JP4302956B2 - Die pickup device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハテーブル上のダイをピックアップするダイピックアップ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のこの種ダイピックアップ装置にあっては、記憶装置にウエハにおける各ダイが良品であるか不良品であるかの情報であるマッピングデータを格納し、このデータに基づいて良品のみピックアップして、基板に装着していた(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開2002−26041号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述したようなマッピングデータに基づいて良品のみピックアップするダイピックアップ装置において、何らかの理由で当該ウエハを途中で終了して他のウエハを使用した後に、再度前記仕掛りのウエハを使用することは困難であった。
【0005】
そこで本発明は、再度仕掛りのウエハを使用する場合にマッピングデータに基づいたピックアップを可能とし、当該ウエハを無駄にしないようにすることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
このため第1の発明は、ウエハテーブル上のダイを順次取出具によりピックアップするダイピックアップ装置において、ウエハにおける各ダイが良品であるか不良品であるかの情報及びウエハからの取出しを途中で終了した際に、仕掛りのウエハについての運転を中止したときにどこまでのダイを取出して装填したかについての途中情報であるマッピングデータを各ウエハ毎に格納する記憶装置と、仕掛り中のどのウエハであるかを選択する選択装置と、作業者の前記選択装置の操作により仕掛り中の所定のウエハが選択された場合には前記記憶装置に格納された当該ウエハに係るマッピングデータに基づいてピックアップ作業を開始するように制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。
【0007】
また第2の発明は、ウエハテーブル上のダイを取出具によりピックアップするダイピックアップ装置において、ウエハにおける各ダイが良品であるか不良品であるかの情報及びウエハからの取出しを途中で終了した際に、仕掛りのウエハについての運転を中止したときにどこまでのダイを取出して装填したかについての途中情報であるマッピングデータを各ウエハ毎に格納する記憶装置と、新規のウエハであるか仕掛り中のどのウエハであるかを選択する選択装置と、作業者の前記選択装置の操作により仕掛り中の所定のウエハが選択された場合には前記記憶装置に格納された当該ウエハに係るマッピングデータに基づいてピックアップ作業を開始するように制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明が適用されるダイピックアップ装置としてダイボンダやテーピング装置などがあるが、テーピング装置に適用する実施形態について、図面を参照しながら説明する。先ず、図1及び図2のテーピング装置の平面図及び左側面図に基づき、テーピング装置について説明する。1はテーピング装置本体で、この本体1に立設されたピンにテープ供給リール2が回転可能に係止され、当該テープ供給リール2に巻装されたテープ本体(キャリアテープとも称される。)3Aの先端が、当該テープ本体3Aに図示しないプーリにより適度なテンションを与えられ、搬送レール4を介して巻取りリール5に固定されている。
【0009】
そして、図示しない回転駆動系による当該巻取りリール5の回転に合わせて順次テープ本体3Aが所定量搬送されて(巻取りリール5に巻取られて)いく間で、テープ本体3Aの収納凹部3B内にダイDが挿入され、更に所定位置まで搬送されて収納凹部3B上面の開口部をカバーテープ供給リール6から供給されるカバーテープ3Cで被覆した後、前記巻取りリール5に巻取られていく。尚、上述したようにテープ本体3Aと、これに設けられた収納凹部3Bと、その上面に圧着されるカバーテープ(トップテープ)3Cとでテープ3が形成されるが、前記テープ本体3Aはボトムテープと間隔子とで形成される。
【0010】
そして、部品装填装置10によるテープ本体3Aの収納凹部3B内へダイDが挿入された後、部品検査機構7によりこのダイDが検査され、そしてテープ圧着機構8によりテープ本体3Aとカバーテープ3Cとが圧着され、前記巻取りリール5に巻き取られることとなる。
【0011】
次に、前記部品装填装置10について、説明する。先ず、Y軸駆動モータ11AによりY方向に移動可能なYテーブル11の上にはX軸駆動モータ12AによりX方向に移動可能なXテーブル12が設けられ、該Xテーブル12の上に枠体13が固定されている。そして、前記枠体13の水平板14の中央部にはインデックスユニット15が、また前後部には対向して認識カメラ16及び認識カメラ17が設けられている。
【0012】
また、前記水平板14の下面には図示しない駆動モータにより前記インデックスユニット15を介して間欠回転(90度間隔で)する回転盤20が設けられ、該回転盤20には複数個、例えば90度間隔で4個配設された各装着ヘッド21に取出具としての吸着装填ノズル22が配設されている。
【0013】
尚、前記吸着装填ノズル22は図示しない上下軸駆動モータ18により装着ヘッド21が上下動可能に構成されると共に、θ軸駆動モータ19により垂直線回りに回転可能である。
【0014】
また、前記Xテーブル12の上にはY軸駆動モータ24AによりY方向に移動可能なYテーブル24が設けられ、更に該Yテーブル24の上にはX軸駆動モータ25AによりX方向に移動可能なXテーブル25が設けられている。そして、該Xテーブル25上は支持テーブル26を介して鉛直方向を軸として所定回転範囲でθ回転可能なダイ供給テーブル27が設けられ、該供給テーブル27上にはシート28に貼付されたウエハがダイシングされて個々のダイDに分割された状態で固定されており、このダイDは裏面より突き上げピン29により突き上げられながら、取出されるものである。
【0015】
30はθ軸駆動モータで、該θ軸駆動モータ30の駆動軸の周囲に形成された歯車31が前記ダイ供給テーブル27の下部周囲に形成された歯車32に噛み合い、該θ軸駆動モータ30の駆動による前記駆動軸の回転により両歯車31、32が回転してベアリング33を介して前記ダイ供給テーブル27を例えば90度、180度、270度回転させるものである。
【0016】
図1における認識カメラ17の下方は部品吸着(取出し)ステーションで、この図1の状態、即ち回転盤20の回転中にダイ供給テーブル27上の取出すべきダイD及び次に取出すべきダイDを認識カメラ17で撮像して認識処理装置34で当該ダイDの位置などを認識し、移動してくる吸着装填ノズル22の直下方位置に位置するよう前記Yテーブル24及びXテーブル25を移動させ、この部品吸着ステーションでダイ供給テーブル27上のダイDを下降した前記吸着装填ノズル22が吸着して取出す構成である。
【0017】
次にインデックスユニットを介する回転盤20の90度回転に合わせて次の認識ステーションに搬送され、更にその次の部品挿入ステーションに搬送される。この認識ステーションに部品認識カメラ9が配置され、前記吸着装填ノズル22に吸着保持されているダイDが撮像され、吸着姿勢、外観の形状、バンプの大きさや位置等が認識処理装置34により認識される。この場合、外観の形状(欠け等)、バンプの大きさや位置が異常であれば、後述するように廃棄される。
【0018】
次にインデックスユニットを介する回転盤20の90度回転に合わせて次の部品挿入ステーションに搬送されるが、この搬送中において、認識カメラ16により搬送レール4上のテープ本体3Aの3個の収納凹部3Bを撮像する。即ち、最左の収納凹部3B内にダイDが挿入されたか否かの有無確認のためと、ひとつおいて最右の収納凹部3B内には挿入されていない(空である)ことの確認及び当該最右の収納凹部3Bの位置認識のために3個の収納凹部3Bを同時に撮像する。
【0019】
従って、認識カメラ16により撮像した後に認識処理装置34により当該最右の収納凹部3Bの位置を認識処理し、その結果に基づいて制御装置であるCPU35が前記Yテーブル11の駆動モータ11A、Xテーブル12の駆動モータ12A及び前記θ軸駆動モータ19を補正制御し、真中の収納凹部3B内の適正位置に下降する吸着装填ノズル22によりダイDを挿入することとなる。即ち、この部品挿入ステーションでは、吸着装填ノズル22に吸着されたダイDを下方で待機している搬送レール4上のテープ本体3Aの収納凹部3B内に、回転盤20のXY方向の補正移動及び吸着装填ノズル22のθ方向の補正移動により、適正な位置に挿入装填することができるものである。
【0020】
そして、この挿入装填後に、巻取りリール5の回転に合わせて順次テープ本体3Aが所定量搬送されて(巻取りリール5に巻取られて)いく間に、部品検査機構7が前記テープ本体3Aの収納凹部3B内に挿入された状態のチップ部品に対して部品検査(例えば、電気特性検査等)を行い、テープ圧着機構8でダイDの検査が終了したテープ本体3Aとカバーテープ3Cとを圧着させて、テーピングを完了させるものである。
【0021】
前記部品検査機構7は、マーク認識カメラ7Aと検査部7Bとから構成され、マーク認識カメラ7Aは前記収納凹部3B内に挿入された状態のダイDを照明装置で照明した状態で撮像するマーク認識カメラで、当該収納凹部3B内のダイDに付された機種番号等のマークを認識し、検査部7Bは下面にプローブ針を備え、平面方向に移動可能であると共に上下動機構(図示せず)により上下動可能で、下降することにより前記収納凹部3B内に挿入されたダイDにプローブ針を接触させて、例えば電気特性などを検査する。
【0022】
尚、最左の収納凹部3B内にダイDが挿入されたか否かの有無確認のため、前記認識カメラ16の撮像に基づく認識処理装置34の認識処理の結果、挿入されていないと判断された場合には、当該テーピング装置を停止するように前記CPU35が制御する。
【0023】
また、最右の収納凹部3B内には既に挿入されていると判断された場合にも、当該テーピング装置を停止するように前記CPU35が制御する。
【0024】
次に、図3に基づき、テーピング装置の制御ブロック図についてする説明。35はテーピング装置のチップ部品の取出し及び装填に係る動作を統括制御する制御装置としてのCPU、36は記憶装置としてのRAM(ランダム・アクセス・メモリ)、37はROM(リ−ド・オンリー・メモリ)である。そして、CPU35は前記RAM36に記憶されたデータに基づき、前記ROM37に格納されたプログラムに従い、前記テーピング装置のチップ部品の取出し及び装填に係る動作についてインターフェース38及び駆動回路39を介して各駆動源を統括制御する。尚、ROM37の代わりにハードディスクを用い、このハードディスクからRAM36に読み込まれたプログラムに従い、CPU35が各駆動源を統括制御するようにしてもよい。
【0025】
前記RAM36は、前記ダイ供給テーブル27に張られたシート28上の各ダイD(基準ダイからの位置で示される)について、良品(「OK」と表示)であるか不良品(「NG」と表示)であるかの情報マッピングデータ(図5参照)を各ウエハ毎に格納することが可能である。
【0026】
40は操作部で、数字をキーインするテンキー41、カーソルキー42、モードの設定等をするSETキー43、電子部品装着装置を教示モードにするための教示キー44、同装置を自動運転モードにするための自動キー45、同装置を手動運転モードにするための手動キー46、始動キー47、作動キー48及び停止キー49とを備えている。
【0027】
また、前記各認識カメラ16、17により撮像された画像を認識処理装置34が取り込むが、50はその取り込まれた画像を表示するCRTで、51は教示の際の編集画面を表示するCRTで、52はマウスである。
【0028】
尚、新規のウエハであるか仕掛り中のどのウエハであるかを作業者が選択する選択装置として、種々のタッチパネルスイッチ53が設けられた前記CRT50で構成される。即ち、作業者がタッチパネルスイッチ53を操作することにより、新規のウエハからダイDを取出して収納テープ4の各収納凹部4B内に装填収納するか、仕掛り中のどのウエハからダイDを取出して収納テープ4の各収納凹部4B内に装填収納するかを選択することができ、この選択により前記RAM36に格納された該当するウエハに係るマッピングデータが選択(指定)され、CPU35はその選択されたマッピングデータに基づきピックアップ作業を開始するように制御する。
【0029】
尚、前記タッチパネルスイッチ53はガラス基板の表面全体に透明導電膜がコーティングされ、四辺に電極が印刷されている。そのため、タッチパネルスイッチ53の表面に極微小電流を流し、作業者がタッチすると四辺の電極に電流変化を起こし、電極と接続した回路基板によりタッチした座標値が計算される。従って、その座標値がある作業を行わせるスイッチ部として予め後述するRAM36に記憶された座標値群の中の座標値と一致すれば、当該作業が行なわれることとなる。
【0030】
以上の構成により、以下ダイDの取出し動作について、特に図5及び図6に基づき説明する。先ず、新規なウエハをチップ部品供給テーブル27上にセットし、当該新規なウエハに係るマッピングデータを格納したディスクを本装置にセットして、当該マッピングデータをRAM36に格納する。
【0031】
そして、作業者はCRT50上のタッチパネルスイッチ53の1つである「新規なウエハスイッチ部」をタッチして、新規なウエハを選択する。ここで、作動キー48を操作すると、本装置のダイ取出し及び装填動作が開始するように、CPU35が各駆動源などを制御する。
【0032】
即ち、部品吸着(取出し)ステーションへの回転盤20の移動中にダイ供給テーブル27上の取出すべきダイDを認識カメラ17で撮像して認識処理装置34により当該ダイDの位置及びバンプBの数や面積を認識する。このとき、ダイDの位置については前記認識カメラ17により撮像された取出すべきダイDの画像とRAM36に格納されて登録されているテンプレートとを比較して当該ダイDの位置を認識処理装置34が認識処理する。
【0033】
そして、この認識結果に基づき、例えばバンプBの数が4個で面積が設定面積の80%超であれば良品であり、運転を継続し、移動してくる吸着装填ノズル22の直下方位置に位置するよう前記Yテーブル24及びXテーブル25を移動させ、この部品吸着ステーションでチップ部品供給テーブル27上のダイDを前記吸着装填ノズル22が下降して吸着して取出す。
【0034】
そして、順次以上のように認識処理して、良品であればチップ部品供給テーブル27上のダイDを前記吸着装填ノズル22が下降して吸着して取出すが、2番目(2個目)のダイDを取出した後は3番目のダイDは不良であるので、4番目のダイDを認識カメラ17で撮像して認識処理装置34により当該ダイDの位置及びバンプBの数や面積を認識する。このとき、認識結果に基づいてバンプBの数が3個以下か面積が設定面積の80%以下であれば不良品(認識NG)であると判別されることとなる。この認識結果により不良品(認識NG)であると判別されると、当該ダイは回収用のトレイ(図示せず)に廃棄される。
【0035】
次に、回転盤20の90度回転により部品吸着(取出し)ステーションの次の認識ステーションに搬送され、認識カメラ9が吸着装填ノズル22に吸着保持されているダイDを撮像し、吸着姿勢、外観の形状、バンプの大きさや位置等が認識処理装置34により認識される。この場合、外観の形状(欠け等)、バンプの大きさや位置が異常であれば、回収用のトレイ(図示せず)に廃棄される。このとき、前記認識カメラ9により撮像された取出すべきダイDの画像とRAM36に格納されて登録されているテンプレートとを比較して当該ダイDの位置を認識処理装置34が認識処理する。
【0036】
そして、更なる回転盤20の90度回転による搬送中において、認識カメラ16により搬送レール4上のテープ本体3Aの3個の収納凹部3Bを撮像する。即ち、最左の収納凹部3B内にチップ部品30が挿入されたか否かの有無確認のためと、ひとつおいて最右の収納凹部3B内には挿入されていない(空である)ことの確認及び当該最右の収納凹部3Bの位置認識のために3個の収納凹部3Bを同時に撮像する。
【0037】
従って、撮像した後に認識処理装置34により当該最右の収納凹部3Bの位置を認識処理し、その結果に基づいて図示しない制御装置が前記Yテーブル11のY軸駆動モータ11A、Xテーブル12のX軸駆動モータ12A及び前記θ軸駆動モータ19を補正制御し、真中の収納凹部3B内の適正位置に下降する吸着装填ノズル22によりチップ部品30を挿入することとなる。即ち、この部品挿入ステーションでは、吸着装填ノズル22に吸着されたダイDを下方で待機している搬送レール4上のテープ本体3Aの収納凹部3B内に、部品認識カメラ9及び認識カメラ16の撮像結果に基づき認識処理され、回転盤20のXY方向の補正移動及び吸着装填ノズル22のθ方向の補正移動により、適正な位置に挿入装填することができるものである。
【0038】
そして、この挿入装填後に、図示しない回転駆動系による当該巻取りリール5の回転に合わせて順次テープ本体3Aが所定量搬送されて(巻取りリール5に巻取られて)いく間に、収納凹部3B内に挿入された状態のダイDに対して部品検査機構7により部品検査が行なわれる。
【0039】
即ち、前記収納凹部3B内に挿入された状態のダイDを照明装置で照明した状態でマーク認識カメラ7Aで撮像し、当該チップ部品30に付された機種番号等のマークを認識する。また、プローブ針を備えた検査部7Bが平面方向及び上下方向に移動して、前記収納凹部3B内に挿入されたダイDにプローブ針を接触させて、例えば電気特性などを検査する。
【0040】
そして、このようにして次々にダイDは挿入され、検査終了後にテープ圧着機構8によりテープ本体3Aとカバーテープ3Cとを圧着させて、テーピングを完了させ、テープ3は巻取りリール5に順次巻き取られていく。
【0041】
ここで、何らかの理由で当該新規なウエハからの取出しを途中で終了しようとして、作業者が停止キー49を操作すると、CPU35は本装置を停止するように制御すると共に当該ウエハに係るマッピングデータを仕掛りのウエハ(例えば、仕掛りウエハ番号1として)のマッピングデータとしてRAM36に格納させる。そして、他の新規なウエハを使用する場合には、前述したように、別な新規なウエハをチップ部品供給テーブル27上にセットし、当該新規なウエハに係るマッピングデータを格納したディスクを本装置にセットして、当該マッピングデータをRAM36に格納する。再び、作業者はCRT50上のタッチパネルスイッチ53の1つである「新規なウエハスイッチ部」をタッチして、新規なウエハを選択し、作動キー48を操作すると、他の新規なウエハからダイの取出し及び装填動作等の生産運転が開始するように、CPU35が各駆動源などを制御する。
【0042】
そして、再び当該他の新規なウエハからの取出しを途中で終了しようとして、作業者が停止キー49を操作すると、CPU35は本装置を停止するように制御すると共に当該ウエハに係るマッピングデータを仕掛りのウエハ(例えば、仕掛りウエハ番号2として)のマッピングデータとしてRAM36に格納させる。
【0043】
この後、作業者が前記仕掛りのウエハ(仕掛りウエハ番号1)を使用したい場合には、タッチパネルスイッチ53の1つである「仕掛りウエハ番号1スイッチ部」をタッチすると、仕掛りウエハ番号1のウエハが選択される。従って、RAM36に格納された当該仕掛りウエハ(仕掛りウエハ番号1)のマッピングデータに従い、ダイの取出し及び装填動作等の生産運転が開始するように、CPU35が各駆動源などを制御する。
【0044】
このとき、前記RAM36には前回ウエハからの取出しを途中で終了した際に、前記仕掛りのウエハ(仕掛りウエハ番号1)についての途中情報(マッピングデータの一部を構成する)、即ち前回運転を中止したときにどこまでの(何個目までの)ダイDの取出し及び装填動作が行われたかについての情報が格納されているので、その次のダイDから取出し及び装填動作が行われることとなる。
【0045】
以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【0046】
【発明の効果】
本発明によれば、再度仕掛りのウエハを使用する場合に、マッピングデータの中のウエハからの取出しを途中で終了した際に、仕掛りのウエハについての運転を中止したときにどこまでのダイを取出して装填したかについての途中情報に基づいたピックアップを可能とし、当該ウエハを無駄にしないようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】テーピング装置の平面図である。
【図2】テーピング装置の左側面図である。
【図3】テーピング装置の制御ブロック図である。
【図4】マッピングデータを示す図である。
【図5】仕掛りウエハの保存に関するフローチャートを示す。
【図6】仕掛りウエハを再度使用する際のフローチャートを示す。
【符号の説明】
1 テーピング装置本体
3 収納テープ
3A テープ本体
3B 収納凹部
3C カバーテープ
10 部品装填装置
17 認識カメラ
20 回転盤
21 装着ヘッド
22 吸着装填ノズル
27 ダイ供給テーブル
28 シート
34 認識処理装置
35 CPU
36 RAM
53 タッチパネルスイッチ
D ダイ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a die pickup apparatus that picks up a die on a wafer table.
[0002]
[Prior art]
In this type of conventional die pick-up device, mapping data that is information on whether each die on the wafer is good or defective is stored in the storage device, and only good products are picked up based on this data, It was mounted on a substrate (see, for example, Patent Document 1).
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-26041
[Problems to be solved by the invention]
However, in a die pick-up apparatus that picks up only non-defective products based on the mapping data as described above, it is not possible to use the in-process wafer again after terminating the wafer halfway for some reason and using another wafer. It was difficult.
[0005]
Accordingly, an object of the present invention is to enable pick-up based on mapping data when a wafer in progress is used again so that the wafer is not wasted.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
Therefore, according to the first aspect of the present invention, in the die pick-up apparatus that sequentially picks up the dies on the wafer table by the take-out tool , information on whether each die in the wafer is a non-defective product or a defective product and the taking-out from the wafer is terminated halfway. Storage device that stores mapping data for each wafer as to how far the die was taken out and loaded when the operation on the in-process wafer was stopped, and which wafer in progress A selection device for selecting whether the wafer is a selected wafer, and when a predetermined wafer in process is selected by the operator's operation of the selection device, a pickup is performed based on mapping data relating to the wafer stored in the storage device And a control device that controls to start work.
[0007]
According to a second aspect of the present invention, in a die pick-up apparatus for picking up a die on a wafer table by a take-out tool, information on whether each die in the wafer is a non-defective product or a defective product and when the taking-out from the wafer is terminated halfway. In addition, there is a storage device for storing mapping data, which is intermediate information about how many dies have been taken out and loaded when the operation of the in-process wafer is stopped, and whether it is a new wafer. A selection device for selecting which of the wafers, and mapping data relating to the wafer stored in the storage device when a predetermined wafer in process is selected by an operator's operation of the selection device And a control device for controlling to start the pickup operation based on the above.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, there are a die bonder, a taping device, and the like as a die pickup device to which the present invention is applied, but an embodiment applied to the taping device will be described with reference to the drawings. First, the taping device will be described with reference to a plan view and a left side view of the taping device shown in FIGS.
[0009]
Then, while the tape
[0010]
Then, after the die D is inserted into the housing recess 3B of the tape
[0011]
Next, the
[0012]
A
[0013]
The
[0014]
Further, a Y table 24 movable in the Y direction by a Y
[0015]
[0016]
Below the
[0017]
Next, it is transported to the next recognition station in accordance with the 90 ° rotation of the
[0018]
Next, it is conveyed to the next component insertion station in accordance with the 90 ° rotation of the
[0019]
Accordingly, after the image is picked up by the
[0020]
After the insertion and loading, while the tape
[0021]
The
[0022]
In addition, in order to confirm whether or not the die D has been inserted into the
[0023]
Further, even when it is determined that the tape is already inserted into the
[0024]
Next, a description will be given of a control block diagram of the taping device based on FIG.
[0025]
The
[0026]
[0027]
The
[0028]
Note that the
[0029]
In the
[0030]
With the above configuration, the operation of taking out the die D will be described with reference to FIGS. 5 and 6 in particular. First, a new wafer is set on the chip component supply table 27, a disk storing mapping data related to the new wafer is set in the apparatus, and the mapping data is stored in the
[0031]
Then, the operator touches a “new wafer switch unit” which is one of the touch panel switches 53 on the
[0032]
That is, the die D to be taken out on the die supply table 27 is imaged by the
[0033]
Based on the recognition result, for example, if the number of bumps B is 4 and the area is more than 80% of the set area, the product is good, and the operation is continued and the position is just below the moving
[0034]
Then, the recognition processing is sequentially performed as described above, and if it is a non-defective product, the die D on the chip component supply table 27 is picked up by the
[0035]
Next, the
[0036]
Then, during the conveyance by rotating the
[0037]
Therefore, after the image is picked up, the
[0038]
Then, after the insertion and loading, while the tape
[0039]
That is, the die D inserted in the
[0040]
In this way, the dies D are inserted one after another, and after completion of the inspection, the
[0041]
Here, when an operator operates the stop key 49 in order to end the removal from the new wafer for some reason, the
[0042]
Then, when the operator operates the stop key 49 to end the removal from the other new wafer halfway, the
[0043]
Thereafter, when an operator wants to use the in-process wafer (in-process wafer number 1), touching “in-
[0044]
At this time, when the previous removal from the wafer is completed in the
[0045]
Although the embodiments of the present invention have been described above, various alternatives, modifications, and variations can be made by those skilled in the art based on the above description, and the present invention is not limited to the various alternatives described above without departing from the spirit of the present invention. It includes modifications or variations.
[0046]
【The invention's effect】
According to the present invention, when the in-process wafer is used again , when the operation for the in-process wafer is stopped when the extraction from the wafer in the mapping data is terminated halfway, A pickup based on the intermediate information about whether the wafer has been taken out and loaded can be made possible so that the wafer is not wasted.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of a taping device.
FIG. 2 is a left side view of the taping device.
FIG. 3 is a control block diagram of the taping device.
FIG. 4 is a diagram showing mapping data.
FIG. 5 is a flowchart relating to storage of an in-process wafer.
FIG. 6 shows a flowchart when the work-in-process wafer is used again.
[Explanation of symbols]
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36 RAM
53 Touch Panel Switch D Die
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