JP4330640B2 - Cmpパッドコンディショナー - Google Patents
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図4に、従来用いられているCMP装置の構成を示す。
コンディショナー55は、コンディショナー回転軸60と円板状のコンディショニングディスク61とを備える。コンディショニングディスク61は、コンディショナー回転軸60を中心として回転する。
これは、台金71の外周側をリング状に平らに盛り上げ、このリング部72の平らな部分に砥粒73を規則配列したコンディショニングディスクである。酸性雰囲気下におけるCMPプロセスでは、コンディショニングディスクの金属部分からの金属の溶出を防ぐため、コンディショニングディスク表面に樹脂を塗布することが行われている。
電着砥石の分野において、金属めっき層の上面に金属基複合めっき層を形成し、この金属基複合めっき層は、主体となるめっき金属よりも摩擦係数の小さい素材であるフッ素樹脂等を分散させて形成したものが、特許文献1に記載されている。
また、コートが撥水性であるため、スラリーが付着しづらく、これによるスクラッチの発生を防止することができる。
図1に、本発明の実施形態に係るCMPパッドコンディショナーのコンディショニングディスクを示す。コンディショニングディスク1の外周側において、台金3の外周側をリング状に盛り上げて研削部2が設けられている。
研磨液(pH2の硝酸鉄+H2O2(5%))と研磨粒子を混合したものに60時間浸漬し、CMPパッドコンディショナーのコンディショニングディスクから溶出する金属(Ni)の量を測定した。また、撥水樹脂含有量を変化させたときに、砥粒界面における撥水性コートの密着具合及び下地のNiによる砥粒界面の侵食状態を観察した。
その結果を表1に示す。
以上のことから、撥水樹脂の含有量を45体積%以上80体積%以下とすることにより、Niの溶出を抑えつつ、撥水性コートの浮きや剥がれを防止することができる。
試験条件を表2に示す。
図3に示すように、吹きつけ法にてコートしたものでは、研削初期においては砥粒表面の切刃をコートが被っているため切れ味が悪く、研削途中では砥粒表面のコートの剥がれが発生して、切れ味が上昇し始め、パッド削れレートが急激に変動する。しかし、本発明(開発品)のように、撥水性コートを形成したものでは、このような変動は起こらず、初期から切れ味を安定に維持することができる。
2 研削部
3 台金
4 砥粒
5 ニッケルめっき層
6 撥水性コート
Claims (1)
- 台金の外周側をリング状に盛り上げた領域に、砥粒が電着により固着されて形成された研削部を有するコンディショニングディスクを備えたCMPパッドコンディショナーにおいて、めっき層の上面には撥水性コートが形成され、前記撥水性コートは、ニッケルと撥水樹脂とからなる複合めっき層であり、前記撥水性コートを形成する撥水樹脂の含有量が、撥水性コート全体の体積に対して45体積%以上80体積%以下であることを特徴とするCMPパッドコンディショナー。
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JP2007072891A JP4330640B2 (ja) | 2007-03-20 | 2007-03-20 | Cmpパッドコンディショナー |
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