JP4293974B2 - 無人搬送システムの最適搬送制御方法 - Google Patents
無人搬送システムの最適搬送制御方法 Download PDFInfo
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Description
(1)nSU=nMax(SU):格納されたST−アンローディング命令(SU)の数が、あらかじめ設定された最大許容格納数(nMaxSU)に到達した場合
(2)nSU=nBufferLeft:格納されたST−アンローディング命令(SU)の数が、空いているバッファー空間の数(nBufferLeft)に到達した場合
(3)nSU=nTCQty:格納されたST−アンローディング命令(SU)の数が、主制御装置から送られてきた作業命令の数(nTCQty)に到達した場合
もし、RGV 204のバッファーに余裕空間がないか、工程装備202a〜202jまたはストッカテーブル210へのローディングが既に始まった場合に、ストッカテーブル210からの追加アンローディングを遂行することは不可能または非効率的であるので、上述の如く、ストッカテーブル210または工程装備202a〜202jにウェーハをローディングするためのローディング命令が存在するか否かを検索して格納する(ステップ324)。
102、206 レール
114、118 ハンド
124、202a〜202j 工程装備
126、208 ストッカ
128 基板
210 ストッカテーブル
250 主制御装置
Claims (5)
- 主制御装置が、バッファー及び二つのハンドを持つ無人搬送車に第1の作業位置又は第2の作業位置を目的地とするローディング命令又はアンローディング命令を含む作業命令を転送し、
前記バッファーに余裕空間があるときに、前記転送された作業命令の中から、同一の作業位置を目的地とするローディング命令及びアンローディング命令の組合せと、前記同一の作業位置を目的地とする二つのローディング命令の組合せの中で、少なくとも一つの命令の組合せが含まれるように第1のパターンを設定してメモリに格納し、
前記バッファーに余裕空間があり、かつ、前記第1のパターンの前記ローディング命令が遂行されないときに、前記転送された作業命令の中から、前記第1のパターンに含まれない単一の作業命令それぞれを、第2のパターンと設定して前記メモリに格納し、
前記バッファーに余裕空間がないときに、前記バッファーに積み込まれている物体を、前記転送された作業命令の中から、該当の目的地にローディングするためのローディング命令のみを検索して前記メモリに格納し、
前記無人搬送車が前記格納された前記第1のパターン又は前記第2のパターンによって前記第1の作業位置又は第2の作業位置に移動してローデンィグ又はアンローディングを含む作業を遂行することを特徴とする無人搬送システムの制御方法。 - 前記バッファーに余裕空間があり、かつ、前記第1のパターンの前記ローディング命令が遂行されないときに、
前記転送された作業命令の中から、前記第1の作業位置を目的地とするアンローディング命令を検索して格納し、
作業命令の前記メモリに余裕があるときに、前記転送された作業命令の中から、前記第2の作業位置を目的地とするアンローディング命令及びローディング命令と、前記第1の作業位置を目的地とするローディング命令を順に検索して格納することを特徴とする請求項1に記載の無人搬送システムの制御方法。 - 前記メモリに格納された作業命令の数が、あらかじめ設定された最大値以下であり、かつ、前記主制御装置から送られてきた総作業命令の数よりも小さいときに、前記メモリに余裕があると判定することを特徴とする請求項1に記載の無人搬送システムの制御方法。
- 前記メモリに余裕がないときに、前記転送された作業命令の中から、前記第2の作業位置を目的地とするローディング命令と、前記第1の作業位置を目的地とするローディング命令を順に検索して格納することを特徴とする請求項1に記載の無人搬送システムの制御方法。
- 前記バッファーに余裕空間がないときに、前記転送された作業命令の中から、前記バッファーに積み込まれている物体を、該当の目的地にローディングするためのローディング命令のみを検索して前記メモリに格納した後に、第1の作業位置を目的地とする前記転送された作業命令の中に前記第1のパターン又は前記第2のパターンと設定されなかった作業命令が存在すると、前記転送された作業命令の中から、前記第1の作業位置を目的地とするアンローディング命令を検索して格納し、作業命令の前記メモリに余裕があるときに、前記転送された作業命令の中から、前記第2の作業位置を目的地とするアンローディング命令及びローディング命令と、前記第1の作業位置を目的地とするローディング命令を順に検索して格納することによって、前記第1の作業位置を目的地とするアンローディング命令を検索して格納することを特徴とする請求項1に記載の無人搬送システムの制御方法。
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