JP4366239B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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FIB装置の概略構成図を示す。液体金属イオン源11から引き出し電極12により引き出されたGaイオンビームは加速電圧Voで加速され、集束レンズ13,ビーム制限絞り14,偏向器15,対物レンズ16などからなるイオン光学系で集束,偏向されて、試料3上を走査する。この時、ビームの照射により試料表面から発生した二次信号は、二次信号検出器19によって検出し、アンプ20により増幅され、偏向制御と同期させる事によりデータ処理部21の画像表示装置22上にSIM像として表示される。試料3はステージ30の上に搭載され、少なくともX,Y,Z方向に移動可能なステージ30を移動させる事により試料3上の任意の位置を観察・加工する事ができる。加速電圧Vo,各レンズ(この場合は集束レンズ13,対物レンズ16)の電圧,ビーム制限絞り14などの条件はデータ処理部21に記憶され、それぞれの条件に応じて加速電圧Voの高電圧電源23,引き出し電圧Vextの高電圧電源24,集束レンズ13の高電圧電源25,対物レンズ16の高電圧電源27を制御する処理部21で、加工領域の設定,加工・観察に用いる一連のビーム条件を自動で設定できる。
条件1:プローブ6先端付近にてガス供給部5からの放出ガスの濃度分布の中心部がくるように位置調整する。
条件2:プローブ6が試料3表面に達する前にガス供給部5が試料3に接触しないように、プローブ6先端部はガス供給部5の最下部よりも試料3側に配置する。
36が検知すると、ユニット34の移動制御部33は移動するのを止める。その位置で加工・処理を開始する。このフローをすべて自動化することで、加工を含む自動化が可能になる。
51がメッシュ52に接触した状態でGAD加工を行い、分離した試料51とメッシュ
52をGADによる体積膜で固定する。固定後、プローブ6の分離した試料51との接続部をFIBにより切断する。その後、TEMの電子ビームを側方より照射して分離した試料の観察を行う。
52の一部分のみとなっていた。このため、従来の取り付け範囲54は長さが500μm程度であり、分離した試料51を1つのメッシュに5,6検体しか取り付けることが出来なかった。
Claims (15)
- 荷電粒子源と電磁あるいは静電レンズと、荷電粒子線を走査するための偏向器と、試料を搭載して移動可能な試料駆動機構と、試料から荷電粒子の照射によって発生した二次信号を検出する手段と、検出した二次信号を画像として形成,表示する手段と、試料にガスアシストデポジション用のガスを供給するガス供給部と、該ガス供給部を移動する手段と、ガスアシストデポジション膜により試料と接続されるプローブと、該プローブを移動する手段とを備えた荷電粒子線装置において、
前記ガス供給部移動手段と、前記プローブ移動手段の移動手段の少なくとも一部が共通であり、前記ガス供給部と前記プローブを少なくとも一部が共通の移動手段にて動作させ、
前記プローブ先端部が試料に接触したとき、前記プローブ先端部付近にて前記ガス供給部からの放出ガスの濃度分布の中心部がくるように前記ガス供給部が位置調整され、当該プローブ先端部付近では、供給される前記ガスアシストデポジション用のガスの濃度がガスアシストデポジションに適した状態となることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源と電磁あるいは静電レンズと、荷電粒子線を走査するための偏向器と、試料を搭載して移動可能な試料駆動手段と、試料から荷電粒子の照射によって発生した二次信号を検出する手段と、検出した二次信号を画像として形成,表示する手段と、試料表面にガスアシストデポジション用のガスを供給するガス供給部と、ガスアシストデポジション膜により試料と接続されるプローブとを備えた荷電粒子線装置において、
前記ガス供給部は、前記プローブと一定の位置関係を保つよう制御され、
前記プローブ先端部が試料に接触したとき、前記プローブ先端部付近にて前記ガス供給部からの放出ガスの濃度分布の中心部がくるように前記ガス供給部が位置調整され、当該プローブ先端部付近では、供給される前記ガスアシストデポジション用のガスの濃度がガスアシストデポジションに適した状態となることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源と電磁あるいは静電レンズと、荷電粒子線を走査するための偏向器と、試料を搭載して移動可能な試料駆動手段と、試料から荷電粒子の照射によって発生した二次信号を検出する手段と、検出した二次信号を画像として形成,表示する手段と、試料表面にガスアシストデポジション用のガスを供給するガス供給部と、ガスアシストデポジション膜により試料と接続されるプローブとを備えた荷電粒子線装置において、
前記ガス供給部と前記プローブは複合体を形成し、前記プローブ先端部が試料に接触したとき、前記プローブ先端部付近にて前記ガス供給部からの放出ガスの濃度分布の中心部がくるように前記ガス供給部が位置調整され、当該プローブ先端部付近では、供給される前記ガスアシストデポジション用のガスの濃度がガスアシストデポジションに適した状態となることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1乃至3記載の荷電粒子装置において、試料周辺にガスを供給することと、試料上を荷電粒子で照射することを同時に行い、前記照射によって試料表面に形成される堆積膜によって、前記プローブと試料とを接続させ、試料あるいはその一部を移動させることが可能な荷電粒子線装置。
- 請求項1乃至3記載の荷電粒子線装置において、前記ガス供給部移動手段と前記プローブ移動手段の共通部は、少なくともX,Y,Z方向への移動手段を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1乃至3記載の移動手段のうち、前記プローブを前記ガス供給部とは別に位置を調整する手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1乃至3記載の荷電粒子線装置において、前記プローブは前記ガス供給部よりも試料側に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1乃至3記載の荷電粒子線装置において、前記プローブを試料表面に接触あるいは表面近傍に配置することにより、試料の帯電の制御を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1乃至3において、前記ガスを加熱するガス加熱手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項9において、前記ガス源と前記ガス加熱手段は一体化されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項9において、前記ガス供給部と前記プローブとは熱絶縁されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項9において、前記ガス源および前記ガス加熱手段は試料室内に配置することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項12において、前記ガス供給部は、試料室とは別に予備排気系を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1乃至13において、荷電粒子線は集束イオンビーム(FIB)であることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1乃至14において、前記ガス供給部が、ガスアシストエッチング用のガスも供給することを特徴とする荷電粒子線装置。
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