JP4354932B2 - テラヘルツ光源 - Google Patents
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(1) 図1(A)は、電圧を印可された半導体表面からのテラヘルツ波発生について示し、フェムト秒レーザーパルスが表面に照射されて、電界に平行な偏光をもったテラヘルツ波が放射される。また、パルスレーザーを半導体上(例えばGaAs(100)面)に集光して、表面近傍に過渡的な電流を誘起する。この表面電流はテラヘルツ程度の振動数をもつため、テラヘルツ波が双極子放射される。
この場合、レーザー光は直線偏光でも円偏光でもよい。電界は、図1の紙面で、左から右方向に印可されている。発生するテラヘルツ波は直線偏光であり、その方向は電界の向きと同じ(左右方向)となる。
テラヘルツ波を増大させるために、オーストンスイッチと呼ばれるバイアス電圧を印可する手法や、外部から強い磁場を印可する手法も試みられている(非特許文献1)。
P.R.Smith,D.H.Auston,M.C.Nuss,IEEE Journal of Quantum Electronics Vol.24,No.2,p.255 (1988).
本発明では、以上の点に鑑み、「時間的に短い」特性と、「集光特性が高い」という特性を併せ持つことによって、集光点での光強度を高くすることを目的とする。
レーザー光を照射してテラヘルツ領域の光を発生させるテラヘルツ光源において、
レーザー光を導波する中空導波路を形成する中空管と、
前記中空管の中空導波路の内壁の向かい合う位置の一部に、それぞれ前記中空管の軸方向へ沿って導入された半導体と、
前記中空管の一端からレーザーパルス光を中空導波路に導入し、前記軸方向に垂直且つ二つの相対する前記半導体を結んだ線に垂直な方向に電圧を印加することにより、前記中空導波路にレーザーパルス光を導波しながら前記半導体に双極子を誘起し、双極子から放射されたテラヘルツ波を前記中空管の他端から出力する前記テラヘルツ光源が提供される。
図2に、テラヘルツ波光源の構成図とテラヘルツ波発生の原理図を示す。
図2(A)で示すように、テラヘルツ波光源は、中空導波路2を形成する中空管1、半導体3、レーザー光源4、光学系5、導電層6を備える。この図は、一例として、半導体3の薄板を導入された円形の中空導波路2を示し、二カ所に中空管1に導入された半導体3の薄板が設けられる。
レーザー光源4は、例えば、フェムト秒レーザーや他のレーザーを用いることができる。一例として、パルス幅 100fs、波長 800nm、パルスエネルギー 1mJ(再生増幅器を使用して、レーザーパルスを増幅する)、繰り返し 1kHz、の特性を持つ高出力フェムト秒チタンサファイアレーザーが挙げられるが、これに限定されない。
本装置では、中空管を伝搬するレーザー光によって、半導体表面にテラヘルツの振動数で振動する電気双極子が次々に誘起される。図(A)では、上の山がフェムト秒レーザーパルスに相当し、左から右へ進んでいる。半導体表面にレーザーパルスが来ると、そこに双極子(両方向矢印)が誘起されて、それがテラヘルツ波(波線)を放射する。
図3に、中空導波路の断面図を示す。
斜線部が中空管1の基板材で、中央が中空導波路2であり、レーザーパルス光が紙面に垂直方向へ伝搬する。中空管1に導入された二カ所の薄板状部分が半導体3である。半導体3の上下面から中空導波路2の内壁(太線部)に、金属の蒸着・被覆等を行うことにより、導電層6が設けられ、電極が形成される。半導体3には、直流電源7により電圧が印加され、中空導波路2及び半導体3を覆う導電層6により紙面の上下方向に電界が形成される。中空導波路2に露出した半導体3表面がレーザーパルス光で励起されて、半導体3内部に双極子が誘起される(半導体の中の矢印が双極子の向きを表す)。放射されたテラヘルツ波は中空導波路2に放出される。中空管1の中空導波路2中でテラヘルツ波は、紙面の上下方向の矢印で示される方向に直線偏光しているモードとして伝搬する。
また、直流電源7による電界強度はなるべく高いことが望ましいが、絶縁破壊の強度よりも低いことが必要である。一例としては、典型的には1kV/cmが上限であり、半導体層の厚さが50ミクロンなので、電圧は5V程度である。普通の直流電源もしくは市販の電池を使うことができる。ショートによる過電流を防ぐために、電流制限用の抵抗およびバッファー用のコンデンサを用いてもよい。
中空導波路を光が進む場合は、以下の様な決まったモードとして伝播することは電磁気学で古くから知られている。
導波路の中空管の半径をaとし、
n次のベッセル関数の微分を
方程式Jn−1’(x)=0のm番目の零点をu’nm (m=1,2,3,・・・)
とする。このとき、図4で表されるような導波路モードの電場は、円筒座標を用いて次式で与えられる。
図4に、表面加工によるテラヘルツ放射の導波路モード結合効率の改善についての説明図を示す。図4(A)は、中空管1の断面図である。灰色部分がテラヘルツ波を放射する半導体3、斜線部が中空管1の基板材、白色部が中空導波路2を示す。太線楕円で示された半導体3の表面部を、以下、図4(B)(C)で拡大表示してある。
図5に、中空導波路中を伝搬できる低次のTEモードの強度分布(上)と電場方向(下)の図を示す。図(A)はTE21モード、図(B)はTE31モード、図(C)はTE11モードをそれぞれ示す。
導波路中での電磁場モードは、強度だけでなく電磁場の方向も、空間的に一様ではない。ある瞬間の電場の方向は左図のようになっている。電場の振動の1/2周期後には、電場の方向は右図のように反転する。したがって、四つの「山」は異なる方向に偏光している。また、向かい合う「山」では、偏光の方向は同じであるが、電場の方向が反対になっている。
本実施の形態での配置では、中空管の相対する面上に半導体を配置して、そこに誘起される電気双極子からテラヘルツ波を放射させる。話をわかりやすくするために、一例として、図(A)のような座標軸(x、y、z)をとり、中空管(半径=a)は(x、y)=(0,0)を中心として、+z方向に伸びているものとする。テラヘルツ波を放射する半導体は、(x,y)=(+a,0),(−a,0) (図中、黒丸)にあり、それらが中空管の中心遠方(白丸)につくる電場(=中空管へ導かれたテラヘルツ波)を考える。図(A)を簡略化すると図(B)のようになる。黒丸に書かれた矢印が誘起された電気双極子である。電気双極子の振動方向は上下方向のため、白丸の位置で観測されるテラヘルツ波は直線偏光であり、その向きは紙面の上下方向になる。白丸の位置から二つの黒丸の位置までの距離は等しいので、二つの相対する双極子から放射されるテラヘルツ波は、白丸の位置で強め会うように干渉する。
・テラヘルツ波は直線偏光となる
・中空管の中心軸上でテラヘルツ波の強度は最大となる
という特徴がある。
以上説明したようなテラヘルツ波発生の原理は、光が半導体に入射する点または狭い領域で作用していると考える事が出来る。効率よくテラヘルツ波を発生させるためには各点から発生したテラヘルツ波が強め合う様な工夫が必要である。中空導波路中では、レーザーパルス光は光速で伝搬するが、テラヘルツ電磁波は導波路のモードで規定される速度で伝搬する。レーザーパルス光とテラヘルツ電磁波の伝搬速度の差があるため、レーザーパルスがある距離(コヒーレント長)を伝搬すると、そこまでで誘起した双極子からの放射と、そこから先の部分で誘起する双極子からの放射が逆位相になり、弱め合うという現象が発生する。それを避けるために、誘導双極子が逆位相となる部分の半導体素子の表面は前述したような加工を施さず、平坦なままにする。それにより、平坦部分からのテラヘルツ波が中空導波路内に出てこないようにする。この結果、テラヘルツ波が中空導波路中でコヒーレント長よりも長い距離にわたって強め合うような位相で発生させることが可能となる。この手法は、可視域のレーザー光の波長変換における疑似位相整合を、テラヘルツ波の導波路において実現するものである。
レーザーパルスの形状が良好なガウシアンビームである場合、光学系5又はレーザー光源4により、中空導波路2の入射端への集光条件を適切に設定することによって、レーザー光を中空導波路中のモードの一つだけと結合させて伝搬させることができる。ここで、「集光条件を適切に設定する」ということは、例えば、ガウシアンの空間形状で自由空間を伝搬するレーザービームの大きさを、導波路で定まるTE11モードに合わせるということである。
・高強度のテラヘルツ波が材料にあたえる効果を、フェムト秒レーザーパルスをプローブとして調べる
・フェムト秒レーザーパルスが材料に与える効果を、テラヘルツ波で調べる
という応用が考えられる。
一例として、中空管1、中空導波路2、半導体3及び導電層6について、次のような具体例(材料例、内径外径・長さ等の例)が挙げられるが、これに限定されない。
中空管1:ガラス、内径0.2〜1mm、外径6mm等の絶縁体、絶縁性材料又は半導体
中空導波路2:直径0.2〜1mm
半導体3:GaAs、厚さ50ミクロン
導電層6:金または銀の蒸着膜、厚さ0.1ミクロン程度
2 中空導波路
3 半導体
4 レーザー光源
5 光学系
6 導電層
7 直流電源
8 被覆層
Claims (11)
- レーザー光を照射してテラヘルツ領域の光を発生させるテラヘルツ光源において、
レーザー光を導波する中空導波路を形成する中空管と、
前記中空管の中空導波路の内壁の向かい合う位置の一部に、それぞれ前記中空管の軸方向へ沿って導入された半導体と、
前記中空管の一端からレーザーパルス光を中空導波路に導入し、前記軸方向に垂直且つ二つの相対する前記半導体を結んだ線に垂直な方向に電圧を印加することにより、前記中空導波路にレーザーパルス光を導波しながら前記半導体に双極子を誘起し、双極子から放射されたテラヘルツ波を前記中空管の他端から出力する前記テラヘルツ光源。 - 前記中空管の内壁のうち前記半導体が導入されていない部分と、前記半導体の前記中空部に導入された境界面を覆い、向かい合う位置に設けられた1組の導電層をさらに備えた請求項1に記載のテラヘルツ光源。
- 前記半導体に直流電界を発生するための電源をさらに備えた請求項1に記載のテラヘルツ光源。
- 入射端からフェムト秒レーザーパルス光を前記中空管に導入するためのレーザ光源をさらに備えた請求項1に記載のテラヘルツ光源。
- 前記中空管は、中空導波路の断面を、円形又は矩形としたことを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ光源。
- 前記半導体は、レーザー光が照射されたときに生じる電流の向きを、前記軸方向に垂直且つ二つの相対する前記半導体を結んだ線に垂直な方向に揃え、それによって、前記中空導波路中に、二つの相対する前記半導体の薄膜層を結んだ線に垂直な方向に偏光した直線偏光モードとしてテラヘルツ波を発生することを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ光源。
- 前記中空管は、中空管導波路の直径をテラヘルツ波の波長と同程度にすることにより、中空導波路中を伝搬するテラヘルツ波のモードを一つもしくは数個に制限することを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ光源。
- 前記半導体は、中空導波路表面に、櫛形構造、三角形状又はエシェレット格子状の微細構造を付加したことを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ光源。
- 前記半導体は、中空導波路表面に、全反射角を大きくするための屈折率を有する被覆層を付加したことを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ光源。
- 前記半導体は、前記微細構造又は前記被覆層を、中空導波路のコヒーレント長に等しい周期で光軸方向に周期的に設けたことを特徴とする請求項8又は9に記載のテラヘルツ光源。
- 前記中空管に入射されるレーザー光をガウシアンビーム形状のレーザーパルスに設定することによって、前記レーザー光を中空導波路で定まるモードと結合させて伝搬させ、前記中空管の他端から、前記レーザ光を前記中空導波路中で発生したテラヘルツ波とを共に出力することを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ光源。
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