JP4298373B2

JP4298373B2 - Manufacturing method of flat panel display device

Info

Publication number: JP4298373B2
Application number: JP2003137163A
Authority: JP
Inventors: 由紀夫村上; 啓二石井; 芳邦平野; 靖本山
Original assignee: Japan Broadcasting Corp
Current assignee: Japan Broadcasting Corp
Priority date: 2003-05-15
Filing date: 2003-05-15
Publication date: 2009-07-15
Anticipated expiration: 2023-05-15
Also published as: JP2004342445A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）や電界放出ディスプレイ（フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ））等のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法に関し、詳しくは、ディスプレイパネルを構成する前面板と背面板との間の空間を真空排気する製造工程の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、高輝度、高精細で薄型大画面を達成し得るプラズマディスプレイ（以下ＰＤＰと称する）の開発が活発化している。さらに、消費電力を大幅に低減し得る次世代の薄型大画面用のディスプレイとしてフィールドエミッションディスプレイ（以下ＦＥＤと称する）の開発も進められている。
【０００３】
ＰＤＰやＦＥＤは動作原理が異なるものの、いずれも、画像形成用パネルを構成する前面板と背面板を微小間隔をもって対向させ、この間のスペースを放電ガス雰囲気または高真空状態とするために、これら前面板と背面板を貼り合せて封着する必要がある。
【０００４】
このようなＰＤＰやＦＥＤについての構造や製造方法を紹介する文献は従来より知られており、特に、カラーＰＤＰについては、構造および製造方法の概略が下記非特許文献１に記載されており、またシール層形成・貼合せ・封着・排気・封入プロセス等についての具体例が下記非特許文献２に開示されている。
【０００５】
上述したカラーＰＤＰは、一般に、パネルに取り付けた１本の排気管を用いて真空排気を行うとともに、その後放電ガスを封入するように構成されている。この後、この排気管をチップオフし、放電電圧を下げるとともにセル間のばらつきを少なくするエージング工程を経てパネルの製作が終了する。
【０００６】
【非特許文献１】
“４２形ハイビジョンＤＣ−ＰＤＰの開発”，関昌彦他，映像情報メディア学会誌発行，Vol. 54，No. 2，pp. 301〜309(2000)
【非特許文献２】
“最新プラズマディスプレイ製造技術"，内藤豊，株式会社プレスジャーナル，平成9年12月1日発行，pp. 118〜123
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、一般のカラーＰＤＰにおいては、前面板と背面板の隙間が0.1mm程度と、パネル面の面積に比して極めて小さい値となっており、しかもその途中にはリブが設けられていることもあって、構造上のコンダクタンスが極めて小さい値とされている。
【０００８】
このため、真空排気時において、パネル内の圧力は排気側で測定される圧力よりもかなり高い状態とされており、室温状態で20インチ級のパネルの真空排気処理を行う場合に、パネル内において、排気側と、その反対側では圧力が３桁程度も相違するという結果が得られている。
【０００９】
特に、カラーＰＤＰは、50〜60インチ級の大型パネルが主流とされており、真空排気に長時間を要する。その結果、効率的な量産ラインを構築する上で真空排気工程が律速工程になる。
【００１０】
このような問題を解決するためには、排気管をできるだけ大径のものとすればよいと考えられるが、排気管を単純に大径のものとした場合には以下のような問題が発生する。
【００１１】
すなわち、前述したようにカラーＰＤＰにおいては真空排気処理および放電ガス封入処理を行った後に、またＦＥＤにおいては真空排気処理を行った後に、各々排気管のガラスを高温にして溶融しチップオフする作業を行うが、チップオフする際には、温度上昇により排気管から水、炭酸ガス、さらにはメタンガス等の不純ガスが大量に放出され、パネル内に大量の不純ガスが残留することになる。この不純ガスの放出量をできるだけ少なくするためには、表面積の小さい小径の排気管とすることが好ましく、上述した真空排気の高速化という観点から排気管を大径とする要求とは相反する要求となる。
【００１２】
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、真空排気の高速化を図ることができるとともに、排気管のチップオフ時に発生する不純ガスの残留量を減少させ得るフラットパネルディスプレイ装置の製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法は、少なくとも一方に所定の蛍光材料が塗布された状態で対向配置された前面板および背面板を備えるフラットパネルディスプレイ装置の製造方法において、
前記フラットパネルディスプレイ装置の前記前面板と背面板の間の空間を真空排気する際に、前記背面板に大径の排気管と小径の排気管が少なくとも１本ずつ含まれる複数本の排気管を取り付けて、前記前面板と前記背面板の間の空間を真空排気することを特徴とするものである。
【００１４】
この場合において、前記前面板と前記背面板の間の空間を所定の圧力となるまで真空排気した後、前記大径の排気管のチップオフ処理を行うとともに前記小径の排気管を用いて真空排気処理を行い、この後前記小径の排気管のチップオフ処理を行うことが好ましい。
【００１５】
すなわち、排気管を複数本取り付けて真空排気することで、真空排気の高速化が可能となる。また、真空排気後において、大径の排気管のチップオフ処理を行いつつ小径の排気管を用いて真空排気処理を行い、この後、表面積の小さい前記小径の排気管のチップオフ処理を行うことで、チップオフ時における温度上昇に伴う排気管から発生する不純ガスの残留量を大幅に減少させることが可能となる。
【００１９】
さらに、上述した製造方法において、前記前面板と前記背面板の間の空間を真空排気する際に、乾燥ガスを導入する場合には、前記フラットパネルディスプレイ装置に取り付けられた前記複数本の排気管のうち少なくとも一部の排気管を用いて前記乾燥ガスの導入を行うようにすれば、パネル内の障壁や電極さらにはガラス面等の種々の部分に含まれている水分を取り除くことができ、残留ガスによる封入ガスの純度低下を抑えることが可能となる。
【００２０】
特に、電極保護層（例えばMgO等）と水が反応すると、放電電圧の特性や電極寿命等を低下させることになるので、真空排気時における高温加熱処理に加えて乾燥ガスを用いることで、このような問題の発生を抑制することができる。
なお、上記「乾燥ガス」とは、水（H₂O）および酸素（O₂）の除去処理がなされたガスのことを称するものとする。
【００２１】
また、前記前面板と前記背面板の間の空間を高真空状態に設定した後に、放電ガスを封入する場合に、この放電ガスを前記乾燥ガスとすれば、作業工程を効率の良いものとすることができる。
【００２２】
また、前記放電ガスは、窒素N、ならびにヘリウムHe、ネオンNe、アルゴンAr、キセノンXeおよびクリプトンKr等の希ガスのうちのいずれか１つまたは複数ガスの混合ガスであることが望ましい。
【００２３】
また、前記前面板および前記背面板の間を高真空状態に設定した後に、複数種のガスを混合してなる放電ガスを封入することが必要とされる場合に、前記複数本の排気管（またはその一部）の各排気管毎に異なる種類のガスを導入し、パネル内部で混合ガス化することにより、予めボンベ内に充填するガスを混合ガスとせずともよくなり、ガス混合比の変更が容易となる。
【００２４】
また、前述したようにＰＤＰでは放電ガスを封入することが必要となることから、真空排気工程において、▲１▼大径と小径の全ての排気管で真空排気、▲２▼大径の排気管をチップオフ、▲３▼小径の排気管で真空排気（▲２▼と同時に行うことも可能）、▲４▼小径の排気管で放電ガスを封入、▲５▼小径の排気管をチップオフ、という順で各処理を行うようにすれば、真空排気の高速化を図ることができるとともに、排気管のチップオフ時に発生する不純ガスの残留量を減少させることが可能となり、さらに作業性を向上させることができる。
【００２５】
なお、ＦＥＤにおいては放電ガスを封入する処理が不要であり、真空排気した状態でチップオフすることになるが、大径の排気管接続位置と小径の排気管接続位置の距離を短く設定することにより、大径の排気管のチップオフ時における、小径の排気管を用いた真空排気処理を極めて効率良く行うことができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る、カラーＰＤＰ、ＦＥＤ等のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法について図面を用いて説明する。なお、以下では、特にカラーＰＤＰやＦＥＤの製造方法について説明するが、同種のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法にも勿論適用可能である。
【００２７】
図１は、第１の本実施形態方法に係る製造工程におけるフラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）の断面図を示すものである。
図示するように、このフラットパネルディスプレイ装置１００は、所定間隔を空けて対向配置された前面板１０と背面板２０の間に、シール層ペーストとして機能する貼合せ用フリットガラス４０を介在させて、前面板１０と背面板２０の封着を行ったものであり、これら前面板１０と背面板２０に配設された電子源または電極、蛍光体、障壁等の部材は図示を省略されている。なお、前面板１０と背面板２０の間に、間隔保持用のガラススペーサを介在させることも可能である。
【００２８】
また、前面板１０および背面板２０に電子源または電極、蛍光体、障壁等の部材を配設する手法は従来から周知の印刷技術や薄膜技術を用いて行われる。
また、これら前面板１０と背面板２０の間のスペースを高真空状態とするため、背面板２０に設けた各透孔部５０ａ、５０ｂに各々排気管６０ａ、６０ｂが取り付けられている。なお、排気管６０ａ、６０ｂは真空ポンプ（図３に示す）に接続されており、真空排気作業が完了した後にチップオフされる。また、排気管６０ａ、６０ｂは上記貼合せ用フリットガラス４０と同様のペースト効果を有するフリットガラス等により背面板２０に取り付けられる。
【００２９】
また、図１に示す例では２本の排気管６０ａ、６０ｂが設けられているが、図３に示す如く３本以上の排気管６０を設けることも可能である。
【００３０】
このように、複数本の排気管６０ａ、６０ｂを用いて真空排気処理を行うことにより、またパネルの、互いに離間した位置に排気管６０ａ、６０ｂを取り付けることにより真空排気を高速化することができ、排気時間の短縮化を図ることができる。
【００３１】
ところで、本実施形態方法における特徴的な構成の１つは、排気管チップオフ処理が、真空排気処理が全て終了した後に行われるのではなく、真空排気処理を行いながら順に行われていく点にある。すなわち、図１の例では、２本の排気管６０ａ、６０ｂを用いて略目標圧力まで真空排気した後、例えば一方の排気管６０ａについてのチップオフ処理を行う。このとき他方の排気管６０ｂによる真空排気処理は継続して行われており、最後にこの排気管６０ｂについてのチップオフ処理を行う。これにより、前面板１０と背面板２０の間のスペースに残留するチップオフ処理に伴う不純ガスは排気管６０ｂのチップオフ処理によるものが大半となり、複数本の排気管を設けても、排気管チップオフ処理に伴う不純ガスの残留量が増加することがなくなる。
このような作用効果は、排気管数が多くなるにつれて、より顕著である。
【００３２】
図３は、上述した真空排気工程において使用されるフラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）１００（特にＰＤＰ）の真空排気システムの一例を示すものである。なお、上述したように、この例においては３本の排気管６０が設けられており、３本の排気管６０が１系統の真空排気システムに接続されている。ただし、排気管６０毎に異なる真空排気システムに接続するように構成することも可能である。
【００３３】
図３に示すように、フラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）１００は、各排気管６０が接続された状態で電気炉２００内に配設され、不純ガスを放出させるために高温加熱される。各排気管６０は排気管ジョイント２１０を介して１つの排気路に統合される。この排気路には、高真空状態まで真空排気するための複数種類の真空ポンプ群（油回転ポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ等）２２０、高真空状態までの各真空状態を計測するための複数種類の真空計群（圧力計、イオンゲージ、ピラニゲージ等）２３０および、所定比率に混合調整された放電ガスをフラットパネルディスプレイ装置１００に導入するための放電ガス源２４０（複数種類の放電ガスが各々充填された複数本のガスボンベ、ガス混合機等）が接続されている。また、図示するように枝分かれした各排気路の途中には、各バルブが配設されている。
【００３４】
本実施形態方法においては、上述したように複数本の排気管６０ａ、６０ｂを用いて真空排気を行うようにしている。
これは、従来、１本の排気管を真空ポンプに接続して真空排気を行い、かつ放電ガスの導入（封入）についても同じ１本の排気管を、放電ガス（必要であれば混合ガスとする）を充填したボンベに接続して導入していたため、作業効率が悪かったことに鑑み、その作業効率の改善を図るためになされたものである。すなわち、複数本の排気管６０ａ、６０ｂを用いて真空排気および／または放電ガスの導入を行うことで真空排気処理を高速化し、真空排気時間を短縮することができる。
【００３５】
また、上記真空排気時間をより短縮するために、一部の排気管６０ａ、６０ｂを用いて乾燥ガスを導入するとともに、その余の排気管６０ｂ、６０ａを用いて真空排気を行うようにしてもよい。図１の例では排気管が２本設けられているので、そのうちの１本を用いて乾燥ガスの導入を行い、これと同時に他の１本を用いて真空排気を行うことになる。なお、この場合には、図３の真空排気系とは異なり、少なくとも１本の排気管６０ａ、６０ｂはバルブの切替えにより、他の排気管６０ｂ、６０ａとは独立に乾燥ガス導入の経路に切替えられるように構成しておく必要がある。
【００３６】
このように乾燥ガスを導入することにより、パネル内の障壁や電極さらにはガラス面等の種々の部分に含まれている水分や酸素を取り除くことができ、残留ガスによる封入ガスの純度低下を抑えることが可能となる。
【００３７】
また、上記乾燥ガスは、化学的に安定な単ガスあるいは混合ガスであり、窒素N、ならびにヘリウムHe、ネオンNe、アルゴンAr、キセノンXeおよびクリプトンKr等の希ガスのうちのいずれか１つの単ガスまたは複数の混合ガスであることが好ましい。
【００３８】
また、ＰＤＰの場合には、前面板１０と背面板２０の間のスペースを真空排気した後、放電ガスを導入することになるので、上記乾燥ガスとして放電ガスに用いられるものと同じガスを用いることが作業性向上のために望ましい。
【００３９】
なお、ＰＤＰに封入される放電ガスは、一般に、イオン化エネルギの大きな希ガス（例えば、He、Ne、Xe等の混合ガス）であるから、このような放電ガスを上記乾燥ガスとすることが可能である。
ただし、このようなXe等の希ガスは一般に高価であるから、このような希ガスを上記乾燥ガスとする場合には、排気工程の最終段階で乾燥ガスの導入を行うことが望ましい。
【００４０】
次に、図２を用いて第２の実施形態方法について説明する。この第２の実施形態方法は、基本的には上記第１の実施形態方法と同様に構成されているが、複数本の排気管が互いに管径が異なるものとされている。すなわち、このフラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）１１０は、前面板１０と背面板２０の間のスペースを高真空状態とするため、互いに管径の異なる排気管６０ｃ、６０ｄが、背面板２０に設けられた透孔部５０ｃ、５０ｄに各々取り付けられており、これら排気管６０ｃ、６０ｄの取付位置は互いに近接した位置とされている。なお、排気管６０ｃ、６０ｄが真空ポンプ等に接続されている点では上記第１の実施形態方法のものと同様である。
【００４１】
また、上記第１の実施形態方法のものと同様に、３本以上の排気管を設けることも可能である。
【００４２】
この第２の実施形態方法においては、排気管チップオフ処理時において、２本の排気管６０ｃ、６０ｄを用いて略目標圧力まで真空排気した後、まず大径の排気管６０ｃについてのチップオフ処理を行う。このとき小径の排気管６０ｄによる真空排気処理は継続して行われており、最後に小径の排気管６０ｄについてのチップオフ処理を行う。これにより、前面板１０と背面板２０の間のスペースに残留するチップオフ処理に伴う不純ガスは小径の排気管６０ｄのチップオフ処理によるものが大半となる。排気管チップオフ処理時において、内部表面積の小さい小径の排気管６０ｄから放出される不純ガスは、大径の排気管６０ｃから放出される不純ガスに比べて少ないので、上述した第１の実施形態方法よりも、さらに排気管チップオフ処理に伴う不純ガスの残留量を少なくすることができる。
【００４３】
また、上述したように、排気管６０ｃ、６０ｄの取付位置は互いに近接した位置とされているので、大径の排気管６０ｃについてのチップオフ処理を行う際に、小径の排気管６０ｄによる真空排気処理がより効率的となる。このように、排気管６０ｃ、６０ｄの取付位置を互いに近接した位置とする構成は、放電ガスの導入が不要とされるＦＥＤの製造において特に有用である。
なお、排気管６０ｃ、６０ｄの取付位置を、図１に示す例のように互いに離間させるように構成することも可能である。
【００４４】
なお、本発明のフラットパネルディスプレイの製造方法は、上記実施形態に限られるものではなく、その他の種々の態様の変更が可能である。例えば、放電ガスを導入（封入）する際に、排気管毎に、互いに異なる種類のガスを充填したボンベに接続し、これら複数種類のガスをパネル内に導入して混合ガス化する手法を採用すれば、混合ガスを充填したボンベや混合機を必要とせず、混合比の変更も容易である。ただし、この場合には、図３の真空排気系とは異なり、排気管毎に、互いに異なる種類のガスを充填したボンベに接続され得るように構成しておく必要がある。
【００４５】
【発明の効果】
本発明のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法は、フラットパネルディスプレイ装置に、複数本の排気管を取り付け、これら複数本の排気管を用いて前面板および背面板の間を所定の圧力となるまで真空排気した後、複数本の排気管のうち一部のチップオフ処理を行うとともにその余の排気管を用いて真空排気処理を行い、この後上記その余の排気管のチップオフ処理を行うようにしている。これにより、真空排気の高速化を図ることができるとともに、排気管のチップオフ時に発生する不純ガスの残留量を減少させることが可能となる。
【００４６】
真空排気の高速化を図ることで製品価格を低減することができ、また、不純ガスの残留量を減少させることで、放電電圧の特性や電極寿命等を向上させることができる。
また、ＦＥＤ等では、不純ガスの残留量を減少させ真空度を向上させることで、放電破壊を起こりにくくすることができ、歩留まりを向上させることができる。
【００４７】
また、上記複数本の排気管を、大径の排気管と小径の排気管が少なくとも１本ずつ含まれるようにし、大径の排気管のチップオフ処理を行うとともに小径の排気管を用いて真空排気処理を行い、この後小径の排気管のチップオフ処理を行うようにすれば、内部表面積の小さい小径の排気管から放出される不純ガスは、大径の排気管から放出される不純ガスに比べて少ないので、上述した第１の実施形態方法よりも、さらに排気管チップオフ処理に伴う不純ガスの残留量を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態方法に係るフラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）を示す概略断面図
【図２】本発明の第２の実施形態方法に係るフラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）を示す概略断面図
【図３】本発明の実施形態方法において用いられる真空排気システムの一例を示す概略図
【符号の説明】
１０前面板
２０背面板
４０貼合せ用フリットガラス
５０ａ〜ｄ透孔部
６０、６０ａ〜ｄ排気管
１００、１１０フラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）
２００電気炉
２１０排気管ジョイント
２２０真空ポンプ群
２３０真空計群
２４０放電ガス源[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method of manufacturing a flat panel display device such as a plasma display (PDP) or a field emission display (field emission display (FED)), and more specifically, a space between a front plate and a rear plate constituting the display panel. It is related with the improvement of the manufacturing process which evacuates.
[0002]
[Prior art]
In recent years, the development of plasma displays (hereinafter referred to as PDPs) capable of achieving a high-brightness, high-definition, thin and large screen has become active. Further, development of a field emission display (hereinafter referred to as FED) is being promoted as a display for a next generation thin large screen capable of greatly reducing power consumption.
[0003]
Although PDPs and FEDs have different operating principles, in order to make the space between the front plate and the back plate constituting the image forming panel face each other with a minute gap between them, a discharge gas atmosphere or a high vacuum state is used. It is necessary to seal the face plate and the back plate together.
[0004]
Documents introducing structures and manufacturing methods for such PDPs and FEDs have been known, and in particular for color PDPs, an outline of the structure and manufacturing method is described in Non-Patent Document 1 below, and Non-patent document 2 below discloses a specific example of the sealing layer formation / bonding / sealing / exhaust / sealing process.
[0005]
The color PDP described above is generally configured to evacuate using a single exhaust pipe attached to a panel, and then enclose a discharge gas. After that, the exhaust pipe is chipped off, and the panel fabrication is completed through an aging process that lowers the discharge voltage and reduces the variation between cells.
[0006]
[Non-Patent Document 1]
“Development of 42-type Hi-Vision DC-PDP”, Masahiko Seki et al., Journal of the Institute of Image Information and Television Engineers, Vol. 54, No. 2, pp. 301-309 (2000)
[Non-Patent Document 2]
“Latest Plasma Display Manufacturing Technology”, Yutaka Naito, Press Journal Inc., issued December 1, 1997, pp. 118-123
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in a general color PDP, the gap between the front plate and the back plate is about 0.1 mm, which is an extremely small value compared to the area of the panel surface, and a rib is provided in the middle. For this reason, the structural conductance is extremely small.
[0008]
For this reason, when evacuating, the pressure in the panel is considerably higher than the pressure measured on the exhaust side. When vacuuming a 20-inch panel at room temperature, The result shows that the pressure is different by about three orders of magnitude between the exhaust side and the opposite side.
[0009]
In particular, large color panels of 50 to 60 inches are the mainstream of color PDPs, and it takes a long time to evacuate. As a result, the evacuation process becomes the rate-limiting process in constructing an efficient mass production line.
[0010]
In order to solve such a problem, it is considered that the exhaust pipe should have a diameter as large as possible. However, when the exhaust pipe is simply made to have a large diameter, the following problems occur. .
[0011]
That is, as described above, after performing the vacuum evacuation process and the discharge gas filling process in the color PDP, and after performing the vacuum evacuation process in the FED, each of the exhaust pipes is melted at a high temperature to chip off. However, when the chip is turned off, a large amount of impure gas such as water, carbon dioxide, and methane gas is released from the exhaust pipe due to the temperature rise, and a large amount of impure gas remains in the panel. In order to reduce the amount of the impure gas released as much as possible, it is preferable to use a small-diameter exhaust pipe with a small surface area, which is contrary to the above-described requirement to increase the exhaust pipe from the viewpoint of speeding up the vacuum exhaust. It becomes.
[0012]
The present invention has been made in view of such circumstances, and can produce a flat panel display device capable of increasing the speed of vacuum exhaust and reducing the residual amount of impure gas generated when the exhaust pipe is chipped off. It is intended to provide a method.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
Method of manufacturing a flat panel display device of the present invention is a method of manufacturing a flat panel display device comprising the oppositely disposed front and rear panels in a state in which a predetermined fluorescent material on at least one has been applied,
Wherein said front plate and back plates of the space of the flat panel display device at the time of evacuation, the exhaust pipe of the exhaust pipe and the small diameter of the large diameter to the back plate is mounted a plurality of exhaust pipes included by at least one The space between the front plate and the back plate is evacuated.
[0014]
In this case, after evacuating the space between the front plate and the back plate to a predetermined pressure, the large-diameter exhaust pipe is chipped off and the small-diameter exhaust pipe is used for evacuation. After that, it is preferable to perform tip-off processing of the small-diameter exhaust pipe.
[0015]
That is, it is possible to increase the speed of vacuum exhaust by attaching a plurality of exhaust pipes and performing vacuum exhaust. In addition, after evacuation, the vacuum exhaust process is performed using the small diameter exhaust pipe while performing the chip off process of the large diameter exhaust pipe, and thereafter, the chip exhaust process of the small diameter exhaust pipe having a small surface area is performed. Thus, it is possible to greatly reduce the residual amount of impure gas generated from the exhaust pipe accompanying the temperature rise at the time of chip-off.
[0019]
Furthermore, in the manufacturing method described above, when the dry gas is introduced when the space between the front plate and the back plate is evacuated, among the plurality of exhaust pipes attached to the flat panel display device If the dry gas is introduced using at least a part of the exhaust pipe, moisture contained in various parts such as a barrier, an electrode, and a glass surface in the panel can be removed, and a residual gas can be removed. It is possible to suppress a decrease in the purity of the sealed gas due to.
[0020]
In particular, when the electrode protective layer (for example, MgO) reacts with water, the characteristics of the discharge voltage and the life of the electrode will be reduced. Therefore, by using dry gas in addition to high-temperature heat treatment during evacuation, The occurrence of such a problem can be suppressed.
The “dry gas” refers to a gas that has been subjected to a removal process of water (H ₂ O) and oxygen (O ₂ ).
[0021]
Further, after setting the space of the rear plates and the front plate to a high vacuum state, the discharge gas in the case that be encapsulated, if the discharge gas and the drying gas, shall efficient working process be able to.
[0022]
Further, the discharge gas, nitrogen N, as well as helium He, neon Ne, argon Ar, is preferably a mixed gas of any one or more gases of the rare gas such as xenon Xe and krypton Kr.
[0023]
Further, when it is necessary to enclose a discharge gas formed by mixing a plurality of types of gases after setting a high vacuum state between the front plate and the back plate, the plurality of exhaust pipes (or the exhaust pipes thereof) By introducing different types of gas into each of the exhaust pipes and making it into a mixed gas inside the panel, it is not necessary to use the mixed gas as the gas filled in the cylinder in advance, making it easy to change the gas mixture ratio It becomes.
[0024]
In addition, as described above, since it is necessary to enclose the discharge gas in the PDP, in the evacuation process, (1) all the exhaust pipes of the large diameter and the small diameter are evacuated, and (2) the large diameter exhaust pipe. Tip off, (3) vacuum exhaust with a small diameter exhaust pipe (can be performed simultaneously with (2)), (4) discharge gas filled with a small diameter exhaust pipe, (5) chip off the small diameter exhaust pipe, If each process is performed in this order, the speed of evacuation can be increased and the residual amount of impure gas generated when the exhaust pipe tip is turned off can be reduced, further improving workability. Can be made.
[0025]
Note that the FED does not require the process of sealing the discharge gas, and the chip is turned off after being evacuated, but the distance between the large-diameter exhaust pipe connection position and the small-diameter exhaust pipe connection position should be set short. As a result, the vacuum evacuation process using the small-diameter exhaust pipe at the time of tip-off of the large-diameter exhaust pipe can be performed very efficiently.
[0026]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a method of manufacturing a flat panel display device such as a color PDP or FED according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following, a method for manufacturing a color PDP or FED will be described in particular. However, the method can be applied to a method for manufacturing a flat panel display device of the same type.
[0027]
FIG. 1 is a sectional view of a flat panel display device (panel portion) in a manufacturing process according to the first embodiment method.
As shown in the figure, this flat panel display device 100 has a laminating frit glass 40 functioning as a seal layer paste interposed between a front plate 10 and a back plate 20 facing each other at a predetermined interval. The front plate 10 and the back plate 20 are sealed, and members such as electron sources or electrodes, phosphors, and barriers disposed on the front plate 10 and the back plate 20 are not shown. It is also possible to interpose a glass spacer for maintaining a gap between the front plate 10 and the back plate 20.
[0028]
In addition, a method of arranging members such as an electron source or electrodes, phosphors, and barriers on the front plate 10 and the back plate 20 is performed using a conventionally known printing technique or thin film technique.
Further, in order to make the space between the front plate 10 and the back plate 20 in a high vacuum state, exhaust pipes 60a and 60b are attached to the through holes 50a and 50b provided in the back plate 20, respectively. The exhaust pipes 60a and 60b are connected to a vacuum pump (shown in FIG. 3), and are chipped off after the vacuum exhaust operation is completed. Further, the exhaust pipes 60a and 60b are attached to the back plate 20 by frit glass having the same paste effect as the frit glass 40 for bonding.
[0029]
Further, in the example shown in FIG. 1, two exhaust pipes 60a and 60b are provided, but it is also possible to provide three or more exhaust pipes 60 as shown in FIG.
[0030]
As described above, the evacuation process can be performed by using a plurality of the exhaust pipes 60a and 60b, and the speed of the vacuum exhaust can be increased by attaching the exhaust pipes 60a and 60b to positions separated from each other on the panel. The exhaust time can be shortened.
[0031]
By the way, one of the characteristic configurations in the method of the present embodiment is that the exhaust pipe tip-off process is not performed after all the vacuum exhaust processes are completed, but is performed in order while performing the vacuum exhaust processes. is there. That is, in the example of FIG. 1, after evacuating to a substantially target pressure using the two exhaust pipes 60a and 60b, for example, tip-off processing is performed on one exhaust pipe 60a. At this time, the evacuation process by the other exhaust pipe 60b is continuously performed, and finally the tip-off process for the exhaust pipe 60b is performed. As a result, most of the impure gas accompanying the chip-off process remaining in the space between the front plate 10 and the rear plate 20 is due to the chip-off process of the exhaust pipe 60b. Even if a plurality of exhaust pipes are provided, the exhaust pipe The residual amount of impure gas accompanying the chip-off process is not increased.
Such an effect is more remarkable as the number of exhaust pipes increases.
[0032]
FIG. 3 shows an example of a vacuum exhaust system of a flat panel display device (panel portion) 100 (particularly a PDP) used in the vacuum exhaust process described above. As described above, in this example, three exhaust pipes 60 are provided, and the three exhaust pipes 60 are connected to one system of vacuum exhaust system. However, it is also possible to connect the exhaust pipes 60 to different vacuum exhaust systems.
[0033]
As shown in FIG. 3, the flat panel display device (panel portion) 100 is disposed in the electric furnace 200 in a state where each exhaust pipe 60 is connected, and is heated at a high temperature in order to release impure gas. Each exhaust pipe 60 is integrated into one exhaust path via an exhaust pipe joint 210. In this exhaust path, there are a plurality of types of vacuum pumps (oil rotary pump, turbo molecular pump, cryopump, etc.) 220 for evacuating to a high vacuum state, and a plurality of vacuum pumps for measuring each vacuum state up to a high vacuum state. Various types of vacuum gauges (pressure gauges, ion gauges, Pirani gauges, etc.) 230 and discharge gas sources 240 for introducing discharge gases mixed and adjusted to a predetermined ratio into the flat panel display device 100 (each of a plurality of types of discharge gases A plurality of filled gas cylinders, gas mixers, etc.) are connected. Further, as shown in the drawing, each valve is arranged in the middle of each branched exhaust passage.
[0034]
In the method of the present embodiment, as described above, vacuum exhaust is performed using a plurality of exhaust pipes 60a and 60b.
Conventionally, one exhaust pipe is connected to a vacuum pump for evacuation, and the same exhaust pipe is also used for discharge gas introduction (encapsulation). In view of the fact that the work efficiency was poor because it was connected to the cylinder filled with the above, the work efficiency was improved. That is, by performing evacuation and / or introduction of discharge gas using a plurality of exhaust pipes 60a and 60b, the evacuation process can be speeded up and the evacuation time can be shortened.
[0035]
In order to further shorten the evacuation time, a part of the exhaust pipes 60a and 60b is used to introduce a dry gas, and the remaining exhaust pipes 60b and 60a are used to perform evacuation. Good. In the example of FIG. 1, since two exhaust pipes are provided, one of them is used to introduce the dry gas, and at the same time, the other one is used to perform vacuum exhaust. In this case, unlike the vacuum exhaust system of FIG. 3, at least one exhaust pipe 60a, 60b is switched to a dry gas introduction path independently of the other exhaust pipes 60b, 60a by switching valves. It is necessary to be configured so that
[0036]
By introducing the dry gas in this way, moisture and oxygen contained in various parts such as the barriers in the panel, the electrodes, and even the glass surface can be removed, and the purity of the sealed gas due to the residual gas is prevented from being reduced. It becomes possible.
[0037]
Further, the dry gas is a chemically stable single gas or a mixed gas, and is any one of nitrogen N and a rare gas such as helium He, neon Ne, argon Ar, xenon Xe and krypton Kr. A gas or a mixed gas is preferable.
[0038]
In the case of PDP, since the discharge gas is introduced after the space between the front plate 10 and the back plate 20 is evacuated, the same gas as that used for the discharge gas is used as the dry gas. It is desirable to improve workability.
[0039]
Since the discharge gas sealed in the PDP is generally a rare gas having a large ionization energy (for example, a mixed gas of He, Ne, Xe, etc.), such a discharge gas can be used as the dry gas. It is.
However, since such a rare gas such as Xe is generally expensive, when such a rare gas is used as the dry gas, it is desirable to introduce the dry gas at the final stage of the exhaust process.
[0040]
Next, the method of the second embodiment will be described with reference to FIG. The second embodiment method is basically configured in the same manner as the first embodiment method, except that a plurality of exhaust pipes have different pipe diameters. That is, in this flat panel display device (panel portion) 110, exhaust pipes 60c and 60d having different pipe diameters are provided on the back plate 20 so that the space between the front plate 10 and the back plate 20 is in a high vacuum state. The exhaust pipes 60c and 60d are attached to the through holes 50c and 50d, respectively, and the attachment positions of the exhaust pipes 60c and 60d are close to each other. The exhaust pipes 60c and 60d are the same as those in the method of the first embodiment in that they are connected to a vacuum pump or the like.
[0041]
Moreover, it is also possible to provide three or more exhaust pipes as in the first embodiment.
[0042]
In the second embodiment, in the exhaust pipe tip-off process, the two exhaust pipes 60c and 60d are evacuated to a substantially target pressure, and then the tip-off process for the large-diameter exhaust pipe 60c is performed. I do. At this time, the vacuum evacuation process by the small-diameter exhaust pipe 60d is continuously performed, and finally the tip-off process for the small-diameter exhaust pipe 60d is performed. As a result, most of the impure gas accompanying the chip-off process remaining in the space between the front plate 10 and the back plate 20 is due to the chip-off process of the small-diameter exhaust pipe 60d. In the exhaust pipe tip-off process, the impure gas released from the small exhaust pipe 60d having a small internal surface area is less than the impure gas released from the large diameter exhaust pipe 60c, so the first embodiment described above. The residual amount of impure gas accompanying the exhaust pipe tip-off process can be further reduced as compared with the method.
[0043]
Further, as described above, since the exhaust pipes 60c and 60d are attached at positions close to each other, when the tip-off process is performed on the large diameter exhaust pipe 60c, the vacuum exhaust by the small diameter exhaust pipe 60d is performed. Processing becomes more efficient. Thus, the configuration in which the attachment positions of the exhaust pipes 60c and 60d are close to each other is particularly useful in manufacturing an FED that does not require the introduction of a discharge gas.
It should be noted that the exhaust pipes 60c and 60d can be mounted at positions separated from each other as in the example shown in FIG.
[0044]
In addition, the manufacturing method of the flat panel display of this invention is not restricted to the said embodiment, The change of another various aspect is possible. For example, when introducing (sealing) discharge gas, a method is adopted in which each exhaust pipe is connected to a cylinder filled with different types of gas, and these multiple types of gas are introduced into the panel to form a mixed gas. Thus, a cylinder filled with a mixed gas or a mixer is not required , and the mixing ratio can be easily changed. However, in this case, unlike the evacuation system of FIG. 3, each exhaust pipe needs to be configured to be connected to a cylinder filled with different types of gases.
[0045]
【The invention's effect】
In the flat panel display device manufacturing method of the present invention, a plurality of exhaust pipes are attached to the flat panel display device, and the space between the front plate and the back plate is evacuated to a predetermined pressure using the plurality of exhaust tubes. Thereafter, a part of the plurality of exhaust pipes is subjected to a chip-off process and a vacuum exhaust process is performed using the remaining exhaust pipes, and then the chip-off process of the remaining exhaust pipes is performed. . As a result, the speed of evacuation can be increased, and the residual amount of impure gas generated when the exhaust pipe is chipped off can be reduced.
[0046]
Product speed can be reduced by increasing the speed of evacuation, and discharge voltage characteristics, electrode life, and the like can be improved by reducing the residual amount of impure gas.
Further, in the FED or the like, by reducing the residual amount of impure gas and improving the degree of vacuum, it is possible to make discharge breakdown less likely and to improve the yield.
[0047]
In addition, the plurality of exhaust pipes include at least one large-diameter exhaust pipe and one small-diameter exhaust pipe to perform tip-off processing of the large-diameter exhaust pipe and to vacuum using the small-diameter exhaust pipe. If the exhaust process is performed and then the tip-off process of the small-diameter exhaust pipe is performed, the impure gas released from the small-diameter exhaust pipe having a small internal surface area is converted into the impure gas released from the large-diameter exhaust pipe. Compared to the first embodiment method described above, the remaining amount of impure gas accompanying the exhaust pipe tip-off process can be further reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a flat panel display device (panel portion) according to a method of a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a flat panel display device (panel portion) according to a method of a second embodiment of the present invention. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of an evacuation system used in the method according to the embodiment of the present invention.
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Front plate 20 Back plate 40 Frit glass 50a-d for bonding Through-hole part 60, 60a-d Exhaust pipe 100, 110 Flat panel display apparatus (panel part)
200 Electric furnace 210 Exhaust pipe joint 220 Vacuum pump group 230 Vacuum gauge group 240 Discharge gas source

Claims

In a method of manufacturing a flat panel display device comprising a front plate and a back plate arranged to face each other with a predetermined fluorescent material applied to at least one of them,
When evacuating the space between the front plate and the back plate of the flat panel display device, a plurality of exhaust pipes each including at least one large-diameter exhaust pipe and one small-diameter exhaust pipe are attached to the back plate. A method of manufacturing a flat panel display device, wherein a space between the front plate and the back plate is evacuated.

After evacuating the space between the front plate and the back plate to a predetermined pressure, the large-diameter exhaust pipe is chipped off and the small-diameter exhaust pipe is evacuated. 2. The method of manufacturing a flat panel display device according to claim 1, wherein tip-off processing of the small diameter exhaust pipe is performed.

The large-diameter exhaust pipe is chipped off and the small-diameter exhaust pipe is evacuated, and then the discharge gas is introduced using the small-diameter exhaust pipe. Thereafter, the small-diameter exhaust pipe is discharged. 3. The method of manufacturing a flat panel display device according to claim 2, wherein a tube tip-off process is performed.

The space of the front plate and the back plates at the time of evacuation, according to claim 1 or 2, wherein the performing the introduction of drying gases using at least a portion of the exhaust pipe in the exhaust pipe of the plurality of Manufacturing method of flat panel display device.

4. The method of manufacturing a flat panel display device according to claim 3, wherein the discharge gas is a dry gas.

The discharge gas is a single gas or a mixed gas of any one of nitrogen N and a rare gas such as helium He, neon Ne, argon Ar, xenon Xe, and krypton Kr. 6. A method for producing a flat panel display device according to 3 or 5 .