィルムF1)
製造例1で製造したポリエチレンテレフタレートA1を180℃で4時間、不活性ガス雰囲気中で乾燥し、溶融押出機により290℃で溶融し、口金から押出し静電印加密着法を用いて表面温度を40℃に設定した冷却ロール上で冷却固化して未延伸シートを得た。次いで、下記組成からなる塗布剤を塗布した後、フィルムをテンターに導き、90℃で縦方向に4.5倍、横方向に4.8倍、同時二軸延伸した後、230℃にて熱固定を行い、厚さ38μmのPETフィルムF1を得た。
<Manufacture of polyester film>
Production Example 6 (PET film F1)
The polyethylene terephthalate A1 produced in Production Example 1 was dried at 180 ° C. for 4 hours in an inert gas atmosphere, melted at 290 ° C. by a melt extruder, extruded from a die, and the surface temperature was adjusted to 40 using an electrostatic application adhesion method. The sheet was cooled and solidified on a cooling roll set to ° C. to obtain an unstretched sheet. Next, after applying a coating agent having the following composition, the film was guided to a tenter, and simultaneously biaxially stretched 4.5 times in the longitudinal direction and 4.8 times in the transverse direction at 90 ° C., and then heated at 230 ° C. Fixing was performed to obtain a PET film F1 having a thickness of 38 μm.

製造例7(PETフィルムF2)
製造例6において、ポリエチレンテレフタレートA1の代わりに製造例2で製造したポリエチレンテレフタレートA2を用いる以外は製造例6と同様にして、厚さ38μmのPETフィルムF2を得た。
Production Example 7 (PET film F2)
In Production Example 6, a PET film F2 having a thickness of 38 μm was obtained in the same manner as in Production Example 6 except that polyethylene terephthalate A2 produced in Production Example 2 was used instead of polyethylene terephthalate A1.

製造例8(PETフィルムF3)
製造例6において、ポリエチレンテレフタレートA1の代わりに製造例3で製造したポリエチレンテレフタレートA3を用いる以外は製造例6と同様にして、厚さ38μmのPETフィルムF3を得た。
Production Example 8 (PET film F3)
In Production Example 6, a PET film F3 having a thickness of 38 μm was obtained in the same manner as in Production Example 6 except that polyethylene terephthalate A3 produced in Production Example 3 was used instead of polyethylene terephthalate A1.

製造例9(PETフィルムF4)
製造例1で製造したポリエチレンテレフタレートA1を180℃で4時間、不活性ガス雰囲気中で乾燥し、溶融押出機により290℃で溶融し、口金から押出し静電印加密着法を用いて表面温度を40℃に設定した冷却ロール上で冷却固化して未延伸シートを得た。次いで、85℃で縦方向に3.5倍延伸した。その後、フィルムをテンターに導き、横方向に3.8倍延伸した後、230℃にて熱固定を行い、厚さ38μmのPETフィルムF4を得た。
Production Example 9 (PET film F4)
The polyethylene terephthalate A1 produced in Production Example 1 was dried at 180 ° C. for 4 hours in an inert gas atmosphere, melted at 290 ° C. by a melt extruder, extruded from a die, and the surface temperature was adjusted to 40 using an electrostatic application adhesion method. The sheet was cooled and solidified on a cooling roll set to ° C. to obtain an unstretched sheet. Next, the film was stretched 3.5 times in the longitudinal direction at 85 ° C. Thereafter, the film was guided to a tenter and stretched 3.8 times in the lateral direction, and then heat-fixed at 230 ° C. to obtain a PET film F4 having a thickness of 38 μm.

製造例10(PETフィルムF5)
製造例9において、ポリエチレンテレフタレートA1の代わりに製造例2で製造したポリエチレンテレフタレートA4を用いる以外は製造例9と同様にして、厚さ38μmのPETフィルムF5を得た。
Production Example 10 (PET film F5)
In Production Example 9, a PET film F5 having a thickness of 38 μm was obtained in the same manner as in Production Example 9 except that polyethylene terephthalate A4 produced in Production Example 2 was used instead of polyethylene terephthalate A1.

製造例11(PETフィルムF6)
製造例9において、ポリエチレンテレフタレートA1の代わりに製造例4で製造したポリエチレンテレフタレートA5を用いる以外は製造例9と同様にして、厚さ38μmのPETフィルムF6を得た。
Production Example 11 (PET film F6)
In Production Example 9, a PET film F6 having a thickness of 38 μm was obtained in the same manner as in Production Example 9 except that polyethylene terephthalate A5 produced in Production Example 4 was used instead of polyethylene terephthalate A1.

製造例4で得たPETフィルムF1に下記組成からなる離型剤を塗布量(乾燥後)が0.06g/mになるようにグラビアコート方式にて塗布し、120℃、30秒間熱処理した後、離型フィルムを得た。
《離型剤組成》
硬化型シリコーン樹脂(信越化学製:KS−774) 49.5重量%
硬化型シリコーン樹脂(信越化学製:X−62−1387) 49.5重量%
硬化剤(信越化学製:PL−50T) 1重量%
トルエン/MEKの混合溶媒(混合比率は1:1)にて希釈し、固型分濃度2重量%塗布液を作製した。
A release agent having the following composition was applied to the PET film F1 obtained in Production Example 4 by a gravure coating method so that the coating amount (after drying) was 0.06 g / m 2 and heat-treated at 120 ° C. for 30 seconds. Later, a release film was obtained.
<Releasing agent composition>
Curing type silicone resin (manufactured by Shin-Etsu Chemical: KS-774) 49.5% by weight
Curable silicone resin (X-62-1387, manufactured by Shin-Etsu Chemical) 49.5% by weight
Curing agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical: PL-50T) 1% by weight
The mixture was diluted with a toluene / MEK mixed solvent (mixing ratio was 1: 1) to prepare a coating solution having a solid content concentration of 2% by weight.

実施例1において、PETフィルムF1の代わりにPETフィルムF2を用いる以外は実施例1と同様にして製造し、離型フィルムを得た。   In Example 1, it manufactured like Example 1 except using PET film F2 instead of PET film F1, and obtained the release film.

実施例1において、PETフィルムF1の代わりにPETフィルムF3を用いる以外は実施例1と同様にして製造し、離型フィルムを得た。   In Example 1, it manufactured like Example 1 except having used PET film F3 instead of PET film F1, and obtained the release film.

実施例1において、PETフィルムF1の代わりにPETフィルムF4を用いる以外は実施例1と同様にして製造し、離型フィルムを得た。   In Example 1, it manufactured like Example 1 except having used PET film F4 instead of PET film F1, and obtained the release film.

実施例1において、PETフィルムF1の代わりにPETフィルムF5を用いる以外は実施例1と同様にして製造し、離型フィルムを得た。   In Example 1, it manufactured like Example 1 except having used PET film F5 instead of PET film F1, and obtained the release film.

実施例1において、PETフィルムF1の代わりにPETフィルムF6を用いる以外は実施例1と同様にして製造し、離型フィルムを得た。   In Example 1, it manufactured like Example 1 except having used PET film F6 instead of PET film F1, and obtained the release film.

実施例1において離型剤組成を下記離型剤組成に変更する以外は実施例1と 同様にして製造し、離型フィルムを得た。
《離型剤組成》
硬化型シリコーン樹脂(信越化学製:KS−774) 64.5重量%
硬化型シリコーン樹脂(信越化学製:X−62−1387) 34.5重量%
硬化剤(信越化学製:PL−50T) 1重量%
トルエン/MEKの混合溶媒(混合比率は1:1)にて希釈し、固型分濃度 2重量%塗布液を作製した。
A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the release agent composition was changed to the following release agent composition in Example 1.
<Releasing agent composition>
Curable silicone resin (manufactured by Shin-Etsu Chemical: KS-774) 64.5% by weight
Curable silicone resin (manufactured by Shin-Etsu Chemical: X-62-1387) 34.5% by weight
Curing agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical: PL-50T) 1% by weight
The mixture was diluted with a toluene / MEK mixed solvent (mixing ratio was 1: 1) to prepare a coating solution having a solid content concentration of 2% by weight.

実施例1において、PETフィルムF1の代わりに三菱化学ポリエステルフィルム社製ダイアホイルT300(厚み30μm)を用いる以外は実施例1と同様にして製造し、離型フィルムを得た。   In Example 1, it manufactured like Example 1 except having used Diafoil T300 (thickness 30 micrometers) by Mitsubishi Chemical Polyester Film Co. instead of PET film F1, and obtained the release film.

(比較例1)
実施例1において、離型層の塗布厚み(乾燥後)を0.12g/mにする以外は実施例1と同様にして製造し、離型フィルムを得た。
(Comparative Example 1)
In Example 1, it manufactured like Example 1 except the application thickness (after drying) of a release layer having been 0.12 g / m < 2 >, and the release film was obtained.

(比較例2)
実施例1において離型剤組成を下記離型剤組成に変更する以外は実施例1と同様にして製造し、離型フィルムを得た。
(Comparative Example 2)
A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the release agent composition was changed to the following release agent composition in Example 1.

《離型剤組成》
硬化型シリコーン樹脂(信越化学製:KS−774) 99重量%
硬化剤(信越化学製:PL−50T) 1重量%
トルエン/MEKの混合溶媒(混合比率は1:1)にて希釈し、固型分濃度2重量%塗布液を作製した。
<Releasing agent composition>
Curable silicone resin (manufactured by Shin-Etsu Chemical: KS-774) 99% by weight
Curing agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical: PL-50T) 1% by weight
The mixture was diluted with a toluene / MEK mixed solvent (mixing ratio was 1: 1) to prepare a coating solution having a solid content concentration of 2% by weight.

(比較例3)
実施例1において、離型層の塗布厚み(乾燥後)を0.004g/mにする以外は実施例1と同様にして製造し、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムは離型面のはじきが発生しているのが確認され、実用上問題あるレベルであった。
以上、得られた結果をまとめて下記表1〜表4に示す。
(Comparative Example 3)
In Example 1, it manufactured like Example 1 except the application thickness (after drying) of a release layer having been 0.004 g / m < 2 >, and the release film was obtained. The obtained release film was confirmed to be repelled on the release surface, and had a practically problematic level.
The obtained results are summarized in Tables 1 to 4 below.

Figure 0004391858
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本発明のフィルムは、例えば、詳しくはセラミック積層コンデンサー、セラミック基板等のセラミック電子部品製造時に使用するグリーンシート成形用として、離型フィルムの離型面から真空吸引等により垂直方向にグリーンシートを剥離する、いわゆる面剥離方式を採用する剥離工程に対応可能な離型フィルムとして好適に利用することができる。   For example, the film of the present invention peels off the green sheet in the vertical direction by vacuum suction or the like from the release surface of the release film, for example, for forming a green sheet used in the production of ceramic electronic components such as ceramic multilayer capacitors and ceramic substrates. Therefore, it can be suitably used as a release film that can cope with a peeling process employing a so-called surface peeling method.

Claims (1)

ポリエステルフィルムの一方の面に、T単位(SiO 3/2 )構造を有するシリコーン系化合物を含有する離型層を有するフィルムであり、下記式(1)および(2)を同時に満足することを特徴とするグリーンシート成形用離型フィルム。
F(300m/min)/F(30m/min)≦2.0 …(1)
0.01≦Si≦0.10 …(2)
(上記式中、F(300m/min)およびF(30m/min)は離型フィルムにおいて、剥離速度が各々300m/min、30m/minにおける離型層表面とアクリル系粘着テープとの剥離力(mN/cm)、Siは離型層の厚み(g/m)を表す。)
It is a film having a release layer containing a silicone compound having a T unit (SiO 3/2 ) structure on one surface of a polyester film, and simultaneously satisfies the following formulas (1) and (2) A release film for forming green sheets.
F (300 m / min) / F (30 m / min) ≦ 2.0 (1)
0.01 ≦ Si ≦ 0.10 (2)
(In the above formula, F (300 m / min) and F (30 m / min) are release films, and the release force between the release layer surface and the acrylic pressure-sensitive adhesive tape at release rates of 300 m / min and 30 m / min, respectively ( mN / cm), Si represents the thickness (g / m 2 ) of the release layer.
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