JP4337096B2 - 圧電アクチュエータ及びこれを備えた液体噴射装置並びに圧電アクチュエータの製造方法 - Google Patents
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Claims (6)
- 基板の一方の面上に形成された酸化シリコン層と、当該酸化シリコン層上に形成された酸化ジルコニウム層と、を有して構成される振動板と、
前記酸化ジルコニウム層上の一部に形成された下電極、当該下電極上に形成された圧電体層、及び当該圧電体層上に形成され且つ個別電極となる上電極を有する圧電体素子と、
前記上電極から前記酸化ジルコニウム層の前記圧電体素子が形成されない領域上に延設されるリード電極と、
を備え、
前記酸化ジルコニウム層の前記リード電極の前記圧電体素子が形成されない領域の少なくとも一部には凹部が形成されており、
前記凹部は、前記酸化ジルコニウム層の膜厚よりも浅い深さで当該膜厚方向に凹状に形成されてなる圧電アクチュエータ。 - 前記リード電極がアルミニウムからなる請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 前記リード電極及び圧電体素子が、無機絶縁材料からなる保護膜に覆われてなる請求項1または請求項2記載の圧電アクチュエータ。
- 前記無機絶縁材料が、酸化アルミニウムからなる請求項3記載の圧電アクチュエータ。
- 請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータと、
該圧電アクチュエータを一方の面上に形成し、液滴を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を備えた流路形成基板と、該流路形成基板の一方の面上に形成され、リザーバの少なくとも一部を構成する空間と前記圧電アクチュエータの駆動動作を阻害しない程度の空間を有するリザーバ形成基板と、を備えた液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドを駆動する駆動装置と、
を備えてなる液体噴射装置。 - 基板上に絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層上に、下電極形成用層を形成する工程と、
前記下電極形成用層上に、第1の圧電体層形成用層を形成する工程と、
前記第1の圧電体層形成用層及び下電極形成用層を選択的にパターニングし、前記絶縁膜の圧電体素子の形成領域上及びリード電極の前記圧電体素子が形成されない領域の少なくとも一部の領域上に形成されている第1の圧電体層形成用層及び下電極形成用層を残して、当該第1の圧電体層形成用層及び下電極形成用層を選択的に除去する工程と、
前記第1の圧電体層形成用層及び下電極形成用層を選択的に除去した後、1以上の圧電体層形成用層を前記第1の圧電体層形成用層の上に積層して圧電体層を形成する工程と、
前記圧電体層上に、上電極形成用層を形成する工程と、
前記上電極形成用層及び圧電体層を選択的にパターニングし、上電極、前記圧電体層、下電極からなる圧電体素子を形成する共に、前記リード電極の前記圧電体素子が形成されない領域の少なくとも一部の領域上に形成されている下電極形成用層を露出させる工程と、
前記露出した下電極形成用層及び当該露出した下電極形成用層が形成されている前記絶縁層の上層を選択的に除去する工程と、
前記上電極から前記絶縁層の上層が除去された部分を経て延設されるリード電極を形成する工程と、
を備えてなる圧電アクチュエータの製造方法。
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