JP4340797B2 - Ultrasonic cleaning equipment - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はシルクスクリーン版、メタル版等の被洗浄物を超音波で洗浄する超音波洗浄装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、シルクスクリーン印刷法を用いて印刷配線基板にクリームはんだや部品接着用の接着剤を印刷する方法が広く用いられている。シルクスクリーン版、メタル版には化学繊維の織物でできた版やステンレス、ニッケル板等の金属製の版が用いられている。この方法を用いて、例えばクリームはんだを印刷配線基板上に印刷するとき、時間の経過と共にクリームはんだの溶剤の揮散により版が目詰まりを起こして所望の印刷品質が得られなくなる。またエポキシ系の接着剤を印刷配線基板上等に印刷するときもポットライフが短いために短時間内に版の目詰まりを起こすなどの問題があった。したがってこのような印刷に用いる版は所定時間ごとに洗浄し、乾燥させる必要がある。
【0003】
以下従来の超音波洗浄装置について図6の側断面図に基づいて説明する。筐体101の上部に振動板である洗浄槽102を固定して、その底面に溶接などで固定した複数個のアングル103の孔104に、それぞれ複数個の超音波振動子105のホーン106に設けたねじ穴107を用いてボルト108で固定する。筐体101内には超音波振動子105に供給する超音波発振器109がある。
【0004】
次に動作を説明すると、洗浄槽102内に洗浄液110を満たし、超音波発振器109を発振させると超音波振動子105は振動して洗浄槽102を介して洗浄液110を振動させ、ひも111で洗浄液110内に釣り下げられた被洗浄物112の汚れを洗浄する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記のような従来の超音波洗浄装置では洗浄の際の容器が大きいために大量の洗浄液が必要であり、超音波振動の印加が多量の洗浄液を通して行われるために大量の洗浄液を振動させる必要があり、また洗浄槽は筐体に固定されているため超音波振動子の駆動には大きなパワーを必要とし、またインクの種類によっては洗浄が十分にできないこともあった。
【0006】
本発明は、このような従来の課題を解決するためになされたものであり、被洗浄物を洗浄液中に浸さないために操作が容易で、洗浄液が小量で済み、またパワーも小さくてよく、洗浄時間も短くて済む超音波洗浄装置を提供しようとするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記従来の課題を解決するために本発明の超音波洗浄装置は、請求項1においては、振動子を装着し上方の支持点によって略垂直に懸架された平面状の振動板と、平面であって振動板に略平行にかつ微少な間隙を保って対向して配置された被洗浄物と、振動板と被洗浄物との間隙に洗浄時に洗浄液を流下させる洗浄液流下手段と、振動板と被洗浄物との間隙に洗浄時に空気流を注入する空気注入手段とを備えた構成である。
【0008】
この構成により、振動板が筐体と分離しているので振動しやすく振動子に大きなパワーを与える必要がないので超音波発振器も小さなものでよく、その上超音波振動子も小さくすることが可能で、数も少なくて済む。また振動板が懸架され、洗浄液流下手段で被洗浄物と振動板の間隙に洗浄液を流下させるので洗浄液が少量でよく、空気も注入するので洗浄液の渦によって洗浄かすが滞留するのを防ぎ洗浄が早くできる等の作用効果が得られる。
【0009】
つぎに請求項2の超音波洗浄装置においては、請求項1の構成に加えて、被洗浄物の振動板と対向する面の反対側の面に洗浄時に洗浄液を流下させる第2の洗浄液流下手段と、被洗浄物の振動板と対向する面の反対側の面に洗浄時に空気流を注入する第2の空気注入手段とを備えたものであり、この構成によって被洗浄物の振動板と対向する面の反対側の面にも洗浄液を流下させ、かつ空気流を注入するので洗浄を早める効果をさらに促進する。
【0010】
つぎに請求項3の超音波洗浄装置においては、請求項1または2の構成において、洗浄液流下手段と空気流注入手段とは間欠的に交互に作動するものであり、請求項4の超音波洗浄装置においては、洗浄液流下手段の作動中に空気流注入手段を間欠的に作動させるものであり、洗浄を早める効果をさらに促進する。
【0011】
つぎに請求項5の超音波洗浄装置は、請求項1〜4の構成において、被洗浄物は上方の支持点によって略垂直に懸架されたものであり、これにより被洗浄物の設置が容易になる。
【0012】
つぎに請求項6の超音波洗浄装置は、請求項1〜5の構成において、振動板はその下端が被洗浄物に接近するように懸架されたもので、被洗浄物の設置が容易で適正な空隙を両者の間に設けることができる。
【0013】
つぎに請求項7の超音波洗浄装置は、請求項1〜6の構成において、振動板には突起を設けこの突起によって被洗浄物との間に所定の間隙を設けるもので、被洗浄物の設置が容易で適正な空隙を両者の間に設けることができる。
【0014】
さらに請求項8の超音波洗浄装置は、請求項5の構成において、被洗浄物は版枠を有する版であり、上方の支持点には版枠を避ける櫛歯状切欠きを設けて大きさの異なる版を支持できるものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下本発明の超音波洗浄装置の一実施形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明の一実施形態の超音波洗浄装置の側断面図、図2は同じくその正面図、図3(a)は同じくその要部正面図、(b)はその底面図、図4は同じくその要部側面図、図5(a)は洗浄時の版周辺の汚れの付着状態の説明図、(b)は同じくエアー吹き出し時の版周辺の汚れが取り去られる状態の説明図である。
【0016】
筐体1の前面にはドア3をドア用蝶番5で開閉可能に取付け、把手7でドア3を開けば被洗浄物の交換やメインテナンスができるようになっている。また下方のドア9をドア用蝶番11で開閉可能に取付け、把手13でドア9を開閉できるようになっている。
【0017】
筐体1内の上方、裏板15の前方に正面からみて左右方向に版つり下げアングル17が設けられ、版つり下げアングル17には図3に示すように左右2箇所の版保持板回動支点19によって版保持板21が裏板15から離れる方に回動可能に取り付けられている。版保持板21は版23の版枠25を掛けてつり下げるよう図4に示すごとく筐体1後方に向けて折り曲げられ、版引っかけアングル26をなしている。またこの折り曲げ部に溜まった洗浄液等を逃がすために液逃げ孔27を備えている。
【0018】
この版引っかけアングル26には図3(b)のように櫛歯状となるように切欠き26a〜26dを設けておき、この切欠きの残り部分に版枠25がかかるように引っかける。大きな版を掛ける場合は26a,26bの切欠きで版枠を逃がし、小さな版を掛ける場合は26c,26dの切欠きで版枠を逃がしてやれば、大きさの異なる版を載置することができる。櫛歯の切欠きの数は版の大きさの種類に合わせて決定すればよい。また本実施例はアングル26の鉄板を切り欠いて櫛歯状と成したがアングルに丸棒等をある間隔で設けて櫛歯状としてもよい。
【0019】
筐体1の天井には2個またはそれ以上の数の振動板つり下げフック29によって1ないし複数個の超音波振動子31の取り付けられた振動板33をつり下げている。振動板33の版23に対向する面には約1ミリメートル程度の高さのスペース設定ダボ35が適宜の数設けられている。
【0020】
また版保持板21には上下2組のパイプ保持金具37.39が取り付けられ、それぞれに多数の細孔を設けた第1のエアーパイプ41、第2のエアーパイプ43、第1の洗浄液パイプ45、第2の洗浄液パイプ47を左右で保持している。このエアーパイプ41,43、洗浄液パイプ45,47の細孔の設けてある部分の幅は版23の幅より少し広い程度としてある。これらのパイプはチューブによりエアー用電磁弁49、洗浄液用ポンプ51に連結されている。洗浄液用ポンプ51には洗浄液タンク53から洗浄液が供給される。なおエアー用電磁弁49には本装置外の工場設備のコンプレッサーより圧搾空気が供給されている。
【0021】
筐体1の側壁とドア3、裏板15で囲まれた空間の底部にはトレイ55が置かれ、この空間内に飛散した洗浄液またはすすぎ液はトレイ55で集められ、ドレイン57で廃液タンク59の沈澱槽61へ導かれる。筐体1内に置かれた超音波発振器63の出力は超音波振動子31に接続されている。
【0022】
以上のように構成されるが、つぎにクリーム半田をプリントするメタルマスクを洗浄する場合を例に動作を説明する。筐体1の正面のドア3を把手7を持って開き、版保持版21を手前に回動する。そして版23の版枠25を版保持版21下部の版引っかけアングル26に図4のように引っ掛けながら版保持板21を元の位置まで戻すと、版23と振動板33とは僅かな間隙を保って相対するようになる。両者は完全に平行にするのは困難なので、振動板33の下方を版23の面に近づくようにする。
【0023】
具体的には振動板33は図4の右上に超音波振動子が取り付けられているので、つり下げ点と重心との関係から、振動板33の下方は版23の面に近づくような時計方向の回転モーメントを受けている。そこでつり下げ点を検討して振動板33の下端があまり強く版23の下方に当接しないように調整する。そのためには振動板33の上方を複雑な形に曲げるなどしてつり下げ点を調整することも必要である。そのうえでスペース設定ダボ35によって振動板33と版23との適当な間隙が設定される。
【0024】
版23が設置できると、洗浄液用ポンプ51を駆動してチューブを介して洗浄液パイプ45の細孔から版23と振動板33の間に洗浄液を流下させ、また洗浄液パイプ47の細孔から版23の振動板33と反対側の面に向けて洗浄液を流下させ、同時に超音波発振器63を発振させ、超音波振動子31を駆動して振動板33を超音波振動させる。このとき振動板33の下方が版23に軽く当接していても、洗浄液が流下することによりこの間が押し広げられ版23の面に洗浄液の皮膜ができるように作用する。
【0025】
所定の短時間の後、洗浄液用ポンプ51を停止させ、代わりにエアー用電磁弁49を駆動してエアーパイプ41,43の細孔からエアーを吹き出させる。洗浄液だけの洗浄時には、図5(a)のように振動板33より超音波を受けて版23から剥離した半田粒子65が洗浄液66の渦の中でぐるぐる回りして渦から脱出できないので版23周辺から流下せず洗浄に時間がかかるが、図5(b)のようにエアー吹き出し時にはエアーの泡67が洗浄液66の中に入ることにより泡67の部分では超音波の振動を部分的に遮断して洗浄液の渦がなくなり半田粒子65の落下を早めるので洗浄が早くなるものである。実験ではエアーを吹き込まない場合に比べて約3分の1の時間で洗浄が終了できた。
【0026】
ここで洗浄液とエアーとを交互に出させるように説明したが、洗浄液を連続して供給したままエアーを断続的に吹き出させても同様の効果を得ることができた。
洗浄液用ポンプ51とエアー用電磁弁49を交互または何れかを間欠的に駆動する代わりに途中に弁を設けてこれによって洗浄液とエアーを制御してもよい。
【0027】
洗浄液により洗浄されたら、すすぎ液(これは洗浄液と成分は同じであるが、汚れのないもの、広義には洗浄液とする)を流下させてすすぎを行い、仕上げを行う。すすぎができた後はすすぎ液も洗浄液も流さずに超音波振動子31を駆動すれば、その振動及び発熱効果により版23を乾燥させることもできる。
【0028】
以上のようにこの実施形態では、平面の振動板が略垂直につり下げられ、この振動板に対向して略平行に版が配置され、この間隙に洗浄液またはすすぎ液を流下させて洗浄またはすすぎをすることによって、洗浄液が少なくて済み、また超音波のパワーも少なくて済み、また交代でまたは間欠的にこの洗浄液にエアーを吹き込むことにより短時間で洗浄することができる。また版の振動板に対抗する面の反対側の面にも洗浄液を流下させこの洗浄液と交代でまたは間欠的にエアーを吹き込むことによりこの効果を促進させることができる。
【0029】
さらに版に対して振動板または振動板および反射板の下方を版に対して軽く当接させるようにすることにより、相互の間隙の調整を容易にし、洗浄時またはすすぎ時にはそれら液自身によって最適な間隙に保つことができる。また振動板に突起を設けることによっても最適な間隙に保つこともできる。このように上記各構成の何れかを採用しても組み合わせて使っても効果があるものである。
【0030】
なお、上記実施形態で版、振動板、洗浄液パイプ・エアーパイプ等のつり下げ方法などの細部は一例であり、他の構成を用いても同等の機能を果たすものであれば差し支えない。またたとえば被洗浄物はつり下げでなく垂直に固定して取り付けても差し支えない。
【0031】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の超音波洗浄装置は、請求項1または2の構成により、振動板が筐体と分離しているので振動しやすく振動子に大きなパワーを与える必要がないので超音波発振器も小さなものでよく、超音波振動子も小さく、数も少なくて済む。また振動板が懸架され、洗浄液流下手段で被洗浄物と振動板の間隙に洗浄液を流下させるので洗浄液も少量でよく、空気も注入するので洗浄液の渦によって洗浄かすが滞留するのを防ぎ洗浄が早くできる等の有利な効果が得られる。
【0032】
また請求項3および4の構成により、洗浄液の渦の中に空気の泡が入り込み超音波振動の伝達を部分的に遮断するので洗浄液に混合した洗浄かすが洗浄液と共に流下しやすくなり、洗浄時間を短縮できる。
【0033】
また請求項5の構成では被洗浄物の設置が容易となり請求項6,7の構成ではこれに加えて適正な空隙を被洗浄物と振動板の間に設けることができる。そして請求項8の構成によれば複数種類の版の大きさにも対応できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の超音波洗浄装置の側断面図
【図2】同じくその正面図
【図3】(a)同じくその要部正面図
(b)その底面図
【図4】同じくその要部側面図
【図5】(a)洗浄時の版周辺の汚れの付着状態の説明図
(b)同じくエアー吹き出し時の版周辺の汚れが取り去られる状態の説明図
【図6】従来の超音波洗浄装置の側断面図
【符号の説明】
1 筐体
3,9 ドア
7,13 把手
15 裏板
17 版つり下げアングル
21 版保持板
23 版
25 版枠
26 版引っかけアングル
26a〜26d 切欠き
29 振動板つり下げフック
31 超音波振動子
33 振動板
35 スペース設定ダボ
37 第1のパイプ保持金具
39 第2のパイプ保持金具
41 第1のエアーパイプ
43 第2のエアーパイプ
45 第1の洗浄液パイプ
47 第2の洗浄液パイプ
49 電磁弁
51 ポンプ
53 洗浄液タンク
59 廃液タンク[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an ultrasonic cleaning apparatus for cleaning an object to be cleaned such as a silk screen plate and a metal plate with ultrasonic waves.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a method of printing a cream solder or an adhesive for component bonding on a printed wiring board using a silk screen printing method has been widely used. As the silk screen plate and metal plate, a plate made of a chemical fiber fabric or a metal plate such as stainless steel or nickel plate is used. For example, when cream solder is printed on a printed wiring board using this method, the plate becomes clogged with the evaporating of the solvent of the cream solder over time, and the desired print quality cannot be obtained. Further, when printing an epoxy-based adhesive on a printed wiring board or the like, there is a problem that the plate is clogged within a short time because the pot life is short. Therefore, the plate used for such printing needs to be washed and dried every predetermined time.
[0003]
Hereinafter, a conventional ultrasonic cleaning apparatus will be described with reference to a side sectional view of FIG. A
[0004]
Next, the operation will be described. When the
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional ultrasonic cleaning apparatus as described above, a large amount of cleaning liquid is required because the container for cleaning is large, and since application of ultrasonic vibration is performed through a large amount of cleaning liquid, it is necessary to vibrate a large amount of cleaning liquid. In addition, since the cleaning tank is fixed to the housing, a large amount of power is required to drive the ultrasonic vibrator, and cleaning may not be possible depending on the type of ink.
[0006]
The present invention has been made to solve such a conventional problem, and is easy to operate so as not to immerse the object to be cleaned in the cleaning liquid, so that the amount of the cleaning liquid is small, and the power may be small. Therefore, an ultrasonic cleaning apparatus that can shorten the cleaning time is provided.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-described conventional problems, an ultrasonic cleaning apparatus according to the present invention includes, in
[0008]
With this configuration, since the diaphragm is separated from the housing, it is easy to vibrate, and it is not necessary to give a large power to the vibrator. Therefore, the ultrasonic oscillator can be small, and the ultrasonic vibrator can be made small. And the number is small. In addition, the diaphragm is suspended and the cleaning liquid is allowed to flow into the gap between the object to be cleaned and the diaphragm by the cleaning liquid flowing means, so that only a small amount of cleaning liquid is required, and air is also injected. The effect of being able to be obtained is obtained.
[0009]
Next, in the ultrasonic cleaning apparatus according to claim 2, in addition to the first aspect, the second cleaning liquid flowing down means to flow down the cleaning liquid during cleaning the opposite side of the diaphragm and the opposing surfaces of the object to be cleaned And a second air injecting means for injecting an air flow at the time of cleaning on the surface opposite to the surface facing the diaphragm of the object to be cleaned. The effect of accelerating cleaning is further promoted by allowing the cleaning liquid to flow down to the surface opposite to the surface to be cleaned and also injecting an air flow.
[0010]
Next, in the ultrasonic cleaning apparatus according to claim 3, in the configuration according to
[0011]
Next, an ultrasonic cleaning apparatus according to a fifth aspect is the structure according to the first to fourth aspects, wherein the object to be cleaned is suspended substantially vertically by an upper support point, whereby the object to be cleaned can be easily installed. Become.
[0012]
Next, an ultrasonic cleaning apparatus according to a sixth aspect of the present invention is the ultrasonic cleaning apparatus according to any one of the first to fifth aspects, wherein the diaphragm is suspended so that the lower end of the diaphragm approaches the object to be cleaned. Can be provided between the two.
[0013]
Next, an ultrasonic cleaning apparatus according to a seventh aspect of the present invention is the ultrasonic cleaning apparatus according to any one of the first to sixth aspects, wherein the diaphragm is provided with a protrusion and a predetermined gap is provided between the vibration object and the object to be cleaned. It is easy to install and an appropriate gap can be provided between them.
[0014]
Further, the ultrasonic cleaning apparatus according to claim 8 is the size of the structure according to
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of an ultrasonic cleaning apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a side sectional view of an ultrasonic cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is also a front view thereof, FIG. 3 (a) is a front view of essential parts thereof, (b) is a bottom view thereof, and FIG. Fig. 5A is a side view of the main part, Fig. 5 (a) is an explanatory view of the state of dirt around the plate during cleaning, and Fig. 5 (b) is an explanatory view of the state where the stain around the plate is also removed when air is blown out. .
[0016]
A door 3 is attached to the front surface of the
[0017]
A
[0018]
As shown in FIG. 3B, the
[0019]
A
[0020]
The
[0021]
A
[0022]
Although configured as described above, the operation will be described by taking as an example the case of cleaning a metal mask on which cream solder is printed. The door 3 in front of the
[0023]
Specifically, since the ultrasonic transducer is attached to the upper right side of FIG. 4, the
[0024]
When the
[0025]
After a predetermined short time, the cleaning liquid pump 51 is stopped, and instead, the air
[0026]
Here, the cleaning liquid and the air are alternately output, but the same effect can be obtained even if the air is blown intermittently while the cleaning liquid is continuously supplied.
Instead of alternately or intermittently driving the cleaning liquid pump 51 and the air
[0027]
After washing with the washing liquid, the rinsing liquid (which has the same components as the washing liquid but has no dirt, which is a washing liquid in a broad sense) is flowed down to finish. After the rinsing, if the
[0028]
As described above, in this embodiment, the planar diaphragm is suspended substantially vertically, the plate is disposed substantially parallel to the diaphragm, and the cleaning liquid or the rinsing liquid is allowed to flow down in the gap to perform cleaning or rinsing. By doing this, it is possible to reduce the amount of the cleaning liquid and the power of the ultrasonic wave, and it is possible to perform cleaning in a short time by blowing air into the cleaning liquid alternately or intermittently. Further, this effect can be promoted by causing the cleaning liquid to flow down on the surface opposite to the surface facing the diaphragm of the plate and blowing air alternately or intermittently with the cleaning liquid.
[0029]
Furthermore, by making the lower part of the vibration plate or the vibration plate and the reflecting plate lightly contact the plate with respect to the plate, the mutual gap can be easily adjusted, and the liquid itself is optimal during washing or rinsing. It can be kept in the gap. Further, an optimum gap can be maintained by providing a protrusion on the diaphragm. As described above, it is effective to employ any of the above-described configurations or to use them in combination.
[0030]
In the above-described embodiment, details such as a method of suspending a plate, a diaphragm, a cleaning liquid pipe, an air pipe, and the like are examples, and other configurations may be used as long as they perform the same function. Further, for example, the object to be cleaned may be fixed vertically and not suspended.
[0031]
【The invention's effect】
As described above, the ultrasonic cleaning apparatus according to the present invention has the configuration according to
[0032]
Further, according to the configuration of claims 3 and 4, air bubbles enter the vortex of the cleaning liquid and partially block the transmission of ultrasonic vibration, so that the cleaning debris mixed with the cleaning liquid can easily flow down with the cleaning liquid and shorten the cleaning time. it can.
[0033]
Further, in the configuration of
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side sectional view of an ultrasonic cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a front view thereof. FIG. 3 (a) is a front view of essential parts thereof. Similarly, FIG. 5 is a side view of the main part. FIG. 5A is an explanatory diagram of the state of dirt around the plate during cleaning. FIG. 6B is an explanatory diagram of the state in which the dirt around the plate is removed when air is blown. Cross-sectional view of the ultrasonic cleaning equipment
DESCRIPTION OF
Claims (8)
平面であって前記振動板に略平行にかつ微少な間隙を保って対向して配置された被洗浄物と、
前記振動板と前記被洗浄物との間隙に洗浄時に洗浄液を流下させる洗浄液流下手段と、
前記振動板と前記被洗浄物との間隙に洗浄時に空気流を注入する空気注入手段とを備えた超音波洗浄装置。A planar diaphragm mounted with a vibrator and suspended substantially vertically by an upper support point;
An object to be cleaned which is a flat surface and is substantially parallel to the diaphragm and facing the diaphragm with a small gap;
A cleaning liquid flowing means for flowing a cleaning liquid into the gap between the vibration plate and the object to be cleaned at the time of cleaning;
An ultrasonic cleaning apparatus comprising air injection means for injecting an air flow into the gap between the vibration plate and the object to be cleaned during cleaning.
前記被洗浄物の前記振動板と対向する面の反対側の面に洗浄時に空気流を注入する第2の空気注入手段とを備えた請求項1記載の超音波洗浄装置。A second cleaning solution flows down means to flow down the cleaning liquid during cleaning the opposite side of the diaphragm and the opposing surfaces of the object to be cleaned,
Wherein the diaphragm surface facing the ultrasonic cleaning apparatus of claim 1, further comprising a second air injection means for injecting an air flow during cleaning the opposite side of the object to be cleaned.
上方の支持点には前記版枠を避ける櫛歯状切欠きを設けて大きさの異なる版を支持できるものである請求項5記載の超音波洗浄装置。The object to be cleaned is a plate having a plate frame,
6. The ultrasonic cleaning apparatus according to claim 5, wherein an upper support point is provided with a comb-like notch that avoids the plate frame to support plates of different sizes.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31528798A JP4340797B2 (en) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | Ultrasonic cleaning equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31528798A JP4340797B2 (en) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | Ultrasonic cleaning equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000107711A JP2000107711A (en) | 2000-04-18 |
JP4340797B2 true JP4340797B2 (en) | 2009-10-07 |
Family
ID=18063590
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31528798A Expired - Fee Related JP4340797B2 (en) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | Ultrasonic cleaning equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4340797B2 (en) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008146828A1 (en) * | 2007-05-29 | 2008-12-04 | Nakamura Choko Co., Ltd. | Method and apparatus for cleaning metal plate and spray nozzle for cleaning metal plate |
JP5120064B2 (en) * | 2008-05-26 | 2013-01-16 | 株式会社中村超硬 | Metal plate cleaning method |
JP5115030B2 (en) * | 2007-05-29 | 2013-01-09 | 株式会社中村超硬 | Metal plate cleaning method and apparatus, and metal plate cleaning nozzle |
CN103769386B (en) * | 2013-12-20 | 2017-02-08 | 张家港市科宇信超声有限公司 | Ultrasonic washing machine |
KR101730443B1 (en) | 2015-10-12 | 2017-04-27 | 한국기계연구원 | Roll to roll printing device |
CN106513376B (en) * | 2016-10-31 | 2022-05-31 | 辽宁工程技术大学 | Ultrasonic cleaning method and device |
CN109501483A (en) * | 2018-12-17 | 2019-03-22 | 安徽本色印刷有限公司 | Method for printing screen based on environmental protection |
CN113477613A (en) * | 2021-08-06 | 2021-10-08 | 仲恺农业工程学院 | Ultrasonic cleaning machine for pathogen detection research and pathogen detection method |
-
1998
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A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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