JP4326609B2 - 半導体素子を製造する方法 - Google Patents
半導体素子を製造する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4326609B2 JP4326609B2 JP23009598A JP23009598A JP4326609B2 JP 4326609 B2 JP4326609 B2 JP 4326609B2 JP 23009598 A JP23009598 A JP 23009598A JP 23009598 A JP23009598 A JP 23009598A JP 4326609 B2 JP4326609 B2 JP 4326609B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flag
- substrate
- hole
- lead
- lead frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49503—Lead-frames or other flat leads characterised by the die pad
- H01L23/4951—Chip-on-leads or leads-on-chip techniques, i.e. inner lead fingers being used as die pad
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32245—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/4826—Connecting between the body and an opposite side of the item with respect to the body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73215—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01068—Erbium [Er]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Description
【産業上の利用分野】
本発明は、一般に、半導体素子に関し、さらに詳しくは、パッケージングされた半導体素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、加速度計,圧力センサ,化学センサ,温度センサなどのマイクロマシンデバイス(micromachined device)は、マイクロマシン機構の上に保護カバーを最初に設けないと、低コストのプラスチック・パッケージに成形できない。しかし、保護カバーは、マイクロマシンデバイスを製造する複雑さおよびコストを増す。さらに、圧力センサ,化学センサおよび温度センサは、圧力,化学作用または温度の変化を検出するために、少なくとも部分的に外界に晒されるので、従来の低コスト・プラスチック・パッケージに完全密封できない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従って、マイクロマシンデバイスなどの半導体素子用の低コストかつ製造が簡単なパッケージを提供する必要がある。
【0004】
【実施例】
図1は、電子チップまたは基板11およびリードフレーム12を含む電子素子または半導体素子10の断面図を示す。電子デバイス20は、基板11内に形成され、この基板は、デバイス20が半導体デバイスの場合には半導体からなる。好適な実施例では、デバイス20は、例えば、圧力センサ,化学センサまたは温度センサなどのマイクロマシンセンサである。複数の露出金属領域またはボンディング・パッド21は、基板11の周辺に設けられる。パッド21は、デバイス20に隣接し、かつ電気結合される。基板11およびデバイス20の他の詳細については、素子10の説明を簡単にするために図1では図示しない。
【0005】
リードフレーム12は、基板11を支持するために用いられる任意の基板でもよい。リードフレーム12は、好ましくは薄い銅合金からなるが、銅トレースなどを具備する厚めのセラミック基板からなってもよい。リードフレーム12は、リード13と、このリード13に隣接する実装部,支持部,物理的結合部またはフラグ14とを含む。一実施例では、フラグ14および少なくとも一つのリード13は、約5度以内で実質的に同一面上にある。ただし、好適な実施例では、フラグ14はすべてのリード13と実質的に同一面上にある。フラグ14の中心部は開口部または穴15を有し、この穴はフラグ14によって好ましくは全体的に画定される。
【0006】
基板11は、リードフレーム12のフラグ14の上に配置され、かつこのフラグに物理的に結合される。基板11は、パッド21がフラグ14の方向を向くように配置される。基板11の周辺内には、基板11の中心部がフラグ14の穴15の上に好ましくは配置あるいは整合される。基板11のフットプリントは、フラグ14が好ましくは基板11またはパッド21の周辺を覆わないように、フラグ14のフットプリントよりも好ましくは大きい。
【0007】
接着部16は、基板11とリードフレーム12との間の結合機構を提供する。接着部16は、好ましくは、フラグ14の周辺の周りのリングである。接着部16は、穴15を覆わない。一例として、接着部16は、接着テープまたは熱可塑性接着剤でもよい。好適な実施例では、接着部は、Grand Island, NYのOccidental Chemical Corporation 社製の"SumiOxy" と呼ばれるダイ装着テープ(die-attach tape) である。
【0008】
また、接着部16は、好ましくは、フラグ14と基板11との間のスタンドオフとして機能する。本好適な実施例では、スペース,ギャップまたはキャビティ19がフラグ14と基板11の中央部との間に形成される。デバイス20がマイクロマシンセンサである場合、デバイス20のマイクロマシン部分(すなわち、圧力センサまたは化学センサなどの薄い半導体膜またはダイアフラム)は、キャビティ19内で保護される。従って、キャビティ19の高さは、デバイス20が、例えば、圧力センサである場合に、デバイス20のダイアフラムの適切な動きを可能にするために十分大きくなければならない。好適な実施例では、キャビティ19は約25〜75マイクロメートルの深さを有し、接着部16は約25〜75マイクロメートルの高さを有する。従って、素子10は、デバイス20のマイクロマシン部分を保護するために個別のカバーまたはキャップを必要としない。よって、素子10は少ない工程で製造でき、その結果、より迅速かつ安価な製造プロセスが得られる。
【0009】
素子10の製造または作製における以降の工程は、パッド21をリードフレーム12のリード13に電気結合することを含む。好適な実施例では、複数のワイヤ・ボンド22が電気結合を行う。ただし、TAB(tape-automated-bonding),フリップ・チップ・ボンディング技術なども、電気結合を行うために利用できる。フリップ・チップ・ボンディングを利用した場合、リードフレーム12の上に基板11を実装する段階は、本質的に電気結合段階を含む。さらに、フリップ・チップ・ボンディングを利用した場合、ボンディング・パッド21はリード13の反対面に電気結合される。
【0010】
電気結合段階の次に、封入材料またはパッケージング材料17が基板11およびリードフレーム12の周りに設けられる。材料17は、デバイス20およびワイヤ・ボンド22を湿気,腐食,汚染,物理的衝撃などから保護するために用いられる。材料17は、特にリードフレーム12がセラミック基板からなる場合に、プラスティック・カバーまたは金属蓋でもよいが、材料17は好ましくは高圧のトランスファ成形材料などである。好適な実施例では、フラグ14とリード13の同一面性はパッケージング工程でも維持される。
【0011】
材料17は、材料17がフラグ14の穴15を覆わないように、穴または開口部23を有して形成される。従って、穴15は、パッケージング工程後も露出されたままである。開口部23および穴15は、デバイス20が温度,化学作用,圧力などについて外界を検出することを可能にする。
【0012】
次に、任意のキャップまたはカバー18を穴15の上に実質的に配置し、材料17に接着できる。一例として、カバー18は、デバイス20が化学センサである場合には、フィルタからなってもよい。別の例では、カバー18は、デバイス20が圧力センサまたは温度センサである場合には、ポートからなってもよい。この例の代替例として、カバー18は、パッケージング工程の前、あるいは基板11をリードフレーム12に接着する前に、基板11の反対のフラグ14の表面に接着できる。これらの代替実施例でも、材料17はデバイス20を外界に晒すための開口部23を有する。
【0013】
図1では図示しないが、素子10のリード13は典型的な構成で実質的に曲げられる。好ましくは、リード13は、素子10が回路板に実装されるときに、デバイス20,穴15および開口部23が回路板ではなく外界方向を向くように、カバー18から離して曲げられる。このように、リード13は、素子10が表面実装デバイスとなるように、曲げられて、パッケージング材料17に近接して形成できる。
【0014】
素子10について、多くの代替実施例が存在する。一代替実施例では、フラグ14が十分大きければ、第2電子基板(図示せず)をフラグ14上に実装して、パッケージング材料17内に封入できる。この代替実施例では、第2電子基板は、基板11が実装されたフラグ14と同じ面または反対面に実装してもよい。第2電子基板がフラグ14の反対面に実装される場合、第2素子は上記の理由によりフラグ14の穴15を覆ってはならない。この例では、第2電子基板は、デバイス20に電気結合された集積回路を含むことができ、センサまたはデバイス20の機能または精度を向上させるために利用できる。この実施例では、第2電子基板のボンディング・パッドは、集積回路をデバイス20に電気結合するためにワイヤ・ボンドを利用する場合には、基板11から離れて対向できる。あるいは、第2電子基板のボンディング・パッドは、第2電子基板がフリップ・チップ基板である場合には、基板11の方向に対向できる。
【0015】
別の代替実施例として、第2電子基板(図示せず)をリードフレーム12の第2フラグ(図示せず)の上に実装できる。さらに別の図示しない代替実施例では、複数の電子基板を支持するためにフラグレス・リードフレーム(flagless leadframe)を利用することを含む。さらに、素子10において第3,第4または他の追加電子基板を基板11とともにパッケージングする場合に、前記の代替実施例のさまざまな組み合わせも利用できる。
【0016】
従って、改善されたパッケージング半導体素子が提供され、従来技術の欠点を克服する。この半導体素子の製造プロセスは、半導体素子のマイクロマシン部分を保護するために個別のキャップ用チップを必要としないので、低コストで、複雑でない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による半導体素子の実施例の断面図である。
【符号の説明】
10 電子素子または半導体素子
11 電子チップまたは基板
12 リードフレーム
13 リード
14 フラグ
15 開口部または穴
16 接着部
17 封入またはパッケージング材料
18 キャップまたはカバー
19 キャビティ
20 電子デバイス
21 ボンディング・パッド
22 ワイヤ・ボンド
23 穴または開口部
Claims (1)
- 半導体素子を製造する方法であって:
穴(15)およびリード(13)を具備するフラグ(14)を有するリードフレーム(12)を準備する段階;
周辺部に位置するパッドを有する電子チップ(11)を準備し該電子チップ(11)を前記フラグ(14)上に配置する段階であって、前記電子チップは前記穴を覆い、かつ前記チップのパッドは前記フラグの方向を向く、段階;および
前記電子チップ(11)および前記リードフレーム(12)の周りにパッケージング材料(17)を配置する段階であって、前記フラグの穴は前記パッケージング材料を配置する段階の後にも露出されており、かつ前記リード(13)は前記半導体素子が回路板に実装される時に、前記穴が回路板ではなく外界方向を向くように曲げられる、段階;
を具備することを特徴とする半導体素子を製造する方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US904989 | 1986-09-08 | ||
US08/904,989 US5963782A (en) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | Semiconductor component and method of manufacture |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11126865A JPH11126865A (ja) | 1999-05-11 |
JP4326609B2 true JP4326609B2 (ja) | 2009-09-09 |
Family
ID=25420114
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23009598A Expired - Lifetime JP4326609B2 (ja) | 1997-08-01 | 1998-07-30 | 半導体素子を製造する方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5963782A (ja) |
JP (1) | JP4326609B2 (ja) |
DE (1) | DE19834160A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5798556A (en) * | 1996-03-25 | 1998-08-25 | Motorola, Inc. | Sensor and method of fabrication |
TW330337B (en) * | 1997-05-23 | 1998-04-21 | Siliconware Precision Industries Co Ltd | Semiconductor package with detached die pad |
DE19728281C1 (de) * | 1997-07-02 | 1998-10-29 | Siemens Ag | Zwei-Chip-Leistungs-IC mit verbessertem Kurzschlußverhalten |
DE19839123C1 (de) * | 1998-08-27 | 1999-11-04 | Siemens Ag | Mikromechanische Struktur |
SG111092A1 (en) | 2002-11-15 | 2005-05-30 | St Microelectronics Pte Ltd | Semiconductor device package and method of manufacture |
US7571647B2 (en) * | 2005-08-30 | 2009-08-11 | Oki Semiconductor Co., Ltd. | Package structure for an acceleration sensor |
EP2015046A1 (en) * | 2007-06-06 | 2009-01-14 | Infineon Technologies SensoNor AS | Vacuum Sensor |
US20130192338A1 (en) * | 2012-01-26 | 2013-08-01 | Felix Mayer | Portable electronic device |
US9772317B2 (en) | 2012-07-26 | 2017-09-26 | Sensirion Ag | Method for operating a portable electronic device |
US9899290B2 (en) * | 2016-03-23 | 2018-02-20 | Nxp Usa, Inc. | Methods for manufacturing a packaged device with an extended structure for forming an opening in the encapsulant |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6297418A (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-06 | Clarion Co Ltd | 弾性表面波装置のパツケ−ジ方法 |
US4942454A (en) * | 1987-08-05 | 1990-07-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Resin sealed semiconductor device |
US5570454A (en) * | 1994-06-09 | 1996-10-29 | Hughes Electronics | Method for processing speech signals as block floating point numbers in a CELP-based coder using a fixed point processor |
US5553014A (en) * | 1994-10-31 | 1996-09-03 | Lucent Technologies Inc. | Adaptive finite impulse response filtering method and apparatus |
US6323550B1 (en) * | 1995-06-06 | 2001-11-27 | Analog Devices, Inc. | Package for sealing an integrated circuit die |
US5907497A (en) * | 1995-12-28 | 1999-05-25 | Lucent Technologies Inc. | Update block for an adaptive equalizer filter configuration |
-
1997
- 1997-08-01 US US08/904,989 patent/US5963782A/en not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-07-29 DE DE19834160A patent/DE19834160A1/de not_active Ceased
- 1998-07-30 JP JP23009598A patent/JP4326609B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5963782A (en) | 1999-10-05 |
DE19834160A1 (de) | 1999-02-04 |
JPH11126865A (ja) | 1999-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9952110B2 (en) | Multi-die pressure sensor package | |
US7671432B2 (en) | Dynamic quantity sensor | |
US7880244B2 (en) | Wafer level CSP sensor | |
US6255741B1 (en) | Semiconductor device with a protective sheet to affix a semiconductor chip | |
US8104356B2 (en) | Pressure sensing device package and manufacturing method thereof | |
US7282786B2 (en) | Semiconductor package and process for making the same | |
US20050189635A1 (en) | Packaged acoustic and electromagnetic transducer chips | |
US5686698A (en) | Package for electrical components having a molded structure with a port extending into the molded structure | |
KR100559062B1 (ko) | 반도체소자및그제조방법 | |
TW201036120A (en) | Exposed pad backside pressure sensor package | |
EP2256471B1 (en) | Radiation sensor device and method | |
JP2006003277A (ja) | 半導体加速度センサ装置及びその製造方法 | |
US9362479B2 (en) | Package-in-package semiconductor sensor device | |
JP4326609B2 (ja) | 半導体素子を製造する方法 | |
JP2002515176A (ja) | 集積回路パッケージ及びその製造方法 | |
CN107527874B (zh) | 腔式压力传感器器件 | |
US7049689B2 (en) | Chip on glass package | |
US7327044B2 (en) | Integrated circuit package encapsulating a hermetically sealed device | |
US11760623B2 (en) | No-gel pressure sensor package | |
JP2000304638A (ja) | センサチップの接合構造 | |
KR101046390B1 (ko) | 반도체 패키지 및 이의 제조 방법 | |
KR101252809B1 (ko) | 밀폐형 패키지 | |
EP4298404A1 (en) | Open-cavity package for chip sensor | |
JPH0613426A (ja) | センサ部を有するハイブリッド半導体装置の組立体 | |
JPS6038842A (ja) | ピングリッドアレイ型半導体パッケージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20041217 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050713 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050713 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050713 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080226 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080523 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080528 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080625 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080630 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080725 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080730 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080826 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20081111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090602 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090610 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130619 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |