JP4304483B2 - 分光素子 - Google Patents
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(1)同一面積の2次元マトリックス受光素子で画素数の多い2次元マトリックス受光素子を用いる方法
しかし、この方法は画素数を増加させた分、処理速度が低下し、かつ、1画素あたりの受光面積が小さくなるため感度も悪くなる別の問題を有していた。
(2)同一面積の透過波長可変フィルタにおける透過波長域(nm)と波長可変ラインの長さ(mm)とで決定される波長可変ライン1mm当たりの透過波長可変量(nm/mm)を緩やか(小さく)にする方法
しかし、この方法で同一面積の2次元マトリックス受光素子を用いたのでは透過波長可変範囲が小さくなってしまう問題があり、かつ、透過波長可変範囲を広げるため大面積の2次元マトリックス受光素子を用いると、コストが高くなるばかりかこの分光素子における小型という利点を生かせなくなる問題があった。
基板表面に形成された誘電体多層膜を有しこの誘電体多層膜における一方の端縁から他方の端縁へ向かう波長可変ライン上の入射位置に応じて透過する波長が線形的に変化する透過波長可変フィルタと、縦横方向に亘って複数の画素が配列された2次元マトリックス受光素子とでその主要部が構成される分光素子を前提とし、
上記波長可変ラインと直交する関係にある特定波長の上記2次元マトリックス受光素子に対する直線状透過領域が、縦方向に配列された互いに隣接する一対の画素列における一方画素列の縦方向一端側画素から他方画素列の縦方向他端側画素間までに1画素列分ずれるように、透過波長可変フィルタの波長可変ラインが2次元マトリックス受光素子の横方向に配列された画素列に対し非平行に配置されており、かつ、上記透過波長可変フィルタにおける波長可変ライン上の任意位置を透過する特定波長の透過光強度の半値幅が、2次元マトリックス受光素子の横方向に配列された画素数と上記透過波長可変フィルタの透過波長域(nm)とで決定される1画素当たりの透過波長可変量(nm/画素)より小さいことを特徴とする。
請求項1記載の発明に係る分光素子を前提とし、
上記2次元マトリックス受光素子が、CCD素子、CMOS素子、複数の受光素子を2次元に並べて配置した集合素子のいずれかであることを特徴とするものである。
上記波長可変ラインと直交する関係にある特定波長の上記2次元マトリックス受光素子に対する直線状透過領域が、縦方向に配列された互いに隣接する一対の画素列における一方画素列の縦方向一端側画素から他方画素列の縦方向他端側画素間までに1画素列分ずれるように、上記透過波長可変フィルタの波長可変ラインが2次元マトリックス受光素子の横方向に配列された画素列に対して非平行に配置されており、かつ、上記透過波長可変フィルタにおける波長可変ライン上の任意位置を透過する特定波長の透過光強度の半値幅が、2次元マトリックス受光素子の横方向に配列された画素数と上記透過波長可変フィルタの透過波長域(nm)とで決定される1画素当たりの透過波長可変量(nm/画素)より小さくなっている。
従来例に係る分光素子では、2次元マトリックス受光素子における各列毎の出力信号はどのラインも同じである。これでは、透過波長可変フィルタの波長可変量の0.5nm/画素の波長分解能しかなく正確なピーク波長を求めることができなかった。
2 2次元マトリックス受光素子
3 波長可変ライン
4 画素
5 直線状透過領域
51 画素列
52 画素列
53 画素列
54 画素列
Claims (2)
- 基板表面に形成された誘電体多層膜を有しこの誘電体多層膜における一方の端縁から他方の端縁へ向かう波長可変ライン上の入射位置に応じて透過する波長が線形的に変化する透過波長可変フィルタと、縦横方向に亘って複数の画素が配列された2次元マトリックス受光素子とでその主要部が構成される分光素子において、
上記波長可変ラインと直交する関係にある特定波長の上記2次元マトリックス受光素子に対する直線状透過領域が、縦方向に配列された互いに隣接する一対の画素列における一方画素列の縦方向一端側画素から他方画素列の縦方向他端側画素間までに1画素列分ずれるように、透過波長可変フィルタの波長可変ラインが2次元マトリックス受光素子の横方向に配列された画素列に対し非平行に配置されており、かつ、上記透過波長可変フィルタにおける波長可変ライン上の任意位置を透過する特定波長の透過光強度の半値幅が、2次元マトリックス受光素子の横方向に配列された画素数と上記透過波長可変フィルタの透過波長域(nm)とで決定される1画素当たりの透過波長可変量(nm/画素)より小さいことを特徴とする分光素子。 - 上記2次元マトリックス受光素子が、CCD素子、CMOS素子、複数の受光素子を2次元に並べて配置した集合素子のいずれかであることを特徴とする請求項1記載の分光素子。
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