JP4344507B2 - 回転機械及びポンプ用の改良された潤滑装置 - Google Patents

回転機械及びポンプ用の改良された潤滑装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高速で回転可能な鉛直方向シャフトを有し、このシャフトが、その両端の又は両端に近接したベアリングによって支持されている機械及びポンプに関し、特に、上側ベアリングを潤滑する潤滑装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
再生型の真空ポンプでは、ローターが、それを包囲するステーター内での回転のために、鉛直方向シャフトに取付けられている。このシャフトは、潤滑を必要とする上側ベアリング及び下側ベアリングによって支持されている。上側ベアリングの潤滑を容易にするために、鉛直方向シャフトは、軸線方向中心ボアと、上側ベアリングへの潤滑流体の供給のために上側ベアリングと整列し且つ軸線方向中心ボアと連通する半径方向孔と、を有する。
【0003】
上側ベアリングを潤滑することと関連した問題は、上側ベアリングからの潤滑流体が真空機構の中に、従って、排気されるチャンバーの中に移動することを防止し又は阻止することがしばしば必要になることである。この問題を解決するために、「清浄な」エアの形態のバリヤを形成することが知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
既知の装置では、エア又はオイルの形態の潤滑流体の何れかが軸線方向中心ボアから上方に供給されることはあったが、両方が供給されることはなかった。その結果、エア又はオイルの何れかが、シャフトの外部の手段によって上側ベアリングに供給されていた。もしもオイルがシャフトの軸線方向中心ボアを経て上側ベアリングに供給されれば、オイルを軸線方向中心ボアから上方に押しやるのに、シャフトのスピン(回転)によって発生する遠心力を利用することができるので、シャフトに対する外部の手段、例えばポンプを使用する場合よりも著しく少ない動力しか消費しなくなる。
【0005】
エアを上側ベアリングに供給する目的は、効率的な潤滑のためのオイルミストを形成するために、エアとオイルとを混合することにあるが、前述のように、真空機構内への上側ベアリングからのいかなるオイルの移動も防止し又は阻止する清浄なバリアを形成することにもある。かくして、上側ベアリングのところのエアは、オイルで汚染されていてはならないし、エアは再循環されるので、エアが上側ベアリングに到達する前に、エアは、ミスト除去されていなければならない。回転しているシャフトによって発生する遠心力を、エアのミスト除去効果を提供するのに利用できれば有利である。
【0006】
本発明の目的は、エアと潤滑流体の両方が回転シャフトの遠心効果を利用することを可能にする、機械又はポンプの一部分を構成する回転シャフトを支持する上側ベアリングの潤滑装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、機械又はポンプの回転可能な鉛直方向シャフトを支持する上側ベアリングの潤滑装置であって、シャフトの長さにわたって実質的延びる軸線方向ボアを有し、この軸線方向ボアの開口している下端が、潤滑流体を収容するリザーバと連通し、更に、軸線方向ボアと上側ベアリングとの間に延びる、上側ベアリングに潤滑流体を供給するための少なくとも1つの半径方向オイル孔を有し、潤滑装置は、上側ベアリングへの潤滑流体の供給のために、シャフトの回転中に発生した遠心力により、潤滑流体をリザーバから軸線方向ボアに沿って半径方向オイル孔に向って薄いフィルムの形態をなして上方に引き上げるようになっており、更に、軸線方向ボアの開口している下端と上側ベアリングとの間に配置され且つ軸線方向ボアの中に延びる遠位端を有する少なくとも1つの半径方向ポートを経て軸線方向ボアと連通するエア/潤滑流体ミスト用チャンバーを含むエア供給及びミスト除去回路と、上側ベアリングよりも上の箇所で軸線ボアと鉛直方向シャフトの円筒形外面との間に延びる少なくとも1つのエア孔と、エア/潤滑流体ミストを半径方向ポートから軸線方向ボアに沿ってポンピングするためのインペラと、を有し、この潤滑流体は、シャフトの回転中、軸線方向ボア内で遠心力によって完全に分離され、軸線方向ボアの面に沿って延びる潤滑流体フィルムと合流し、上側ベアリングよりも上のエア孔を経て軸線ボアから出るエアを浄化することを特徴とする潤滑装置が提供される。
【0008】
好ましい実施形態では、周方向に等間隔におかれた複数の半径方向ポートが、軸線方向ボアの開口している下端に隣接して配置され、且つ、軸線ボアの中に配置されたオイルフィルターの上流に配置される。
【0009】
好ましくは、ポートが軸線ボアに入る箇所における軸線方向ボアの横断面は、正方形、三角形又は四つ葉のクローバー状形態のような、少なくとも2つの異なる半径方向寸法で構成される形態を有する。これらの形態は、長径(最大直径)及び短径(最小直径)、即ち回転中心に対する複数の半径方向距離を有していると考えることができる。
【0010】
半径方向エア循環ポートは、好ましくは、シャフトに対して外部からシールされ、軸線方向ボア内の潤滑流体フィルムよりも小さい直径部を構成する。
【0011】
好ましくは、インペラは、上側ベアリングのすぐ下に配置され、シャフトの円筒形外面上のねじ山として形成され、上側ベアリングから延びるカウンター面を有する。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態を例示として説明する。
【0013】
再生セクション1及び分子吸収(Holweck)セクション2を有する従来技術の複合真空ポンプを示す図1を最初に参照する。真空ポンプは、ケーシング3を含み、このケーシング3は、ボルト止めされ又はその他の方法で互いに固定された多数の異なる本体部品で作られ、本体部品の間にそれらに関連したシールを有している。
【0014】
ケーシング3の中に、鉛直方向シャフト6が設けられ、鉛直方向シャフト6は、上側ベアリング4及び下側ベアリング5によって支持されている。シャフト6は、長手方向軸線を中心に回転可能であり、シャフト6を包囲する電気モーター7によって駆動される。ローター9が、シャフト6に固定取付けされ、シャフト6と共に回転する。軸線方向ボア8が、シャフト6のほぼ全長にわたって延び、軸線方向ボア8は、サンプからの潤滑流体を上側ベアリング4に供給するための半径方向オイル孔8'と連通している。
【0015】
次に、図2及び図3を参照すれば、ケーシング10が、ベースプレート12と、カバープレート14と、潤滑流体をオイルの形態で収容するチャンバー即ちサンプ16とで構成されている。サンプ16の中に、シャフト用オイルリザーバ18があり、このリザーバ18は、ベースプレート12によって支持されている。サンプ16内に収容されている潤滑オイルは、リザーバ18の壁の流入口20を経て、(それ自体既知の)制御された仕方でリザーバ18に入る。
【0016】
真空ポンプの一部分を構成する回転可能な鉛直方向シャフト22が、上側ベアリング24及び下側ベアリング26に取付けられている。シャフト22は、ほぼ円筒形であり、そのシャフト22内に軸線方向ボア28を有し、この軸線方向ボア28は、その下端29がリザーバ18内で開口している。軸線方向ボア28の断面は、その長さのほとんどについてほぼ円筒形であり、オイルフィルター30を収容する大直径部分と、それよりも僅かに小さい直径の主中央部分と、この主中央部分よりも小さい直径の上側部分とを有し、上側部分と主中央部分は、下方に面するショルダー部34を構成する。しかしながら、開口している下端29とフィルター30との間の軸線方向ボア28の部分は、「四つ葉のクローバー」状の形態をなす断面を有する(図3参照)。
【0017】
フィルター30よりも下即ち上流のシャフト22の壁に、(図示のように)複数の半径方向ポート36が形成され、これらのポート36は、軸線方向ボア28の四つ葉のクローバー状部分と連通している。図示のように、各ポート36の遠位端は、軸線方向ボア28の中に延び、軸線方向ボア28と通じている箇所において、軸線方向ボア28の長径よりも小さい直径部を構成する。
【0018】
また、軸線方向ボア28の主中央部分と連通をなす複数の半径方向オイルポート即ちオイル孔40が、上側ベアリング24と整列をなしてシャフト22の壁に形成されている。
【0019】
更に、軸線方向ボア28の上側部分と連通をなす複数の半径方向エアポート即ちエア孔42が、上側ベアリング24よりも上の箇所のシャフト22の壁に形成されている。
【0020】
軸線方向インペラ44が、上側ベアリング24のすぐ下のケーシング10内に配置されており、インペラ44は、シャフト22の外面の上に形成されたインペラねじ山46と、上側ベアリング24の外レースから垂下している定置の対向面とからなる。
【0021】
軸線方向インペラ44、ポート36、軸線方向ボア28及びエア孔42は、全体として、後述するエア供給及びミスト除去回路を構成する。
【0022】
使用の際、シャフト22を回転させると、遠心力によって、オイルがリザーバ18から軸線方向ボア28の開口している下端29を通して引き上げられる。オイルは、薄いフィルムとして、軸線方向ボア28を軸線方向上方にオイル孔40に向って移動する。
【0023】
オイルよりも上のチャンバー即ちサンプ16内のエア/オイルミストは、軸線方向ボア28の短径のところのポート36を経て軸線方向ボア28に入り、軸線方向ボア28の四つ葉のクローバー状部分の中に入る。オイル分子が半径方向ポート36と衝突し、外方に遠心力で飛ばされるとき、オイルミストからオイルを完全に分離するための第1ステージが起こる。リザーバ18からのオイルに働く遠心力は、オイルが軸線方向ボア28の長径のところをポート36からの漏れを生じさせずにポート36の周りを通過することを確保する。
【0024】
オイルミストからオイルを完全に分離するための第2ステージが、フィルターのところで再び起こり、オイルがオイルミストの外に遠心力によって出ることを確保する。オイル孔40に向って軸線方向ボア28を軸線方向上方に移動しているオイルフィルムは、典型的には、薄く、それゆえ、「清浄なエア」の中央コアが存在する。フィルター30は、軸線方向ボア28内のオイル部分をボア壁に向って遠心濾過し、その結果、いったんオイル部分が壁の上に引きづられたら、遠心作用により、オイル部分がコアのエア内に再び引きづられることを防止/阻止する。中央コア内に残っている実質的に少量のオイルがフィルター30から離れるとき、インペラ44によって生じた圧力降下によるエアの流れにより、上記少量のオイルはシャフトの中を上方に移動する。更に、オイルと軸線方向ボア28の面との接触により、オイルは、オイルミストの外に遠心力によって出され、壁の上に既にできているオイルフィルムの一部分になる。コアのエアの清浄さが、軸線方向ボア28の中の上方への移動方向に向上する。
【0025】
エア孔42は、軸線方向においてオイル孔40よりも上に配置され、説明したように、軸線方向ボア28の直径は、(テーパ付け、或いは、図示の仕方の何れかによって)オイル孔40とエア孔42との間で実質的に減少する。エア孔42に向ってオイル孔40を通過したオイルのトレースが遠心濾過及び壁との衝突の両方から逃れる好ましくない場合、軸線方向ボア28の縮径部分による遠心力は、オイルがエア孔42に到達することを防止する。
【0026】
回転シャフト22によって引き起こされる遠心力が、オイルをリザーバ18から引き上げて上側ベアリング24に差し向け、且つ、上側ベアリング24からポンプの真空機構内へのオイルの移動に対抗するバリヤを形成するために、清浄なエアを上側ベアリングよりも上に供給することが明らかである。
【0027】
次に、図4を参照すれば、図4は、半径方向ポート36が軸線方向ボア28の上端の近く配置されていること以外、図2及び図3を参照して説明した潤滑装置と実質的に同じ潤滑装置を示す。更に、エアがエア孔42からの出る前にエアのコア内の残留オイルミストを除去するためのフィルター50が、ショルダー部34に配置されている。最終のフィルター50は、エア孔42に向って移動するエアがエア孔42に到達する前にフィルター50に衝突し且つオイルのいかなる最終トレースも遠心力によってエア流の外に出されるように、光的に不透明なバリヤを形成する焼結インサートの形態をとっても良い。
【図面の簡単な説明】
【図1】再生セクションを含む従来技術の複合真空ポンプの概略図である。
【図2】本発明による、回転可能なシャフトの上側ベアリングを潤滑する潤滑装置を示す、真空ポンプの断面図である。
【図3】図2のシャフトの断面図である。
【図4】潤滑装置の変形例を示す、図2と同様の断面図である。
【符号の説明】
10 ケーシング
16 チャンバー
18 オイルリザーバ
20 流入口
22 鉛直方向シャフト
24 上側ベアリング
26 下側ベアリング
28 軸線方向ボア
29 下端
30 オイルフィルター
34 ショルダー部
36 半径方向ポート
40 オイル孔
42 エア孔
44 インペラ
46 インペラねじ山
50 フィルター

Claims (10)

  1. 機械又はポンプの回転可能な鉛直方向シャフトを支持する上側ベアリングの潤滑装置であって、
    前記シャフトの長さにわたって実質的に延びる軸線方向ボアを有し、この軸線方向ボアの開口している下端が、潤滑流体を収容するリザーバと連通し、
    更に、前記軸線方向ボアと前記上側ベアリングとの間に延びる、前記上側ベアリングに潤滑流体を供給するための少なくとも1つの半径方向オイル孔を有し、
    前記潤滑装置は、前記上側ベアリングへの潤滑流体の供給のために、前記シャフトの回転中に発生した遠心力により、潤滑流体を前記リザーバから前記軸線方向ボアの面に沿って前記半径方向オイル孔に向かって薄いフィルムの形態をなして上方に移動させるように構成され、
    更に、エア供給回路を有し、このエア供給回路は、
    使用中に前記上側ベアリングからのエア及び潤滑流体のミストを受入れるためのチャンバーと、
    前記チャンバーと前記軸線方向ボアとの間を連通させるために、前記軸線方向ボアの開口している下端と前記上側ベアリングとの間に配置され、且つ前記軸線方向ボアの中に延びる遠位端を有する少なくとも1つの半径方向ポートと、
    エアを前記軸線方向ボアから前記上側ベアリングに供給するために、前記上側ベアリングよりも上の箇所で前記軸線ボアと前記鉛直方向シャフトの外面との間に延びる少なくとも1つのエア孔と、
    エアを前記軸線方向ボアから前記上側ベアリングを通して前記チャンバにポンピングするためのインペラと、を有し、
    使用中、前記エア及び潤滑流体のミストを、前記チャンバーから前記少なくとも1つの半径方向ポートを経て前記軸線方向ボアの中に移動させ、前記鉛直方向シャフトの回転中、前記ミストの潤滑流体を前記軸線方向ボア内で遠心力によって前記ミストのエアから分離し、分離した潤滑流体を、前記軸線方向ボアの面に沿って移動する薄い潤滑流体フィルムと一緒にし、前記ミストから分離したエアを軸線方向ボアに沿って前記少なくとも1つのエア孔を通して移動させ、前記上側ベアリングに供給することを特徴とする潤滑装置。
  2. 周方向に等間隔でおかれた複数の半径方向ポートが、前記軸線方向ボアの開口している下端に隣接して配置され、且つ、前記軸線ボアの中に配置されたオイルフィルターの上流に配置される、請求項1に記載の潤滑装置。
  3. 前記半径方向ポートが前記軸線方向ボアに入る箇所における前記軸線方向ボアの横断面は、少なくとも2つの異なる直径によって構成される、請求項2に記載の潤滑装置。
  4. 前記半径方向ポートが前記軸線方向ボアに入る箇所における前記軸線方向ボアの横断面は、半径方向外側に向かって凸状に湾曲する輪郭を有する4つの部分を90度間隔に有する、請求項に記載の潤滑装置。
  5. 前記半径方向ポートは、前記軸線方向ボアの横断面の短径のところに位置する、請求項3又は4に記載の潤滑装置。
  6. 使用中、前記潤滑流体の薄いフィルムは、前記軸線方向ボアの横断の長径のところを前記半径方向ポートからの漏れを生じさせずに移動する、請求項に記載の潤滑装置。
  7. 前記軸線方向ボアの直径は、前記半径方向オイル孔と前記半径方向エア孔との間の箇所で減少される、請求項1乃至の何れか1項に記載の潤滑装置。
  8. オイルフィルターが、前記半径方向オイル孔と前記半径方向エア孔との間に配置される、請求項に記載の潤滑装置。
  9. 前記インペラは、前記鉛直方向シャフトの円筒形外面上のねじ山として形成され且つ前記上側ベアリングから延びる対向面を含む、請求項1乃至の何れか1項に記載の潤滑装置。
  10. 請求項1乃至の何れか1項に記載の、回転可能な鉛直方向シャフトを支持する上側ベアリングの潤滑装置を含む真空ポンプ。
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