JP4391808B2 - 太陽電池用シリコンウエハの再生方法、太陽電池セルの形成方法及び太陽電池用シリコンインゴットの作製方法 - Google Patents
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Description
本発明の再生方法は、
(1)フッ酸処理にて反射防止膜と表裏面の銀電極膜を除去する工程と、
(2)塩酸処理にてアルミニウム電極層を除去する工程と、
(3)硝酸とフッ酸の混合液処理又は水酸化ナトリウム処理にて不純物層を除去する工程と
を行う。(1)及び(2)工程は、どちらを先に行ってもよい。(3)工程は、(1)及び(2)工程後に行われる。
図1は、一般的なシリコン太陽電池セルの断面図である。図1の太陽電池セルは、P−typeシリコンウエハ1の上面(受光面)側にリンをドープすることで形成されたN−typeシリコンからなる不純物層2を備え、シリコンウエハ1と不純物層2の界面にPN接合が形成されている。不純物層2の上に窒化シリコンの反射防止膜3と受光面側の表面銀電極膜4を備えている。また、P−typeシリコンウエハ1の裏面側には、裏面銀電極膜5とアルミニウム電極層6を備えている。更に、アルミニウム電極層6と接するシリコンウエハ1にはBSF層7を備えている。裏面銀電極膜5とアルミニウム電極層6は、塗布法で裏面銀電極膜形成用の銀ペースト層と、銀ペースト層の周囲を含んでほぼ全面的にアルミニウムペースト層とを形成し、それらを焼成することで形成されている。BSF層7は、この焼成時に、アルミニウムペースト層からアルミニウム原子をシリコンウエハ1に侵入させることで形成されている。
硝酸とフッ酸とを含む混合液の代わりに、85℃に加熱した5%濃度の水酸化ナトリウム溶液に1分間浸漬すること以外は実施例1と同様にシリコンウエハを処理する。
実施例1の硝酸とフッ酸とを含む混合液での処理後、十分に純水洗浄し、さらに、塩酸及び過酸化水素水からなる混合液(塩酸と過酸化水素水とを1:1の割合で含み、混合液に対して、塩酸と過酸化水素水の合計量を20%含む)により70℃で10分間処理し、次いで、アンモニア水及び過酸化水素水からなる混合液(アンモニア水と過酸化水素水とを3:1の割合で含み、混合液に対して、アンモニア水と過酸化水素水の合計量を20%含む)により70℃で10分間処理する。これらの処理により、シリコン表面の酸化を防いで表面を安定させるとともに、表面を中和することができる。
また、一般に、銀電極膜の除去は上記で説明した処理工程では困難な場合がある。これは、銀電極に含まれる銀、ガラス成分の状態がさまざまなであるため、ガラス成分がフッ酸でエッチングされにくい場合があるためと考えられる。
2 不純物層
3 反射防止膜
4、5 銀電極膜
6 アルミニウム電極層
7 BSF層
8 はんだ層
Claims (7)
- シリコンウエハの表面層に形成された不純物層と、不純物層上に形成された表面銀電極膜及び反射防止膜と、シリコンウエハ裏面に形成された裏面銀電極膜とアルミニウム電極層とからなる太陽電池セルで、特性不良を示す太陽電池セルを含むシリコンウエハを、フッ酸処理にて反射防止膜と表裏面の銀電極膜を除去する工程及び塩酸処理にてアルミニウム電極層を除去する工程をこの順又は逆順で行った後、硝酸とフッ酸の混合液処理又は水酸化ナトリウム処理にて不純物層を除去する工程を行うことを特徴とする太陽電池用シリコンウエハの再生方法。
- 表裏面銀電極膜上にはんだ層を更に備え、フッ酸処理前に、太陽電池セルを含むシリコンウエハをはんだ槽へ投入する請求項1に記載の再生方法。
- フッ酸処理、塩酸処理及び混合液処理を複数回繰り返す請求項1又は2に記載の再生方法。
- 硝酸とフッ酸の混合液処理後、塩酸と過酸化水素水の複合液処理にてシリコンウエハ表面の酸化を防いで表面を安定させる請求項1〜3のいずれか1つに記載の再生方法。
- 塩酸と過酸化水素水の複合液処理後、アンモニア水と過酸化水素水の複合液処理によりさらにシリコンウエハ表面を中和する請求項4に記載の再生方法。
- 請求項1〜5のいずれか1つに記載の方法により再生されたシリコンウエハに太陽電池セルを形成することを特徴とする太陽電池セルの形成方法。
- 請求項1〜5いずれか1つの方法により再生されたシリコンウエハを用いて太陽電池用シリコンインゴットを作製することを特徴とする太陽電池用シリコンインゴットの作製方法。
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