JP4311276B2 - フラッシュランプ装置 - Google Patents
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Description
図3において、フラッシュランプ装置1には、複数本のフラッシュランプ2、2・・・が互いに並行になるように配設されている。該フラッシュランプ2は、図4に示すように、内部に一対の電極3a、3bを備え、外部には軸方向に沿ってトリガワイヤ4が設けられている。これらトリガワイヤ4には電極3a、3bとは別の独立した電圧が印加される。
これは、フラッシュランプ2が瞬間的な発光の度に帯電し、場合によっては反射ミラー5も帯電しかねないために、ランプハウス7に対しては安全上の理由から絶縁が必要になるからである。特に、放電容器の外面に配置するトリガワイヤ4には、例えば15KVという高電圧が発生するため絶縁構造は必須となる。
このように、半導体や液晶基板の急速加熱処理という用途に用いられるフラッシュランプ装置では反射ミラー支持用の支柱として絶縁性物質を使わなければならない。
なお、絶縁性支柱の絶縁材として有機物質を用いると、フラッシュランプの放射光によって支柱自体が損傷するという問題を生ずるので、絶縁性無機物質、例えば、セラミックスが用いられる。
そして、このランプ2の振動の影響を受け、また、フラッシュ発光時における周囲の空気の振動などの影響で、反射ミラー5も振動する。
近年の急速加熱処理においては、その加熱速度が極めて急速なことが求められるようになり、このため、該フラッシュランプに流れる電流も、例えば、2kAもの大電流が流れ、更には、効率的な加熱とか熱分布の均一性などの観点から、各フラッシュランプ2、2・・・の配列も、例えば、15mm間隔といった小間隔とされるようになってきている。このような状況から、前記ランプに作用するローレンツ力は非常に大きなものとなり、ランプ2や反射ミラー5に与える振動の影響も極めて深刻なものとなってきている。
図2に示されるように、反射ミラー5とランプハウス7の間に介在される支柱15の両端には、それぞれ端部に開口する挿入孔16a、16bが形成されている。これら挿入孔16a、16bは互いに連通することがない。
そして該支柱15の側面には、前記挿入孔16a、16bに連通すると共に、支柱側面に開口する側孔17a、17bがそれぞれ形成されている。
これら挿入孔16a、16bおよび側孔17a、17bは、支柱15の軸方向に絶縁するに十分な間隔が残されるように形成されている。
一方、支柱5の側孔17a、17bにはナット部材21a、21bがそれぞれ支柱側方から挿入されていて、前記ネジ部材20a、20bと螺合している。
これにより、反射ミラー5は、絶縁性支柱15を挟むように介在してランプハウス7に取り付けられている。
更には、ナット部材21a、21bは、側孔17a、17bの壁面との間で当接して擦過カスを生じることのないように、角部を面取りもしくは丸みを付けられている方が好ましい。
2 フラッシュランプ
4 トリガワイヤ
5 反射ミラー
7 ランプハウス
15 支柱
16a、16b 挿入孔
17a、17b 側孔
20a、20b ネジ部材
21a、21b ナット部材
Claims (2)
- 互いに平行に配置された複数本のフラッシュランプと、該フラッシュランプを覆う反射ミラーと、該反射ミラーが絶縁性支柱を介して取り付けられたランプハウスとからなるフラッシュランプ装置において、
前記支柱の両端には、それぞれ端部に開口する挿入孔が形成され、支柱側面にはそれぞれ該挿入孔に連通し、支柱側面に開口する側孔が形成され、反射ミラーおよびランプハウス側からそれぞれ支柱に挿入されたネジ部材を前記側孔内に挿入されたナット部材に螺合することによって、反射ミラーをランプハウスに取り付けたことを特徴とするフラッシュランプ装置。 - 前記ナット部材が、挿入される側孔内で回転不能な形状とされていることを特徴とする請求項1に記載のフラッシュランプ装置。
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