JP4363443B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Description
12…LiTaO3基板
13a,13b…IDT
15…SiO2膜
Claims (8)
- 回転Y板のLiTaO3基板と、
前記LiTaO3基板上に形成されており、Alよりも密度の高い金属からなる少なくとも1つのIDTと、
前記IDTを覆うように前記LiTaO3基板上に形成されたSiO2膜とを備え、
前記IDTがAuまたはAu合金からなり、前記LiTaO3基板のカット角、IDTの電極規格化膜厚及びSiO2の規格化膜厚が、下記の表1の(e)または(k)で表される組み合わせのいずれかである、弾性表面波装置。
- 回転Y板のLiTaO3基板と、
前記LiTaO3基板上に形成されており、Alよりも密度の高い金属からなる少なくとも1つのIDTと、
前記IDTを覆うように前記LiTaO3基板上に形成されたSiO2膜とを備え、
前記IDTがAuまたはAu合金からなり、前記LiTaO3基板のカット角、IDTの電極規格化膜厚及びSiO2の規格化膜厚が、下記の表2の(m)〜(r)で示される組み合わせのいずれかである、弾性表面波装置。
- 前記IDTの上面と、前記SiO2膜との間に形成された密着層をさらに備える、請求項1または2に記載の弾性表面波装置。
- 前記密着層が、前記LiTaO3基板と前記SiO2膜との界面にも形成されている、請求項3に記載の弾性表面波装置。
- 前記密着層が、前記IDTの上面だけでなく、SiO2膜とIDTの界面の全領域に形成されている、請求項3または4に記載の弾性表面波装置。
- 前記LiTaO3基板上に形成されており、少なくともバスバー及び外部との電極的接続のための電極パッドを含む複数の電極をさらに備え、各電極が、Alよりも密度の高い金属からなる下地電極層と、下地電極層上に形成されており、かつAlまたはAl合金からなる上層金属層とを備える、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性表面波装置。
- 弾性表面波として、SH波を主成分とする漏洩弾性表面波を用いることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性表面波装置。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性表面波装置の製造方法であって、
回転Y板のLiTaO3基板を用意する工程と、
前記LiTaO3基板上に少なくとも1つのIDTを、Auを用いて形成する工程と、
前記IDTを形成した後に、周波数調整を行う工程と、
前記周波数調整後に、前記IDTを被覆するように前記LiTaO3基板上に表面波の波長で規格化された膜厚が0.03〜0.45となるように、SiO2膜を形成することを特徴とする、弾性表面波装置の製造方法。
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