JP4317080B2 - Device test method - Google Patents
Device test method Download PDFInfo
- Publication number
- JP4317080B2 JP4317080B2 JP2004151182A JP2004151182A JP4317080B2 JP 4317080 B2 JP4317080 B2 JP 4317080B2 JP 2004151182 A JP2004151182 A JP 2004151182A JP 2004151182 A JP2004151182 A JP 2004151182A JP 4317080 B2 JP4317080 B2 JP 4317080B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- tray
- temperature
- unit
- tested
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Description
本発明は、IC等のデバイス(電子部品)を一回に多数個、自動試験を行えるようにして、夜間完全無人運転を可能にし、低温試験と高温試験の試験工数を少なくするようにしたデバイス試験方法に関する。 The present invention is a device in which a large number of devices (electronic components) such as ICs can be automatically tested at one time, enabling unattended operation at night, and reducing the number of test steps for low temperature test and high temperature test. It relates to the test method.
(1):従来の自動機(ハンドラー)の説明
図6は従来の自動試験装置(自動機)の説明図である。図6において、自動試験装置には、未試験部1、試験部2、ソケット部3、不良箱4、試験済み部5が設けてある。
(1): Description of Conventional Automatic Machine (Handler) FIG. 6 is an explanatory view of a conventional automatic test apparatus (automatic machine). In FIG. 6, the automatic test apparatus includes an
未試験部1は、試験を行っていない未試験のデバイスを搭載したトレーが収納される場所である。試験部2は、試験を行うデバイスを搭載したトレーが置かれる場所である。ソケット部3は、デバイスと接続して試験を行うソケットが設けられる場所である。不良箱4は、デバイスの試験の結果、不良品が収納される箱である。試験済み部5は、デバイスの試験の結果、良品を搭載したトレーを収納する場所である。
The
(2):従来のトレーの説明
図7は従来のトレーの説明図である。図7において、トレーには、デバイスであるICをNO.1〜NO.100(100個のIC)まで搭載することができる。また、未試験部1や試験済み部5の収納部には、トレー枚数が最大10枚まで収納可能である。このため、一度に最大試験可能なICは1000個となる。
(2): Description of Conventional Tray FIG. 7 is an explanatory diagram of a conventional tray. In FIG. 7, ICs as devices can be loaded from NO.1 to NO.100 (100 ICs) on the tray. Further, the storage units of the
(3):従来の自動機(ハンドラー)の動作の説明
以下、図6、図7に基づき従来の自動機の動作を説明する
(1) 自動機は、ICが搭載されたトレー(100個のIC)を、未試験部1から試験部2へ搬送する。
(3): Description of Operation of Conventional Automatic Machine (Handler) Hereinafter, the operation of the conventional automatic machine will be described with reference to FIGS.
(1) The automatic machine conveys the tray (100 ICs) on which the IC is mounted from the
(2) 自動機は、ハンドで試験部2にあるトレーからICを1個のみ、ソケット部3へ移動する。
(2) The automatic machine moves only one IC from the tray in the
(3) 自動機は、ソケット部3でIC試験を行い、良品の場合はハンドで試験部2にあるトレーの元の位置へICを戻し、不良品の場合はハンドで不良箱4へICを入れる。
(3) The automatic machine performs an IC test at the
(4) 自動機は、試験部2にあるトレーに搭載されているICがすべて試験を行うまで、前記(2) 〜(3) を繰り返す。
(4) The automatic machine repeats steps (2) to (3) until all the ICs mounted on the tray in the
(5) 自動機は、試験部2にあるトレーに搭載されているICがすべて試験完了した場合、試験済み部5へトレーを搬送する。
(5) The automatic machine transports the tray to the tested
(4):ICチップの外観検査装置の説明
従来、不良品チップの見落とし等の官能検査の問題点がなく、しかも外観検査に必要な時間を短縮することができるICチップ外観検査装置を提供することを目的として、ICチップを収納するトレイを移動させるトレイ移動系と、トレイに収納されたままの状態でICチップの外観検査を行う外観検査部と、外観検査結果に応じて良品チップと不良品チップとを別個のトレイに分別するチップ分別部と、分別後のトレイを収納するトレイ収納部とを有しているものがあった(特許文献1参照)。
上記従来の自動機や外観検査装置で、IC(メモリ等)試験を行う上で、次のような課題があった。 In conducting the IC (memory etc.) test with the conventional automatic machine and the visual inspection apparatus, there are the following problems.
(1):自動機では、トレーに試験サンプルをセット後、ソケット部で試験を実施しているが、収納部のトレー枚数が最大10枚のため、大量の試験(1000個以上)が一度に実施できず、夜間試験時すべての試験が完了したため、自動機の停止が起こったり、作業者が頻繁に、未試験部および試験済み部のトレーを交換する必要があった。 (1): In the automatic machine, after the test sample is set on the tray, the test is performed in the socket part. However, since the maximum number of trays in the storage part is 10, a large number of tests (1000 or more) can be performed at a time. Since all tests were completed during the night test, the automatic machine stopped, and the operator had to frequently change the trays of untested and tested parts.
(2):高温および低温試験を行う際、1回(一個のIC)の試験毎に温度切換えを行っていたため、設定温度到達まで時間が掛かり、効率が悪かった。 (2): When performing the high temperature and low temperature tests, the temperature was switched for each test (one IC), so it took time to reach the set temperature and the efficiency was poor.
本発明は、上記従来の課題を解決し、従来一回に最大1000個の自動試験までしか行えなかったが、本発明により、1000個以上の試験を実施可能にし、夜間完全無人運転を可能にすること、また、従来より少ない試験工数で低温/高温試験を可能とすることを目的とする。 The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and up to 1000 automatic tests can be performed at a time. However, according to the present invention, more than 1000 tests can be performed and fully unattended operation at night is possible. Another object of the present invention is to enable a low temperature / high temperature test with a smaller number of test steps than before.
図1は本発明の自動試験装置の説明図である。図1中、1は未試験部、2は試験部、3はソケット部、4は不良箱、5は試験済み部、10は搭載部、Tはトレー、ICはデバイスである。 FIG. 1 is an explanatory diagram of an automatic test apparatus according to the present invention. In FIG. 1, 1 is an untested part, 2 is a test part, 3 is a socket part, 4 is a defective box, 5 is a tested part, 10 is a mounting part, T is a tray, and IC is a device.
本発明は、上記の課題を解決するため次のように構成した。 The present invention is configured as follows to solve the above problems.
(1):試験用のデバイスICが搭載される複数の搭載部10を備えるトレーTと、前記搭載部10は試験用のデバイスICを複数重ねて搭載可能であり、前記トレーTの1箇所のみは前記試験用のデバイスICを搭載しない空きの搭載部10を設けると共に、自動試験装置により試験の終わった前記デバイスICを前記空きの搭載部に収納する。このため、トレーTの搭載部10にデバイスICを複数重ねて搭載でき、従来、最大1000個の自動試験までしか行えなかったものが1000個以上の試験が実施可能になり、夜間完全無人運転が可能になる。
(1): A tray T including a plurality of
(2):前記(1)のデバイス試験方法において、一つのトレーTに搭載されたデバイスICの高温又は低温の試験が全て終わった後、温度を切り替えて低温又は高温の試験を行う。このため、従来、低温/高温試験を行う際、別々に実施していたり、測定毎に温度を切り換えていたため、膨大な試験工数が掛かっていたが、従来より少ない工数で試験が可能になる。 (2): In the device test method of (1), after all the high temperature or low temperature tests of the device IC mounted on one tray T are completed, the temperature is switched to perform the low temperature or high temperature test. For this reason, conventionally, when performing a low temperature / high temperature test, it has been carried out separately or the temperature has been switched for each measurement, so it took a huge number of test steps, but the test can be performed with fewer steps than before.
(3):前記(1)のデバイス試験方法において、全てのトレーTに搭載されたデバイスICの高温又は低温の試験が全て終わった後、温度を切り替えて低温又は高温の試験を行う。このため、従来、低温/高温試験を行う際、別々に実施していたり、測定毎に温度を切り換えていたため、膨大な試験工数が掛かっていたが、従来より少ない工数で試験が可能になる。 (3): In the device test method of (1), after all the high-temperature or low-temperature tests of the device ICs mounted on all the trays T are completed, the temperature is switched to perform a low-temperature or high-temperature test. For this reason, conventionally, when performing a low temperature / high temperature test, it has been carried out separately or the temperature has been switched for each measurement, so it took a huge number of test steps, but the test can be performed with fewer steps than before.
本発明によれば次のような効果がある。 The present invention has the following effects.
(1):試験用のデバイスを複数重ねて搭載可能なトレーの1箇所のみはデバイスを搭載しない空きの搭載部を設けると共に、自動試験装置により試験の終わった前記デバイスを前記空きの搭載部に収納するため、従来最大1000個の自動試験までしか行えなかったものが1000個以上の試験が実施可能になり、夜間完全無人運転が可能になる。 (1): Only one tray on which a plurality of test devices can be stacked is provided with an empty mounting portion on which no device is mounted, and the device that has been tested by an automatic test apparatus is used as the empty mounting portion. Since it is housed, it is possible to carry out 1000 or more tests that could only be performed up to 1000 automatic tests in the past, and it is possible to perform a completely unattended operation at night.
(2):一つのトレーに搭載されたデバイスの高温又は低温の試験が全て終わった後、温度を切り替えて低温又は高温の試験を行うため、従来、低温/高温試験を行う際、別々に実施していたり、測定毎に温度を切り換えていたため、膨大な試験工数が掛かっていたが、従来より少ない工数で試験が可能になる。 (2): After all the high-temperature or low-temperature tests of devices mounted on one tray are completed, the temperature is switched to perform the low-temperature or high-temperature tests. However, since the temperature was switched for each measurement, it took a huge amount of test man-hours, but the test can be performed with fewer man-hours than before.
(3):全てのトレーに搭載されたデバイスの高温又は低温の試験が全て終わった後、温度を切り替えて低温又は高温の試験を行うため、従来、低温/高温試験を行う際、別々に実施していたり、測定毎に温度を切り換えていたため、膨大な試験工数が掛かっていたが、従来より少ない工数で試験が可能になる。 (3): After all high-temperature or low-temperature tests for devices mounted on all trays are completed, the temperature is switched to perform low-temperature or high-temperature tests. However, since the temperature was switched for each measurement, it took a huge amount of test man-hours, but the test can be performed with fewer man-hours than before.
(1):自動機(ハンドラー)の説明
図1は本発明の自動試験の説明図であり、図1(a)は自動試験装置(自動機)の説明である。この自動試験装置は従来の装置(図6)と同じ構成であり、自動試験装置には、未試験部1、試験部2、ソケット部3、不良箱4、試験済み部5が設けてある。
(1): Description of Automatic Machine (Handler) FIG. 1 is an explanatory view of an automatic test according to the present invention, and FIG. 1 (a) is an illustration of an automatic test apparatus (automatic machine). This automatic test apparatus has the same configuration as a conventional apparatus (FIG. 6). The automatic test apparatus includes an
未試験部1は、試験を行っていない未試験のデバイスを搭載したトレーが収納される場所である。試験部2は、試験を行うデバイスを搭載したトレーが置かれる場所である。ソケット部3は、デバイスと接続して試験を行うソケット(1個又は複数)が設けられる場所である。不良箱4は、デバイスの試験の結果、不良品が収納される箱である。試験済み部5は、デバイスの試験の結果、良品を搭載したトレーを収納する場所である。
The
(2):トレーの説明
図1(b)は本発明のトレーの説明である。図1(b)において、トレーTには、試験を行うデバイスであるICを搭載するIC搭載部10(NO.1〜NO.99 )と右上隅の一箇所のみICを搭載しない空きの搭載部10が設けてある。一つのIC搭載部10には、ICが3枚づつ重ねて置くことができる。したがって、一つのトレーには、ICが297個まで搭載することができる。また、未試験部1や試験済み部5の収納部には、例えば、トレー枚数が最大10枚まで収納可能とすることができる。このため、一度に最大試験可能なICは2970(297×10)個となる。
(2): Explanation of Tray FIG. 1 (b) is an explanation of the tray of the present invention. In FIG. 1B, on the tray T, an IC mounting portion 10 (NO.1 to NO.99) for mounting an IC as a device to be tested and an empty mounting portion in which no IC is mounted at only one place in the upper right corner. 10 is provided. Three ICs can be stacked one on the other
図2はIC搭載部の説明図であり、図2(a)はTSOPタイプのIC搭載の説明、図2(b)はBGAタイプのIC搭載の説明である。図2(a)において、IC搭載部10には、TSOP(thin small outline package)タイプのICが3枚重ねて搭載されている。このタイプのICは、入出力端子となるリードがパッケージの側面からムカデの足のように出ている表面実装用のものである。図2(a)の右側が試験前の状態であり、左側が試験後(IC1A〜IC1Cが良品)の状態である(上下が逆になる)。
2A and 2B are explanatory views of the IC mounting portion, FIG. 2A is a description of mounting a TSOP type IC, and FIG. 2B is a description of mounting a BGA type IC. In FIG. 2A, the
図2(b)において、IC搭載部10には、BGA(ball grid arrey )タイプのICが3枚重ねて搭載されている。このタイプのICは、パッケージの下面に入出力端子となるハンダのボールがマトリックス(格子)上に配置されているものである。図2(b)の右側が試験前の状態であり、左側が試験後(IC1A〜IC1Cが良品)の状態である(上下が逆になる)。このように、ICの種類は限定されるものではない。
In FIG. 2B, three ICs of BGA (ball grid arrey) type are stacked and mounted on the
図3は本発明の自動試験装置の主要部の説明図である。図3において、メモリの自動試験を行う自動試験装置の主要部には、ソケット部3、トレー部11、ハンドラコントロール部12、ハンドラハンド部13、ソケット押え板部14、メモリテスターコントロール部15、メモリテスタードライバー部16、メモリテスターコンパレータ部17が設けてある。
FIG. 3 is an explanatory diagram of the main part of the automatic test apparatus of the present invention. In FIG. 3, the main parts of an automatic test apparatus for performing an automatic test of memory include a
ソケット部3は、試験を行うデバイスであるIC(ここではメモリ)と接続して試験を行うソケットが設けられる場所である。トレー部11は、試験を行うICが搭載されたトレーが置かれるところである。ハンドラコントロール部12は、ハンドラハンド部13の制御を行うものである。ハンドラハンド部13は、ハンドラコントロール部12の制御によりトレー部11のICをソケット部3に移動し、試験の終わった正常(良品)なICをトレー部11に戻すものである。ソケット押え板部14は、ソケット押え板を上下に移動して試験を行うICをソケットと電気的に接続するものである。メモリテスターコントロール部15は、メモリテスターの制御を行うものである。メモリテスタードライバー部16は、メモリテスターコントロール部15の制御によりICであるメモリの試験を行うためメモリの駆動を行うものである。メモリテスターコンパレータ部17は、メモリ(IC)試験の結果を設定値と比較し、不良品か良品か等の判別をするものである。
The
(3):自動機の動作の説明
以下、自動機の動作を説明する。
(3): Description of operation of automatic machine The operation of the automatic machine will be described below.
(1) 自動機は、ICが搭載されたトレー(297個のIC)を、未試験部1から試験部2へ搬送する。
(1) The automatic machine conveys trays (297 ICs) on which ICs are mounted from
(2) 自動機は、ハンドで試験部2にあるトレーからICを1個のみ、ソケット部3へ移動する。
(2) The automatic machine moves only one IC from the tray in the
(3) 自動機は、ソケット部3でIC試験を行い、良品の場合はハンドで試験部2にあるトレーの空きの位置へICを戻し、不良品の場合はハンドで不良箱4へICを入れる。
(3) The automatic machine performs an IC test at the
(4) 自動機は、試験部2にあるトレーに搭載されているICがすべて試験を行うまで、前記(2) 〜(3) を繰り返す。一つのIC搭載部には、ICが3枚づつ重ねて収納されていて上から順に試験を行うので、試験が終わったIC搭載部のICは、上下が逆転して重ねて収納されることになる。
(4) The automatic machine repeats steps (2) to (3) until all the ICs mounted on the tray in the
(5) 自動機は、試験部2にあるトレーに搭載されているICがすべて試験完了した場合、試験済み部5へトレーを搬送する。
(5) The automatic machine transports the tray to the tested
(図面による動作の説明)
図4は試験順序の説明図である。図4の符号S1〜S7にしたがって試験順序を説明する。なお、図4ではIC搭載部のICは、分かりやすくするため左右に並べたものが示されているが、実際は上下(IC搭載部の深さ方向)に重ねて収容されるものである。
(Explanation of operation with drawings)
FIG. 4 is an explanatory diagram of the test sequence. The test order will be described in accordance with reference numerals S1 to S7 in FIG. In FIG. 4, the ICs of the IC mounting part are shown as being arranged on the left and right for the sake of clarity, but in actuality, they are accommodated by being stacked vertically (in the depth direction of the IC mounting part).
S1:自動機の試験を行う前の状態であり、トレーには、試験を行うICを搭載したIC搭載部NO.1(IC1A〜IC1C)、NO.2(IC2A〜IC2C)と上部の一箇所のICを搭載しない空きの搭載部が設けられている。 S1: This is the state before the automatic machine test, and the tray has IC mounting parts No.1 (IC1A to IC1C), NO.2 (IC2A to IC2C) and the upper part where the IC to be tested is mounted. There is an empty mounting portion on which no IC is mounted.
S2:自動機では、ソケット部3でIC搭載部NO.1のIC1AのIC試験を行い、良品の場合はハンドでトレーの空きの位置へICを戻す。
S2: In the automatic machine, an IC test of
S3:自動機では、ソケット部3でIC搭載部NO.1のIC1BのIC試験を行い、良品の場合はハンドでトレーの空きの位置へICを戻す。
S3: The automatic machine performs an IC test of IC1B of the IC mounting part No. 1 in the
S4:自動機では、ソケット部3でIC搭載部NO.1のIC1CのIC試験を行い、良品の場合はハンドでトレーの空きの位置へICを戻す。これで、IC搭載部NO.1が空になる。
S4: In the automatic machine, the
S5:自動機では、ソケット部3でIC搭載部NO.2のIC2AのIC試験を行い、良品の場合はハンドでトレーの空きの位置へICを戻す。
S5: In the automatic machine, the
S6:自動機では、ソケット部3でIC搭載部NO.2のIC2BのIC試験を行い、良品の場合はハンドでトレーの空きの位置へICを戻す。
S6: In the automatic machine, the
S7:自動機では、ソケット部3でIC搭載部NO.2のIC2CのIC試験を行い、良品の場合はハンドでトレーの空きの位置へICを戻す。これで、IC搭載部NO.2が空になる。
S7: In the automatic machine, the
(4):低温および高温試験方法の説明
ICは低温および高温の環境で使用されることがあるため、低温および高温の動作試験(例えば、0℃および70℃)が行われる。このため、ソケット部3の温度を低温から高温(又は高温から低温)に切り換えて試験が行われる。
(4): Description of low-temperature and high-temperature test methods Since ICs may be used in low-temperature and high-temperature environments, low-temperature and high-temperature operation tests (for example, 0 ° C. and 70 ° C.) are performed. For this reason, the test is performed by switching the temperature of the
(試験方法1の説明)
試験方法1は、試験部2のトレーに搭載されているICがすべて高温試験完了後、温度を切り換えて低温試験を行うものである。
(Explanation of Test Method 1)
In
(1) 未試験部1のトレーを試験部2へ搬送する。
(1) Transport the tray of the
(2) 試験部2のトレーから、ICをソケット部3へ移動する。
(2) Move the IC from the tray of the
(3) ソケット部3で試験を実施する。
(3) Conduct the test on
(4) ソケット部3で試験が終了後、ソケット部3から試験部2のトレーへICを移動する。
(4) After the test is completed in the
(5) 前記(2) 〜(4) 項を繰り返す。 (5) Repeat (2) to (4) above.
(6) 試験部2のトレーに搭載されているICがすべて高温試験完了後、高温送風から低温送風へ切り換える。
(6) After all the ICs mounted on the tray of
(7) 前記(2) 〜(5) 項を繰り返す。 (7) Repeat (2) to (5) above.
(8) 試験部2のトレーに搭載されているICがすべて低温試験完了後、試験済み部5へトレーを移動する。
(8) After all the ICs mounted on the tray of the
(試験方法2の説明)
図5は自動試験装置(自動機)の説明図である。図5において、自動試験装置には、未試験部1、試験部2、ソケット部3、不良箱4、試験済み部5が設けてある。
(Explanation of Test Method 2)
FIG. 5 is an explanatory diagram of an automatic test apparatus (automatic machine). In FIG. 5, the automatic test apparatus includes an
未試験部1は、試験を行っていない未試験のデバイスを搭載したトレーが収納される場所である。試験部2は、試験を行うデバイスを搭載したトレーが置かれる場所である。ソケット部3は、高温送風(高温試験)/低温送風(低温試験)下でデバイスと接続して試験を行うソケットが設けられる場所である。不良箱4は、デバイスの試験の結果、不良品が収納される箱である。試験済み部5は、デバイスの試験の結果、良品を搭載したトレーを収納する場所である。
The
(1) 未試験部1のトレーを試験部2へ搬送する。
(1) Transport the tray of the
(2) 試験部2のトレーから、ICをソケット部3へ移動する。
(2) Move the IC from the tray of the
(3) ソケット部3で高温試験を実施する。
(3) Conduct a high temperature test on the
(4) ソケット部3で試験が終了後、ソケット部3から試験部2のトレーへICを移動する。
(4) After the test is completed in the
(5) 前記(2) 〜(4) 項を繰り返す。 (5) Repeat (2) to (4) above.
(6) 試験部2のトレーに搭載されているICがすべて低温試験完了後、試験済み部5へトレーを移動する。
(6) After all the ICs mounted on the tray of the
(7) 未試験部1のトレーがすべて無くなるまで、前記(1) 〜(6) 項を繰り返す。
(7) Repeat items (1) to (6) until all trays in
(8) 試験済み部5のトレーをすべて、未試験部1へ移動する。
(8) Move all trays in the tested
(9) 前記(3) 項を高温試験から低温試験へ変更し、前記(1) 〜(7) 項を繰り返す。 (9) The item (3) is changed from the high temperature test to the low temperature test, and the items (1) to (7) are repeated.
なお、前記の例では、一つのIC搭載部には、ICが3枚づつ重ねて搭載する説明をしたが、2枚又は4枚以上重ねて収納することもできる。しかし、枚数があまり多いとトレー等の自動機の設計変更が大幅なものになる。 In the above example, it has been described that three ICs are stacked and mounted on one IC mounting unit, but two or four or more ICs can be stacked and stored. However, if the number of sheets is too large, the design change of an automatic machine such as a tray becomes significant.
このように、本発明によれば、従来は、一回に最大1000個の自動試験までしか行えなかったが、本発明の方式により、1000個以上の試験が実施可能になり、夜間完全無人運転が可能になる。また、従来は、低温/高温試験を行う際、別々に実施していたり、測定毎に温度を切り換えていたため、膨大な試験工数が掛かっていたが、本発明方法を実施することにより、従来の約1/2で試験が可能になる。 As described above, according to the present invention, up to 1000 automatic tests can be performed at a time. However, according to the method of the present invention, it is possible to perform 1000 or more tests and complete unattended operation at night. Is possible. In addition, conventionally, when performing a low temperature / high temperature test, it was performed separately or the temperature was switched for each measurement, which took enormous test man-hours. The test becomes possible at about 1/2.
1 未試験部
2 試験部
3 ソケット部
4 不良箱
5 試験済み部
10 搭載部
IC デバイス
T トレー
1
Claims (3)
前記搭載部は試験用のデバイスを複数重ねて搭載可能であり、前記トレーの1箇所のみは前記試験用のデバイスを搭載しない空きの搭載部を設けると共に、自動試験装置により試験の終わった前記デバイスを前記空きの搭載部に収納することを特徴としたデバイス試験方法。 A tray having a plurality of mounting portions on which test devices are mounted;
The mounting portion can be mounted with a plurality of test devices stacked, and only one portion of the tray is provided with an empty mounting portion on which the test device is not mounted, and the device that has been tested by an automatic test apparatus. Is stored in the empty mounting portion.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004151182A JP4317080B2 (en) | 2004-05-21 | 2004-05-21 | Device test method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004151182A JP4317080B2 (en) | 2004-05-21 | 2004-05-21 | Device test method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005331424A JP2005331424A (en) | 2005-12-02 |
JP4317080B2 true JP4317080B2 (en) | 2009-08-19 |
Family
ID=35486171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004151182A Expired - Fee Related JP4317080B2 (en) | 2004-05-21 | 2004-05-21 | Device test method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4317080B2 (en) |
-
2004
- 2004-05-21 JP JP2004151182A patent/JP4317080B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005331424A (en) | 2005-12-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6313652B1 (en) | Test and burn-in apparatus, in-line system using the test and burn-in apparatus, and test method using the in-line system | |
US7917327B2 (en) | Chip handler with a buffer traveling between roaming areas for two non-colliding robotic arms | |
US7694246B2 (en) | Test method for yielding a known good die | |
US7422914B2 (en) | Fabrication method of semiconductor integrated circuit device | |
US20070063721A1 (en) | Apparatus And Method Of Testing Singulated Dies | |
US10622231B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor package | |
US6204679B1 (en) | Low cost memory tester with high throughput | |
EP3218729A1 (en) | Assembling devices for probe card testing | |
JP2000065894A (en) | Method and device for testing electronic parts | |
US6700398B1 (en) | In-line D.C. testing of multiple memory modules in a panel before panel separation | |
KR101032598B1 (en) | Test Handler and Device Transferring Apparatus thereof | |
JP4317080B2 (en) | Device test method | |
KR20030003125A (en) | Improvement in testing methodology for smd bga and csp packages | |
JP2741043B2 (en) | Semiconductor element sorting method | |
KR100910119B1 (en) | Test handler | |
CN112309492A (en) | Memory chip over-frequency test module and method thereof | |
KR100408984B1 (en) | Test board for burn-in test and PC base test | |
KR100909208B1 (en) | Burn-in sorter and operating method thereof | |
KR20010049215A (en) | module ram mounting test handler and method for testing of module ram using the same | |
JPH09178807A (en) | Automatic handler for ic inspection | |
CN210253175U (en) | Over-frequency testing device for memory chip | |
JP2533174B2 (en) | Parts testing equipment | |
KR102635806B1 (en) | Method for testing inserts of test handler | |
JPH09266400A (en) | Ic inserting/removing apparatus | |
JP2005331425A (en) | Defective device analysis method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090519 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090521 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120529 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120529 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130529 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130529 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |