JP4328603B2 - 電極付き樹脂基板および表示装置 - Google Patents
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Description
図2は、実施形態1の液晶表示装置を模式的に示す断面図である。本実施形態の液晶表示装置は、一対の電極付き樹脂基板と、一対の電極付き樹脂基板間に介在する液晶層10とを有する。以下、本実施形態の液晶表示装置に含まれる一対の電極付き樹脂基板の製造工程について説明する。なお、一対の電極付き樹脂基板はそれぞれ同様の工程を経て製造されるので、一方の基板についてのみ説明し、他方の基板については説明を省く。また、図2中の「a」を含む参照符号が付された構成要素は、「a」を含まない参照符号が付された構成要素と実質的に同じ機能を有する。
図4は、実施形態2の電極付き樹脂基板を模式的に示す断面図である。本実施形態の電極付き樹脂基板は、硬化皮膜2’および金属酸化物膜11に挟まれ、有機物と無機物の配合比が膜厚方向に変化する成分傾斜膜12をさらに有する点が実施形態1の電極付き樹脂基板と異なる。
実施形態1に記載された電極付き樹脂基板を用いて液晶表示装置を製造したときのITO蒸着時のクラックやその他の工程(パネル化工程、圧着工程およびユニット組込み工程)での断線(以下、クラック等という。)の発生率を表1に示す。本製造例の金属酸化物膜11はSiOx を含有する。金属酸化物膜11の粗密分布を示すパラメータである面内弾性率比は1.5であり、表面凹凸を示すパラメータである表面粗さtは3.0×10-4Sである。
製造例1において、金属酸化物膜11の膜厚を種々変更して、液晶表示装置を製造したときのクラック等の発生率を評価する。膜厚が200nmまではクラック等の発生は抑えられているのに対し、膜厚が250nmのときには、表1に示すように、クラック等の発生が増加する。このことから、金属酸化物膜11の厚膜化に伴う剛体化により、金属酸化物膜11がITO膜6の変位を吸収できなくなると考えられる。
製造例1において、金属酸化物膜11がない場合には、ITO膜6にクラック等が発生する(表1を参照)。ITO膜6の下地膜(硬化皮膜2’)の面内弾性率比は1.15であり、表面粗さtは9.0×10-4Sである。このことから、面内弾性率比の低下がITO断線の増加と関係し、粗密分布の低下により応力を十分に緩和できないと考えられる。
実施形態2に記載された電極付き樹脂基板を用いて液晶表示装置を製造したときのクラック等の発生率を表1に示す。本製造例の成分傾斜膜12はSiOx と有機高分子化合物とを1:2の重量割合で含有し、金属酸化物膜11はSiOx を含有する。金属酸化物膜11の面内弾性率比は1.5であり、表面粗さtは3.0×10-4Sである。なお、有機高分子化合物は、アクリル樹脂(ポリメチルメタクリレートとポリエチルメタクリレートとの共重合体)である。
製造例4において、成分傾斜膜12の膜厚を種々変更して、液晶表示装置を製造したときのクラック等の発生率を評価する。膜厚が1000nmまではクラック等の発生は抑えられているのに対し、膜厚が1200nmのときには、表1に示すように、クラック等の発生が増加する。このことから、成分傾斜膜12の厚膜化に伴う剛体化および熱収縮量の変化により、基板流動時だけでなく、分断後のパネル流動時(圧着や組込み等の工程へ移動または搬送する時)において、金属酸化物膜11がITO膜6の変位を吸収できなくなると考えられる。
製造例4において、成分傾斜膜12および金属酸化物膜11中のSiOx をTiOx に変更して、液晶表示装置を製造したときのクラック等の発生率を評価する。金属酸化物膜11の面内弾性率比は1.7であり、表面粗さtは4.5×10-4Sである。表1に示すように、製造例1および4の場合よりも、クラック等の発生はさらに抑えられ、全工程において良好な結果が得られる。このことから、面内弾性率比が高いことおよび表面粗さが大きいことがITO断線の大幅な抑制と関係すると考えられる。言い換えれば、粗密分布による応力緩和および表面凹凸による密着力向上がITOクラックの抑制に寄与すると考えられる。
製造例6において、成分傾斜膜12がない場合には、下地膜の硬化皮膜2’にクラックが発生し、ITO膜6についても前面に同様のクラックが発生する(表1を参照)。このことから、金属酸化物膜11中に含まれるTiOx が光触媒として作用し、下地である硬化皮膜2’中の有機物を分解すると考えられる。したがって、金属酸化物膜11がTiOx を含む場合には、有機層(下層)から無機層(上層)へ有機物と無機物の配合比が連続的に変化する成分傾斜膜12が下地として必要であると考えられる。
2,2’,2a,2’a 硬化皮膜
3,3a 樹脂基板
4,4a 金属窒化物膜
5,5a 第2の金属酸化物膜
6,6a ITO膜
7,7a 配向膜
8 プラスチックビーズ
9 シール樹脂
10 液晶層
11,11a 金属酸化物膜
12,12a 成分傾斜膜
Claims (9)
- 樹脂基板と、前記樹脂基板の一方面側に形成され、圧縮弾性率の分布を有する厚みが10nm以上200nm以下の金属酸化物膜と、前記金属酸化物膜上に形成された透明電極と、前記樹脂基板上に形成された硬化皮膜と、前記硬化皮膜および前記金属酸化物膜に挟まれ、有機物と無機物の配合比が膜厚方向に変化する成分傾斜膜と、を有する電極付き樹脂基板であって、
前記成分傾斜膜は、前記無機物に対する前記有機物の混合比が前記硬化皮膜に近づく程に高い電極付き樹脂基板。 - 前記成分傾斜膜は、Si、Al、Ti、Ta、Znから選ばれる少なくとも一種を含有する金属酸化物と有機高分子化合物とが化学的に結合した複合体を有する、請求項1に記載の電極付き樹脂基板。
- 前記成分傾斜膜は50nm以上1000nm以下の厚みを有する、請求項1または2に記載の電極付き樹脂基板。
- 前記金属酸化物膜は表面に凹凸を有する、請求項1から3のいずれか1項に記載の電極付き樹脂基板。
- 前記透明電極はインジウム錫酸化物を含有する、請求項1から4のいずれか1項に記載の電極付き樹脂基板。
- 前記金属酸化物膜はSi、Al、Ti、Ta、Znから選ばれる少なくとも一種を含有する、請求項1から5のいずれか1項に記載の電極付き樹脂基板。
- 前記金属酸化物膜は10nm以上200nm以下の厚みを有する、請求項1から6のいずれか1項に記載の電極付き樹脂基板。
- 一対の電極付き基板と、前記一対の電極付き基板間に介在する表示媒体層とを有する表示装置であって、前記一対の電極付き基板のうち少なくとも一方の基板は請求項1から7のいずれか1項に記載の電極付き樹脂基板である表示装置。
- 前記表示媒体層は液晶層である、請求項8に記載の表示装置。
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